JP5446250B2 - カラーフィルタ基板の研磨方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルタ基板の研磨に関するものであり、特に、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のサイズのガラス基板をオスカー型研磨機を用いて研磨する際に、枠材の貼り付けを作業性よく且つ精度良くおこなって、研磨することのできるカラーフィルタ基板の研磨方法に関する。

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を形成するといった方法が広く用いられている。

ブラックマトリックスは遮光性を有し、その開口部にてカラーフィルタ基板上での着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、ガラス基板上に、黒色フォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜へのフォトマスクを介した露光、現像によってブラックマトリックスを形成するといったフォトリソグラフィ法がとられている。

また、着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜へのフォトマスクを介した露光、現像によって着色画素を形成するといったフォトリソグラフィ法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。

上記黒色フォトレジストを用いて形成したブラックマトリックスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリックスのように、膜厚１５０ｎｍ程度の薄膜では高濃度を得ることはできず、例えば、０．５μｍ〜２．０μｍ程度の厚さにして必要な高濃度を得るようにしている。
ブラックマトリックスの膜厚が、例えば、１．０μｍ程度と厚くなると、ブラックマトリックス上にその周縁部を重ねて形成した着色画素は、その重ねた周縁部がブラックマトリックス上にて突起となる。

この突起は、カラーフィルタ基板の表面を凹凸のあるものとし、平坦性を悪化させる。表面の平坦性が悪化したカラーフィルタ基板を液晶表示装置に用いると、突起の影響によって液晶分子の配向が乱され、表示ムラなど表示品質を低下させることになるので、多くの場合、カラーフィルタ基板の表面への研磨によって突起を除去している。

また、カラーフィルタ基板の着色画素上、ブラックマトリックス上、或いはカラーフィルタ基板の周縁部のガラス上に残留しているフォトレジストの残渣は、後工程、例えば、透明導電膜をカラーフィルタ基板上に成膜した際の透明導電膜と基板との密着性にとって、或いは、カラーフィルタ基板の周縁部を対向基板とのシール部とする際におけるシール材と基板との密着性にとって好ましいものではなく、カラーフィルタ基板の表面への研磨によって突起の除去と同時に取り除いている。

図１、及び図２は、液晶表示装置用のカラーフィルタ基板の表面を研磨する際に、一般的に使用されているオスカー型研磨機の一例の概略を示した説明図である。図１は、研磨機の回転部分の断面図、図２は平面図である。
図１、及び図２に示すように、この研磨機の回転部分は、カラーフィルタ基板を搭載、保持する円盤状の下定盤（１）、下定盤と一体的に固定され下定盤を回転させる回転軸（２）、カラーフィルタ基板表面を研磨する円盤状の上定盤（３）、上定盤の回転軸（４）で構成されたものである。

上定盤（３）のサイズは、下定盤（１）より小さなものであり、例えば、摩擦によって下定盤の回転に追従した回転をしながら、下定盤（１）の上面上を円弧状に揺動（Ｃ）するようになっている。また、上定盤（３）の上部からは設定した研磨圧力（Ｄ）をかけられるようになっている。
研磨は、研磨液（図示せず）をガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）の上方より滴下しながら行われる。尚、符号（５）は研磨クロス、（７）はテンプレート、（Ａ）は下定盤の回転、（Ｂ）は上定盤の回転を示している。

テンプレート（７）は、ガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）を下定盤上に保持する治具であり、下定盤（１）の上面上に貼り付けられている。図３（ａ）は、テンプレート（７）の一例の平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。テンプレート（７）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられた状態が示されている。

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、テンプレート（７）は、ガラス基板（６）を保持するバッキングシート（７Ａ）と、研磨中にガラス基板（６）が水平方向にズレるのを周囲から抑えるための四辺からなる枠部を有するロの字状の枠材（７Ｂ）で構成されている。バッキングシート（７Ａ）は平面視で矩形状である。枠材（７Ｂ）は平面視で矩形の枠状である。その枠部以外は開口部となっており、この開口部にガラス基板（６）を保持する。

図４は、ガラス基板の板端のエッヂ近傍の一例を拡大して示す断面図である。図４に示すように、ガラス基板（６）のエッヂ近傍には研削により面取り（Ｍ）が行われ面取り（Ｍ）部は傾斜面となっている。面取り（Ｍ）が行われていないガラス基板（６）の側面を端面（Ｔ）と称している。枠材（７Ｂ）は、ガラス基板（６）の四辺の端面（Ｔ）を、その周囲から押さえ、ガラス基板（６）が水平方向にズレるのを防止する部材である。

図３（ｃ）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられたテンプレート（７）に、ガラス基板（６）が保持された状態の断面図である。ガラス基板（６）は、バッキングシート（７Ａ）上の、枠材（７Ｂ）内に保持されている。ガラス基板（６）は、この状態で、その表面に研磨が施される。

図３に示すテンプレート（７）は、下定盤（１）の上面上に貼り付ける際の位置決めに、位置決め用のピン（図示せず）を用いている。図３中、符号（８）は、枠材（７Ｂ）に設けられた貫通穴である。貫通穴（８）は、下定盤（１）の上面上に枠材（７Ｂ）を貼り付ける際の位置決め用の穴である。図３に示すテンプレート（７）は、貫通穴（８）が枠材（７Ｂ）の４箇所に設けられている例である。
下定盤（１）の上面には、位置決め用の窪み（穴）が、予め設けられており（図示せず）、この窪み（穴）の位置に対応して、枠材（７Ｂ）には貫通穴（８）が設けられる。

枠材（７Ｂ）を貼り付ける際には、先ず、下定盤（１）の上面の窪み（穴）に、上方より位置決め用の柱状のピンを差し込み、次に、この突出したピンの上部に枠材の貫通穴（
８）を当てはめて枠材（７Ｂ）の位置決めをし、枠材（７Ｂ）を貼り付ける。枠材（７Ｂ）の貼り付け後には、ピンは窪み（穴）から抜き取っておく。

下定盤（１）の上面上へのテンプレート（７）の貼り付け作業は、上記のようにして、作業性よく、また貼り付け精度も良好に行われてきた。このような方法は、カラーフィルタ基板を製造する際のガラス基板のサイズが、第４世代と称される、例えば、７３０ｍｍ×９２０ｍｍ（図３中、（ａ）×（ｂ）に相当）程度のサイズまでは採用されてきた。

しかし、ガラス基板のサイズが、第５世代と称される、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のサイズへと移行するのに伴い、枠材（７Ｂ）のサイズは、例えば、１４００ｍｍ×１６００ｍｍ程度へと大型化した。
そのため、厚さ１ｍｍ程度の枠材を、空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく、且つ貼り付け精度を良好に下定盤（１）の上面上に貼り付けることは困難なものとなってきた。

そこで、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度以上へのサイズにと移行しても、大型化した枠材の貼り付けを、空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく、且つ貼り付け精度を良好に行うことのできる手法が試みられている。
図５（ａ）は、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のガラス基板に対応したテンプレートとしての、試みの一例の平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。テンプレート（１７）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられた状態が示されている。図５中、符号（ｃ）×（ｄ）は、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のガラス基板のサイズを表している。

図５（ａ）、（ｂ）に示すように、テンプレート（１７）は、バッキングシート（１７Ａ）と枠材（１７Ｂ）で構成されている。バッキングシート（１７Ａ）は平面視で矩形状である。枠材（１７Ｂ）は平面視で矩形の枠状を呈しているが、図５（ａ）中、符号（Ｅ）で示す上下中央で２分割された第一枠材（１７Ｂ−１）と第二枠材（１７Ｂ−２）で構成されている。

第一枠材（１７Ｂ−１）及び第二枠材（１７Ｂ−２）の各々は、平面視で「コ」の字型である。枠材（１７Ｂ）は、バッキングシート（１７Ａ）を介することなく下定盤（１）の上面上に貼り付けられている。
また、図５（ｃ）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられ枠材（１７Ｂ）に、ガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）が保持された状態の断面図である。

図５に示す、２分割された第一枠材（１７Ｂ−１）及び第二枠材（１７Ｂ−２）のサイズは、２分割されず一体的に作製された際の枠材より小さなものとなるので、一体的な枠材よりは、確かに、その作業性は良好なものといえる。しかし、図３に示す、第４世代のガラス基板用の枠材（７Ｂ）と比較すると、第一枠材（１７Ｂ−１）及び第二枠材（１７Ｂ−２）のサイズは大きなものであり、また形状が「コ」の字型であるために、空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく、且つ貼り付け精度を良好に下定盤（１）の上面上に貼り付けるには、相応の熟練度を必要とする。

更には、厚さ１ｍｍ程度の基材から、「コ」の字型の枠材（１７Ｂ−１、１７Ｂ−２）を作製する際に、例えば、ルータ加工によって枠材を作製すると、その形状を精度よく加工することは困難である。

図６は、ルータ加工によって作製された「コ」の字型の枠材の平面図を例示したものである。図６は、正常に作製されなかった枠材の例である。図６（ａ）は、本来「コ」の字型すべき枠材が、「ハ」の字状に加工されてしまった例である。図６（ａ）中、符号（Δ
ｘ）で示す所望する形状からの変化量は、第５世代用の第一枠材（１７Ｂ−１）、第二枠材（１７Ｂ−２）において、例えば、許容値が０．５ｍｍであるところ、例えば、１．０ｍｍ程度に達する。
また、図６（ｂ）は、本来の「コ」の字型が、「平行四辺形」状に加工されてしまった例である。図６（ｃ）は、貫通穴（８）の位置がズレて加工された例である。

例えば、図６に示すような、加工精度が許容値外の第一枠材（１７Ｂ−１）及び第二枠材（１７Ｂ−２）を用いて、ガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）の研磨を行うと、ガラス基板は枠材に食い込み、或いは枠材から離脱してガラス基板は破損することになる。
また、平面視矩形状ガラス基板の端面（Ｔ）と枠材間に隙間が生じて、研磨中に、この隙間部でガラス基板の端面（Ｔ）と枠材とが接触し、ガラス基板に破損が生じることもある。
特開２０００−１１７６２４号公報 特開２００５−３３８４４０号公報 特開２００６−１５０５２２号公報

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、オスカー型研磨機を用い、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のサイズのガラス基板を研磨する際に、下定盤の上面上への枠材の貼り付けを、空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく、且つ貼り付け精度を良好におこなって、研磨することのできる液晶表示装置用のカラーフィルタ基板の研磨方法を提供することを課題とするものである。

本発明は、平面視矩形状のカラーフィルタ基板の研磨方法において、平面視でガラス基板と略同一の大きさとしたバッキングシートと、前記カラーフィルタ基板の四辺端面を該四辺端面の周囲から保持するオスカー型研磨機に備える枠材として、四辺を有するカラーフィルタ基板の各々の辺対応する４本の枠材からなる４分割した枠材で構成されているテンプレートを用いて前記カラーフィルタ基板を保持させるカラーフィルタ基板の研磨方法であって、前記４分割した枠材の各々は、カラーフィルタ基板の四辺に沿うた平面視細長矩形状であり、前記４分割した枠材の下面に、該枠材と同一平面形状のバッキングシートを貼り合わせて研磨中にガラス基板が水平方向に動いて枠材に当たったとき、該枠材と同一平面形状のバッキングシートがクッションになることを特徴とするカラーフィルタ基板の研磨方法である。

また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタ基板の研磨方法において、前記４分割した枠材は、その各々に位置決め用の貫通穴が設けられていることを特徴とするカラーフィルタ基板の研磨方法である。

本発明は、カラーフィルタ基板の四辺端面を周囲から保持する枠材として、カラーフィルタ基板の四辺に対応させて４分割した枠材、或いは枠材がカラーフィルタ基板の四辺に沿うた平面視細長矩形状である枠材を用いるので、オスカー型研磨機を用い、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のサイズのガラス基板を研磨する際に、下定盤の上面上への枠材の貼り付けを、空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく、且つ貼り付け精度を良好におこなって、研磨することのできる液晶表示装置用のカラーフィルタ基板の研磨方法となる。

また、本発明は、４分割した枠材は、その各々に位置決め用の貫通穴が設けられているので、貼り付けの操作が容易なものとなり、また、貼り付け精度が向上したものとなる。

また、本発明は、４分割した枠材の下面に、枠材と同一平面形状のバッキングシートを貼り合わせた研磨方法であるので、研磨中にガラス基板が水平方向に動いて枠材に当たったとき、枠材と同一平面形状のバッキングシートがクッションになり、枠材が緩慢に動き、ガラス基板の破損を更に防止することが可能となる。

以下に、本発明の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図７は、本発明におけるテンプレート（２７）の一例の概略を示す説明図である。図７（ａ）は、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度の平面視で四辺を有する矩形状のガラス基板に対応したテンプレートの平面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図である。
テンプレート（２７）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられた状態が示されている。図７中、符号（ｃ）×（ｄ）は、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度のガラス基板のサイズを表している。

図７（ａ）、（ｂ）に示すように、テンプレート（２７）は、バッキングシート（２７Ａ）と枠材（２７Ｂ）で構成されている。バッキングシート（２７Ａ）は平面視でガラス基板と略同一の大きさとした矩形状である。本発明の枠材（２７Ｂ）は平面視で矩形の枠状を呈しているが、図７（ａ）中、符号（Ｆ）で示す部位で従来ロの字状であった枠材を、ガラス基板四辺に各々対応するよう４分割し第一枠材（２７Ｂ−１）、第二枠材（２７Ｂ−２）、第三枠材（２７Ｂ−３）、及び第四枠材（２７Ｂ−４）の４枠材で構成されている。
枠材（２７Ｂ）は、ガラス基板（カラーフィルタ基板）の四辺端面を、四辺端面の外方の周囲から保持し、ガラス基板が水平方向にズレるのを抑えるための部材である。

第一枠材（２７Ｂ−１）、第二枠材（２７Ｂ−２）、第三枠材（２７Ｂ−３）、及び第四枠材（２７Ｂ−４）の各々は、平面視で細長矩形状である。本発明における従来ロに字状であった枠材を４分割してなる枠材は、前記図５に示す２分割した「コ」の字型の枠材においては、その形状を精度よく加工することが困難であったのに対し、４分割することによって枠材を精度よく容易に加工することを可能としたものである。
本発明でいう４分割した枠材とは、ガラス基板の四辺に各々対応させて、従来ロに字状であった枠材を４分割した４本の枠材からなる枠材の集合体を指している。

図７に示す４分割した枠材（（２７Ｂ−１）〜（２７Ｂ−４））の各々は、平面視で細長矩形状である。第二枠材（２７Ｂ−２）及び第四枠材（２７Ｂ−４）は、ガラス基板（６）の長辺（ｄ）を長手方向とし、長辺（ｄ）に沿うた細長矩形状である。また、第一枠材（２７Ｂ−１）及び第三枠材（２７Ｂ−３）は、ガラス基板（６）の短辺（ｃ）を長手方向とし、短辺（ｃ）に沿うた細長矩形状である。枠材（２７Ｂ）は、バッキングシート（２７Ａ）を介することなる下定盤（１）の上面上に貼り付けられている。
また、図７（ｃ）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられ枠材（２７Ｂ）に、ガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）が保持された状態の断面図である。

第二枠材と第四枠材には位置決め用の貫通穴を形成している。枠材（２７Ｂ）を貼り付ける際には、先ず、第二枠材（２７Ｂ−２）と第四枠材（２７Ｂ−４）を、前述したように、位置決め用のピンを用いて位置決めし貼り付ける。次に、第一枠材（２７Ｂ−１）と第三枠材（２７Ｂ−３）を各々、所定の位置に貼り付ける。尚、貼り付け後、ピンは抜かれる。

図７に示す４分割した枠材（（２７Ｂ−１）〜（２７Ｂ−４））の各々の形状は、「コ」の字型に比較して単純な細長矩形状であるので、貼り付けに際しては、枠材と下地との間に空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく貼り付けることができる。また、その形状は精度良く加工されているので、貼り付け精度は良好に保たれ、ガラス基板の端部と枠材との間に隙間が生じず、ガラス基板の枠材への食い込み、或いは、ガラス基板の枠材からの離脱が発生することはない。また、基板端部と枠材との間に隙間がないので、研磨時に隙間で端面と枠材が接触することでじる破損もなくなる。従って、ガラス基板の破損などは起こり難い。

図８は、本発明におけるテンプレートの他の第一例を示す平面図である。図８に示すように、この他の第一例のテンプレート（３７）の枠材（３７Ｂ）は、図８中、符号（Ｇ）で示す部位で従来ロの字であった枠材を４分割してなる第一枠材（３７Ｂ−１）、第二枠材（３７Ｂ−２）、第三枠材（３７Ｂ−３）、及び第四枠材（３７Ｂ−４）で構成されている。すなわち、図８は、図７と分割方向を９０°異ならした例を示している。
図８に示すテンプレート（３７）においても、図７に示すテンプレート（２７）と同様の効果が得られる。

図９は、本発明におけるテンプレートの他の第二例を示す平面図である。図９に示すように、この他の第二例のテンプレート（４７）の枠材（４７Ｂ）は、図９中、符号（Ｈ）で示す部位で４分割した第一枠材（４７Ｂ−１）、第二枠材（４７Ｂ−２）、第三枠材（４７Ｂ−３）、及び第四枠材（４７Ｂ−４）で構成されている。
図９に示す４分割した枠材（（４７Ｂ−１）〜（４７Ｂ−４））の各々の両端部は、角度（θ）（例えば、θ＝４５°）を有する形状をしている。平面視で、言わば、開口部側を上底とした細長台形状を呈している。隣接する枠材の両端部の斜辺が相互に接し角部が９０°となった枠材（４７Ｂ）が構成されている。

前述したのと同様に、この枠材（４７Ｂ）を貼り付ける際には、先ず、第二枠材（４７Ｂ−２）と第四枠材（４７Ｂ−４）を、ピンを用いて位置決めし貼り付ける。次に、第一枠材（２７Ｂ−１）と第三枠材（２７Ｂ−３）を各々、所定の位置に貼り付けるのであるが、その両端部が斜辺であることによって、先に貼り付け第二枠材（４７Ｂ−２）と第四枠材（４７Ｂ−４）の間に、第一枠材（２７Ｂ−１）と第三枠材（２７Ｂ−３）の各々を容易に貼り付けることができる。

図１０は、請求項３に係わる、従来ロの字であった枠材を４分割してなる枠材の一例を示す平面図である。図１０に示すように、４分割した枠材（（５７Ｂ−１）〜（５７Ｂ−４））の各々には、貼り付ける際の位置決め用の貫通穴（８）が設けられている。このように、４分割した枠材（（５７Ｂ−１）〜（５７Ｂ−４））の各々に貫通穴（８）が設けられていることによって、貼り付けの操作が容易なものとなり、また、貼り付け精度が向上したものとなる。尚、この際は、研磨機の下定盤（１）の上面に、貫通穴に対応した位置決め用の窪み（穴）を予め設けておくことになる。

上述のように、本発明における枠材を用いることによって、第５世代と称される、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ程度以上のサイズのガラス基板（カラーフィルタ基板）を研磨することであっても、各種サイズのオスカー型研磨機への枠材の貼り付けは作業性よく、且つ貼り付け精度は良好なものとなる。
このサイズのガラス基板（カラーフィルタ基板）を研磨する際に用いるオスカー型研磨機での構造は、前記図１、２に示すように、下定盤（１）の上方に上定盤（３）が設けられている構造である。テンプレート及び研磨クロスの配置は、下定盤（１）の上面上にテンプレート（７）を貼り付け、上定盤（３）の下面上に研磨クロス（５）を貼り付け、下定盤（１）のテンプレート（７）にガラス基板を保持させる構成である。

一方、ガラス基板のサイズが、例えば、３００ｍｍ×４００ｍｍ程度の第１世代と称されるサイズのガラス基板を研磨する際に用いるオスカー型研磨機の構造は、上記と同様に、下定盤（１）の上方に上定盤（３）が設けられている構造であるが、テンプレート及び研磨クロスの配置は異なった構成で用いられることがある。すなわち、下定盤（１）の上面上に研磨クロス（５）を貼り付け、上定盤（３）の下面上にテンプレート（７）を貼り付け、上定盤（３）のテンプレート（７）にガラス基板を保持させる構成である。

本発明におけるテンプレートは、テンプレート及び研磨クロスの配置が、図１、２に示す配置と異なった構成のオスカー型研磨機においても適用することが可能である。

図１１（ａ）は、請求項５に係わる、従来ロの字であった枠材を４分割してなる枠材の一例を示す平面図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＤ−Ｄ線の断面図である。図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、テンプレート（６７）は、バッキングシート（６７Ａ）と枠材（６７Ｂ）で構成されている。バッキングシート（６７Ａ）は平面視で矩形状である。枠材（６７Ｂ）は平面視で矩形の枠状を呈しているが、図１１（ａ）中、符号（Ｆ）で示す部位で４分割された第一枠材（６７Ｂ−１）、第二枠材（６７Ｂ−２）、第三枠材（６７Ｂ−３）、及び第四枠材（６７Ｂ−４）の４本の枠材で構成されている。

図１１に示す４分割した枠材（（６７Ｂ−１）〜（６７Ｂ−４））の各々は、平面視で細長矩形状である。第二枠材（６７Ｂ−２）及び第四枠材（６７Ｂ−４）は、ガラス基板（６）の長辺（ｄ）を長手方向とし、長辺（ｄ）に沿うた細長矩形状である。また、第一枠材（６７Ｂ−１）及び第三枠材（６７Ｂ−３）は、ガラス基板（６）の短辺（ｃ）を長手方向とし、短辺（ｃ）に沿うた細長矩形状である。
また、図１１（ｃ）は、下定盤（１）の上面上に貼り付けられ枠材（６７Ｂ）に、ガラス基板（カラーフィルタ基板）（６）が保持された状態の断面図である。

４分割した枠材（（６７Ｂ−１）〜（６７Ｂ−４））の各々には、その下面に枠材と同一平面形状のバッキングシート（（６８Ａ−１）〜（６８Ａ−４））の各々が貼り合わされている。枠材（６７Ｂ）は、バッキングシート（６８Ａ）を介して下定盤（１）の上面上に貼り付けられている。
これにより、研磨中にガラス基板が水平方向に動いて枠材に当たったとき、枠材と同一平面形状のバッキングシートがクッションになり、枠材が緩慢に動き、ガラス基板の破損を更に防止することが可能となる。

上述のように、本発明における枠材は平面視で矩形の枠状を呈しているが、４分割した枠材であり、その各々は平面視で細長矩形状であるので、形状を精度よく容易に加工することができ廉価なものとなる。また、その使用に際しては、枠材と下地との間に空気を噛ませず、皺を作らず、作業性よく貼り付けることができる。また、その形状は精度良く加工されているので、ガラス基板の枠材への食い込み、或いは、ガラス基板の枠材からの離
脱が発生するのとはない。従って、ガラス基板の破損などは起こらない。

オスカー型研磨機の一例の概略を示した断面図である。 オスカー型研磨機の一例の概略を示した平面図である。 （ａ）は、テンプレートの一例の平面図である。 （ｂ）は、Ａ−Ａ線での断面図である。（ｃ）は、ガラス基板が保持された状態の断面図である。 ガラス基板のエッヂ近傍の一例を拡大して示す断面図である。 （ａ）は、テンプレートの試みの一例の平面図である。 （ｂ）は、Ｂ−Ｂ線での断面図である。（ｃ）は、ガラス基板が保持された状態の断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、「コ」の字型の枠材の平面図を例示したものである。 （ａ）は、ガラス基板に対応したテンプレートの平面図である。（ｂ）は、Ｃ−Ｃ線での断面図である。（ｃ）は、ガラス基板が保持された状態の断面図である。 本発明におけるテンプレートの他の第一例を示す平面図である。 本発明におけるテンプレートの他の第二例を示す平面図である。 請求項３に係わる、４分割した枠材の一例を示す平面図である。 （ａ）は、請求項５に係わる、４分割した枠材の一例を示す平面図である。（ｂ）は、Ｄ−Ｄ線の断面図である。（ｃ）は、ガラス基板が保持された状態の断面図である。

符号の説明

１・・・研磨機の下定盤
２、４・・・回転軸
３・・・研磨機の上定盤
５・・・研磨クロス
６・・・ガラス基板（カラーフィルタ基板）
７、１７・・・テンプレート
７Ａ、１７Ａ・・・バッキングシート
７Ｂ、１７Ｂ・・・枠材
８・・・貫通穴
１７Ｂ−１、１７Ｂ−２・・・「コ」の字型の枠材
２７、３７、４７、５７、６７・・・本発明におけるテンプレート
２７Ａ、３７Ａ、４７Ａ、５７Ａ、６７Ａ・・・本発明におけるバッキングシート
２７Ｂ、３７Ｂ、４７Ｂ、５７Ｂ、６７Ｂ・・・本発明における枠材
２７Ｂ−１〜６７Ｂ−１・・・本発明における第一枠材
２７Ｂ−２〜６７Ｂ−２・・・本発明における第二枠材
２７Ｂ−３〜６７Ｂ−３・・・本発明における第三枠材
２７Ｂ−４〜６７Ｂ−４・・・本発明における第四枠材
Ａ・・・下定盤の回転
Ｂ・・・上定盤の回転
Ｃ・・・上定盤の揺動
Ｄ・・・研磨圧力
Ｅ〜Ｈ・・・分割した部位
Ｍ・・・面取り
Ｔ・・・端面
ａ、ｃ・・・短辺
ｂ、ｄ・・・長辺

Claims (2)

1. 平面視矩形状のカラーフィルタ基板の研磨方法において、平面視でガラス基板と略同一の大きさとしたバッキングシートと、前記カラーフィルタ基板の四辺端面を該四辺端面の周囲から保持するオスカー型研磨機に備える枠材として、四辺を有するカラーフィルタ基板の各々の辺対応する４本の枠材からなる４分割した枠材で構成されているテンプレートを用いて前記カラーフィルタ基板を保持させるカラーフィルタ基板の研磨方法であって、前記４分割した枠材の各々は、カラーフィルタ基板の四辺に沿うた平面視細長矩形状であり、前記４分割した枠材の下面に、該枠材と同一平面形状のバッキングシートを貼り合わせて研磨中にガラス基板が水平方向に動いて枠材に当たったとき、該枠材と同一平面形状のバッキングシートがクッションになることを特徴とするカラーフィルタ基板の研磨方法。
2. 前記４分割した枠材は、その各々に位置決め用の貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ基板の研磨方法。

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