JP5441286B1 - マップ照合装置、照合方法及び照合プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
前記合成画像データは、前記ウェハを囲む円の内側から外側へ向かう方向の力によって伸張したダイシングシートに基づく画像データとしてもよい。
各チップのピックアップに対応させて撮像した画像データに基づいて、前記合成画像データを生成する合成画像生成部を有してもよい。
ウェハにおけるチップの良品及びその位置と、ウェハにおけるチップの不良品及びその位置との少なくとも一方に関する情報を含むマップデータに基づいて、前記マップ画像データを作成するマップ画像作成部を有してもよい。
前記補正部は、前記合成画像データを補正してもよい。
前記表示データは、ダイシングシート上のチップについて、前記合成画像データと前記マップ画像データとの一致又は不一致の箇所を区別表示した画像データであってもよい。
前記表示データは、ダイシングシート上のピックアップすべきでないチップが、ピックアップされた箇所を区別表示した画像データであってもよい。
前記複数の領域のうちのいずれかの領域の変位方向及び変位量を、他の領域の変位方向及び変位量に基づいて演算してもよい。
前記判定部による判定結果を解析することにより、ピックアップ結果の傾向を判定する解析部を有してもよい。
(1)「マップデータ」は、チップの良品及びその位置と、チップの不良品及びその位置との少なくとも一方に関する情報である。なお、リファレンスチップやリング上のチップなどの製品ではないチップ情報も含む。このマップデータには、リファレンスマップデータと、装置管理マップデータが含まれる。
(2)「リファレンスマップデータ」は、前工程において、あらかじめ行われたプローブ検査の結果である良品、不良品の分布(ウェハにおける位置)に関するデータである。
(3)「装置管理マップデータ」は、「リファレンスマップデータ」に対して、外観検査の結果である良品、不良品の分布に関するデータを合わせ、さらに、各チップをピックアップしたか否かに関するデータを合わせたデータである。
(4)「マップ画像データ」は、マップ画像を画面表示させるためのデータである。「マップ画像」は、ダイシングシート上のピックアップすべきでないチップの画像である。「マップ画像データ」は、マップ照合装置の内部において、装置管理マップデータに基づいて生成され、合成画像データとの照合処理に用いられる。
(5)「合成画像データ」は、合成画像を画面表示させるためのデータである。「合成画像」は、ピックアップ後のダイシングシート上のチップの画像である。「合成画像データ」は、撮像部により撮像された画像データを合成することにより生成され、マップ画像データとの照合処理に用いられる。
まず、本実施形態に適用されるピックアップ装置1の一例を、図1及び図2を参照して説明する。なお、本実施形態は、種々の態様の機構に適用可能であり、以下に示す機構はその一例に過ぎないため、説明は簡略化する。
次に、本発明の実施形態として、上記のピックアップ装置1に接続されるマップ照合装置100の構成を、図3、図4のブロック図、図5及び図6の説明図を参照して説明する。マップ照合装置100は、機構制御部101、検査部102、合成画像生成部103、マップ画像作成部104、照合部105、表示データ生成部106、記憶部107を有する。機構制御部101は、上記のピックアップ装置1における各機構の動作を制御する処理部である。
往復時ともに画像を取り込む方法である。
このため、以下のチップSは、ピックアップすべき対象から除外される。
(a)プローブ検査のみで不良品と判定されたチップS
(b)外観検査のみで不良品と判定されたチップS
(c)プローブ検査及び外観検査で不良品と判定されたチップS
(d)ウェハ上の位置を示すために、リファレンスマークなどで区別されたもので、本来製品でないチップS
但し、この外観検査も、検査部102又は他の工程において、ピックアップ開始前のウェハWに対してあらかじめ行っておき、その結果のデータを、プローブ検査の結果のデータと合わせて記憶部107がマップデータとして記憶しておいてもよい。
以上のような本実施形態の作用の一例を、図7及び図8のフローチャート、図5、図6、図9〜図15の説明図を参照して説明する。ダイシングシートDに貼付されたウェハWは、あらかじめプローブ検査が行われ、記憶部107に、プローブ検査の結果としてのリファレンスマップデータが保存されているものとする。また、機構制御部101は、エキスパンド機構2を動作させることにより、ダイシングシートDを伸張し、チップSの間隔が広げられているものとする。
本実施形態は、合成画像データとマップ画像データとを照合して、一致、不一致をチェックできる表示データを生成する。合成画像データは、例えば、図5の(a)に示すような合成画像を、出力部40に表示させるためのデータである。合成画像データは、補正部105dにより、ダイシングシートDの伸張による変位が補正される。マップ画像データは、例えば、図5の(b)に示すようなマップ画像を、出力部40に表示させるためのデータである。表示データは、例えば、図5の(c)に示すような照合結果画像を、出力部40に表示させるためのデータである。
次に、上記の処理の詳細を、図7のフローチャートに沿って説明する。まず、機構制御部101は、ウェハWの走査を指示するプログラムのコマンド"W"及びエンコーダ情報X,Yを待つ(ステップ101)。エンコーダ情報X,Yは、プローブ検査の結果としてのリファレンスマップデータを反映した装置管理マップデータに基づいて、吸着ノズル51が、エキスパンド後の各チップSに走査、位置決めされるように、リング移動機構2を移動させる情報である。
以上のような本実施形態の効果は、以下の通りである。
(1)ピックアップ後のダイシングシートD上のチップSのみの特徴で、その位置を特定し、ダイシングシートDの伸張によるチップSの変位方向及び変位量を考慮した演算をすることで、ダイシングシートDに部分的なゆがみがあるような場合でも、ウェハWのピックアップ結果の照合を、高速且つ正確に行うことができる。特に、ダイシングシートDを装置から取り外して照合する場合や、ダイシング溝の検出による場合に比べて、ゆがみの影響を排除した正確な判定が可能となる。
(2)マップ照合装置100内において、ダイシングシートDの伸張等によるチップSの変位方向及び変位量を演算し、その結果に基づいて、合成画像データ又はマップ画像データを補正して照合する。このため、ダイシングシートDをリングRから取り外して検証する必要はなく、装置内で、短時間に正確にピックアップ結果を検証できる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、合成画像データの生成は、上記の実施形態では、ウェハW全体のピックアップ完了後、水平往復スキャンした画像に基づいて行なっていた。しかし、各チップSのピックアップに対応して撮像部61により撮像した画像に基づいて、合成画像データを生成することも可能である。つまり、ピックアップ直前のチップSを撮像すると、その撮像範囲における前回ピックアップしたチップSの位置には、チップSが存在しない。このため、上記のように、オーバーラップする部分を最新の画像データで順次上書きしていくことで、ピックアップ後の合成画像データを生成できる。このように、撮像部61が、ピックアップ機構5によるピックアップとともに撮像すれば、処理時間が短縮できる。
R…リング
S…チップ
W…ウェハ
1…ピックアップ装置
2…リング移動機構
3…エキスパンド機構
4…分離機構
5…ピックアップ機構
6…撮像機構
21…リングホルダ
30…入力部
31…引張部
40…出力部
41…ピン
51…吸着ノズル
61…撮像部
62…プリズム
100…マップ照合装置
101…機構制御部
102…検査部
103…合成画像生成部
104…マップ画像作成部
105…照合部
105a…調整部
105b…特徴抽出部
105c…変位演算部
105d…補正部
105e…照合処理部
105f…判定部
106…表示データ生成部
107…記憶部
Claims (16)
- ダイシングされたウェハを貼付したダイシングシートが伸張されることにより、ウェハが個片に分かれたチップをピックアップした後のダイシングシートの画像を生成するための合成画像データと、ピックアップすべき又はピックアップすべきでないチップの配置を表す画像を生成するためのマップ画像データとに基づいて、ダイシングシートの伸張によるチップの変位方向及び変位量を演算する変位演算部と、
前記変位演算部により演算された変位方向及び変位量に基づいて、前記合成画像データ及び前記マップ画像データの少なくとも一方を補正する補正部と、
前記合成画像データ及び前記マップ画像データのうち、補正された一方のデータと補正されていない他方のデータとを照合することにより、一致又は不一致を判定する判定部と、
を有することを特徴とするマップ照合装置。 - 前記変位演算部は、ダイシングシート上のウェハを複数の領域に区切って、複数の領域毎に、変位方向及び変位量を演算することを特徴とする請求項1記載のマップ照合装置。
- 前記合成画像データは、前記ウェハを囲む円の内側から外側へ向かう方向の力によって伸張したダイシングシートに基づく画像データであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のマップ照合装置。
- 前記変位演算部による演算を行うために、前記合成画像データ及び前記マップ画像データに基づいて、各チップの特徴点を抽出する特徴抽出部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 各チップのピックアップに対応させて撮像した画像データに基づいて、前記合成画像データを生成する合成画像生成部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 各チップのピックアップに対応させて撮像した画像データに基づいて、各チップの外観検査を行う検査部を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- ウェハにおけるチップの良品及びその位置と、ウェハにおけるチップの不良品及びその位置との少なくとも一方に関する情報を含むマップデータに基づいて、前記マップ画像データを作成するマップ画像作成部を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 前記補正部は、前記合成画像データを補正することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 前記判定部による判定結果を表示部に表示させる表示データを生成する表示データ生成部を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 前記表示データは、ダイシングシート上のチップについて、前記合成画像データと前記マップ画像データとの一致又は不一致の箇所を区別表示した画像データであることを特徴とする請求項9記載のマップ照合装置。
- 前記表示データは、ダイシングシート上のピックアップすべきでないチップが、ピックアップされた箇所を区別表示した画像データであることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- 前記特徴点は、各チップのコーナーであることを特徴とする請求項4記載のマップ照合装置。
- 前記複数の領域のうちのいずれかの領域の変位方向及び変位量を、他の領域の変位方向及び変位量に基づいて演算することを特徴とする請求項2記載のマップ照合装置。
- 前記判定部による判定結果を解析することにより、ピックアップ結果の傾向を判定する解析部を有することを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載のマップ照合装置。
- コンピュータ又は電子回路が、
ダイシングされたウェハを貼付したダイシングシートが伸張されることにより、ウェハが個片に分かれたチップをピックアップした後のダイシングシートの画像を生成するための合成画像データと、ピックアップすべき又はピックアップすべきでないチップの画像を生成するためのマップ画像データとに基づいて、ダイシングシートの伸張によるチップの変位方向及び変位量を演算する変位演算処理と、
前記変位演算処理により演算された変位方向及び変位量に基づいて、前記合成画像データ及び前記マップ画像データの少なくとも一方を補正する補正処理と、
前記合成画像データ及び前記マップ画像データのうち、補正された一方のデータと補正されていない他方のデータとを照合することにより、一致又は不一致を判定する判定処理と、
を実行することを特徴とするマップ照合方法。 - コンピュータに、
ダイシングされたウェハを貼付したダイシングシートが伸張されることにより、ウェハが個片に分かれたチップをピックアップした後のダイシングシートの画像を生成するための合成画像データと、ピックアップすべき又はピックアップすべきでないチップの画像を生成するためのマップ画像データとに基づいて、ダイシングシートの伸張によるチップの変位方向及び変位量を演算する変位演算処理と、
前記変位演算処理により演算された変位方向及び変位量に基づいて、前記合成画像データ及び前記マップ画像データの少なくとも一方を補正する補正処理と、
前記合成画像データ及び前記マップ画像データのうち、補正された一方のデータと補正されていない他方のデータとを照合することにより、一致又は不一致を判定する判定処理と、
を実行させることを特徴とするマップ照合プログラム。
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