JP5443409B2 - 硫黄系化合物の管理方法及びその管理システム - Google Patents
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Description
(実施例1)
1.試験条件および試験方法
表1に示す組成の無電解ニッケルめっき液を準備した。なお、硫黄系化合物に、チオ尿素を用い、この添加割合を1倍(30μmol/L)〜10倍までとした無電解ニッケルめっき液を準備して、それぞれの無電解ニッケルめっき液に対して以下の測定を行った。
LSVの結果を図2に示すように、200〜300mV付近に硫黄濃度変化に伴うピークの変化が見られた。これは、無電解ニッケルめっき液中の硫黄系化合物が、作用電極上で酸化もしくは吸着することにより、対極と作用電極との間に電流が流れたことに起因すると考えられる。相関性を確認するため、300,310mVにおける電流密度−溶液中硫黄化合物量との関係を図3に示した。その結果、直線性を確認したが、相関係数は0.99程度であった。
実施例1の無電解ニッケルめっき液に対して硫黄系化合物の濃度をより低くした無電解ニッケルめっき液を準備し、クーロメトリーにより、測定を行った。具体的には、参照電極に対する作用電極の電位を一定電位(電解電位+310mV)で一定時間(1分間)保持し、作用電極の回転数を1000rpmの条件にした。そして、一定時間保持したときの電流を積算することにより対極と作用電極との間に流れる電荷量を、硫黄系化合物の添加割合毎に算出した。この結果を、図4に示す。
Claims (4)
- 無電解ニッケルめっき浴内の無電解ニッケルめっき液に添加された硫黄系化合物の濃度を測定し、前記無電解ニッケルめっき液中の前記硫黄系化合物の濃度を管理する濃度管理方法であって、
前記無電解ニッケルめっき液に接触する少なくとも表面が、金、銀、または白金からなる作用電極を用いると共に、参照電極に対する前記作用電極の電位に応じて、対極と前記作用電極との間に流れる電流を測定する工程と、
該測定した電流に基づいて、前記無電解ニッケルめっき液中の硫黄系化合物の濃度を算出する工程と、
該算出された硫黄系化合物の濃度に基づいて、前記無電解ニッケルめっき浴内の硫黄系化合物の濃度が所定の濃度になるように、前記無電解ニッケルめっき浴内の硫黄系化合物の濃度を調整する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする硫黄系化合物の濃度管理方法。 - 前記電流を測定する工程において、前記作用電極の電位を一定電位で一定時間保持し、
前記硫黄系化合物の濃度を算出する工程において、前記一定時間保持したときの電流値を積算することにより前記対極と前記作用電極との間に流れる電荷量を算出し、該電荷量に基づいて前記無電解ニッケルめっき液中の硫黄系化合物の濃度を算出することを特徴とする請求項1に記載の硫黄系化合物の濃度管理方法。 - 無電解ニッケルめっき浴内の無電解ニッケルめっき液に添加された硫黄系化合物の濃度を測定し、該硫黄系化合物の濃度を管理する濃度管理システムであって、
無電解ニッケルめっき液に接触する少なくとも表面が、金、銀、または白金からなる作用電極と、対極と、参照電極と、該参照電極に対する前記作用電極の電位を制御する電圧制御装置と、前記対極と前記作用電極との間に流れる電流を測定する電流計と、を備え、前記無電解ニッケルめっき液中の前記参照電極に対する前記作用電極の電位に応じて、前記作用電極と前記対極との間に流れる電流を前記電流計で測定する電気化学測定装置と、
該電気化学測定装置から出力された前記電流計の電流に基づいて、前記無電解ニッケルめっき液中の硫黄系化合物の濃度を算出し、該算出された無電解ニッケルめっき液の硫黄系化合物の濃度に基づいて、前記無電解ニッケルめっき浴内の硫黄系化合物の濃度が所定の濃度になるように、前記無電解ニッケルめっき浴内の硫黄系化合物の濃度を調整する制御信号を出力する制御装置と、
該制御装置からの制御信号に基づいて前記無電解ニッケルめっき浴内の硫黄系化合物の濃度を調整する調整装置と、を少なくとも備えることを特徴とする硫黄系化合物の濃度管理システム。 - 前記電気化学測定装置は、前記作用電極の電位を一定電位で一定時間保持するものであり、
前記制御装置は、前記一定時間保持したときの電流値を積算することにより前記対極と前記作用電極との間に流れる電荷量を算出し、該電荷量に基づいて前記無電解ニッケルめっき液中の硫黄系化合物の濃度を算出することを特徴とする請求項3に記載の硫黄系化合物の濃度管理システム。
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