JP5428226B2 - 基板接合装置 - Google Patents
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Claims (7)
- 第一の基板を保持する保持面を有するステージ本体と、
前記第一の基板に接合される第二の基板を保持する基板保持部と、
前記第一の基板と前記第二の基板とを互いに接触させるべく前記ステージ本体を前記基板保持部に向けて移動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータから駆動力を受けて前記ステージ本体に伝える被駆動部と、
前記アクチュエータの駆動により前記第一の基板と前記第二の基板とが互いに接触したときの荷重を検出するために、前記ステージ本体と前記被駆動部との間に配置される複数のロードセルとを備え、
前記複数のロードセルは、それぞれ前記ステージ本体に結合されるステージ側取付部、前記被駆動部に結合されるアクチュエータ側取付部、および、前記ステージ側取付部および前記アクチュエータ側取付部を連結しつつ前記保持面に沿った方向に延在して前記保持面の法線方向に撓む起歪体を有し、
前記複数のロードセルの前記アクチュエータ側取付部は、それぞれ前記被駆動部の中心部に固定され、ステージ側取付部は、アクチュエータ取付部よりも重心から遠くなる向きに配される基板接合装置。 - 前記複数のロードセルの前記起歪体は、それぞれ前記アクチュエータ側取付部から前記保持面に沿って放射状に延在する請求項1に記載の基板接合装置。
- 前記複数のロードセルの前記アクチュエータ側取付部は、前記ステージ本体、前記複数のロードセルおよび前記被駆動部の重心で前記被駆動部に固定される請求項2に記載の基板接合装置。
- 前記複数のロードセルは、前記重心の周りに等間隔に配される請求項3に記載の基板接合装置。
- 複数の前記アクチュエータを備え、
前記複数のアクチュエータの各々は、複数の前記ステージ側取付部の近傍において前記被駆動部を駆動する請求項2から4のいずれか一項に記載の基板接合装置。 - 複数の前記アクチュエータを備え、
前記複数のアクチュエータの各々は、複数の前記ステージ側取付部の下方に配置される請求項2から4のいずれか一項に記載の基板接合装置。 - 複数の前記アクチュエータを備え、
前記複数のアクチュエータの各々は、前記ステージ本体、前記複数のロードセルおよび前記被駆動部の重心を中心として、複数の前記ステージ側取付部のいずれかと対称な位置で前記被駆動部を駆動する請求項2から4のいずれか一項に記載の基板接合装置。
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