JP5413713B2 - 液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 Download PDFInfo
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Description
ノズルプレート103は各液室106に対応して直径10〜30μmのノズル104を形成し、流路板101に接着剤を用いて接合している。このノズルプレート103は、金属材あるいは樹脂材からなるノズル形成部材の表面に所要の層を介して最表面に撥水層を形成したものである。なお、このノズルプレート103の表面がノズル面となる。また、ノズルプレート103が樹脂材からなる場合、レーザを用いて形成することもできる。レーザ加工には大別して2つのタイプがあり、本発明ではいずれのタイプも用いることができる。1つは、レーザを光学系で絞り込みオリフィスプレート上に焦点を当てて1孔1孔穿孔するタイプである。もう1つはマスクを使用して多くのノズル穴を一度に形成するタイプである。前者は1点ずつ穿孔箇所を移動する際に時間がかかるため、後者の方が加工効率、つまり生産コストに優れている。後者はさらに2つのタイプに分けることができる。1つはマスクをオリフィスプレートに密着させるタイプであり、もう1つはマスクとオリフィスプレートの間にレンズを介在させるタイプ(以下レンズ介在型と称す)である。
はじめに、図3の(a)に示すようなダイアフラム層102aとフレーム層102bからなる積層材料である振動板102に対して、図3の(b)に示すようにフレーム層102b上にマスク層102cを形成する。次に、アライメント穴102−1(102−2)とDP部102−5に対応する部分をパターニングする。このとき、図3に示される領域をレジスト側から見ると図4のようになる。アライメント穴102−1のパターンがφDの円で、DP部102−5のパターンは開口幅がDP幅dに等しい長円状リングである。次に、図3の(c)に示すように、ウェットエッチングによって、アライメント穴102−1とDP部102−5に対応するフレーム層102bを除去する。同時に、パターニングされたマスク層102dを形成する。最後に、図3の(d)に示すように、アライメント穴102−1に残ったダイアフラム層102aをフレーム層102bと同様にウェットエッチングにて除去する。通常、ピンアライメントするためのピン径は1mm程度である。これは、アセンブリの際に、他部品との接着・加圧に耐える強度を確保するためである。したがって、アライメント穴径φDは、ピン径1mmより数μm大きい。
102−1、102−2;アライメント穴、
102−3;凸部、102−4;溝、102−5;DP部、
102a;ダイアフラム層、102b;フレーム層、
200;画像形成装置。
Claims (8)
- ダイアフラム層とフレーム層とから構成され、前記フレーム層からなる複数の凸部と、前記フレーム層及び前記ダイアフラム層を共に貫通するアライメント穴とが形成された振動板を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記フレーム層のアライメント穴を形成するためのマスクパターンは、前記凸部を形成するためのマスクパターンの開口幅と等しい開口幅を持ったリング状パターンである液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記凸部を形成するために前記フレーム層に形成される溝と前記フレーム層のアライメント穴は、ウェットエッチングによって同時に形成され、その後に前記ダイアフラム層のアライメント穴をウェットエッチングによって形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - ダイアフラム層とフレーム層とから構成され、前記フレーム層からなる複数の凸部と、前記フレーム層及び前記ダイアフラム層を共に貫通するアライメント穴とが形成された振動板を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記フレーム層のアライメント穴を形成するためのマスクパターンは、前記凸部を形成するためのマスクパターンの開口幅と等しい開口幅を持ったリング状パターンである液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記凸部を形成するために前記フレーム層に形成される溝と前記フレーム層のアライメント穴は、ウェットエッチングによって同時に形成され、その後に前記ダイアフラム層のアライメント穴をレーザ加工によって形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記フレーム層のアライメント穴の内壁テーパ角度は、前記凸部の側壁のテーパ角度と等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ダイアフラム層のアライメント穴は、前記フレーム層の貫通穴よりも大きいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 前記フレーム層は、ステンレス、銅、あるいはシリコンであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ダイアフラム層は、ポリイミドもしくはポリフェニレンサルファイドであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項7記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。
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