JP5419072B2 - Si結晶およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、Si融液中にGaとGeとをドーピングすることを特徴とし、その後にSi結晶を作製することにより、高品質なSi結晶を得ることができる。
本発明に係るSi結晶は、単結晶の製造方法であるチョクラルスキー法や多結晶の製造方法であるキャスト法により製造することが出来る。
Claims (4)
- ドープ元素としてGaとGeとを含有し、前記Gaの濃度が1×10 16 atoms/cm 3 以上、3×10 18 atoms/cm 3 以下の範囲であり、前記Geの濃度が1×10 19 atoms/cm 3 以上、2×10 20 atoms/cm 3 以下の範囲であることを、特徴とするSi結晶。
- さらにBを含有することを、特徴とする請求項1記載のSi結晶。
- 請求項1または2記載のSi結晶を、チョクラルスキー法により製造することを、特徴とするSi結晶の製造方法。
- 請求項1または2記載のSi結晶を、キャスト法により製造することを、特徴とするSi結晶の製造方法。
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