JP2006526268A - 放射強度の均等性を改善した放射線源および放射線走査システム - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 207
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 61
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical group [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 3
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 claims 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- XYBVCSGYZBLFGC-UHFFFAOYSA-N [W].[Cd] Chemical compound [W].[Cd] XYBVCSGYZBLFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 2
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 aluminum-nickel-cobalt Chemical compound 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011824 nuclear material Substances 0.000 description 1
- 239000002907 paramagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/06—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring the deformation in a solid
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V5/00—Prospecting or detecting by the use of ionising radiation, e.g. of natural or induced radioactivity
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- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/08—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means
- G21K1/093—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means by magnetic means
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/153—Spot position control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Geophysics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
Claims (52)
- 放射線源であり:
ハウジングを備え;
荷電粒子のビームを加速するための、前記ハウジング内に設けられた第1加速チャンバをさらに備え、前記第1チャンバが出力部を有し;
前記ハウジング内に設けられた第2チャンバをさらに備え、前記第2チャンバが、加速した荷電粒子のビームを受けるための、第1チャンバの出力部と整列した入力部を有し、
第2チャンバ内に支持されているターゲット材料をさらに備え、この場合、加速された荷電粒子によるターゲット材料の衝突により放射線が生成され;さらに、
ターゲット材料への衝突前に加速した電荷粒子のビームを偏向するべく磁場を提供するために、第2チャンバ付近に、ハウジングによって支持されている磁石をさらに備えている放射線源。 - 動作中に、前記磁石が時間に対して変化する磁場を提供する、請求項1に記載の放射線源。
- 前記磁石が電磁石である、請求項2に記載の放射線源。
- 前記電磁石が:
第1、第2の対向する極面を画定するコアを備え、前記コアが、内部に磁場を誘発できる材料を備えており;
前記コアの少なくとも一部分に巻着したコイルをさらに備え;
前記コイルと接続した電流源をさらに備え;さらに、
前記電流源と接続した制御装置をさらに備えている、請求項3に記載の放射線源。 - 前記コアが磁気材料を備えている、請求項4に記載の放射線源。
- 前記制御装置が、ビームを第1軸に沿って偏向させるべく磁場を提供するために、少なくとも第1方向に向かう電流の流れを選択的に生じさせる、請求項4に記載の放射線源。
- 前記制御装置が、ビームを第2軸に沿って偏向させるべく第2磁場を生成するために、第1方向と反対の第2方向に向かう電流の流れを選択的に生じさせる、請求項6に記載の放射線源。
- 前記制御装置が、ビームが第3軸に沿って偏向されずに移動できるようにするために、電流の流れを選択的に生じさせない、請求項7に記載の放射線源。
- 制御装置が、第1方向への電流の流れを生じるべく、第2方向への電流の流れを生じるべく、また電流の流れを生じないように繰り返し循環するようプログラムされている、請求項8に記載の放射線源。
- ビームが第2軸に沿って偏向されずに移動できるようにするため、前記制御装置が電流の流れを選択的に生じさせない、請求項6に記載の放射線源。
- 磁石が定常磁場を提供する、請求項1に記載の放射線源。
- 前記磁石が対向する極部分を有し;
前記荷電粒子のビームが対向する極部分間の経路に沿って移動し;
前記荷電粒子のビームが或る幅を有し;さらに、
前記極部分が、ビーム部分が、極部分間に提供された磁場を通る、ビーム幅にわたって異なる経路長を有するように構成されている、請求項11に記載の放射線源。 - 前記極部分が不整形形状を有する、請求項12に記載の放射線源。
- 前記極部分が三角形である、請求項13に記載の放射線源。
- 前記極部分が、異なる距離で離間している、請求項14に記載の放射線源。
- 前記磁石が永久磁石である、請求項11に記載の放射線源。
- 前記磁石が電磁石である、請求項11に記載の放射線源。
- 前記第1チャンバと第2チャンバが整列した縦軸を有し、この軸に沿ってビームが移動し;さらに、
ターゲットが前記縦軸と整列している、請求項1に記載の放射線源。 - 第1チャンバ内へビームを発するために、ハウジングによって支持された荷電粒子のビームの源を備えている、請求項1に記載の放射線源。
- 荷電粒子の源が電子のビームの源であり;さらに、
ビームがターゲットに衝突することで、X線放射が生成される、請求項19に記載の放射線源。 - ターゲットがタングステンである、請求項1に記載の放射線源。
- ターゲットが、ビームの偏向の方向に沿った細長形状を有する、請求項1に記載の放射線源。
- 前記ハウジングが縦軸を有し;さらに、
縦軸を横切る中心光線に沿って放射線が発せられる、請求項1に記載の放射線源。 - 直線加速器であり:
ハウジングを備え;
前記ハウジング内に配置された加速チャンバをさらに備え、前記チャンバが出力部と、前記出力部と整列した第1縦軸とを有し;
前記第1縦軸に沿って電子を発するための、前記ハウジングによって支持された電子源をさらに備え;
第2縦軸を有する通路を具備した管をさらに備え、前記管が、チャンバの出力部に接続した入力部を有する第1端部を設け、第2縦軸が第1縦軸と整列し;
前記管内に、電子経路に沿って支持されたターゲット材料をさらに備え、前記ターゲットに電子が衝突することで、X線放射が生成され;さらに、
前記ハウジング内に支持された磁石をさらに備え、前記磁石が、ターゲットに衝突する前に電子を偏向させるべく、管を通る磁場を提供するために、管と対面した対向する極部分を有する、直線加速装置。 - 動作中に、前記磁石が、時間に対して変化する磁場を提供する、請求項24に記載の直線加速器。
- 動作中に、磁石が定常磁場を提供する、請求項24に記載の直線加速器。
- 前記ターゲット材料が耐熱性材料を備えている、請求項25に記載の直線加速器。
- 放射線源であり:
ハウジングを備え;
ビームを経路に沿って発するための、前記ハウジングによって支持された荷電粒子ビーム源をさらに備え;
前記ビームの経路に沿ってハウジングにより支持されたターゲット材料をさらに備え、ビームがターゲットに衝突することで放射線が生成され;さらに、
前記源とターゲットの間で前記ハウジングによって支持された磁石をさらに備えている放射線源。 - 前記磁石が定常磁場を提供する、請求項28に記載の放射線源。
- 前記磁場がビーム幅にわたって空間的に変化する、請求項29に記載の放射線源。
- 前記磁石が、時間に対して変化する磁場を提供する、請求項28に記載の放射線源。
- 対象物を検査するためのシステムであって:
前記システムにかけて前記対象物を移動させる搬送システムを備え;
放射線源をさらに備え、前記放射線源が;
ハウジングと;
ビームを経路に沿って発するための、前記ハウジングによって支持された荷電粒子のビーム源と;
経路に沿って前記ハウジングにより支持されたターゲット材料とを備え、ビームがターゲットに衝突することで放射線が生成され;さらに、
ターゲットに衝突する前にビームを偏向させるべく磁場を提供するために、前記源とターゲットの間で前記ハウジングによって支持された磁石をさらに備えており;
前記システムがさらに、対象物との相互作用した後の放射線を受けるための検出器を備え;
ここで:
検査のために、放射線源から発せられた放射線が搬送システム上で対象物を照射するように、放射線源が前記搬送システムに対して位置決めされているシステム。 - 前記放射線源が搬送システムの第1サイドに設けられており、前記システムがさらに:
前記対象物を通過して伝播した放射線を検出するために、前記搬送システムの第2サイドに設けられた検出器を備えている、請求項32に記載のシステム。 - 前記磁石が、動作中に時間に対して変化する磁場を提供する、請求項32に記載のシステム。
- 前記磁石が定常磁場を提供する、請求項32に記載のシステム。
- 前記磁石が、ビーム幅にわたって空間的に変化する磁場を提供する、請求項32に記載のシステム。
- 前記放射線が、実質的に一様な強度で対象物を照射する、請求項36に記載のシステム。
- 前記荷電粒子源が電子源であり;さらに、
前記ターゲット材料が、電子によって衝突されるとX線放射を生成する、請求項32に記載のシステム。 - 前記放射線源が第1縦軸を有し;さらに、
中心光線に沿って対象物を照射するために、前記放射線が、縦軸を横切る中心光線に沿って発せられる、請求項32に記載のシステム。 - 放射線を生成する方法であり:
荷電粒子のビームをターゲットに向け;
前記ビームを偏向し;さらに、
前記ターゲットに前記偏向されたビームを衝突させる方法。 - 磁場を提供することで前記ビームを偏向させる、請求項40に記載の方法。
- 時間に対して変化する磁場を提供することにより前記ビームを偏向させる、請求項40に記載の方法。
- 定常磁場を提供することにより前記ビームを偏向させる、請求項40に記載の方法。
- ビームに、ビームの幅に沿って空間的に変化する磁場を通過させることで前記ビームを偏向させる、請求項43に記載の方法。
- 前記電子ビームを軸に沿って偏向させ;
前記軸に沿って前記ターゲットに衝突させ;さらに、
前記軸に沿って中心光線を有する放射を生成する、請求項40に記載の方法。 - 前記ビームがターゲットに衝突するとX線放射を生成する、請求項40に記載の方法。
- 放射線源によって対象物の内容を検査する方法であり、前記方法が:
荷電粒子のビームを、経路に沿ってターゲットに向け;
前記ビームを偏向させ;
前記ターゲットに偏向されたビームを衝突させて放射線を提供し;
前記対象物を前記放射線で照射し;さらに、
前記対象物と相互作用する放射線を検出する方法。 - 時間に対して変化する磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項47に記載の方法。
- 定常磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項47に記載の方法。
- 前記ビーム幅にわたって空間的に変化する磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項49に記載の方法。
- 前記ビームが電子ビームであり、前記方法が、
前記ターゲットに電子ビームを衝突させてX線放射を生成することにより、磁場を提供する、請求項47に記載の方法。 - 第1縦軸を備えた源から前記放射を発し;さらに、
前記放射によって、前記対象物を、前記第1軸を横切る第2軸に沿って照射する、請求項47に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/423,770 | 2003-04-25 | ||
US10/423,770 US6954515B2 (en) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | Radiation sources and radiation scanning systems with improved uniformity of radiation intensity |
PCT/US2004/012511 WO2004097337A1 (en) | 2003-04-25 | 2004-04-23 | Radiation sources and radiation scanning systems with improved uniformity of radiation intensity |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006526268A true JP2006526268A (ja) | 2006-11-16 |
JP2006526268A5 JP2006526268A5 (ja) | 2007-06-14 |
JP5442930B2 JP5442930B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=33299200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006513240A Expired - Lifetime JP5442930B2 (ja) | 2003-04-25 | 2004-04-23 | 放射強度の均等性を改善した放射線源を用いた対象物の検査システムおよび方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6954515B2 (ja) |
EP (1) | EP1623186B1 (ja) |
JP (1) | JP5442930B2 (ja) |
KR (1) | KR20060013514A (ja) |
CN (1) | CN1777788A (ja) |
AU (1) | AU2004235327A1 (ja) |
IL (1) | IL171490A (ja) |
TW (1) | TWI325489B (ja) |
WO (1) | WO2004097337A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070423 |
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|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100922 |
|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120307 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130329 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130405 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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