JP5444711B2 - 分析素子およびこれを用いた分析装置 - Google Patents
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Description
特許文献1では、光導波路の上部クラッド領域の代わりに被測定対象物を塗布し、被測定対象物の屈折率を利用して光導波路の一部として機能させる一方、被測定対象物に分布している光に対して吸収を生じさせ、結果として全反射吸収分光が行えるというものである。
この手法は、ある程度の屈折率を有する塗布可能な物質に対しては有効であるが、本発明が目指す微量ガスに対して測定を行うことを考えた場合、層方向の光分布に不均一が生じ、基板側への光放射が生じ易いなど、安定した伝搬状態が作り難い構造となっている。加えて、実際の光導波路の加工を想定した場合、コア層が直接上面に表出した構造となっており、製造工程において容易に入ると想定される微少なスクラッチ等によって過大な導波損失が生じてしまう、という課題も有している。
特許文献2には、全反射吸収分光法(ATR法)を利用した液体成分分析装置が記載されている。同文献の図1に記載されているように、この装置では、検出光が、検出光導波路の側面から入射され光導波路内を全反射しながら進行する。しかしながら、この方式では、エバネッセント光の吸収は光導波路界面で光が全反射する箇所でのみ生じるため、充分な測定感度を実現することが困難であった。また、入射角度が極めて限られているため、光の入射、及び出射角度を定めることが困難であるという課題もあった。さらに、特許文献2に示される全反射吸収分光法(ATR法)には、以下のような問題もある。
(1)光導波路の片側だけを使っているため、吸収量が少ない。
(2)試料の屈折率によって全反射角が大きく変わり、赤外発光ダイオード(LED)を反射させて斜めから光入射しているため、そもそも試料によっては全反射条件が得られない場合がある。
(3)試料の実効的屈折率変動の影響を受けやすいため、均一かつ同一厚で試料を試料室へ導入しないと、過剰損失(散乱損失など)が生じ、高感度測定に向かない。
以上のように、光導波路を用いる従来例では、試料セルとして用いることができる、微量の気体や液体を検出するのに適した光導波路構造ではなかった。
気体または液体の試料が導入される試料室と、
該試料室と隣接して設けられ、試料を検出する検出光が導波する検出光導波路と、
検出光導波路に対し、検出光導波路に沿う方向に進行する検出光を検出光導波路の端面から入射させる検出光入射部と、を備え、
上記検出光導波路は、試料室内に露出する露出面を有し、
検出光導波路は、試料室を挟んで並行して設けられた第一および第二の検出光導波路を含み、第一の検出光導波路および第二の検出光導波路の間に試料室が設けられ、
第一および第二の検出光導波路の光導波方向が同じ方向であり、
第一および第二の検出光導波路の備えるそれぞれの露出面が、試料室を挟んで対向しており、
第一の検出光導波路と第二の検出光導波路とを、双方の導波路の間で光結合が生じるように近接させたことを特徴とする分析素子が提供される。
これに対して本発明の分析素子は、検出光が導波する光導波路と、試料の収容されるセルとを分離した構造となっている。セル中に試料が存在すると、光導波路からしみ出たエバネッセント光の吸収が起こる結果、光導波路中を導波する光の強度が低下する。この強度低下を検出することで試料の定性、定量分析が行われる構成とすることができる。
本発明は、こうした分析方式を採用するため、小型でありながら、気体または液体またはこれらの混合物からなる試料を高精度で測定することが可能となる。さらに、第一の検出光導波路と第二の検出光導波路との間に試料室が設けられ、第一および第二の検出光導波路の光導波方向が同じ方向であり、第一および第二の検出光導波路の備えるそれぞれの前記露出面が、前記試料室を挟んで対向しており、第一の検出光導波路と第二の検出光導波路とを、双方の導波路の間で光結合が生じるように近接させているので、試料室の光強度分布を高め、より高精度の分析が可能となる。
また、光導波路は、たとえば半導体の積層構造やポリマー、無機材料等で構成することができるので、曲線光導波路と結合させる等の構成をとることにより導波路の方向を任意に変えることもできる。このため、限られた領域内に、導波路を高密度で集積し、長い光路長を確保することが可能となる。
さらに、本発明に係る素子は、検出光が、検出光導波路の端面から入射され検出光導波路に沿う方向に進行するように構成されているため、充分な測定感度を実現することができる。従来の全反射吸収分光法(ATR法)では、検出光が、検出光導波路の側面から入射され光導波路内を全反射しながら進行する。この方式では、エバネッセント光の吸収は光導波路界面で光が全反射する箇所でのみ生じるため、充分な測定感度を実現することが困難であった。また、入射角度が極めて限られているため、光の入射、及び出射角度を定めることが困難であるという課題もあった。本発明においては、こうした課題が解決され、充分な測定精度が実現される。
入射された上記検出光を、第一および第二の検出光導波路に分波する分波器と、
第一および第二の検出光導波路から出射された検出光を合波する合波器と、
合波された上記検出光を出射する検出光出射部と、を備えることを特徴とする分析素子が提供される。
基板と、
該基板上に、下部クラッド層、コア層、および上部クラッド層がこの順に積層された多層膜からなる第一および第二のメサ部と、
を含む光導波路構造を有し、
第一および第二のメサ部は並行して設けられ、
上記第一および第二の上記メサ部の各コア層が、それぞれ上記第一および第二の検出光導波路であって、上記第一および第二のメサ部に挟まれた空間が上記試料室をなし、
上記コア層の側面が上記試料室内に露出している、分析素子。
上記分波器と、上記第一および第二の検出光導波路と、上記合波器と、からなる第一および第二のユニットを備え、
第一および第二のユニットは光学的に結合されており、
第一のユニットに含まれる上記検出光導波路と、第二のユニットに含まれる上記検出光導波路とは、それぞれ光導波方向が異なるように構成してもよい。
ここで、第一および第二のユニット間が曲線光導波路で結合された構成を採用することもできる。さらに、第一のユニットに含まれる上記検出光導波路と、第二のユニットに含まれる上記検出光導波路とが、いずれも直線状に設けられ、それぞれ平行に設けられている構成としてもよい。
また、本発明によれば、
光源と、光源から光を入射する分析部と、分析部から出射する光を検出する光検出器とを含む分析装置であって、
上記分析部は、上記の分析素子を備え、
上記分析素子が備える分析部に入射する光の強度と、分析部から出射する光の強度との関係から、試料の分析を行うことを特徴とする分析装置
が提供される。
(A)上記分析素子を、ガスセルとして備えるガス分析装置。
(B)上記分析素子を、ガスセルとして備える呼気分析装置。
(C)上記(A)のガス分析装置と、コンピュータとが接続され、上記ガス分析装置により分析されたガス成分データを解析する構成を特徴とするガス分析システム。
(D)上記(A)に記載されたガス分析装置と、コンピュータとが、ネットワークに接続され、上記ガス分析装置により分析されたガス成分データに基づいて解析を行うことを特徴とするガス分析システム。
(E)上記(D)のガス分析システムが、携帯電話内に構築されていることを特徴とするガス分析システム。
(F)上記(B)の呼気分析装置と、コンピュータとが接続され、前記呼気分析装置により分析された呼気成分データに基づいて健康診断を行うことを特徴とする呼気分析診断システム。
(G)上記(B)の呼気分析装置と、コンピュータとが、ネットワークに接続され、前記呼気分析装置により分析された呼気成分データに基づいて健康診断を行うことを特徴とする呼気分析診断システム。
(H)上記(G)の呼気分析診断システムが、携帯電話内に構築されていることを特徴とする呼気分析診断システム。
上記(A)〜(H)において、光導波路型セルは、光導波路として作用する。その一方で、積極的に気相中に光が分布するよう作用し、加えて、外部から容易に微量ガス導入が許容されるよう作用する。
第1の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1に本実施形態に係る分析素子10の概略構成を示す。
この分析素子10は、気体の試料が導入される試料室11と、該試料室11と隣接して設けられ、試料を検出する検出光が導波する検出光導波路12a、bと、検出光導波路12a、bに対し、検出光導波路12a、bに沿う方向に進行する検出光を検出光導波路12a、bの端面から入射させる検出光入射部13と、を備え、検出光導波路12a、bは、試料室11内に露出する露出面14を有する。
また、分析素子10は、検出光導波路12a、bの備えるそれぞれの露出面14が、試料室11を挟んで対向するように設けられている。
試料室11は、検出光導波路12a、bの側壁部によって挟まれた領域をいい、これらの側壁部によって区画されている。
検出光導波路12a、bを光が導波するとき、露出面14から検出光導波路12a、bを導波する光の一部がしみ出し、試料室中に一定の光が分布する。試料室11内に導入された気体は、このしみ出る光を吸収する。この試料室11内の気体の光吸収の程度に応じて、検出光導波路中を導波する光の強度が低下する。この光強度低下分を検出することで試料の分析を行うことができる。
試料室11に吸光係数が既知の気体を導入し、検出光入射部13から、あらかじめ、所定の強度の光を入射させる。光は、検出光導波路12a、bに沿って進行し、検出光出射部16から出射する。この出射した光の強度を光検出器により検出する。検出光導波路12a、bに入射した光の強度と、検出光導波路12a、bから出射した光の強度の関係から、気体の吸光度を求め、気体の濃度を算出する。
本実施形態の分析素子によれば、検出光が導波する検出光導波路と、試料セルとが分離しているため、光導波路の平面レイアウトの自由度が向上する結果、長い光路長を確保することが可能となる。したがって、本発明の分析素子を用いることにより、分析装置を小型化しかつ微量な試料を精密に測定することができる。
これに対して本発明の分析素子は、検出光が導波する光導波路と、試料の収容されるセルとを分離した構造となっている。セル中に試料が存在すると、光導波路からしみ出たエバネッセント光の吸収が起こる結果、光導波路中を導波する光の強度が低下する。この強度低下を検出することで試料の定性、定量分析が行われる構成とすることができる。
本発明は、こうした分析方式を採用するため、小型でありながら、気体または液体またはこれらの混合物からなる試料を高精度で測定することが可能となる。
また、光導波路は、たとえば半導体の積層構造やポリマー、無機材料等で構成することができるので、曲線光導波路と結合させる等の構成をとることにより導波路の方向を任意に変えることもできる。このため、限られた領域内に、導波路を高密度で集積し、長い光路長を確保することが可能となる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態について図2を参照して詳細に説明する。
光導波路型セル801は、Si基板層201と、Si基板層201上に、SiO2第一クラッド層202、Siコア層203、およびSiO2第二クラッド層204がこの順に積層された多層膜からなる2つのハイメサ205と、を含む光導波路構造を有し、ハイメサ205はそれぞれ並行して設けられ、2つのSiコア層203が、それぞれ検出光導波路であって、2つのハイメサ205に挟まれた空間が試料室11をなし、Siコア層203の側面が試料室11内に露出している。
各ユニット間は曲線光導波路104で結合されている。
また、各ユニットに含まれる検出光導波路は、いずれも直線状に設けられ、それぞれ平行に設けられている。
また、各ユニットは、いずれも、試料室を挟んで並行して設けられた検出光導波路を備える。
また図2のA−A'で示される、ガス検知用光導波路103の断面構造は、図3に示されるように2本のハイメサ光導波路が、導波路間隔900nm程度に近接した構造となっており、それぞれの光導波路幅は幅900nm程度となっている。曲線光導波路104は、曲率半径を5μm程度としている。また、図2(a)のB−B'で示される、入射光導波路101と、光合分岐導波路102と、曲線光導波路104の断面構造は、図4で示されるようにハイメサ構造としている。図3および図4で示される光導波路の層構造としては、Si基板層201上に、SiO2第一クラッド層202、Siコア層203、SiO2第二クラッド層204が積層されたハイメサ構造205となっている。SiO2第一クラッド層202層厚は1μm程度、Siコア層203層厚は0.3μm程度、SiO2第二クラッド層204層厚は1μm程度となっている。使用波長帯は通信波長帯(1.55μm帯)近傍としている。
図5に示した結果から、各ハイメサ光導波路の幅をx、導波路間隙をdとすると、気相中の光強度分布を高める観点から、
x/10≦d≦2x
とすることが好ましく、
x/2≦d≦3x/2
とするのがより好ましいことがわかる。
なお、図5の例では、光強度分布が最大になるのはx=dのときであった。
以上のように、本実施形態に係る素子では気相中に所定の強度の光が分布するので、微量ガス成分に対して透過吸収分光が可能となる。本実施形態によれば、曲線光導波路104を介してガス検知用光導波路103が複数個集積される構成をとることにより、ガス検知用光導波路103の総光路長としては、およそ1cm角程度のサイズ内に約10mもの光路長が実現でき、従来のガスセルに比較して1桁以上長い光路長でありながら、素子サイズとしては1桁以上小型のセルが実現できることになる。
はじめに、通常のSOI基板501上に、熱CVD法を用いてSiO2膜502を堆積する(図6(a))。次に、ステッパ(縮小投影露光)によるフォトリソグラフィ法を用いて導波路形状にマスク503を形成する(図6(b))。このマスクを用いて、誘導結合プラズマ(ICP)法によりエッチングを施し、ハイメサ601を形成する(図7(a))。この後、ハイメサ601直上のマスク503を有機溶剤およびアッシング法により除去する(図7(b))。この後、光導波路型セル801を切り出し、端面を研磨して、素子の製造を終了する。
第3の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
このガス分析装置は、波長可変光源701と、波長可変光源701から光を入射する光導波路型ガスセル702と、光導波路型ガスセル702から出射する光を検出するフォトディテクター703とを含む。光導波路型ガスセル702は、光導波路型セル801を備え、光導波型セル801を備える光導波路型ガスセル702に入射する光の強度と、光導波路型ガスセル702から出射する光の強度との関係から、試料の分析を行う。
このガス分析装置は、波長可変光源701と、光導波路型ガスセル702と、フォトディテクター703とが光ファイバー704によって接続された構成となっている。
光導波路型セル801は、筐体800の内部に収容されており、その構造は、前述の第2の実施形態にて説明した光導波路型セルと同等のものとなっている。
本実施形態において、筐体800全体がガスセルとして機能するので、その内部に配置される検出光導波路の周囲に気体試料が導入されることとなる。このため、並行する検出光導波路に挟まれた領域のみならず、これら検出光導波路の外側に隣接する領域も試料室として機能する。すなわち、検出光導波路の外側に隣接する領域においても、試料の光吸収が起こる。
また本実施形態では、十分な赤外吸収を得るために、第2の実施形態で説明したガス検知用導波路103の長さを30mm、曲線光導波路104の曲率半径を5μmと設定し、約3cm角の光導波路型セル内に、およそ102mもの総光導波路長が実現されたものとしている。
ガス導入ポート803からガスを吸引し、筐体800を測定すべきガスで満たす。波長可変光源701から光強度I0を取得する。また、フォトディテクター703で検出される光強度をIとする。I0とIの関係から、ガスの吸光度を得ることができる。また、ガスの吸光係数が既知であれば、ガスの濃度を求めることができる。
コンピュータは、物質固有のデータを有する。例えば、モル吸光係数などである。したがって、ガス分析装置によって、波長可変光源701から出射する光の強度と、フォトディテクター703により検出された光の強度に基づいて、コンピュータにより、ガス中に含まれる微量の成分の濃度を解析することができる。また、波長可変光源701から出射する光の強度と、フォトディテクター703により検出された光の強度から検量線を作成して、吸光係数を算出することもできる。さらに、得られたデータを保存して、経時的な変化も調べてもよい。このように、本実施形態におけるガス分析装置とコンピュータを接続することにより、分析内容を解析することの出来るガス分析システムが構築できる。更にネットワークに接続すれば、測定場所と遠隔された場所から分析結果を送信することができ、この分析結果によりコンピュータにて解析し、評価することができる。また、本実施形態では、光導波路型セル801を筐体800内に配置しているが、この代わりに、携帯電話内に、波長可変光源と、光導波路型セルと、フォトディテクターを集積配置することももちろん出来る。さらに、このガス分析システムにおいて、分析ガスの代わりに呼気を導入すれば、呼気中に含まれる各成分の濃度を調べることができる。呼気中に含まれる気体の濃度は体調や病気によって変化するものである。したがって、このガス分析システムを利用することにより、健康状態を調べたり、病気を診断したりすることも可能となる。
第4の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
HR膜は、異なった材料からなる薄膜を多層に積層することにより実現する。HR膜の性能にとって重要なことは、光吸収が小さいことと、表面粗さが小さいことである。
そこで、光吸収が小さい材料を用いることにより、HR膜の光吸収を小さくすることができる。材料は、使用する波長によって適宜設計変更されるものであり、たとえばSiO2や五酸化タンタル等の酸化物、フッ化ランタン等のフッ化物を用いることができる。本実施形態においては、SiO2を好適に用いることができる。
また、表面粗さを小さくするためには、成膜手法を検討するとよい。使用する基板を超平滑面に研磨し、その面に超平滑な膜を積層することにより、高反射機能を有する膜を作製することができる。たとえば、スパッタ法を用いて作製した膜は非常にスムーズな面が得られる。
第5の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
ガス導入ポート803から試料となる気体を吸引し、筐体800を測定すべきガスで満たす。波長可変光源701から光強度I0を取得する。また、フォトディテクター703で検出される光強度をIとする。I0とIの関係から、試料の吸光度を得ることができ、試料の吸光係数が既知であれば、試料の濃度を求めることができる。
第6の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
第7の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
この光導波路型セル801においては、全光量の30%が導波路間に分布する。セルの総光導波路長は5mとした。また、試料は、濃度の異なるアンモニア含有空気(5、10、20ppm)および濃度の異なるメタン含有空気(250、500、1000ppm)を設定した。ブランクはアンモニアおよびメタンを何れも含まない空気とした。入射光の波長は、試料をアンモニア含有空気とした場合は1.5μmとし、試料をメタン含有空気とした場合は1.65μmとした。ブランクの出射光強度と、各試料に光吸収させた際の出射光強度をそれぞれ調べ、ブランクの出射光強度に対する試料測定時の出射光強度を光強度低下率として算出した。
表1に、アンモニア含有空気を試料とした場合の結果を示す。また、表2に、メタン含有空気を試料とした場合の結果を示す。
光ファイバーを用いて入射光導波路101に波長可変光源を接続し、出射光導波路105にフォトディテクターを接続した。試料として、メタン含有空気を用意し、光導波路型セル801に導入した。波長可変光源から波長1.55μmの光を入射光導波路101から入射し、出射光導波路105から出射する光をフォトディテクターで検出した。ブランクはメタンを含有しない通常の空気とし、試料とブランクを用いたときの出射光の強度をそれぞれ測定した。
その結果、メタン含有空気を用いたときは、ブランクに対して出射光の光強度が低下することが確認された。
光ファイバーを用いて入射光導波路101に波長可変光源を接続し、出射光導波路105にフォトディテクターを接続した。試料として、メタン含有空気を用意し、光導波路型セル801に導入した。波長可変光源から波長1.55μmの光を入射光導波路101から入射し、出射光導波路105から出射する光をフォトディテクターで検出した。ブランクはメタンを含有しない通常の空気とし、試料とブランクを用いたときの出射光の強度をそれぞれ測定した。
フォトディテクターで検出される光の強度は、経時変化によって、指数関数的に減少することが確認された。メタン含有空気を用いたときは、ブランクに比し、光強度の低下が早く光の減衰係数が大きいことが確認された。
ここで、第一および第二の検出光導波路の幅を等しくすることが好ましいが、この場合、第一および第二の検出光導波路の幅をx、第1および第二の検出光導波路の間隙をdとして、
x/10≦d≦2x
とすることが好ましく、
x/2≦d≦3x/2
とすることがより好ましい。
こうすることにより、両導波路間にある試料室に分布する光の強度を効果的に高めることができ、この結果、測定対象となる試料を高精度に分析することが可能となる。
試料室光分布率=(試料室に分布する光強度)/(伝搬光強度)
試料室光分布率が大きいほど伝搬光に生じる赤外吸収は大きくなり、より短い光路長でセンシングが可能となる。
Claims (23)
- 気体または液体の試料が導入される試料室と、
該試料室と隣接して設けられ、前記試料を検出する検出光が導波する検出光導波路と、
前記検出光導波路に対し、前記検出光導波路に沿う方向に進行する検出光を前記検出光導波路の端面から入射させる検出光入射部と、を備え、
前記検出光導波路は、前記試料室内に露出する露出面を有し、
前記検出光導波路は、前記試料室を挟んで並行して設けられた第一および第二の検出光導波路を含み、第一の検出光導波路および第二の検出光導波路の間に前記試料室が設けられ、
前記第一および第二の検出光導波路の光導波方向が同じ方向であり、
前記第一および第二の検出光導波路の備えるそれぞれの前記露出面が、前記試料室を挟んで対向しており、
前記第一の検出光導波路と前記第二の検出光導波路とを、双方の導波路の間で光結合が生じるように近接させたことを特徴とする分析素子。 - 前記検出光導波路は、所定の方向に延在して設けられたことを特徴とする請求項1記載の分析素子。
- 前記露出面が、前記検出光導波路に沿って帯状に設けられた請求項1記載の分析素子。
- 前記第一および第二の検出光導波路の間隔は、前記第一および第二の検出光導波路の幅の和以下であることを特徴とする請求項1記載の分析素子。
- 下記式で定義される試料室光分布率
試料室光分布率=(試料室に分布する光強度)/(伝搬光強度)
が10%以上となるように、第一および第二の検出光導波路の間隔が調整されたことを特徴とする請求項1記載の分析素子。 - 前記第一および第二の検出光導波路が、互いに平行となるように設けられた請求項1記載の分析素子。
- 入射された前記検出光を、前記第一および第二の検出光導波路に分波する分波器と、
前記第一および第二の検出光導波路から出射された検出光を合波する合波器と、
合波された前記検出光を出射する検出光出射部と、を備えることを特徴とする請求項1記載の分析素子。 - 基板と、
該基板上に、下部クラッド層、コア層、および上部クラッド層がこの順に積層された多層膜からなる第一および第二のメサ部と、を含む光導波路構造を有し、
第一および第二のメサ部は並行して設けられ、
前記第一および第二のメサ部の各コア層が、それぞれ前記第一および第二の検出光導波路であって、前記第一および第二のメサ部に挟まれた空間が前記試料室をなし、
前記コア層の側面が前記試料室内に露出していることを特徴とする請求項1または7記載の分析素子。 - 前記分波器と、前記第一および第二の検出光導波路と、前記合波器と、からなる第一および第二のユニットを備え、
前記第一および第二のユニットは光学的に結合されており、第一のユニットに含まれる前記検出光導波路と、第二のユニットに含まれる前記検出光導波路とは、それぞれ光導波方向が異なることを特徴とする請求項7記載の分析素子。 - 前記第一および第二のユニット間が曲線光導波路で結合されたことを特徴とする請求項9記載の分析素子。
- 第一のユニットに含まれる前記検出光導波路と、第二のユニットに含まれる前記検出光導波路とが、いずれも直線状に設けられ、それぞれ平行に設けられていることを特徴とする請求項9記載の分析素子。
- 前記検出光入射部および前記検出光出射部は、ミラーを備え、それぞれのミラーにおいて、前記検出光の一部が反射するとともに残りが透過するように構成されたことを特徴とする請求項7記載の分析素子。
- 前記検出光出射部と結合する光増幅器をさらに有することを特徴とする請求項12記載の分析素子。
- 光源と、前記光源から光を入射する分析部と、前記分析部から出射する光を検出する光検出器とを含む分析装置であって、
前記分析部は、請求項1に記載の分析素子を備え、
前記分析素子を備える分析部に入射する光の強度と、分析部から出射する光の強度との関係から、前記試料の分析を行うことを特徴とする分析装置。 - 前記分析部は、呼気を収集して前記試料室に導く呼気収集部をさらに備えることを特徴とする請求項14記載の分析装置。
- 請求項1から13いずれかに記載された分析素子を、ガスセルとして備えることを特徴とするガス分析装置。
- 請求項1から13いずれかに記載された分析素子を、ガスセルとして備えることを特徴とする呼気分析装置。
- 請求項16に記載されたガス分析装置と、コンピュータとが接続され、前記ガス分析装置により分析されたガス成分データを解析する構成を特徴とするガス分析システム。
- 請求項16に記載されたガス分析装置と、コンピュータとが、ネットワークに接続され、前記ガス分析装置により分析されたガス成分データに基づいて解析を行うことを特徴とするガス分析システム。
- 請求項19に記載されたガス分析システムが、携帯電話内に構築されていることを特徴とするガス分析システム。
- 請求項17に記載された呼気分析装置と、コンピュータとが接続され、前記呼気分析装置により分析された呼気成分データに基づいて健康診断を行うことを特徴とする呼気分析診断システム。
- 請求項17に記載された呼気分析装置と、コンピュータとが、ネットワークに接続され、前記呼気分析装置により分析された呼気成分データに基づいて健康診断を行うことを特徴とする呼気分析診断システム。
- 請求項22に記載された呼気分析診断システムが、携帯電話内に構築されていることを特徴とする呼気分析診断システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5096975B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2012-12-12 | 大阪瓦斯株式会社 | ガス検知器 |
JP2010026746A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Sharp Corp | 端末装置、サービスサーバ及びシステム |
JP2010185726A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 吸光分析装置 |
JP5187344B2 (ja) | 2010-04-28 | 2013-04-24 | 株式会社デンソー | 光導波路型センサ |
JP5846639B2 (ja) * | 2012-06-01 | 2016-01-20 | 日本電信電話株式会社 | 分析素子 |
FR2998677B1 (fr) * | 2012-11-27 | 2016-01-29 | Commissariat Energie Atomique | Guide d'onde optique a nano-canal et capteur optofluidique utilisant un tel guide d'onde optique |
FR3010788B1 (fr) * | 2013-09-18 | 2015-10-16 | Olythe | Cuve de mesure pour appareil de mesure spectrometrie |
DE102015100845A1 (de) * | 2015-01-21 | 2016-07-21 | Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover | Optisches Sensorsystem |
US20200378892A1 (en) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | Si-Ware Systems | Integrated device for fluid analysis |
US11925456B2 (en) | 2020-04-29 | 2024-03-12 | Hyperspectral Corp. | Systems and methods for screening asymptomatic virus emitters |
US20230121237A1 (en) * | 2021-10-14 | 2023-04-20 | HyperSpectral APD, LLC | Systems and methods for screening nutrients or chemical compositions using diversifiers for noise reduction |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148187A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路型spr現象計測チップ、その製造方法およびspr現象計測方法 |
JP2003279474A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Yazaki Corp | ガスセンサ |
JP2005218439A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Dnaform:Kk | 核酸検出用チップ |
JP2005321244A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shimadzu Corp | 光学的測定装置 |
JP2006038816A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Nara Institute Of Science & Technology | マイクロアレイ読取装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05322747A (ja) * | 1992-03-16 | 1993-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 全反射吸収測定装置 |
JPH06281568A (ja) | 1993-03-30 | 1994-10-07 | Hitachi Ltd | 液体成分分析装置 |
CA2358566A1 (en) | 1999-01-08 | 2000-07-13 | Charles S. Vann | Fiber array for contacting chemical species and methods for using and making same |
US20060252058A1 (en) | 2004-03-18 | 2006-11-09 | Kabushiki Kaisha Dnaform | Chip for detection of nucleic acid |
JP4220421B2 (ja) | 2004-03-23 | 2009-02-04 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光源 |
JP4237665B2 (ja) | 2004-04-07 | 2009-03-11 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路型センサ及びその製造方法 |
JP4565061B2 (ja) | 2004-10-06 | 2010-10-20 | 地方独立行政法人山口県産業技術センター | 光分岐回路及びセンサ |
JP4290128B2 (ja) | 2005-02-25 | 2009-07-01 | キヤノン株式会社 | センサ |
US7951583B2 (en) * | 2006-03-10 | 2011-05-31 | Plc Diagnostics, Inc. | Optical scanning system |
US8288157B2 (en) * | 2007-09-12 | 2012-10-16 | Plc Diagnostics, Inc. | Waveguide-based optical scanning systems |
JP5757535B2 (ja) * | 2009-04-29 | 2015-07-29 | ピーエルシー ダイアグノスティクス, インコーポレイテッド | 走査光源による導波管に基づく検出システム |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148187A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路型spr現象計測チップ、その製造方法およびspr現象計測方法 |
JP2003279474A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Yazaki Corp | ガスセンサ |
JP2005218439A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Dnaform:Kk | 核酸検出用チップ |
JP2005321244A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shimadzu Corp | 光学的測定装置 |
JP2006038816A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Nara Institute Of Science & Technology | マイクロアレイ読取装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11435282B2 (en) | 2020-08-19 | 2022-09-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gas analysis device |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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DE112007000644T5 (de) | 2009-02-05 |
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