JP4934002B2 - めっき方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態を適用しためっき装置20を示す概略構成図である。同図に示すめっき装置20は、少なくとも2種類以上の金属イオンを含んだめっき液Qを満たしためっき槽(以下「内槽」という)21と、めっき液Qに浸漬される被めっき部材(以下「半導体ウェーハ」という)23及びアノード25と、半導体ウェーハ23を保持するウェーハ治具27と、前記半導体ウェーハ23の被めっき面23a近傍部分のめっき液Qを攪拌するめっき液攪拌手段(以下「パドル」という)29と、半導体ウェーハ23とアノード25間に電流を流す電流供給装置31と、前記内槽21を収納する外槽33と、ポンプ35及びフィルタ37を接続して外槽33内のめっき液Qを内槽21に循環させる配管39とを具備して構成されている。以下各構成部品について説明する。
図2はストレートバンプを示す要部拡大概略断面図である。ストレートバンプは、めっき金属1を有機材料からなるレジスト2に設けた開口部2aに埋め込むことによって形成される。レジスト2の下には、導電性を有する金属からなるシード層3と、前記めっき金属1やシード層3の下層への拡散を防止する金属からなるバリア層4とが形成されている。
(1)めっき液Qの攪拌速度の制御による方法
図3に示すようにパドル29によるめっき液Qの攪拌速度(この実施形態ではパドル29の往復移動速度(往復移動回数/分))をめっき時間の経過と共に減少させていく方法である。即ちめっき液の攪拌について、攪拌が小さいと開口部2aの上部におけるめっき液Qの交換効率が下がって膜中銀濃度が下がる。これを利用して図3に示すように、めっき始めからパドル29の往復移動回数を徐々に低下していけば、めっき金属1の中間層6、上層5においてもめっき液交換効率が下層7に比べて高くならず均一化され、膜中銀濃度(膜組成)が均一化される。
図4に示すように印加する電流の電流密度をめっき時間の経過と共に上昇させていく方法である。即ちめっき液Qに印加する電流値(電流密度)について、電流値(電流密度)が大きいと膜中銀濃度は下がる。図5は電位に対する銀と錫の析出電流密度と実際の電流密度の関係、及び電位に対する析出銀濃度の関係を示す図である。同図に示すように、銀の析出(限界)電流密度が錫の析出(限界)電流密度より低いため、高電流密度では銀濃度が低くなる。これを利用して図4に示すように、めっき始めから電流密度を徐々に上げていけば、めっき金属1の中間層6、上層5においてめっき液交換効率が高くなって析出する膜中銀濃度が上昇しようとする分、電流密度を上げて析出する膜中銀濃度を下げ、ストレートバンプの厚み方向の膜組成を均一化するのである。
図6はマッシュルームバンプを示す要部拡大概略断面図である。マッシュルームバンプも、めっき金属11を有機材料からなるレジスト12に設けた開口部12aに埋め込むことによって形成される。レジスト12の下には、導電性を有する金属からなるシード層13と、前記めっき金属11やシード層13の下層への拡散を防止する金属からなるバリア層14とが形成されている。さらにめっき金属11はレジスト12の上面を越えた後に放射状に成長してなるマッシュルーム部15を有している。
(a)めっき液Qの攪拌速度の制御による方法
図7に示すようにパドル29によるめっき液Qの攪拌速度(この実施形態ではパドル29の往復移動速度(往復移動回数/分))を、所定のめっき時間t1まで時間の経過と共に減少させた後、さらに所定のめっき時間まで時間の経過と共にさらに急速に減少させていく方法である。所定のめっき時間t1はめっき金属11がレジスト12を超える時間(即ちマッシュルーム部15が形成され始める時間)である。即ち前述のように、めっき液の攪拌について、攪拌が小さいと開口部12aの上部におけるめっき液Qの交換効率が下がって膜中銀濃度が下がる。これを利用して図7に示すように、めっき始めからパドル29の往復移動回数を徐々に低下していけば、めっき金属11の中間層17、上層16においてもめっき液交換効率が下層18に比べて高くならず均一化され、膜中銀濃度(膜組成)が均一化される。さらにめっき金属11がレジスト12を超えると、めっき液Qの交換効率がさらに高くなるので、その分より急速にめっき液の攪拌速度を減少させて行き、これによってマッシュルーム部15の膜中銀濃度も、下層18、中層17、上層16の膜中銀濃度と均一化するようにした。
図8に示すように印加する電流の電流密度を、所定のめっき時間t2まで時間の経過と共に上昇させた後、さらに所定のめっき時間まで時間の経過と共にさらに急速に上昇させる。所定のめっき時間t2はめっき金属11がレジスト12を超える時間(即ちマッシュルーム部15が形成され始める時間)である。即ち前述のように、めっき液Qに印加する電流値(電流密度)が大きくなると膜中銀濃度が下がる。これを利用して図8に示すように、めっき始めから電流密度を徐々に上げていけば、めっき金属11の中間層17、上層16においてめっき液交換効率が高くなって膜中銀濃度が上昇しようとする分、電流密度を上げて膜中銀濃度を下げ、厚み方向の膜組成を均一化する。さらにめっき金属11がレジスト12を超えると、めっき液交換効率がさらに高くなって膜中銀濃度をさらに上昇しようとするので、その分さらに電流密度を上げて膜中銀濃度をさらに下げ、厚み方向の膜組成を均一化する。
21 めっき槽
23 半導体ウェーハ(被めっき部材)
23a 被めっき面
25 アノード
27 ウェーハ治具
29 パドル(めっき液攪拌手段)
31 電流供給装置
41 パドル駆動機構(攪拌制御手段)
Q めっき液
Claims (2)
- 少なくとも2種類以上の金属イオンを含むめっき液中にレジスト開口部を有する被めっき部材を浸漬し、被めっき部材に電流を印加することで前記レジスト開口部に合金めっきによりバンプを形成するめっき方法において、
前記印加する電流の電流密度をめっき時間の経過と伴に上昇させるとともに、前記被めっき部材に対するめっき液の攪拌速度をめっき時間の経過と伴に減少させてめっきを行うことを特徴とするめっき方法。 - 前記金属イオンは、錫イオンと銀イオンであるか、あるいは錫イオンと銅イオンであることを特徴とする請求項1に記載のめっき方法。
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