JP5429752B2 - 透明導電薄膜用ターゲット材およびその製造方法 - Google Patents
透明導電薄膜用ターゲット材およびその製造方法 Download PDFInfo
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まず、ターゲット材の作製については、低温、短時間で高密度焼結体が得られるパルス通電焼結法を採用することとした。これは、パルス通電とした方が、空隙率が少なくなり、空間的にも均質なターゲット材とすることができるためである。
Claims (4)
- 酸化チタン粉末にホウ素単体粉末またはホウ化チタン粉末を混合して焼結し、ホウ素のドープされた酸化チタン透明薄膜形成に際して使用するスパッタ用ターゲット材を製造するターゲット材製造方法。
- 酸化チタンに対するホウ素の添加量を10mol%以下としたことを特徴とする請求項1に記載のターゲット材製造方法。
- 焼結をパルス通電焼結によりおこなうことを特徴とする請求項1または2に記載のターゲット材製造方法。
- 請求項1〜3に記載の製造方法により得られるルチル型結晶のターゲット材であって、単位格子の体積が62.5×10−3nm3〜63.0×10−3nm3であることを特徴とする透明導電薄膜用ターゲット材。
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