JP5432460B2 - Inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル等の検査対象板の点灯検査に用いる検査装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection apparatus used for lighting inspection of an inspection object plate such as a liquid crystal panel.

例えば液晶パネル（ＬＣＤパネル）においては、その製造工程において、モジュール工程に進む前にＬＣＤパネル単体での点灯検査が行われる。この点灯検査には、通常点灯検査と簡易点灯検査とがある。   For example, in a manufacturing process of a liquid crystal panel (LCD panel), a lighting test is performed on the LCD panel alone before proceeding to the module process. This lighting inspection includes a normal lighting inspection and a simple lighting inspection.

通常点灯検査は、ＬＣＤパネルの各電極にプローブをフルコンタクトさせて行う点灯検査である。簡易点灯検査は、ＬＣＤパネルの全ての電極にプローブをコンタクトさせるのではなく、部分的にコンタクトさせる簡易コンタクトによって行う点灯検査である。この簡易点灯検査の例としては特許文献１がある。
特開平０９−１３８４２２号公報 The normal lighting inspection is a lighting inspection performed by making full contact of the probe with each electrode of the LCD panel. The simple lighting test is a lighting test that is performed by a simple contact in which the probe is not in contact with all the electrodes of the LCD panel but is in partial contact. There exists patent document 1 as an example of this simple lighting test | inspection.
JP 09-138422 A

ところで、前記検査装置では、点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネルに起因するものかコンタクト不良に起因するものかを判断する場合は、プローブユニットの載せ替えを行う必要があった。   By the way, in the inspection apparatus, when a lighting failure occurs during a lighting inspection, it is necessary to replace the probe unit in order to determine whether it is caused by a panel or a contact failure.

しかし、プローブユニットを載せ替える場合は、その作業が煩雑で時間がかかるため、作業性が悪く、不良原因の判断が容易でないという問題がある。   However, when replacing the probe unit, the work is complicated and time-consuming, so that the workability is poor and the cause of the defect is not easily determined.

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断できる検査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems. When a lighting failure occurs during a lighting test, it can be easily determined whether the failure is caused by a panel failure or a contact failure. An object is to provide an inspection device.

前記課題を解決するために本発明に係る検査装置は、検査対象板を点灯検査する検査装置であって、前記検査対象板の電極に直接接触するプローブを有する複数のプローブ組立体と、各プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、前記複数のプローブ組立体が、前記検査対象板に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行う簡易コンタクト用プローブ組立体と、前記検査対象板にフルコンタクトして通常点灯検査を行うフルコンタクト用プローブ組立体とからなり、前記簡易コンタクト用プローブ組立体が、前記プローブベースに固定された支柱と、当該支柱にスライド可能に支持されたスライドブロックと、当該スライドブロックに支持されると共にプローブを支持するプローブブロックと、前記検査対象板に対して前記プローブを近接離間させる移動機構とを備え、簡易点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して近接させ、通常点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して離間させると共に前記フルコンタクト用プローブ組立体と前記検査対象板とを整合させ、ワークテーブルを作動させて当該検査対象板をフルコンタクト位置に移動させ、通常点灯検査時に欠陥が発生したとき、その欠陥がパネル起因かコンタクト起因かを判断するために、前記ワークテーブルを作動させずに前記移動機構を制御して前記簡易コンタクト用プローブ組立体のスライド可能に支持された前記プローブブロックのプローブを前記検査対象板に近接させて簡易点灯検査に切り替える制御部を備えたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, an inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus for lighting and inspecting an inspection target plate, and includes a plurality of probe assemblies each having a probe that directly contacts an electrode of the inspection target plate, and each probe A probe base for supporting the assembly, wherein the plurality of probe assemblies are in full contact with the inspection object plate, and a simple contact probe assembly that performs simple lighting inspection by making simple contact with the inspection object plate. A probe assembly for a full contact that performs a normal lighting inspection, wherein the probe assembly for simple contact includes a column fixed to the probe base, a slide block that is slidably supported by the column, and the slide block a probe block supporting the probe while being supported, the probe near to the inspection target board And a moving mechanism for separating, in close proximity to said probe assembly for simple contact when the simple lighting inspection to the inspection target board, spaced the probe assembly for simple contact against said object plate during normal lighting test And aligning the probe assembly for full contact with the inspection object plate, operating the work table to move the inspection object plate to the full contact position, and when a defect occurs during normal lighting inspection, the defect is In order to determine whether it is caused by a panel or a contact, the probe of the probe block that is slidably supported by the probe assembly for simple contact is controlled by operating the moving mechanism without operating the work table. A control unit that switches to the simple lighting inspection in the vicinity of the plate is provided.

点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断できる。   When a lighting failure occurs during a lighting test, it can be easily determined whether it is caused by a panel failure or a contact failure.

以下、本発明の実施形態に係る検査装置について添付図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

本実施形態の検査装置では、ＸＹＺθステージ(図示せず)によってＸＹＺ軸方向及びθ回転方向が調整できるワークテーブル(図示せず)に検査対象板が載置されて、複数のプローブを備えたプローブユニットで点灯検査を行う装置である。   In the inspection apparatus according to the present embodiment, a probe including a plurality of probes is mounted on an inspection target plate placed on a work table (not shown) whose XYZ axis direction and θ rotation direction can be adjusted by an XYZθ stage (not shown). It is a device that performs lighting inspection in units.

プローブユニット１は、図１及び図２に示すように、ワークテーブル上に載置された検査対象板としての液晶パネル２の２つの辺に沿って設けられている。このプローブユニット１は具体的には、液晶パネル２の長辺に沿う長辺プローブユニット３と、液晶パネル２の短辺に沿う短辺プローブユニット４とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the probe unit 1 is provided along two sides of a liquid crystal panel 2 as an inspection target plate placed on a work table. Specifically, the probe unit 1 includes a long side probe unit 3 along the long side of the liquid crystal panel 2 and a short side probe unit 4 along the short side of the liquid crystal panel 2.

長辺プローブユニット３は主に、長辺プローブベース５と、プローブ組立体６と、アライメントカメラ７とを備えて構成されている。   The long side probe unit 3 mainly includes a long side probe base 5, a probe assembly 6, and an alignment camera 7.

長辺プローブベース５は、検査装置の装置本体側のプローブステージ(図示せず)に支持された状態で前記プローブ組立体６等を液晶パネル２の長辺に沿って支持するための部材である。この長辺プローブベース５にプローブ組立体６とアライメントカメラ７が取り付けられている。   The long side probe base 5 is a member for supporting the probe assembly 6 and the like along the long side of the liquid crystal panel 2 while being supported by a probe stage (not shown) on the apparatus main body side of the inspection apparatus. . A probe assembly 6 and an alignment camera 7 are attached to the long side probe base 5.

プローブ組立体６は、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂとから構成されている。長辺プローブユニット３にはフルコンタクト用プローブ組立体６Ａのみが設けられている。なお、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂについては後述する。   The probe assembly 6 includes a full contact probe assembly 6A and a simple contact probe assembly 6B. The long side probe unit 3 is provided with only a full contact probe assembly 6A. The simple contact probe assembly 6B will be described later.

フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２にフルコンタクトして通常点灯検査を行うためのプローブ組立体である。フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２の各電極に個別に直接的に接触（フルコンタクト）して、液晶パネル２上の回路に検査信号を送信する。フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは主に、サスペンションベース９と、スライドブロック１０と、プローブブロック１１とを備えて構成されている。   The full-contact probe assembly 6A is a probe assembly for performing a normal lighting inspection by making full contact with the liquid crystal panel 2. The full-contact probe assembly 6A directly contacts each electrode of the liquid crystal panel 2 individually (full contact), and transmits an inspection signal to a circuit on the liquid crystal panel 2. The full-contact probe assembly 6 </ b> A mainly includes a suspension base 9, a slide block 10, and a probe block 11.

サスペンションベース９は、直接的にスライドブロック１０を、間接的に後述するプローブブロック１１のプローブ１３を支持するための部材である。サスペンションベース９は、長辺プローブベース５に固定されている。サスペンションベース９の先端の下側には、スライドブロック１０が上下方向にスライド可能に支持されている。   The suspension base 9 is a member for directly supporting the slide block 10 and indirectly a probe 13 of a probe block 11 described later. The suspension base 9 is fixed to the long side probe base 5. A slide block 10 is supported below the tip of the suspension base 9 so as to be slidable in the vertical direction.

スライドブロック１０は、プローブブロック１１を支持するための部材である。スライドブロック１０は、サスペンションベース９に上下へスライド可能に支持された状態で、プローブブロック１１をスプリング(図示せず)で下方へ付勢している。このスプリングによる付勢力によって、プローブ１３を液晶パネル２の各電極に接触させた状態で付勢する。   The slide block 10 is a member for supporting the probe block 11. The slide block 10 urges the probe block 11 downward by a spring (not shown) while being supported by the suspension base 9 so as to be vertically slidable. The probe 13 is urged by the urging force of the spring while being in contact with each electrode of the liquid crystal panel 2.

プローブブロック１１は、液晶パネル２の回路(図示せず)に検査信号の送信等を行うために液晶パネル２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック１１は、複数のプローブ１３を支持して構成されている。プローブ１３は、液晶パネル２の電極に合わせて配設され、プローブブロック１１で一体的に支持されている。プローブ１３は、信号線等を介して制御部に接続されている。   The probe block 11 is a member for making electrical contact with the electrodes of the liquid crystal panel 2 in order to transmit inspection signals to a circuit (not shown) of the liquid crystal panel 2. The probe block 11 is configured to support a plurality of probes 13. The probe 13 is disposed in accordance with the electrode of the liquid crystal panel 2 and is integrally supported by the probe block 11. The probe 13 is connected to the control unit via a signal line or the like.

フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２の電極に合わせて、長辺プローブベース５に５台取り付けられている。この５台のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａの各プローブ１３が液晶パネル２の全ての電極にそれぞれ接触してフルコンタクト状態になり、検査信号を送信する。   Five full-contact probe assemblies 6 </ b> A are attached to the long-side probe base 5 according to the electrodes of the liquid crystal panel 2. Each of the probes 13 of the five full-contact probe assemblies 6A comes into contact with all the electrodes of the liquid crystal panel 2 to be in a full contact state, and transmits an inspection signal.

アライメントカメラ７は、液晶パネル２を各プローブ組立体６（フルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及び簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂ）に対して位置合わせするためのカメラである。アライメントカメラ７は、液晶パネル２に設けられたマーク(図示せず)を映し出して、このマークと基準位置とを合わせて、各プローブ組立体６のプローブ１３の先端接触子と、液晶パネル２の各電極とを整合させるようになっている。ここでは、アライメントカメラ７は長辺プローブベース５に１台設けられている。   The alignment camera 7 is a camera for aligning the liquid crystal panel 2 with respect to each probe assembly 6 (full contact probe assembly 6A and simple contact probe assembly 6B). The alignment camera 7 projects a mark (not shown) provided on the liquid crystal panel 2, aligns the mark and the reference position, and contacts the tip contact of the probe 13 of each probe assembly 6 with the liquid crystal panel 2. The electrodes are aligned with each other. Here, one alignment camera 7 is provided on the long-side probe base 5.

短辺プローブユニット４は主に、短辺プローブベース１５と、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂと、アライメントカメラ７とを備えて構成されている。   The short side probe unit 4 mainly includes a short side probe base 15, a full contact probe assembly 6A, a simple contact probe assembly 6B, and an alignment camera 7.

短辺プローブベース１５は、プローブ組立体６等を液晶パネル２の短辺に沿って支持するための部材である。この短辺プローブベース１５に、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａ、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂ及びアライメントカメラ７が取り付けられている。ここで、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａとアライメントカメラ７は、上述した長辺プローブユニット３のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及びアライメントカメラ７と同様の装置である。ここでは、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａが３台、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂが１台、アライメントカメラ７が２台設けられている。   The short side probe base 15 is a member for supporting the probe assembly 6 and the like along the short side of the liquid crystal panel 2. A full contact probe assembly 6A, a simple contact probe assembly 6B, and an alignment camera 7 are attached to the short side probe base 15. Here, the full-contact probe assembly 6A and the alignment camera 7 are the same devices as the full-contact probe assembly 6A and the alignment camera 7 of the long-side probe unit 3 described above. Here, three full contact probe assemblies 6A, one simple contact probe assembly 6B, and two alignment cameras 7 are provided.

簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、液晶パネル２に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行うためのプローブ組立体である。液晶パネル２には、上記特許文献１のパネルのように、簡易コンタクト用の配線及び電極（クイック端子）が設けられている。簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、この簡易コンタクト用の電極に接触するためのプローブ組立体である。この簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂでは、少ない個数のプローブ１３が簡易コンタクト用の電極に接触（簡易コンタクト）して簡易点灯検査を行う。   The simple contact probe assembly 6B is a probe assembly for making simple contact with the liquid crystal panel 2 and performing a simple lighting test. The liquid crystal panel 2 is provided with wiring and electrodes (quick terminals) for simple contacts as in the panel of the above-mentioned Patent Document 1. The simple contact probe assembly 6B is a probe assembly for contacting the electrode for simple contact. In this simple contact probe assembly 6B, a small number of probes 13 come into contact with simple contact electrodes (simple contact) to perform a simple lighting test.

簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、図３に示すように、支柱１７と、移動機構(図示せず)と、スライドブロック１８と、プローブブロック支持ブロック１９と、プローブブロック２０とを備えて構成されている。   As shown in FIG. 3, the simple contact probe assembly 6 </ b> B includes a column 17, a moving mechanism (not shown), a slide block 18, a probe block support block 19, and a probe block 20. ing.

支柱１７は、スライドブロック１８等を介して後述するプローブブロック２０のプローブ１３を支持するための部材である。支柱１７は、短辺プローブベース１５に固定されている。支柱１７の前側面（液晶パネル２側面）には、レール２１が縦方向に沿って設けられている。このレール２１には、後述するスライドブロック１８のガイド２２がスライド可能に取り付けられて、スライドブロック１８が上下方向にスライド可能に支持されている。   The support column 17 is a member for supporting the probe 13 of the probe block 20 described later via the slide block 18 or the like. The support column 17 is fixed to the short-side probe base 15. Rails 21 are provided along the vertical direction on the front side surface (side surface of the liquid crystal panel 2) of the support column 17. A guide 22 of a slide block 18 to be described later is slidably attached to the rail 21, and the slide block 18 is supported so as to be slidable in the vertical direction.

移動機構２１Ａは、スライドブロック１８を上下方向に移動させるための直動機構である。移動機構２１Ａは、スライドブロック１８を上下方向に移動させることで、プローブ１３を液晶パネル２に対して近接離間させる。具体的には、簡易点灯検査時に、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂのプローブ１３を液晶パネル２に対して近接させ、通常点灯検査時に、プローブ１３を液晶パネル２に対して離間させる。この移動機構２１Ａはリニアモータ等の直動機構で構成されている。なお、移動機構２１Ａとしては、種々の直動機構を用いることができる。例えば、ボールネジ機構等の公知の全ての直動機構を用いることができる。このような移動機構は、支柱１７内に組み込まれたり、支柱１７の近傍に設置されたりする。   The moving mechanism 21A is a linear motion mechanism for moving the slide block 18 in the vertical direction. The moving mechanism 21 </ b> A moves the slide block 18 in the vertical direction to move the probe 13 close to and away from the liquid crystal panel 2. Specifically, the probe 13 of the simple contact probe assembly 6B is brought close to the liquid crystal panel 2 during the simple lighting test, and the probe 13 is separated from the liquid crystal panel 2 during the normal lighting test. The moving mechanism 21A is constituted by a linear motion mechanism such as a linear motor. As the moving mechanism 21A, various linear motion mechanisms can be used. For example, all known linear motion mechanisms such as a ball screw mechanism can be used. Such a moving mechanism is incorporated in the support column 17 or installed in the vicinity of the support column 17.

移動機構２１Ａは、プローブブロック２０のプローブ１３を、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも上側の退避位置に移動させる機能と、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも下側のコンタクト位置まで移動させて簡易コンタクト用の電極に接触させる機能とを有する。これにより、簡易コンタクトの際には、液晶パネル２は移動せず、プローブブロック２０のプローブ１３のみが下方へ移動して電気的に接触するようになっている。   The moving mechanism 21A has a function of moving the probe 13 of the probe block 20 to a retracted position above the probe 13 of the full contact probe assembly 6A, and a lower side of the probe 13 of the full contact probe assembly 6A. It has a function of moving to the contact position and bringing it into contact with the electrode for simple contact. Thereby, in the case of a simple contact, the liquid crystal panel 2 does not move, but only the probe 13 of the probe block 20 moves downward and comes into electrical contact.

スライドブロック１８は、プローブ１３を間接的に支持して前記退避位置とコンタクト位置との間を移動させるための部材である。スライドブロック１８は、全体をＬ字状に構成され、その縦部材に、前記レール２１にスライド可能に取り付けられるガイド２２が固定されている。スライドブロック１８の横部材には、３つのネジ棒２３が取り付けられ、プローブブロック支持ブロック１９を支持している。ネジ棒２３には、スプリング(図示せず)が設けられ、このスプリングでプローブブロック支持ブロック１９が下方へ付勢されている。このスプリングによる付勢力によって、プローブ１３が液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極に接触したときにプローブ１３を付勢する。   The slide block 18 is a member that indirectly supports the probe 13 and moves between the retracted position and the contact position. The entire slide block 18 is L-shaped, and a guide 22 that is slidably attached to the rail 21 is fixed to a vertical member of the slide block 18. Three screw rods 23 are attached to the horizontal member of the slide block 18 to support the probe block support block 19. The screw rod 23 is provided with a spring (not shown), and the probe block support block 19 is urged downward by this spring. The urging force of the spring urges the probe 13 when the probe 13 comes into contact with the simple contact electrode of the liquid crystal panel 2.

プローブブロック支持ブロック１９は、プローブブロック２０を介してプローブ１３を弾性的に支持するための部材である。プローブブロック支持ブロック１９は、スライドブロック１８のネジ棒２３に連結され、スプリングでスライドブロック１８に対して弾性的に支持されている。プローブブロック支持ブロック１９には取付ネジ２４が設けられている。この取付ネジ２４でプローブブロック２０がプローブブロック支持ブロック１９に固定されている。   The probe block support block 19 is a member for elastically supporting the probe 13 via the probe block 20. The probe block support block 19 is connected to the screw rod 23 of the slide block 18 and is elastically supported with respect to the slide block 18 by a spring. A mounting screw 24 is provided on the probe block support block 19. The probe block 20 is fixed to the probe block support block 19 with the mounting screws 24.

プローブブロック２０は、液晶パネル２の回路(図示せず)に検査信号の送信等を行うために液晶パネル２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック２０は、複数のプローブ１３を支持して構成されている。プローブ１３は、液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極と同じ数だけ並べて配設され、プローブブロック２０で一体的に支持されている。プローブ１３は、信号線等を介して制御部に接続されている。   The probe block 20 is a member for making electrical contact with the electrode of the liquid crystal panel 2 in order to transmit an inspection signal to a circuit (not shown) of the liquid crystal panel 2. The probe block 20 is configured to support a plurality of probes 13. The probes 13 are arranged in the same number as the simple contact electrodes of the liquid crystal panel 2 and are integrally supported by the probe block 20. The probe 13 is connected to the control unit via a signal line or the like.

簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極に合わせて、全体的に細く形成され、短辺プローブユニット４に１台取り付けられている。   The simple contact probe assembly 6 </ b> B is formed thin as a whole in accordance with the simple contact electrodes of the liquid crystal panel 2, and is attached to the short-side probe unit 4.

短辺プローブユニット４のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及び簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、図４に示すように、信号発生器２６と、制御部２７とに接続されている。具体的には、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと信号発生器２６とがフルコンタクト用点灯信号線２８で接続されている。簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂと信号発生器２６とが簡易コンタクト用点灯信号線２９で接続されている。さらに、信号発生器２６と制御部２７も信号線３０で接続されている。   The full contact probe assembly 6A and the simple contact probe assembly 6B of the short side probe unit 4 are connected to a signal generator 26 and a control unit 27, as shown in FIG. Specifically, the full contact probe assembly 6 </ b> A and the signal generator 26 are connected by a full contact lighting signal line 28. The simple contact probe assembly 6 </ b> B and the signal generator 26 are connected by a simple contact lighting signal line 29. Further, the signal generator 26 and the control unit 27 are also connected by a signal line 30.

制御部２７は、信号発生器２６を制御して通常点灯検査と簡易点灯検査を行わせる。即ち、制御部２７は、通常点灯検査と簡易点灯検査とを選択して、点灯信号を、フルコンタクト用点灯信号線２８又は簡易コンタクト用点灯信号線２９からフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ又は簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂに送信する。   The control unit 27 controls the signal generator 26 to perform a normal lighting test and a simple lighting test. That is, the control unit 27 selects the normal lighting test and the simple lighting test, and sends the lighting signal from the full contact lighting signal line 28 or the simple contact lighting signal line 29 to the full contact probe assembly 6A or the simple contact. To the probe assembly 6B.

制御部２７は、通常点灯検査時に線欠陥等の欠陥が発生したとき、前記移動機構２１Ａを制御して簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂを液晶パネル２に近接させてプローブ１３と電極とを互いに接触させて簡易点灯検査に切り替え、パネル起因かコンタクト起因かを判断する機能を有している。即ち、ＸＹＺ軸方向及びθ回転方向が調整できるワークテーブルは動かさずに、移動機構２１Ａでプローブ１３を移動させて液晶パネル２の電極に電気的に接触させている。この制御部２７での処理は、液晶パネル２の欠陥の検査を画像処理により自動的に行っている場合は、自動的に切り替えて、その欠陥がパネルに起因するものか、コンタクト不良に起因するものかを判断する。液晶パネル２の欠陥の検査を検査者が目視して確認するときは、切り替えスイッチを検査者が切り替えて、液晶パネル２を通常点灯と簡易点灯させて判断する。   When a defect such as a line defect occurs during the normal lighting inspection, the control unit 27 controls the moving mechanism 21A to bring the simple contact probe assembly 6B close to the liquid crystal panel 2 so that the probe 13 and the electrode come into contact with each other. Then, it switches to the simple lighting inspection and has a function of judging whether it is caused by the panel or the contact. That is, the work table capable of adjusting the XYZ axis direction and the θ rotation direction is not moved, but the probe 13 is moved by the moving mechanism 21A to be in electrical contact with the electrodes of the liquid crystal panel 2. When the defect inspection of the liquid crystal panel 2 is automatically performed by image processing, the processing by the control unit 27 is automatically switched to determine whether the defect is caused by the panel or the contact failure. Judge whether it is a thing. When the inspector visually confirms the inspection of the defect of the liquid crystal panel 2, the inspector switches the changeover switch, and the liquid crystal panel 2 is determined to be normally lit and simply lit.

以上のように構成された検査装置は、次のように作用する。   The inspection apparatus configured as described above operates as follows.

通常点灯検査を行う場合は、図５に示すように、制御部２７で信号発生器２６が制御されて、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂのプローブ１３がフルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも上側の退避位置に移動させる。   When performing the normal lighting inspection, as shown in FIG. 5, the signal generator 26 is controlled by the control unit 27 so that the probe 13 of the simple contact probe assembly 6B is replaced by the probe 13 of the full contact probe assembly 6A. Is also moved to the upper retracted position.

次いで、液晶パネル２を支持したワークテーブルをＸＹＺ軸方向及びθ回転方向に調整して、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３と、液晶パネル２の電極とを整合させて、液晶パネル２をアライメント位置からフルコンタクト位置まで移動させて、フルコンタクト状態で互いに電気的に接触させる。次いで、信号発生器２６で検査信号を発生させて送信する。   Next, the work table supporting the liquid crystal panel 2 is adjusted in the XYZ axial direction and the θ rotation direction so that the probe 13 of the full-contact probe assembly 6A and the electrode of the liquid crystal panel 2 are aligned with each other. It is moved from the alignment position to the full contact position and brought into electrical contact with each other in the full contact state. Next, a test signal is generated by the signal generator 26 and transmitted.

これにより、液晶パネル２が点灯し、この液晶パネル２の点灯状態を検査者が目視で確認して通常点灯検査を行う。また、この液晶パネル２の点灯状態をカメラで撮影して画像処理により、欠陥の有無を確認する場合もある。   Thereby, the liquid crystal panel 2 is turned on, and an inspector visually confirms the lighting state of the liquid crystal panel 2 to perform a normal lighting inspection. In some cases, the lighting state of the liquid crystal panel 2 is photographed by a camera and the presence or absence of a defect is confirmed by image processing.

この確認により、線欠陥等の欠陥を発生したときは、手動で、又は自動的に簡易点灯検査に切り替える。この簡易点灯検査では、図６に示すように、ワークテーブルは作動させずに液晶パネル２をアライメント位置に保持した状態で、移動機構２１Ａだけを作動させる。具体的には、ワークテーブルは、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３から離れた下方位置で固定する。そして、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂを作動させてそのプローブ１３を下方へ移動させ、このプローブ１３を上記簡易コンタクト用の電極（クイック端子）に電気的に接触させて簡易コンタクトさせる。これにより、液晶パネル２が簡易点灯する。   When a defect such as a line defect occurs due to this confirmation, the inspection is switched to the simple lighting inspection manually or automatically. In this simple lighting inspection, as shown in FIG. 6, only the moving mechanism 21A is operated with the liquid crystal panel 2 held at the alignment position without operating the work table. Specifically, the work table is fixed at a lower position away from the probe 13 of the full-contact probe assembly 6A. Then, the simple contact probe assembly 6B is operated to move the probe 13 downward, and the probe 13 is brought into electrical contact with the simple contact electrode (quick terminal) for simple contact. Thereby, the liquid crystal panel 2 is simply turned on.

この簡易点灯した液晶パネル２を検査者が目視で確認し、または画像処理で自動的に確認する。   The inspector visually confirms the liquid crystal panel 2 that is simply turned on, or automatically confirms it by image processing.

この結果、正常に点灯すれば、前記線欠陥等の欠陥は、フルコンタクト時のコンタクト不良に起因するものと判断できる。正常に点灯しなければ、前記欠陥は、パネル不良に起因するものと判断できる。   As a result, if the lamp is normally lit, it can be determined that the defects such as the line defects are caused by a contact failure during full contact. If it does not light normally, it can be determined that the defect is caused by a panel defect.

以上により、前記点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断することができるようになる。   As described above, when the lighting failure occurs, it can be easily determined whether it is caused by a panel failure or a contact failure.

この結果、プローブユニットを載せ替える必要がなくなり、確認作業が容易になり、短時間で容易に、不良原因を特定することができ、検査作業を大幅に効率化することができる。   As a result, there is no need to replace the probe unit, the confirmation work is facilitated, the cause of the defect can be easily identified in a short time, and the inspection work can be made more efficient.

本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す平面図である。It is a top view which shows the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe assembly for simple contacts which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置の制御系を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the control system of the inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体の退避状態を示す正面図である。It is a front view which shows the retracted state of the probe assembly for simple contacts which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体の簡易コンタクト状態を示す正面図である。It is a front view which shows the simple contact state of the probe assembly for simple contacts which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１：プローブユニット、２：液晶パネル、３：長辺プローブユニット、４：短辺プローブユニット、５：長辺プローブベース、６：プローブ組立体、７：アライメントカメラ、９：サスペンションベース、１０：スライドブロック、１１：プローブブロック、１３：プローブ、１５：短辺プローブベース、１７：支柱、１８：スライドブロック、１９：プローブブロック支持ブロック、２０：プローブブロック、２１：レール、２１Ａ：移動機構、２２：ガイド、２３：ネジ棒、２４：取付ネジ、２６：信号発生器、２７：制御部、２８：フルコンタクト用点灯信号線、２９：簡易コンタクト用点灯信号線、３０：信号線。   1: probe unit, 2: liquid crystal panel, 3: long side probe unit, 4: short side probe unit, 5: long side probe base, 6: probe assembly, 7: alignment camera, 9: suspension base, 10: slide Block: 11: Probe block, 13: Probe, 15: Short side probe base, 17: Support, 18: Slide block, 19: Probe block support block, 20: Probe block, 21: Rail, 21A: Movement mechanism, 22: Guide: 23: Screw rod, 24: Mounting screw, 26: Signal generator, 27: Controller, 28: Full contact lighting signal line, 29: Simple contact lighting signal line, 30: Signal line.

Claims (1)

検査対象板を点灯検査する検査装置であって、
前記検査対象板の電極に直接接触するプローブを有する複数のプローブ組立体と、各プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、
前記複数のプローブ組立体が、前記検査対象板に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行う簡易コンタクト用プローブ組立体と、前記検査対象板にフルコンタクトして通常点灯検査を行うフルコンタクト用プローブ組立体とからなり、
前記簡易コンタクト用プローブ組立体が、前記プローブベースに固定された支柱と、当該支柱にスライド可能に支持されたスライドブロックと、当該スライドブロックに支持されると共にプローブを支持するプローブブロックと、前記検査対象板に対して前記プローブを近接離間させる移動機構とを備え、
簡易点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して近接させ、通常点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して離間させると共に前記フルコンタクト用プローブ組立体と前記検査対象板とを整合させ、ワークテーブルを作動させて当該検査対象板をフルコンタクト位置に移動させ、
通常点灯検査時に欠陥が発生したとき、その欠陥がパネル起因かコンタクト起因かを判断するために、前記ワークテーブルを作動させずに前記移動機構を制御して前記簡易コンタクト用プローブ組立体のスライド可能に支持された前記プローブブロックのプローブを前記検査対象板に近接させて簡易点灯検査に切り替える制御部を備えたことを特徴とする検査装置。 An inspection device for lighting and inspecting an inspection target plate,
A plurality of probe assemblies having probes in direct contact with the electrodes of the inspection object plate, and probe bases supporting the probe assemblies;
The probe assembly for simple contact that performs simple lighting inspection by simply contacting the inspection object plate with the plurality of probe assemblies, and the probe assembly for full contact that performs normal lighting inspection by making full contact with the inspection object plate And consist of
The simple contact probe assembly includes a column fixed to the probe base, a slide block supported slidably on the column, a probe block supported by the slide block and supporting a probe, and the inspection A moving mechanism for moving the probe close to and away from the target plate,
During the simple lighting inspection, the simple contact probe assembly is brought close to the inspection object plate, and during the normal lighting inspection, the simple contact probe assembly is separated from the inspection object plate, and the full contact probe assembly is used. Align the three-dimensional object and the inspection object plate, operate the work table to move the inspection object plate to the full contact position,
When a defect occurs during normal lighting inspection, the simple contact probe assembly can be slid by controlling the moving mechanism without operating the work table in order to determine whether the defect is caused by a panel or a contact. An inspection apparatus comprising: a control unit that switches the probe of the probe block supported by the probe to the simple lighting inspection by bringing the probe close to the inspection target plate.
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