JP2592394B2 - 被研磨物保持具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被研磨物保持具に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】フラット・ディスプレイに用いられるガ
ラス等の表面は研磨機により研磨加工される。通常、研
磨機は被研磨物保持具を取り付ける上側定盤と、研磨パ
ッドが貼着される下側定盤とを有しており、それぞれが
自転する。被研磨物保持具には上記のガラス等の被研磨
物が保持される。そして、被研磨物を研磨パッドに押圧
し、両者のあいだに砥液を介在させながら相対的に回転
させつつ摺動させることにより被研磨物を研磨する。

【０００３】図４及び図５に示すように、被研磨物保持
具は、ガラス５等の被研磨物を嵌合させる被研磨物嵌合
穴１０’が開設された型材１’と、一定の弾性を有する
バッキング材２とを固着してなる。前記型材１’には、
強度と寸法安定性とが要求されるため、その構成材料と
してはベークライト等が適しているが、これらの多くは
吸水により膨張する性質を有するものである。

【０００４】研磨を行う際には、前述の通り砥液を使用
するが、型材１’の構成材料は前述のように吸水により
膨張する性質を有するため、この型材１’が砥液を吸収
して縦横に膨張し、結果的に被研磨物嵌合穴１０’も縦
横に広がって被研磨物と型材１’との間に隙間が生じて
しまい、被研磨物を安定保持できなくなる。また、被研
磨物には上側定盤の自転による回転力が被研磨物保持具
を介して作用するので、型材１’における被研磨物嵌合
穴１０’の周縁部には回転力が作用する方向に向かって
被研磨物の周縁部が強く当接する。この部分は非常に損
傷を受けやすい。特に被研磨物の角部がこれに対応する
被研磨物嵌合穴１０’の周縁部に強く当接しこの部分が
早期に損傷し、更に被研磨物嵌合穴１０’を広げるた
め、長時間被研磨物を安定保持できなくなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明では
従来よりも長時間被研磨物を安定保持可能な被研磨物保
持具を提起することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明では次のような技術的手段を講じている。この
発明の被研磨物保持具は、被研磨物嵌合部を備え吸水膨
張性を有する型材と一定の弾性を有するバッキング材と
を固着して成る被研磨物保持具に於いて、前記型材は、
複数の片から成りかつ各片間には前記膨張を吸収するた
めの空隙が設けられていることを特徴とする。

【０００７】

【作用】上記の手段を採用した結果、この発明は以下の
ような作用を有する。この発明の被研磨物保持具は、そ
の型材が複数の片から構成され各片間には空隙が設けら
れているので、各片が砥液を吸収して膨張しても空隙が
その膨張分を吸収するため、被研磨物嵌合部が広がらな
い。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の構成を実施例として示した
図面を参照して説明する。この被研磨物保持具の型材１
を構成する片１ａ、１ｂは、ベークライト板を３層重ね
合せて加圧圧着硬化させることによって、厚さが０．８
ｍｍの積層板を形成し、これを６５ｍｍ×４２５ｍｍと
６５ｍｍ×３６５ｍｍの長短２種類の寸法の短冊状に裁
断することにより形成される。従来の型材１’のように
１枚の板の内部に被研磨物嵌合穴１０’をわざわざ開設
する必要がなく、材料の無駄になる部分が少ないので、
容易かつ安価に製造することができる。なお、寸法、形
状は、被研磨物の大きさ、形状にあわせて形成すればよ
い。また、型材１の材料は、上記の様なベークライトに
限定されるわけではなく、吸水により膨張するもので、
被研磨物保持具の材料として適当なものを使用可能であ
る。

【０００９】前記のようにして得た片１ａ、１ｂを図１
に示すように、中央部に四角形状の被研磨物嵌合部１０
が開設されるように、しかも各片１ａ、１ｂ間には約１
ｍｍ程度の空隙６が開くように配置して型材１を形成す
る。そして、前記型材１に接着剤層１１を介してバッキ
ング材２を固着する。前記バッキング材２の裏面には接
着剤層１１、二軸延伸ポリエステル・フィルムで形成し
た支持材３及び粘着剤層３０を介して離型紙４を粘着す
る（図５）。バッキング材は、裏面の支持材に接着剤層
を介して接着しているが、所定の発砲組成物を支持材上
に直接設けて湿式凝固法により一体化してもよい。

【００１０】バッキング材２は内部に微細な空隙６を有
するミクロ・ポーラス状に発砲した高分子体により構成
している。バッキング材２は水等の液体を含有させるこ
とにより、被研磨物嵌合部１０に嵌合させた被研磨物が
押圧された際に前記被研磨物を吸着保持し得る材質が好
ましい。型材１を構成する片１ａ、１ｂは、図１の様に
長い片１ａの先端が短い片１ｂの長辺終端に、短い片１
ｂの先端が長い片１ａの長辺終端に前記約１ｍｍの空隙
６をあけて直角となるように配置される。この実施例で
は、被研磨物保持具が反時計回りに回転することとして
おり、被研磨物には時計回りに回転しようとする力が働
くため、その左上角部は上向き、右上角部が右向き、右
下角部が下向き、左下角部が左向きに型材１を押圧す
る。従って、型材１を構成する片１ａ、１ｂに対する押
圧の負担を軽くするには、図１の様に、これらの押圧を
受ける部位がその終端部分にならない様に各片１ａ、１
ｂを配置してモーメントを小さくすることが望ましい。

【００１１】また、各片の形状を短冊状ではなく、図２
の様にＬ字状とした各片１ｃを組み合わせても、また、
その他の形状としてその形状に相応しい組み合わせ方を
工夫して型材１を構成してもよい。次に、上記被研磨物
保持具のより具体的な実施例を示す。 〔実施例〕既述のようにして得た被研磨物保持具におけ
る型材１の被研磨物嵌合部１０に、大きさ３６０ｍｍ×
３００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍの液晶ディスプレイ用の角
形ガラス板５を嵌合し、酸化セリウム混入砥液を介在さ
せて研磨した。

【００１２】研磨作業を１０分毎に中断して、被研磨物
嵌合部１０の各辺の平均寸法変化率を測定したところ、
図３のグラフＡに示される結果となった。前記各辺の平
均寸法変化率は研磨開始後２０００分の時点でも０．０
３％未満（実際の寸法変化量としては０．１ｍｍ未満
（（３６０ｍｍ＋３００ｍｍ）／２×０．０３％＝０．
０９９ｍｍ））に納まっており、角形ガラス板５のガタ
つきもほとんど生じておらず、これ以降も平均寸法変化
率はほとんど上昇しないものと考えられる。 〔比較例〕一方、従来の一枚の板に被研磨物嵌合穴１
０’を開設して形成した型材１’を用いた被研磨物保持
具において、同様の測定を行うと、図３のグラフＢの示
す結果となった。各辺の平均寸法変化率は時間の経過に
比例して上昇し、研磨開始後２０００分の時点で既に
０．１２％を越え、これは前記実施例の約５倍相当であ
り、型材１’とガラス板５の間に隙間ができガタつきが
生じている。また、これ以降もさらに上昇する傾向がう
かがえる。

【００１３】被研磨物嵌合穴１０’と被研磨物との間に
隙間が生じると、被研磨物嵌合穴１０’内で被研磨物が
遊動しうる状態となるので研磨精度が低下する。上記の
実施例の被研磨物保持具の型材１は、従来のような一枚
の板ではなく、各片間に約１ｍｍの空隙６を設けた複数
の片から構成されるため、各片が砥液を吸収して膨張し
ても、前記空隙６がこの膨張分を吸収しているのであ
る。

【００１４】

【発明の効果】この発明は上述のような構成を有するも
のであり、次の効果を有する。この発明の被研磨物保持
具は、その型材を構成する各片間に空隙が設けられてい
るので、各片が砥液を吸収して膨張しても空隙がその膨
張分を吸収するため、被研磨物嵌合部が広がらず、被研
磨物のガタつきを防止し、被研磨物を長時間しっかりと
保持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の被研磨物保持具の実施例の平面
図。

【図２】 この発明の被研磨物保持具の他の実施例の平
面図。

【図３】 この発明の被研磨物保持具の被研磨物嵌合部
と従来の被研磨物保持具の被研磨物嵌合穴の各辺の平均
寸法変化率を表すグラフ。

【図４】 従来の被研磨物保持具の平面図。

【図５】 被研磨物保持具の断面図。

【符号の説明】

１ 型材 １ａ、１ｂ、１ｃ 型材を構成する片 ２ バッキング材 ６ 空隙

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨物嵌合部を備え吸水膨張性を有す
   る型材と一定の弾性を有するバッキング材とを固着して
   成る被研磨物保持具に於いて、 前記型材は、複数の片から成りかつ各片間には前記膨張
   を吸収するための空隙が設けられていることを特徴とす
   る被研磨物保持具。