JP5434494B2 - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5434494B2 JP5434494B2 JP2009257174A JP2009257174A JP5434494B2 JP 5434494 B2 JP5434494 B2 JP 5434494B2 JP 2009257174 A JP2009257174 A JP 2009257174A JP 2009257174 A JP2009257174 A JP 2009257174A JP 5434494 B2 JP5434494 B2 JP 5434494B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetic
- detection
- magnetoresistive element
- magnetic sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
図1及び図2に検知用素子部(以下、磁気抵抗素子、検知素子、素子ともいう)の構成例を示す。図1に示す検知用素子部10は、キャップ層6、フリー層5、トンネル層4、反強磁性(AFM)層3、シード層2、基板1からなるTMR層構成による検知用素子部10の一例である。
本発明に係る磁気センサ20は、以下に詳細に説明するように、磁気抵抗素子よりなる磁気センサであって、2重階層を持って構成され、磁気抵抗素子を並列または直列になるセンサとして機能される群(磁気抵抗素子群)であって、それらの群どうしがさらに並列になるセンサをもってセルとしてなり、セルごとの機能状態に応じて出力の合成または分離を行なうものである。すなわち、センサを素子群で構成し、かつ配置しやすいように2重階層を持って構成されることから、適宜、ノイズ対信号出力を測定対象に合わせて検知可能とし、検知情報をより高度に得ることができるものである。
以下、本発明に係る磁気センサ20のその他の実施の形態について説明する。上述の実施の形態と同様の点についての説明は省略する。また、検知素子の配列(直列、並列)、スイッチ部の有無等は、以下に説明する構成においても適宜組み合わせ可能なものである。
2 シード層
3 AFM層
4 トンネル層
5 フリー層
6 キャップ層
7 非磁性金属層
8 磁気抵抗素子群
9,9a,9b セル(素子配列部、検知部)
10 検知用素子部
11 基準抵抗
12 配線
13,14 スイッチ部
16 交流磁界印加用コイル部
17 交流磁界印加用電流源
18 圧電素子
19 圧電素子を配置した基板
20 磁気センサ
21 駆動用電圧印加用電極部
22 駆動用電源
23 直流磁界印加用コイル部
24 直流磁界印加用電流源
25 梁部
26 フレーム
27 可動部
28 硬磁性体部
29 圧電素子部および梁部
30 素子部用基板
31 軟磁性体部
32 コイル部
Claims (5)
- 磁気抵抗素子を用いた磁気センサであって、
前記磁気抵抗素子を並列に接続して磁気抵抗素子群とし、該磁気抵抗素群を並列に接続したセルAと、
前記磁気抵抗素子を直列に接続して磁気抵抗素子群とし、該磁気抵抗素群を並列に接続したセルBと、
をそれぞれ少なくとも1以上有し、前記セルAおよび前記セルBを、さらに並列および/または直列に接続した検知部、
および前記検知部を構成する前記セルA、前記セルBのうち少なくとも1つについて、接続を切り離すスイッチ部を備えるとともに、
前記検知部の近傍に交流磁界印加部を設け、
前記検知部を構成する前記磁気抵抗素子の外部磁界の大きさを変動させることを特徴とする磁気センサ。 - 前記交流磁界印加部は、前記磁気抵抗素子の外部磁界の大きさを変動させて、検知する実効的な周波数領域をシフトさせることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記検知部を圧電素子とともに基板に配置し、
前記圧電素子に交流電圧を印加して前記基板を振動させ、前記検知部を構成する前記磁気抵抗素子の外部磁界の大きさを変動させることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記検知部の近傍に硬磁性材料からなる硬磁性体部を有する可動部を設け、
該可動部の駆動により前記硬磁性体部を変位させ、前記検知部を構成する前記磁気抵抗素子の外部磁界の大きさを変動させることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の磁気センサ。 - 前記検知部の近傍に軟磁性材料からなる軟磁性体部およびコイル部材を有する可動部を設け、
前記コイル部材へ直流電流を印加して前記軟磁性体部が磁化された状態で前記可動部を駆動させることにより前記軟磁性体部を変位させ、前記検知部を構成する前記磁気抵抗素子の外部磁界の大きさを変動させることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009257174A JP5434494B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009257174A JP5434494B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 磁気センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011102730A JP2011102730A (ja) | 2011-05-26 |
JP5434494B2 true JP5434494B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=44193119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009257174A Expired - Fee Related JP5434494B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 磁気センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5434494B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2015141236A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2017-04-06 | 公立大学法人大阪市立大学 | 電流センサアレイとそれを用いた電流可視化装置 |
JP6528535B2 (ja) * | 2015-05-14 | 2019-06-12 | 富士電機株式会社 | アクチュエータ及び測定装置 |
WO2017115839A1 (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー、センサーユニット、磁気検出装置、及び磁気計測装置 |
JP6626464B2 (ja) * | 2017-02-15 | 2019-12-25 | 株式会社東芝 | センサ |
JP6889135B2 (ja) * | 2018-09-14 | 2021-06-18 | 株式会社東芝 | センサ |
JP2020106394A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | Tdk株式会社 | 磁場検出装置および磁場検出方法 |
CN111505545B (zh) | 2020-04-30 | 2022-02-18 | 江苏多维科技有限公司 | 一种机电调制磁阻旋转式磁场强探头 |
CN111537924B (zh) | 2020-05-13 | 2022-02-08 | 江苏多维科技有限公司 | 一种旋转碟式磁场强探头 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0815398A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-19 | Sharp Corp | 超電導磁気センサ |
US20080054896A1 (en) * | 2004-11-25 | 2008-03-06 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Magnetic Sensor with Parallel Magnetic Sensor Strips |
JP4899877B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-03-21 | 三菱電機株式会社 | 磁界検出装置 |
-
2009
- 2009-11-10 JP JP2009257174A patent/JP5434494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011102730A (ja) | 2011-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5434494B2 (ja) | 磁気センサ | |
EP3092505B1 (en) | Magnetoresistance element with an improved seed layer to promote an improved response to magnetic fields | |
CN104764470B (zh) | 磁传感器 | |
JP5951454B2 (ja) | マイクロフォンパッケージ | |
JP5532166B1 (ja) | 磁気センサおよび磁気センサシステム | |
JP2008268219A (ja) | 磁気センサおよびその製造方法、並びに電流検出方法および電流検出装置 | |
WO2008072610A1 (ja) | 磁気センサ及びそれを用いた磁気エンコーダ | |
JP2011101026A (ja) | 磁気抵抗型積層構造体ならびに該構造体を備えたグラジオメータ | |
US11047709B2 (en) | Magnetic field sensor and magnetic field sensing method | |
JP2008076092A (ja) | 磁気エンコーダ装置 | |
JP2016186476A (ja) | 磁気センサ及び磁気式エンコーダ | |
JP2007024598A (ja) | 磁気センサ | |
US20130057274A1 (en) | Current sensor | |
JP2015135267A (ja) | 電流センサ | |
JP6870639B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
JP6484940B2 (ja) | 磁気抵抗素子、磁気センサ及び電流センサ | |
JP2009236889A (ja) | 磁界測定方法及び磁気センサ | |
JP6525314B2 (ja) | 磁界検出装置 | |
JP5195845B2 (ja) | 磁気センサ及び磁場強度測定方法 | |
JP5707971B2 (ja) | 磁気センサ制御装置 | |
JP2009192429A (ja) | 磁気センサ及び磁場強度測定方法 | |
JP2012063232A (ja) | 磁界検出装置の製造方法および磁界検出装置 | |
JP6007479B2 (ja) | 電流センサ | |
JP6040523B2 (ja) | 電力検知センサ | |
JP2016114408A (ja) | 磁界検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131125 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5434494 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |