JP5442930B2 - 放射強度の均等性を改善した放射線源を用いた対象物の検査システムおよび方法 - Google Patents
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Claims (16)
- 対象物を検査するためのシステムであって:
前記対象物を移動させる搬送器を備え;
放射線源をさらに備え、前記放射線源が;
ハウジングと;
荷電粒子ビームを経路に沿って発するための、前記ハウジングによって支持された荷電粒子のビーム源と;
経路に沿って前記ハウジングにより支持されたターゲット材料を用いて構成されたターゲットとを備え、前記荷電粒子ビームが前記ターゲットに衝突することで放射線が生成され;さらに、
前記荷電粒子ビームがターゲットに衝突する前に、偏向されなかった荷電粒子ビームに対する正の第1方向において、前記荷電粒子ビームの少なくとも一部を偏向させるべく少なくとも1つの第1磁場を選択的に生成するとともに、前記偏向されなかった荷電粒子ビームに対する前記第1方向とは反対の負の第2方向において、少なくとも1つの第2磁場を提供して前記荷電粒子ビームの一部を偏向するために、前記放射線源とターゲットの間で前記ハウジングによって支持された電磁石をさらに備えており;
前記電磁石に、
前記荷電粒子ビームを前記正の第1方向に偏向させる前記少なくとも1つの第1磁場を生成して前記荷電粒子ビームを第1位置において前記ターゲットに衝突させ、第1放射ビームを生成させて前記対象物の第1部位を照射する動作、
前記電磁石に磁場を生成させず、前記荷電粒子ビームを前記第1位置とは異なる第2位置において同一の前記ターゲットに衝突させて前記第1放射ビームとは異なる第2放射ビームを生成させ、前記第1部位とは少なくとも部分的に異なる前記対象物の第2部位を照射する動作、および
前記第1磁場とは異なる少なくとも1つの第2磁場を生成して前記負の第2方向において前記荷電粒子ビームを偏向し、前記荷電粒子ビームが前記第1および第2位置とは異なる第3位置において同一の前記ターゲットに衝突するようにして、前記第1および第2放射ビームとは異なる少なくとも1つの第3放射ビームを生成し、前記第1および第2部位とは少なくとも部分的に異なる前記対象物の第3部位を照射する動作、
を繰り返し実施させるように構成され、前記少なくとも1つの第1放射ビーム、前記第2放射ビーム、および前記少なくとも1つの第3放射ビームを繰り返し生成する制御装置をさらに備え、
前記システムがさらに、前記対象物との相互作用した後の放射線を受けるための検出器を備え;
前記放射線源により繰り返し出射される前記少なくとも1つの第1、第2、および第3放射ビームが前記搬送器によって検査のために前記システムにわたって移動される対象物の全面を照射するように、前記放射線源が前記搬送器に対して位置決めされているシステム。 - 前記電磁石が:
間に前記荷電粒子ビームを通過させるための第1、第2の対向する極面を画定するコアを備え、前記コアが、内部に磁場を誘発できる材料を備えており;
前記コアの少なくとも一部分に巻着したコイルをさらに備え;
前記コイルと接続した電流源をさらに備え;さらに、
前記制御装置は前記電流源と接続されている、請求項1記載のシステム。 - 前記コアが磁気材料を備えている、請求項2記載のシステム。
- 前記制御装置は、
前記電磁石の電流方向を第1電流方向に選択して、前記荷電粒子ビームを第1軸に沿って前記第1方向に偏向させる磁場を前記電磁石に生成させ、
前記電磁石の電流を生じさせないことにより前記荷電粒子ビームが前記第1軸とは異なる第2軸に沿って偏向することなく前記ターゲットに向かって進むことができるようにし、
前記第1電流方向とは反対の第2電流方向に前記電磁石の電流方向を選択して、前記荷電粒子ビームを前記第1および第2軸とは異なる第3軸に沿って前記第2方向に偏向させる磁場を前記電磁石に生成させる
請求項2記載のシステム。 - 前記ターゲットがタングステンである、請求項1に記載のシステム。
- 前記ターゲットが、前記荷電粒子ビームの偏向の方向に沿った細長形状を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記ハウジングが、前記荷電粒子ビームの加速方向に沿った縦軸を有し;さらに、
前記第1および第3放射ビームが前記縦軸を横切るそれぞれの中心光線に沿って発せられ、
前記第2放射ビームは前記縦軸と平行に並んだ中心光線に沿って発せられる、
請求項1に記載のシステム。 - 前記放射線源が前記搬送器の第1サイドに設けられており、前記システムがさらに:
前記対象物を通過して伝播した放射線を検出するために、前記搬送器の第2サイドに設けられた検出器を備えている、請求項1記載のシステム。 - 前記電磁石が、動作中に時間に対して変化する磁場を提供する、請求項1記載のシステム。
- 前記放射線が、一様な強度で前記対象物を照射する、請求項1記載のシステム。
- 前記荷電粒子源が電子源であり;さらに、
前記ターゲット材料が、電子によって衝突されるとX線放射を生成する、請求項1記載のシステム。 - 放射線源によって対象物を検査する方法であって:
対象物を移動させるステップ、
前記対象物を移動させる間に前記対象物の全面を放射線スキャンする繰り返しステップ、
を有し、前記繰り返しステップにおいて、
第1荷電粒子ビームをターゲットに向けるステップ;
前記第1荷電粒子ビームを第1方向に偏向させて、前記ターゲットにおける前記第1荷電粒子ビームの少なくとも一部の衝突の角度を変更して第1位置に向けさせるステップ;
前記ターゲットの前記第1位置に偏向された前記第1荷電粒子ビームを衝突させて第1放射ビームを発生させるステップ;
前記対象物の第1部位を前記第1放射ビームで照射するステップ;
前記第1放射ビームの出射後に前記対象物と相互作用する第1放射線を検出するステップ;
第2荷電粒子ビームを、偏向させずに同一の前記ターゲットへ向けさせるステップ;
前記偏向されていない第2荷電粒子ビームを前記第1位置とは異なる第2位置において前記ターゲットに衝突させ、前記第1放射ビームとは異なる第2放射ビームを生成するステップ;
前記第2放射ビームで前記第1部位とは少なくとも部分的に異なる前記対象物の第2部位を照射するステップ;
前記第2放射ビームの出射後に前記対象物と相互作用する第2放射線を検出するステップ;
第3荷電粒子ビームを同一の前記ターゲットに向けるステップ;
前記第3荷電粒子ビームを前記第1方向とは反対の第2方向に偏向させ、前記第3荷電粒子ビームの少なくとも一部が前記ターゲットに衝突する角度を変化させるステップ;
前記偏向された第3荷電粒子ビームを前記第1および第2位置とは異なる第3位置において同一の前記ターゲットに衝突させ、第3放射ビームを生成するステップ;
前記第1および第2部位とは少なくとも部分的に異なる前記対象物の第3部位を前記第3放射ビームで照射するステップ;および
前記第3放射ビームの出射後に前記対象物と相互作用する第3放射線を検出するステップ;
を繰り返す方法。 - 時間に対して変化する磁場を提供することにより前記第1および第3荷電粒子ビームを偏向させる、請求項12記載の方法。
- 前記第1、第2、および第3荷電粒子ビームは第1、第2、および第3電子ビームを含み、前記方法が、
前記ターゲットに前記第1、第2、および第3電子ビームをそれぞれ衝突させてX線放射を生成することにより、前記第1、第2、および第3放射ビームを生成する、請求項12記載の方法。 - 第1軸を備えた放射源によって前記第1放射ビームおよび前記第2放射ビームを生成するステップ;
前記第1、第2、および第3荷電粒子ビームを、前記第1軸に沿った方向で前記放射線源のハウジングにわたって加速するステップ;
前記第1放射ビームによって、前記対象物を、前記第1軸を横切る第2軸に沿って照射するステップ;
前記第1軸に沿って前記対象物を前記第2放射ビームで照射するステップ;
前記第1および第2軸とは異なり前記第1軸を横切る第3軸に沿って前記第3放射ビームで前記対象物を照射するステップ;
を有することを特徴とする請求項12記載の方法。 - 第1磁場を生成して前記第1荷電粒子ビームを偏向させるステップ、
前記第1磁場を生成せずに、前記第1荷電粒子ビームを偏向することなく前記第2荷電粒子ビームを前記第2位置において前記ターゲットに衝突させるステップ、
前記第1磁場とは異なる第2磁場を生成して前記第3荷電粒子ビームを偏向するステップ、
を繰り返すことを特徴とする請求項12記載の方法。
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