JP2002346917A - 板状体の研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
板状体の研磨装置及び研磨方法Info
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、テーブルに対するガラス板の接着保
持を無くしてガラス板の研磨効率を向上させるとともに
ガラス板を均一に研磨できるガラス板の研磨装置及び研
磨方法を提供する。 【解決手段】研磨定盤１２を定盤２６、２８、３０から
なる多重同心円定盤に構成する。定盤２６、２８、３０
の回転方向を所定の方向に設定する。そして、多重同心
円定盤１２からガラス板Ｇに働く回転力のＸ方向及びＹ
方向のベクトルの総和が零に近づくような周速を定盤２
６、２８、３０毎に設定する。
持を無くしてガラス板の研磨効率を向上させるとともに
ガラス板を均一に研磨できるガラス板の研磨装置及び研
磨方法を提供する。 【解決手段】研磨定盤１２を定盤２６、２８、３０から
なる多重同心円定盤に構成する。定盤２６、２８、３０
の回転方向を所定の方向に設定する。そして、多重同心
円定盤１２からガラス板Ｇに働く回転力のＸ方向及びＹ
方向のベクトルの総和が零に近づくような周速を定盤２
６、２８、３０毎に設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状体の研磨装置
及び研磨方法に係り、特に液晶ディスプレイ用ガラス基
板を製造するための研磨装置及び研磨方法に関する。
及び研磨方法に係り、特に液晶ディスプレイ用ガラス基
板を製造するための研磨装置及び研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板を極薄の液晶ディスプレイ用ガ
ラス基板に研磨する研磨装置は、ガラス板を保持するテ
ーブルと研磨定盤とを主として構成され、テーブルでガ
ラス板を保持し、この状態で研磨定盤にガラス板を押し
付けるとともにテーブル及び研磨定盤を回転させてガラ
ス板を研磨する。
ラス基板に研磨する研磨装置は、ガラス板を保持するテ
ーブルと研磨定盤とを主として構成され、テーブルでガ
ラス板を保持し、この状態で研磨定盤にガラス板を押し
付けるとともにテーブル及び研磨定盤を回転させてガラ
ス板を研磨する。
【０００３】ところで、このような研磨装置は、研磨定
盤の円周方向の周速が研磨定盤の回転中心から遠ざかる
に従って速くなるため、研磨定盤の回転中心とガラス板
の回転中心とを一致させた状態でガラス板を研磨した場
合には、ガラス板の研磨量も研磨定盤の回転中心から遠
ざかるに従って多くなるという現象が生じる。これは均
一研磨の観点から好ましくない。
盤の円周方向の周速が研磨定盤の回転中心から遠ざかる
に従って速くなるため、研磨定盤の回転中心とガラス板
の回転中心とを一致させた状態でガラス板を研磨した場
合には、ガラス板の研磨量も研磨定盤の回転中心から遠
ざかるに従って多くなるという現象が生じる。これは均
一研磨の観点から好ましくない。
【０００４】そこで、均一研磨を図るために、従来では
オスカー型と称される研磨装置がガラス板の研磨装置と
して採用されている。オスカー型研磨装置は、図７の如
くガラス板Ｇの回転中心Ｐ１（テーブル２の回転中心と
略一致）を、研磨定盤１の回転中心Ｐ２に対し、ｘ量偏
心した位置にセットし、そして、ガラス板Ｇを研磨定盤
１に対して揺動させてガラス板Ｇを研磨する。このよう
にガラス板Ｇを揺動させて偏心位置を変化させること
で、ガラス板の任意のポイントにおける研磨定盤の周速
が低速→高速→低速…というようにサインカーブの如く
変化するので、研磨量のばらつきを抑えることができ
る。
オスカー型と称される研磨装置がガラス板の研磨装置と
して採用されている。オスカー型研磨装置は、図７の如
くガラス板Ｇの回転中心Ｐ１（テーブル２の回転中心と
略一致）を、研磨定盤１の回転中心Ｐ２に対し、ｘ量偏
心した位置にセットし、そして、ガラス板Ｇを研磨定盤
１に対して揺動させてガラス板Ｇを研磨する。このよう
にガラス板Ｇを揺動させて偏心位置を変化させること
で、ガラス板の任意のポイントにおける研磨定盤の周速
が低速→高速→低速…というようにサインカーブの如く
変化するので、研磨量のばらつきを抑えることができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図７のように
偏心した状態で研磨すると、図８の如く研磨定盤１から
ガラス板Ｇに働く回転力（研磨摩擦力）の例えばＹ方向
の＋側ベクトルＡと−側ベクトルＢとの総和が−側のベ
クトルＣとして大きく存在するので、すなわち、研磨定
盤１からガラス板ＧにベクトルＣ方向の力が与えられる
ので、ガラス板Ｇが研磨定盤から飛び出すという虞があ
った。
偏心した状態で研磨すると、図８の如く研磨定盤１から
ガラス板Ｇに働く回転力（研磨摩擦力）の例えばＹ方向
の＋側ベクトルＡと−側ベクトルＢとの総和が−側のベ
クトルＣとして大きく存在するので、すなわち、研磨定
盤１からガラス板ＧにベクトルＣ方向の力が与えられる
ので、ガラス板Ｇが研磨定盤から飛び出すという虞があ
った。
【０００６】このため、偏心研磨する図７のオスカー型
研磨装置では、ガラス板Ｇをテーブル２に接着保持させ
て研磨せざるを得ず、よって、テーブル２に対するガラ
ス板Ｇの着脱に手間がかかり研磨効率が悪いという欠点
があった。また、ガラス板Ｇをテーブル２に接着保持す
ると、裏面転写の現象等でテーブルの接着保持面やガラ
ス板Ｇの裏面の凹凸がガラス板Ｇの表面に転写し、この
結果、ガラス板Ｇの研磨面に平坦度不良の欠点が生じる
という問題もあった。
研磨装置では、ガラス板Ｇをテーブル２に接着保持させ
て研磨せざるを得ず、よって、テーブル２に対するガラ
ス板Ｇの着脱に手間がかかり研磨効率が悪いという欠点
があった。また、ガラス板Ｇをテーブル２に接着保持す
ると、裏面転写の現象等でテーブルの接着保持面やガラ
ス板Ｇの裏面の凹凸がガラス板Ｇの表面に転写し、この
結果、ガラス板Ｇの研磨面に平坦度不良の欠点が生じる
という問題もあった。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、テーブルに対する板状体の接着保持を無くし
て板状体の研磨効率を向上させるとともに、板状体を均
一にかつ極めて良好な平坦度に研磨できる板状体の研磨
装置及び研磨方法を提供することを目的とする。
たもので、テーブルに対する板状体の接着保持を無くし
て板状体の研磨効率を向上させるとともに、板状体を均
一にかつ極めて良好な平坦度に研磨できる板状体の研磨
装置及び研磨方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、板状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつ
けた状態で研磨定盤を回転させて板状体を研磨する板状
体の研磨装置において、前記研磨定盤は、該研磨定盤の
回転軸を中心とする同心円状に分割形成された多重同心
円定盤に構成されることを特徴とする。
成するために、板状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつ
けた状態で研磨定盤を回転させて板状体を研磨する板状
体の研磨装置において、前記研磨定盤は、該研磨定盤の
回転軸を中心とする同心円状に分割形成された多重同心
円定盤に構成されることを特徴とする。
【０００９】本発明は、前記目的を達成するために、板
状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつけた状態で研磨定
盤を回転させて板状体を研磨する板状体の研磨方法にお
いて、前記研磨定盤を、該研磨定盤の回転軸を中心とす
る同心円状に分割形成された多重同心円定盤に構成し、
前記多重同心円定盤の各々の周速及び回転方向を制御手
段によって独立して制御し、各々の多重同心円定盤から
板状体に働く力を相殺した状態で板状体を研磨すること
を特徴とする。
状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつけた状態で研磨定
盤を回転させて板状体を研磨する板状体の研磨方法にお
いて、前記研磨定盤を、該研磨定盤の回転軸を中心とす
る同心円状に分割形成された多重同心円定盤に構成し、
前記多重同心円定盤の各々の周速及び回転方向を制御手
段によって独立して制御し、各々の多重同心円定盤から
板状体に働く力を相殺した状態で板状体を研磨すること
を特徴とする。
【００１０】請求項１に記載の発明によれば、研磨定盤
を多重同心円定盤に構成している。
を多重同心円定盤に構成している。
【００１１】請求項２、５に記載の発明によれば、制御
手段は、多重同心円定盤から板状体に働く力を相殺する
ように、多重同心円定盤の各定盤の周速及び回転方向を
各々制御する。これにより、研磨定盤から板状体に、板
状体の位置をずらすような余計な力は働かないので、板
状体をテーブルに接着保持することなく、板状体を研磨
定盤に対して位置決めした状態で研磨できる。
手段は、多重同心円定盤から板状体に働く力を相殺する
ように、多重同心円定盤の各定盤の周速及び回転方向を
各々制御する。これにより、研磨定盤から板状体に、板
状体の位置をずらすような余計な力は働かないので、板
状体をテーブルに接着保持することなく、板状体を研磨
定盤に対して位置決めした状態で研磨できる。
【００１２】請求項３に記載の発明は、前記テーブルの
前記板状体との対向面に、エア噴射孔を形成し、エア噴
射孔から噴射される圧縮エアによってテーブルと板状体
との隙間に圧縮エアの動圧を発生させ、この動圧で板状
体を研磨定盤に押し付けて研磨する。
前記板状体との対向面に、エア噴射孔を形成し、エア噴
射孔から噴射される圧縮エアによってテーブルと板状体
との隙間に圧縮エアの動圧を発生させ、この動圧で板状
体を研磨定盤に押し付けて研磨する。
【００１３】また、請求項４に記載の発明は、テーブル
の板状体との対向面で板状体の外周部に相当する位置に
エア吸引孔を形成し、このエア吸引孔を介して板状体の
外周部をテーブルに吸着するとともに、エア噴射孔から
噴射される圧縮エアによってテーブルと板状体との隙間
に圧縮エアの静圧を発生させ、この静圧で板状体を研磨
定盤に押し付けて研磨する。
の板状体との対向面で板状体の外周部に相当する位置に
エア吸引孔を形成し、このエア吸引孔を介して板状体の
外周部をテーブルに吸着するとともに、エア噴射孔から
噴射される圧縮エアによってテーブルと板状体との隙間
に圧縮エアの静圧を発生させ、この静圧で板状体を研磨
定盤に押し付けて研磨する。
【００１４】板状体をテーブルに接着保持して研磨する
従来の研磨装置は、裏面転写の現象等でテーブルの接着
保持面や板状体の研磨しない裏面の精度が板状体の研磨
精度に大きく影響を与える。このため、接着保持面を高
精度に加工し、さらに高価で維持管理に手間のかかる特
殊な保持パッドを使用して対処しているが、それでも得
られる研磨精度は不十分であった。これに対して、圧縮
エアの動圧又は静圧で板状体を研磨定盤に押し付ける本
願発明は、テーブルの加工精度は問わず、また高価で維
持管理に手間のかかる特殊な保持パッドを使用しないた
め、コストを削減でき、更に、板状体全面を裏面転写の
影響を受けずに研磨定盤に均一な圧力で押し付けること
ができるので、板状体を均一にかつ極めて良好な平坦度
に研磨できる。
従来の研磨装置は、裏面転写の現象等でテーブルの接着
保持面や板状体の研磨しない裏面の精度が板状体の研磨
精度に大きく影響を与える。このため、接着保持面を高
精度に加工し、さらに高価で維持管理に手間のかかる特
殊な保持パッドを使用して対処しているが、それでも得
られる研磨精度は不十分であった。これに対して、圧縮
エアの動圧又は静圧で板状体を研磨定盤に押し付ける本
願発明は、テーブルの加工精度は問わず、また高価で維
持管理に手間のかかる特殊な保持パッドを使用しないた
め、コストを削減でき、更に、板状体全面を裏面転写の
影響を受けずに研磨定盤に均一な圧力で押し付けること
ができるので、板状体を均一にかつ極めて良好な平坦度
に研磨できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る板状体の研磨装置及び研磨方法の好ましい実施の形
態を詳説する。
係る板状体の研磨装置及び研磨方法の好ましい実施の形
態を詳説する。
【００１６】図１に示す研磨装置１０は、所定厚さ（約
０．５〜０．７ｍｍ）のガラス板Ｇ（板状体に相当）
を、液晶ディスプレイ用ガラス基板に研磨する、オスカ
ー型研磨装置を改善した研磨装置である。この研磨装置
１０は、表面に研磨布等の研磨部材が取り付けられた研
磨定盤１２、及び研磨定盤１２にガラス板Ｇを押し付け
るテーブル１４を主として構成される。なお、この研磨
装置１０では、研磨量が例えば５μｍに設定されてい
る。
０．５〜０．７ｍｍ）のガラス板Ｇ（板状体に相当）
を、液晶ディスプレイ用ガラス基板に研磨する、オスカ
ー型研磨装置を改善した研磨装置である。この研磨装置
１０は、表面に研磨布等の研磨部材が取り付けられた研
磨定盤１２、及び研磨定盤１２にガラス板Ｇを押し付け
るテーブル１４を主として構成される。なお、この研磨
装置１０では、研磨量が例えば５μｍに設定されてい
る。
【００１７】テーブル１４は、円盤状に構成されるとと
もに、矩形状ガラス板Ｇ全体を研磨定盤１２に押し付け
るようにガラス板Ｇよりも若干大きく形成される。ま
た、テーブル１４は、その中心軸Ｐと同軸上にロッド１
６が連結される。このロッド１６は、不図示の昇降装置
に連結される。この昇降装置によってテーブル１４を下
降移動させることによって、ガラス板Ｇを研磨定盤１２
に押し付けることができ、所望の押圧力に設定できる。
なお、テーブル１６の形状は円盤に限定されず、矩形状
のものでもよい。
もに、矩形状ガラス板Ｇ全体を研磨定盤１２に押し付け
るようにガラス板Ｇよりも若干大きく形成される。ま
た、テーブル１４は、その中心軸Ｐと同軸上にロッド１
６が連結される。このロッド１６は、不図示の昇降装置
に連結される。この昇降装置によってテーブル１４を下
降移動させることによって、ガラス板Ｇを研磨定盤１２
に押し付けることができ、所望の押圧力に設定できる。
なお、テーブル１６の形状は円盤に限定されず、矩形状
のものでもよい。
【００１８】実施の形態のテーブル１４は、図２に示す
ようにガラス板Ｇとの対向面１５にエア噴射孔１８、１
８…が形成される。これらのエア噴射孔１８、１８…
は、回転軸１６からテーブル１４にかけて形成されたエ
ア通路２０に連通され、エア通路２０は回転軸１６に設
けられた不図示のロータリージョイントを介して圧縮エ
ア供給装置（不図示）に連結されている。よって、圧縮
エア供給装置からの圧縮エアが、エア通路を介してエア
噴射孔１８、１８…からガラス板Ｇに向けて噴射され
る。また、噴射された圧縮エアは、テーブル１４とガラ
ス板Ｇとの間の隙間２２から外部に放出される。これに
より、隙間２２には圧縮エアの動圧が発生する。したが
って、前記昇降装置からの押圧力は、圧縮エアの動圧を
介してガラス板Ｇに伝達される。
ようにガラス板Ｇとの対向面１５にエア噴射孔１８、１
８…が形成される。これらのエア噴射孔１８、１８…
は、回転軸１６からテーブル１４にかけて形成されたエ
ア通路２０に連通され、エア通路２０は回転軸１６に設
けられた不図示のロータリージョイントを介して圧縮エ
ア供給装置（不図示）に連結されている。よって、圧縮
エア供給装置からの圧縮エアが、エア通路を介してエア
噴射孔１８、１８…からガラス板Ｇに向けて噴射され
る。また、噴射された圧縮エアは、テーブル１４とガラ
ス板Ｇとの間の隙間２２から外部に放出される。これに
より、隙間２２には圧縮エアの動圧が発生する。したが
って、前記昇降装置からの押圧力は、圧縮エアの動圧を
介してガラス板Ｇに伝達される。
【００１９】また、隙間２２の気密構造の代わりに内周
形状をガラス板Ｇの外周形状に合わせたテンプレート
（オスカー型研磨装置で使用するキャリアのようなも
の）をテーブル１４に貼り付け、圧縮エアをガラス板Ｇ
の外周とテンプレート内周の隙間から逃がすことによ
り、エア噴射孔１８、１８…から噴射される圧縮エアの
動圧を発生させて、ガラス板Ｇを研磨定盤１２に押し付
ける構造を採用してもよい。
形状をガラス板Ｇの外周形状に合わせたテンプレート
（オスカー型研磨装置で使用するキャリアのようなも
の）をテーブル１４に貼り付け、圧縮エアをガラス板Ｇ
の外周とテンプレート内周の隙間から逃がすことによ
り、エア噴射孔１８、１８…から噴射される圧縮エアの
動圧を発生させて、ガラス板Ｇを研磨定盤１２に押し付
ける構造を採用してもよい。
【００２０】一方で、テーブル１４には、テーブル１４
とガラス板Ｇとの間に静圧を発生させる手段も有してい
る。
とガラス板Ｇとの間に静圧を発生させる手段も有してい
る。
【００２１】この静圧発生手段について説明すると、テ
ーブル１４の下部外周面には、ガラス板Ｇの外周部に該
当する位置にエア吸引孔２４、２４…が形成される。こ
れらのエア吸引孔２４、２４…は、回転軸１６からテー
ブル１４にかけて形成された不図示のエア通路に連通さ
れ、エア通路は回転軸１６に設けられた前記ロータリー
ジョイントを介してサクション装置（不図示）に連結さ
れている。よって、サクション装置を駆動してエア吸引
孔２４、２４…から外気を吸引すると、その吸引力によ
ってガラス板Ｇの外周部がテーブル１４に吸着保持され
る。この状態で、エア噴射孔１８、１８…からガラス板
Ｇに向けて圧縮エアを噴射すると、テーブル１４とガラ
ス板Ｇとの間の隙間２２が密閉状態なので、その隙間２
２に圧縮エアの静圧が発生する。したがって、前記昇降
装置からの押圧力は、圧縮エアの静圧を介してガラス板
Ｇに伝達される。
ーブル１４の下部外周面には、ガラス板Ｇの外周部に該
当する位置にエア吸引孔２４、２４…が形成される。こ
れらのエア吸引孔２４、２４…は、回転軸１６からテー
ブル１４にかけて形成された不図示のエア通路に連通さ
れ、エア通路は回転軸１６に設けられた前記ロータリー
ジョイントを介してサクション装置（不図示）に連結さ
れている。よって、サクション装置を駆動してエア吸引
孔２４、２４…から外気を吸引すると、その吸引力によ
ってガラス板Ｇの外周部がテーブル１４に吸着保持され
る。この状態で、エア噴射孔１８、１８…からガラス板
Ｇに向けて圧縮エアを噴射すると、テーブル１４とガラ
ス板Ｇとの間の隙間２２が密閉状態なので、その隙間２
２に圧縮エアの静圧が発生する。したがって、前記昇降
装置からの押圧力は、圧縮エアの静圧を介してガラス板
Ｇに伝達される。
【００２２】また、前記の如くガラス板Ｇをテーブル１
６で吸着保持すると、テーブル１４によるガラス板Ｇの
ハンドリングも容易になる。
６で吸着保持すると、テーブル１４によるガラス板Ｇの
ハンドリングも容易になる。
【００２３】ところで、研磨定盤１２は図１、図３、図
４に示すように、研磨定盤１２の回転軸Ｏを中心とする
３枚の定盤２６、２８、３０に分割された多重同心円定
盤である。
４に示すように、研磨定盤１２の回転軸Ｏを中心とする
３枚の定盤２６、２８、３０に分割された多重同心円定
盤である。
【００２４】定盤２６は、円盤状に形成されるととも
に、図４の如くその回転軸Ｏと同軸上に回転軸４０が固
定されている。回転軸４０の下端部にはギア４２が固定
され、ギア４２には無端状のタイミングベルト４４が噛
合されている。タイミングベルト４４は駆動側のギア４
６に噛合され、このギア４６には図３に示したモータ３
２の出力軸３３（図４参照）が連結されている。
に、図４の如くその回転軸Ｏと同軸上に回転軸４０が固
定されている。回転軸４０の下端部にはギア４２が固定
され、ギア４２には無端状のタイミングベルト４４が噛
合されている。タイミングベルト４４は駆動側のギア４
６に噛合され、このギア４６には図３に示したモータ３
２の出力軸３３（図４参照）が連結されている。
【００２５】定盤２８は、ドーナツ状に形成されるとと
もに、回転軸Ｏと同軸上に筒状の回転軸４８が固定され
ている。回転軸４８の下端部にはギア５０が固定され、
ギア５０には無端状のタイミングベルト５２が噛合され
ている。タイミングベルト５２は駆動側のギア５４に噛
合され、このギア５４には図３に示したモータ３４の出
力軸３５（図４参照）が連結されている。
もに、回転軸Ｏと同軸上に筒状の回転軸４８が固定され
ている。回転軸４８の下端部にはギア５０が固定され、
ギア５０には無端状のタイミングベルト５２が噛合され
ている。タイミングベルト５２は駆動側のギア５４に噛
合され、このギア５４には図３に示したモータ３４の出
力軸３５（図４参照）が連結されている。
【００２６】定盤３０は、リング状に形成されるととも
に、回転軸Ｏと同軸上に筒状の回転軸５６が固定されて
いる。回転軸５６の下端部にはギア５８が固定され、ギ
ア５８には無端状のタイミングベルト６０が噛合されて
いる。タイミングベルト６０は駆動側のギア６２に噛合
され、このギア６２には図３に示したモータ３６の出力
軸３７（図４参照）が連結されている。
に、回転軸Ｏと同軸上に筒状の回転軸５６が固定されて
いる。回転軸５６の下端部にはギア５８が固定され、ギ
ア５８には無端状のタイミングベルト６０が噛合されて
いる。タイミングベルト６０は駆動側のギア６２に噛合
され、このギア６２には図３に示したモータ３６の出力
軸３７（図４参照）が連結されている。
【００２７】各定盤２６、２８、３０は、モータ３２、
３４、３６によって個別に回転されるように、隣接する
回転軸４０、４８、５６がベアリング６４、６４…を介
して支持されている。なお、最外周の回転軸５６は本体
ケーシング６６にベアリング６８を介して支持されてい
る。
３４、３６によって個別に回転されるように、隣接する
回転軸４０、４８、５６がベアリング６４、６４…を介
して支持されている。なお、最外周の回転軸５６は本体
ケーシング６６にベアリング６８を介して支持されてい
る。
【００２８】回転軸４０には、スラリ供給路７０が回転
軸４０の軸方向に沿って形成される。スラリ供給路７０
の下端部は、不図示のロータリジョイントを介してスラ
リ供給装置に連結されている。したがって、スラリ供給
装置からのスラリが、スラリ供給路７０を介して、定盤
２６の表面に形成された噴射孔７２から定盤２６上に噴
射される。噴射されたスラリは、多重同心円定盤１２の
回転による遠心力で多重同心円定盤１２全体に供給され
る。なお、多重同心円定盤１２から放出されたスラリ
は、本体ケーシング６６の外周部に取り付けられた樋部
７４に集水された後、パイプ７６を介して不図示のスラ
リ回収タンクに溜められる。
軸４０の軸方向に沿って形成される。スラリ供給路７０
の下端部は、不図示のロータリジョイントを介してスラ
リ供給装置に連結されている。したがって、スラリ供給
装置からのスラリが、スラリ供給路７０を介して、定盤
２６の表面に形成された噴射孔７２から定盤２６上に噴
射される。噴射されたスラリは、多重同心円定盤１２の
回転による遠心力で多重同心円定盤１２全体に供給され
る。なお、多重同心円定盤１２から放出されたスラリ
は、本体ケーシング６６の外周部に取り付けられた樋部
７４に集水された後、パイプ７６を介して不図示のスラ
リ回収タンクに溜められる。
【００２９】定盤２６の外周部と定盤２８の内周部、及
び定盤２８の外周部と定盤３０の内周部は、すなわち、
定盤同士の境界部６８、７８は図５の如く迷路状となっ
ており、多重同心円定盤１２の回転中には、その迷路が
ラビリンスシールとして機能し、前記スラリがその境界
部７８に浸入するのが防止されている。一方で、運転停
止中において、境界部７８にスラリが浸入するのを防止
するためにエアパージ装置が設けられているエアパージ
装置は、回転軸４０に形成されたエア通路８０にエアを
供給する装置であり、エア通路８０は回転軸４０の上端
部近傍で９０°曲げて形成され、その噴射孔８２が定盤
２６と定盤２８との境界部６８の内側に形成されてい
る。これにより、噴射孔８２から噴射されたエアーは、
境界部６８を介して多重同心円定盤１２の外部に吹き出
されるので、定盤２６と定盤２８との境界部６８からの
スラリの浸入を防止できる。
び定盤２８の外周部と定盤３０の内周部は、すなわち、
定盤同士の境界部６８、７８は図５の如く迷路状となっ
ており、多重同心円定盤１２の回転中には、その迷路が
ラビリンスシールとして機能し、前記スラリがその境界
部７８に浸入するのが防止されている。一方で、運転停
止中において、境界部７８にスラリが浸入するのを防止
するためにエアパージ装置が設けられているエアパージ
装置は、回転軸４０に形成されたエア通路８０にエアを
供給する装置であり、エア通路８０は回転軸４０の上端
部近傍で９０°曲げて形成され、その噴射孔８２が定盤
２６と定盤２８との境界部６８の内側に形成されてい
る。これにより、噴射孔８２から噴射されたエアーは、
境界部６８を介して多重同心円定盤１２の外部に吹き出
されるので、定盤２６と定盤２８との境界部６８からの
スラリの浸入を防止できる。
【００３０】また、定盤２８には、噴射孔８２に対向し
た水平の貫通孔８４が形成され、貫通孔８４の噴射孔８
６が図５の如く定盤２８と定盤３０との境界部７８の内
側に形成されている。これにより、噴射孔８６から噴射
されたエアーは、境界部７８を介して多重同心円定盤１
２の外部に吹き出されるので、定盤２８と定盤３０との
境界部７８からのスラリの浸入を防止できる。
た水平の貫通孔８４が形成され、貫通孔８４の噴射孔８
６が図５の如く定盤２８と定盤３０との境界部７８の内
側に形成されている。これにより、噴射孔８６から噴射
されたエアーは、境界部７８を介して多重同心円定盤１
２の外部に吹き出されるので、定盤２８と定盤３０との
境界部７８からのスラリの浸入を防止できる。
【００３１】ところで、図３に示したモータ３２、３
４、３６による各定盤２６、２８、３０の周速及び回転
方向は、制御装置（制御手段に相当）３８によって制御
されている。これによって、ガラス板Ｇをテーブル１４
に接着保持することなく保持させる保持手段の機能を発
揮する。以下、その作用を説明する。
４、３６による各定盤２６、２８、３０の周速及び回転
方向は、制御装置（制御手段に相当）３８によって制御
されている。これによって、ガラス板Ｇをテーブル１４
に接着保持することなく保持させる保持手段の機能を発
揮する。以下、その作用を説明する。
【００３２】図６に示すように、定盤２６の回転方向を
矢印Ａの如く時計周り方向に設定し、定盤２８の回転方
向を矢印Ｂの如く反時計周り方向に設定し、そして、定
盤３０の回転方向を矢印Ｃの如く時計周り方向に設定す
る。
矢印Ａの如く時計周り方向に設定し、定盤２８の回転方
向を矢印Ｂの如く反時計周り方向に設定し、そして、定
盤３０の回転方向を矢印Ｃの如く時計周り方向に設定す
る。
【００３３】そして、定盤２６、２８、３０からガラス
板Ｇに働く回転力のＸ方向及びＹ方向のベクトル（図４
ではＹ方向のベクトルのみ図示）の総和が零に近づくよ
うな周速を設定する。すなわち、定盤２６からガラス板
Ｇに働く＋側のベクトルＤと−側ベクトルＥ、定盤２８
からガラス板Ｇに働く＋側のベクトルＦと−側ベクトル
Ｇ、定盤３０からガラス板Ｇに働く−側ベクトルＨの総
和が零に近づくように設定する。これにより、多重同心
円定盤１２からガラス板Ｇに働く力が相殺される。
板Ｇに働く回転力のＸ方向及びＹ方向のベクトル（図４
ではＹ方向のベクトルのみ図示）の総和が零に近づくよ
うな周速を設定する。すなわち、定盤２６からガラス板
Ｇに働く＋側のベクトルＤと−側ベクトルＥ、定盤２８
からガラス板Ｇに働く＋側のベクトルＦと−側ベクトル
Ｇ、定盤３０からガラス板Ｇに働く−側ベクトルＨの総
和が零に近づくように設定する。これにより、多重同心
円定盤１２からガラス板Ｇに働く力が相殺される。
【００３４】よって、多重同心円定盤１２からガラス板
Ｇに、ガラス板Ｇの位置をずらすような力は働かないの
で、ガラス板Ｇをテーブル１４に接着保持することな
く、ガラス板Ｇの周縁部の把持のみで、ガラス板Ｇを多
重同心円定盤１２に対して位置決めした状態で研磨でき
る。
Ｇに、ガラス板Ｇの位置をずらすような力は働かないの
で、ガラス板Ｇをテーブル１４に接着保持することな
く、ガラス板Ｇの周縁部の把持のみで、ガラス板Ｇを多
重同心円定盤１２に対して位置決めした状態で研磨でき
る。
【００３５】このような保持手段を設けることで、図２
に示したエア層２２を介しての研磨が初めて可能にな
る。この利点を説明すると、ガラス板をテーブルに接着
保持して研磨する従来の研磨装置は、裏面転写の現象等
でテーブルの接着保持面や板状体の研磨しない裏面の精
度が板状体の表面の研磨精度に大きく影響を与えるた
め、接着保持面を高精度に加工し、さらに高価で維持管
理に手間のかかる特殊な保持パッドを使用しても、効率
を犠牲にしないで得られる研磨精度（特に平坦度）には
限界があった。これに対して、圧縮エアの動圧又は静圧
でガラス板Ｇを多重同心円定盤１２に押し付ける実施の
形態の研磨装置１０は、テーブル１４の加工精度は問わ
ず、また高価で維持管理に手間のかかる特殊なパッドを
使用しないためコストを削減できる。また、ガラス板Ｇ
全面を裏面転写の影響を受けることなく多重同心円定盤
１２に均一な圧力で押し付けることが可能なので、ガラ
ス板Ｇを均一かつ極めて良好な平坦度に研磨できる。
に示したエア層２２を介しての研磨が初めて可能にな
る。この利点を説明すると、ガラス板をテーブルに接着
保持して研磨する従来の研磨装置は、裏面転写の現象等
でテーブルの接着保持面や板状体の研磨しない裏面の精
度が板状体の表面の研磨精度に大きく影響を与えるた
め、接着保持面を高精度に加工し、さらに高価で維持管
理に手間のかかる特殊な保持パッドを使用しても、効率
を犠牲にしないで得られる研磨精度（特に平坦度）には
限界があった。これに対して、圧縮エアの動圧又は静圧
でガラス板Ｇを多重同心円定盤１２に押し付ける実施の
形態の研磨装置１０は、テーブル１４の加工精度は問わ
ず、また高価で維持管理に手間のかかる特殊なパッドを
使用しないためコストを削減できる。また、ガラス板Ｇ
全面を裏面転写の影響を受けることなく多重同心円定盤
１２に均一な圧力で押し付けることが可能なので、ガラ
ス板Ｇを均一かつ極めて良好な平坦度に研磨できる。
【００３６】なお、ガラス板Ｇを均一に研磨する観点か
ら、内側の定盤２６、２８の周速を、外側の定盤３０の
周速と同等に設定することが重要である。また、実施の
形態の研磨装置１０では、定盤２６、２８、３０毎にモ
ータ３２、３４、３６を設けたが、１台のモータで定盤
２６、２８、３０を回転させてもよい。この場合、減速
機構の減速比を定盤毎に変えて定盤２６、２８、３０の
周速を同等に設定することが好ましい。
ら、内側の定盤２６、２８の周速を、外側の定盤３０の
周速と同等に設定することが重要である。また、実施の
形態の研磨装置１０では、定盤２６、２８、３０毎にモ
ータ３２、３４、３６を設けたが、１台のモータで定盤
２６、２８、３０を回転させてもよい。この場合、減速
機構の減速比を定盤毎に変えて定盤２６、２８、３０の
周速を同等に設定することが好ましい。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の研磨装置及び研磨方法によれば、研磨定盤を多重同心
円定盤に構成し、この多重同心円定盤の各々の周速及び
回転方向を制御することにより、板状体をテーブルに接
着保持することなく保持したので、テーブルに対する板
状体の接着保持が無くなり、板状体の研磨効率が向上す
る。
の研磨装置及び研磨方法によれば、研磨定盤を多重同心
円定盤に構成し、この多重同心円定盤の各々の周速及び
回転方向を制御することにより、板状体をテーブルに接
着保持することなく保持したので、テーブルに対する板
状体の接着保持が無くなり、板状体の研磨効率が向上す
る。
【００３８】また、本発明のテーブルによれば、板状体
との対向面に、エア噴射孔を形成し、エア噴射孔から噴
射される圧縮エアの動圧又は静圧で板状体を研磨定盤に
押し付けて研磨するので、テーブルの製造コストを削減
でき、また、板状体全面を研磨定盤に均一な圧力で押し
付けることができるので、板状体を均一に研磨できる。
との対向面に、エア噴射孔を形成し、エア噴射孔から噴
射される圧縮エアの動圧又は静圧で板状体を研磨定盤に
押し付けて研磨するので、テーブルの製造コストを削減
でき、また、板状体全面を研磨定盤に均一な圧力で押し
付けることができるので、板状体を均一に研磨できる。
【図１】実施の形態の研磨装置の全体構造を示す斜視図
【図２】図１に示した研磨装置のテーブルの断面を模式
的に示した図
的に示した図
【図３】図１に示した研磨装置の研磨定盤を模式的に示
した平面図
した平面図
【図４】図１に示した研磨装置の縦断面構造図
【図５】図４のＡ部の拡大断面図
【図６】図２に示した研磨定盤からガラス板に働く力を
ベクトルで説明した図
ベクトルで説明した図
【図７】従来の研磨装置の研磨定盤を模式的に示した平
面図
面図
【図８】図７に示した研磨定盤からガラス板に働く力を
ベクトルで説明した図
ベクトルで説明した図
Ｇ…ガラス板（板状体に相当）、１０…研磨装置（多重
同心円定盤に相当）、１４…テーブル、１８…エア噴射
孔、２６、２８、３０…定盤、３２、３４、３６…モー
タ、３８…制御装置（制御手段に相当）
同心円定盤に相当）、１４…テーブル、１８…エア噴射
孔、２６、２８、３０…定盤、３２、３４、３６…モー
タ、３８…制御装置（制御手段に相当）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｂ 41/06 Ｂ２４Ｂ 41/06 Ｌ Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００
Claims (5)
- 【請求項１】 板状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつ
けた状態で研磨定盤を回転させて板状体を研磨する板状
体の研磨装置において、 前記研磨定盤は、該研磨定盤の回転軸を中心とする同心
円状に分割形成された多重同心円定盤に構成されること
を特徴とする板状体の研磨装置。 - 【請求項２】 前記多重同心円定盤の各々の周速及び回
転方向が独立して制御可能とされ、各々の多重同心円定
盤から板状体に働く力を相殺する制御手段を設けた請求
項１に記載の板状体の研磨装置。 - 【請求項３】 前記テーブルの前記板状体との対向面に
はエア噴射孔が形成され、該エア噴射孔から噴射される
圧縮エアによってテーブルと板状体との隙間に圧縮エア
の動圧を発生させ、該動圧で板状体を前記研磨定盤に押
し付ける請求項１又は２に記載の板状体の研磨装置。 - 【請求項４】 前記テーブルの前記板状体との対向面で
板状体の内周部に相当する位置にはエア噴射孔が形成さ
れるとともに、前記対向面で板状体の外周部に相当する
位置にはエア吸引孔が形成され、該エア吸引孔を介して
板状体の外周部をテーブルに吸着するとともに、前記エ
ア噴射孔から噴射される圧縮エアによってテーブルと板
状体との隙間に圧縮エアの静圧を発生させ、該静圧で板
状体を前記研磨定盤に押し付ける請求項１又は２に記載
の板状体の研磨装置。 - 【請求項５】 板状体をテーブルと研磨定盤とで挟みつ
けた状態で研磨定盤を回転させて板状体を研磨する板状
体の研磨方法において、 前記研磨定盤を、該研磨定盤の回転軸を中心とする同心
円状に分割形成された多重同心円定盤に構成し、 前記多重同心円定盤の各々の周速及び回転方向を制御手
段によって独立して制御し、各々の多重同心円定盤から
板状体に働く力を相殺した状態で板状体を研磨すること
を特徴とする板状体の研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160914A JP2002346917A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 板状体の研磨装置及び研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160914A JP2002346917A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 板状体の研磨装置及び研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002346917A true JP2002346917A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=19004266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001160914A Pending JP2002346917A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 板状体の研磨装置及び研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002346917A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010149228A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の研磨方法 |
| JP2016049617A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-04-11 | 株式会社サンポー | ショットブラスト装置 |
-
2001
- 2001-05-29 JP JP2001160914A patent/JP2002346917A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010149228A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の研磨方法 |
| JP2016049617A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-04-11 | 株式会社サンポー | ショットブラスト装置 |
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