JP5430510B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
レーザビームの経路上に配置され、レーザビームを走査する第1のガルバノミラーと、
前記第1のガルバノミラーで走査されたレーザビームを、前記第1のガルバノミラーの走査方向とは異なる方向に走査する第2のガルバノミラーと、
前記第1のガルバノミラーと前記第2のガルバノミラーとの間の前記レーザビームの経路上に配置された第1のレンズ群と第2のレンズ群と
を有し、
前記第1のレンズ群の前側焦点の位置に前記第1のガルバノミラーが配置され、前記第1のレンズ群の後側焦点と前記第2のレンズ群の前側焦点とが一致し、前記第2のレンズ群の後側焦点の位置に前記第2のガルバノミラーが配置されており、
前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群の各々は、少なくとも2枚のメニスカスレンズと、
前記第2のガルバノミラーで走査されたレーザビームを、加工対象物上に集光するfθレンズと含み、
前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群を、球面平凸レンズまたは球面両凸レンズで構成した場合に比べて、レーザビームの振れ角が0°から増加したときの、前記加工対象物上におけるビームスポットの拡大が抑制されているレーザ加工装置が提供される。
11 マスク
12 折返しミラー
13 コリメートレンズ
14 第1のガルバノミラー
15 第2のガルバノミラー
16 fθレンズ
17 ステージ
18 補正光学系
18A 第1のレンズ群
18B 第2のレンズ群
20 加工対象物
Claims (3)
- レーザビームの経路上に配置され、レーザビームを走査する第1のガルバノミラーと、
前記第1のガルバノミラーで走査されたレーザビームを、前記第1のガルバノミラーの走査方向とは異なる方向に走査する第2のガルバノミラーと、
前記第1のガルバノミラーと前記第2のガルバノミラーとの間の前記レーザビームの経路上に配置された第1のレンズ群と第2のレンズ群と
を有し、
前記第1のレンズ群の前側焦点の位置に前記第1のガルバノミラーが配置され、前記第1のレンズ群の後側焦点と前記第2のレンズ群の前側焦点とが一致し、前記第2のレンズ群の後側焦点の位置に前記第2のガルバノミラーが配置されており、
前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群の各々は、少なくとも2枚のメニスカスレンズと、
前記第2のガルバノミラーで走査されたレーザビームを、加工対象物上に集光するfθレンズと含み、
前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群を、球面平凸レンズまたは球面両凸レンズで構成した場合に比べて、レーザビームの振れ角が0°から増加したときの、前記加工対象物上におけるビームスポットの拡大が抑制されているレーザ加工装置。 - 前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群の各々の屈折面のうち少なくとも1面は非球面である請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1のレンズ群及び前記第2のレンズ群の各々の前記少なくとも2枚のメニスカスレンズの一方のパワーは正であり、他方のパワーは負である請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2010159285A JP5430510B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010159285A JP5430510B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012022104A JP2012022104A (ja) | 2012-02-02 |
JP5430510B2 true JP5430510B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=45776445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010159285A Active JP5430510B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5430510B2 (ja) |
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JP2001272618A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Shibaura Mechatronics Corp | スキャニング光学ユニット |
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2010
- 2010-07-14 JP JP2010159285A patent/JP5430510B2/ja active Active
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