JP5434972B2 - マルチスクライブ装置 - Google Patents

Description

本発明は複数のスクライブヘッドを取り付けて脆性材料基板をスクライブするマルチスクライブ装置に関するものである。

液晶表示装置等の液晶パネルは２枚のガラス板を貼り合わせた構造となっている。２枚のガラス板を貼り合わせた貼り合わせ基板から液晶パネルを切り出す場合には、貼り合わせ基板の上面及び下面にスクライブラインを形成する必要がある。このため両面を同時にスクライブするためのスクライブ装置として、特許文献１のスクライブ装置が知られている。これは、先端にスクライビングホイールを有する一対のスクライブヘッドを貼り合わせ基板の両面から面に押し当てて、面に平行な方向に移動させることによって、貼り合わせ基板の両面に同時にスクライブするものである。

ＷＯ２００２／０５７１９２

２枚の脆性材料を貼り合わせた貼り合わせマザー基板から単位表示パネルごとに分断する場合には、端子領域を露出させるため上下のスクライブラインの位置を異ならせる必要がある。この端子領域の加工について説明する。

図１において、左側の単位表示パネルＵ１と右側の単位表示パネルＵ２との境界には、端子領域を形成するための３本のスクライブ予定ラインが設定されていて、これらに沿って３本のスクライブラインを加工する。図１に示すように、第一スクライブラインＳ１と第二スクライブラインＳ２とは、第一基板１０１と第二基板１０２とに対し、それぞれの加工端面が揃うように形成される。第三スクライブラインＳ３は、第一基板１０１側において、スクライブラインＳ１から端子幅Ｌだけ離れてスクライブラインＳ１と平行に形成される。

そして、３本のスクライブラインＳ１〜Ｓ３に沿ってブレイクすることにより、図２に示すように、２つのカット面Ｃａ，Ｃｂが形成される。ここでスクライブラインＳ１とスクライブラインＳ２とからなるカット面をジャストカット面Ｃａという。ジャストカット面Ｃａは単位表示パネルＵ１と単位表示パネルＵ２とを同一端面となるように分離する面である。

また、ジャストカット面Ｃａから端子幅Ｌだけ離れて第一基板１０１側だけに形成されるカット面を端子カット面Ｃｂという。端子カット面Ｃｂは第二基板１０２の端子面を露出するために分断されるカット面である。ジャストカット面Ｃａと端子カット面Ｃｂとの間の第一基板１０１に発生する端材Ｅは分断後に取り除かれる。

従来のスクライブ装置では、スクライブラインＳ１とスクライブラインＳ３の加工に当たっては、いずれか一方のスクライブラインを先ず加工して、その後、スクライビングホイールをブリッジや左右の支持柱とともにｙ軸方向に移動させてから他方のスクライブラインを加工するか、もしくは基板を吸着盤等の搬送機構で持ち上げて間隔Ｌだけ移動させていた。

しかし、スクライビングホイールを端子の幅だけ移動させるようにすると、ブリッジやその駆動機構を支える重量のある左右の支柱を移動させなければならず、大きな慣性によりスクライブ位置に誤差が発生し易く、非能率的であった。また、基板を搬送機構で持ち上げて移動させる場合も位置ズレが発生しやすく、カメラによる位置の再修正を必要とするなど、作業が煩雑であった。

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、マルチスクライブ装置において、所定間隔だけ隔てて２本のスクライブラインを平行に形成することができるマルチスクライブ装置を提供することを目的とする。

この課題を解決するために、本発明のマルチスクライブ装置は、スクライブライン形成手段をそれぞれ備えた第１，第２のスクライブヘッドを有するマルチスクライブ装置であって、前記第１，第２のスクライブヘッドは、位置決め手段を有するベースプレートを具備し、前記第２のスクライブヘッドは、前記位置決め手段によって決定される位置をオフセット距離だけシフトさせるオフセットプレートを更に具備するものであり、前記第１のスクライブヘッドは取付用プレートに直接取付けられ、前記第２のスクライブヘッドは前記オフセットプレートを介して取付用プレートに取付けられ、前記オフセットプレートのオフセット距離に相当する間隔を隔てた２本のスクライブラインを、第１，第２のスクライブヘッドによって形成するものである。

ここで前記第１，第２のスクライブヘッドの位置決め手段は、ベースプレートに設けられた複数の位置決めピンであり、前記第２のスクライブヘッドのオフセットプレートは、前記ベースプレートの複数の位置決めピンの夫々に対応する位置に設けられ、前記複数の位置決めピンの夫々を嵌め込むための複数の窪みと、前記複数の窪みから夫々所定方向にオフセット距離だけシフトさせた位置に設けられた複数の位置決めピンと、を有するようにしてもよい。

ここで前記第１，第２のスクライブヘッドの位置決め手段は、ベースプレートに設けられた複数の位置決め用の窪みであり、前記第２のスクライブヘッドのオフセットプレートは、前記ベースプレートの複数の位置決め用の窪みの夫々に対応する位置に設けられ、前記複数の位置決め用の窪みの夫々に嵌まり込む複数の位置決めピンと、前記複数の位置決めピンから夫々所定方向にオフセット距離だけシフトさせた位置に設けられた複数の窪みと、を有するようにしてもよい。

このような特徴を有する本発明によれば、オフセットプレートを介することなく直接取付用プレートに取付けたスクライブヘッドと、オフセットプレートを介して取付けたスクライブヘッドを用いて同時にスクライブを実行する。こうすれば、オフセット距離だけ正確に隔てた位置に平行に、２本のスクライブラインを極めて容易に形成することができるという効果が得られる。

図１は従来の端子領域を露出させるように分断する際の貼り合わせマザー基板を示す断面図である。 図２はスクライブ予定ラインに沿ってスクライブし、分断した状態を示す断面図である。 図３は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図である。 図４は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの側面図である。 図５は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの背面図である。 図６は本発明の実施の形態によるオフセットプレートを有するスクライブヘッドの側面図である。 図７は本発明の実施の形態によるオフセットプレートを有するスクライブヘッドの背面図である。 図８は複数のスクライブヘッドをスライド部材に取付けた状態を示す平面図である。 図９は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。

図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドの一例を示す斜視図であり、図４はスクライブヘッドの側面図、図５はその背面図である。スクライブヘッド１０Ａは図示しない取付用プレートに垂直に取付けられる長方形状のベースプレート１１を有している。ベースプレート１１の上部にトッププレート１２が水平に設けられ、ベースプレート１１の下部にトッププレート１２と平行にボトムプレート１３が設けられる。トッププレート１２の上部にはサーボモータ１４がその回転軸を下方に向けて固定されている。又サーボモータ１４の上部には、その回転角を検出するエンコーダ１５が設けられている。ボトムプレート１３の下面には、ホルダフランジ１６、下ヘッドカバー１７が設けられ、スクライブライン形成手段としての図示しないチップホルダが回動自在に取付けられる。

図５に示すように、ベースプレート１１にはその裏面から突出する２つの位置決めピン１１ａ，１１ｂが設けられる。位置決めピン１１ａ，１１ｂの中間はその下方のチップホルダを通る一点鎖線で示す中心線と一致している。又ベースプレート１１にはスクライブヘッド１０Ａを図示しない取付用プレートに取付ける際のねじ孔１１ｃ，１１ｄ，１１ｅが設けられている。位置決めピン１１ａ，１１ｂはスクライブヘッド１０Ａを取付用プレートに取付ける際に取付位置を規定する位置決め手段を構成している。

図６は本実施の形態によるオフセットプレートを付したスクライブヘッドの側面図、図７はその背面図である。このスクライブヘッド１０Ｂはベースプレート１１の背後にオフセットプレート２０が取付けられており、オフセットプレート２０を除いた部分は図３〜図５に示すスクライブヘッド１０Ａと同一である。オフセットプレート２０は、位置決めピン１１ａ，１１ｂのベースプレート１１の裏面からの突出量よりも大きい所定の肉厚を有するベースプレート１１より幅広の平板状の部材である。オフセットプレート２０はベースプレート１１の位置決めピン１１ａ，１１ｂに相当する位置に、位置決めピン１１ａ，１１ｂの径に等しい大きさの貫通孔２０ａ，２０ｂを有しており、ここに位置決めピン１１ａ，１１ｂを嵌め込んでベースプレート１１の裏面に重なるように取付けられている。又オフセットプレート２０には、この貫通孔２０ａ，２０ｂに隣接して、ｙ軸方向に所定のオフセット距離ｄ離れた位置に一対の位置決めピン２０ｃ，２０ｄが設けられている。ベースプレート１１の位置決めピン１１ａ，１１ｂの間隔と、位置決めピン２０ｃ，２０ｄの間隔とは同一とする。更にオフセットプレート２０にはオフセットプレートを取付用プレートに取付けるためのねじ孔２０ｅ，２０ｆ，２０ｇが設けられている。これらのねじ孔２０ｅ〜２０ｇもベースプレート１１のねじ孔１１ｃ〜１１ｅよりｙ軸方向に所定のオフセット距離ｄ離れた位置に設けられる。このように位置決めピン２０ｃ，２０ｄとねじ孔２０ｅ〜２０ｇをｙ軸方向にオフセット距離ｄだけシフトさせることによって、後述するようにスクライブヘッド１０Ｂの取付け位置をオフセット距離だけシフトさせることができる。

図８はこれらのスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂをそれぞれスライド部材２９，３０に取付けた状態を示す平面図である。本図においてスライド部材２９，３０にはそれぞれ取付用プレート３１，３２が垂直方向に取付けられている。取付用プレート３１，３２には、同一の位置にスクライブヘッドの２つの位置決めピンが挿入される図示しない窪みを有している。そして取付用プレート３１にはスクライブヘッド１０Ａがオフセットプレートを介することなく直接取付けられている。また取付用プレート３２には前述したオフセットプレート２０を有するスクライブヘッド１０Ｂが取付けられている。このため図示のようにオフセットプレート２０によって形成されるオフセット距離ｄだけｙ軸方向に異なった位置に、２つのスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂが位置することとなる。

図９は本実施の形態によるスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置４０は、移動台４１が一対の案内レール４２ａ、４２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ４３は移動台４１と螺合している。ボールネジ４３はモータ４４の駆動により回転し、移動台４１を案内レール４２ａ，４２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台４１の上面にはモータ４５が設けられている。モータ４５はテーブル４６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板４７はこのテーブル４６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板４７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ４８が設けられている。

スクライブ装置４０には、移動台４１とその上部のテーブル４６をまたぐようにブリッジ５０がｘ軸方向に沿って支柱５１ａ，５１ｂにより架設されている。スライド部材２９，３０はブリッジ５０に設けられたガイド５３に沿ってｘ軸方向に移動可能となっている。モータ５４はスライド部材２９，３０をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スライド部材２９，３０に設けられた取付用プレート３１，３２には、それぞれスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂが取付けられている。

こうして２つのスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂをそれぞれスライド部材２９，３０に取付けた状態で、モータ５４によってスライド部材２９，３０を介してスクライブヘッド１０Ａ，１０Ｂを脆性材料基板４０に押圧してスクライブする。こうすればオフセット距離ｄだけ隔てて同時に２本のスクライブラインを平行に形成することができる。

平行な２本のスクライブラインの間隔を変更する場合には、スクライブヘッド１０Ｂのオフセットプレート２０をオフセット距離の異なった他のオフセットプレートに変更する。そのためあらかじめオフセット距離を異ならせた複数のオフセットプレートを用意しておき、必要に応じて交換することで、所望のオフセット距離だけ隔てた２本の平行なスクライブラインを形成することができる。

尚この実施の形態では、オフセットプレート２０に位置決めピン１１ａ，１１ｂが嵌まり込むための貫通孔２０ａ，２０ｂを設けているが、位置決めピンが完全に挿入されるのであれば、窪みであってもよい。

又この実施の形態ではスクライブヘッドのベースプレートに位置決めピンを設け、オフセットプレートにこの位置決めピンに対応する貫通孔とオフセット距離離れた位置に位置決めピンを設けている。これに代えてベースプレートとオフセットプレートの位置決めピンの位置に貫通孔や窪みを設け、オフセットプレートと取付用プレートの貫通孔や窪みを位置決めピンとしてもよい。

２つのスクライブヘッドを用いて同時にスクライブすることによってオフセット距離だけ隔たった２本のスクライブラインを平行に形成することができ、基板の一方に端子部を有する貼り合わせ基板のスクライブ装置として有用である。

１０ａ，１０ｂ スクライブヘッド
１１ ベースプレート
１１ａ，１１ｂ，２０ｃ，２０ｄ 位置決めピン
１１ｃ，１１ｄ，１１ｆ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ ねじ孔
２０ オフセットプレート
２０ａ，２０ｂ 貫通孔
２９，３０ スライド部材
３１，３２ 取付用プレート

Claims (3)

1. スクライブライン形成手段をそれぞれ備えた第１，第２のスクライブヘッドを有するマルチスクライブ装置であって、
   前記第１，第２のスクライブヘッドは、位置決め手段を有するベースプレートを具備し、
   前記第２のスクライブヘッドは、前記位置決め手段によって決定される位置をオフセット距離だけシフトさせるオフセットプレートを更に具備するものであり、
   前記第１のスクライブヘッドは取付用プレートに直接取付けられ、前記第２のスクライブヘッドは前記オフセットプレートを介して取付用プレートに取付けられ、前記オフセットプレートのオフセット距離に相当する間隔を隔てた２本のスクライブラインを、第１，第２のスクライブヘッドによって形成するマルチスクライブ装置。
2. 前記第１，第２のスクライブヘッドの位置決め手段は、ベースプレートに設けられた複数の位置決めピンであり、
   前記第２のスクライブヘッドのオフセットプレートは、前記ベースプレートの複数の位置決めピンの夫々に対応する位置に設けられ、前記複数の位置決めピンの夫々を嵌め込むための複数の窪みと、前記複数の窪みから夫々所定方向にオフセット距離だけシフトさせた位置に設けられた複数の位置決めピンと、を有する請求項１記載のマルチスクライブ装置。
3. 前記第１，第２のスクライブヘッドの位置決め手段は、ベースプレートに設けられた複数の位置決め用の窪みであり、
   前記第２のスクライブヘッドのオフセットプレートは、前記ベースプレートの複数の位置決め用の窪みの夫々に対応する位置に設けられ、前記複数の位置決め用の窪みの夫々に嵌まり込む複数の位置決めピンと、前記複数の位置決めピンから夫々所定方向にオフセット距離だけシフトさせた位置に設けられた複数の窪みと、を有する請求項１記載のマルチスクライブ装置。
   

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