JP5413389B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5413389B2 JP5413389B2 JP2011056576A JP2011056576A JP5413389B2 JP 5413389 B2 JP5413389 B2 JP 5413389B2 JP 2011056576 A JP2011056576 A JP 2011056576A JP 2011056576 A JP2011056576 A JP 2011056576A JP 5413389 B2 JP5413389 B2 JP 5413389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- sio
- exchange coupling
- magnetic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 322
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 68
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 68
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 280
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 63
- 239000000463 material Substances 0.000 description 26
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 12
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019233 CoFeNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006091 NiCrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000005345 chemically strengthened glass Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/676—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having magnetic layers separated by a nonmagnetic layer, e.g. antiferromagnetic layer, Cu layer or coupling layer
- G11B5/678—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having magnetic layers separated by a nonmagnetic layer, e.g. antiferromagnetic layer, Cu layer or coupling layer having three or more magnetic layers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
即ち、本発明は、非磁性基体上に磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、第1磁性層、交換結合制御層、第2磁性層、第3磁性層および第4磁性層をこの順に備えることを特徴とする。
図1は本発明の垂直磁気記録媒体の構成例を説明するための断面模式図である。垂直磁気記録媒体は、非磁性基体1上に、軟磁性裏打ち層2、シード層3、下地層4、磁気記録層5及び保護層6が順次積層され、更に、保護層6の上には液体潤滑層7が形成されている。磁気記録層5は、図1に示すように、第1磁性層51、交換結合制御層56、第2磁性層52、第3磁性層53、第4磁性層54をこの順に有している。
本発明の垂直磁気記録媒体において、非磁性基体1(非磁性基板と呼ばれる場合も有る。)の材料としては、通常の磁気記録媒体用に用いられるNiPメッキを施したAl合金、化学強化ガラス或いは結晶化ガラス等を用いることができる。基体の加熱温度を100℃以内に抑える場合は、ポリカーボネイト、ポリオレフィン等の樹脂からなるプラスチック基体を用いることもできる。その他、Si基体を用いることもできる。
図4は、本発明に係る、垂直磁気記録媒体の断面模式図であり、図1と異なる点は、第2磁性層52と第3磁性層53の間に交換結合制御層57をさらに設けた、第3磁性層53と第4磁性層54の間に交換結合制御層58をさらに設けた点である。
以下に本発明の垂直磁気記録媒体の実施例について説明する。なお、これらの実施例は、本発明の磁気記録媒体を好適に説明するための代表例に過ぎず、これらに限定されるものではない。
磁気記録層5の成膜工程を次のように変更したこと以外は、全て実施例1と同様にして垂直磁気記録媒体を作製した。
[比較例2]
磁気記録層5の成膜工程を次のように変更したこと以外は、全て実施例1と同様にして垂直磁気記録媒体を作製した。
[比較例3]
磁気記録層5の成膜工程を次のように変更したこと以外は、全て実施例1と同様にして垂直磁気記録媒体を作製した。
[比較例4]
Ru交換結合制御層56を成膜しないこと以外は、全て実施例1と同様にして垂直磁気記録媒体とする。
まず、事前検討として、実施例、各比較例に用いられた各磁性層に関して、各々単膜10nmでの磁気異方性をトルクメーターで測定した。その結果は、93モル%(Co22Pt3Cr)−7モル%(SiO2)はKu=8.2×106erg/cc、95モル%Co22Cr10Pt−5モル%(SiO2)はKu=2.0×106erg/cc、Co19Cr16PtはKu=4.2×106erg/cc、Co20Pt10CrはKu=8.0×106erg/cc、95モル%Co17Cr16Pt−5モル%(SiO2)はKu=4.2×106erg/cc、Co22Cr5PtはKu=2.0×106erg/ccであった。
Arガス圧50mTorr下で、89モル%(Co24Pt2Cr)−8モル%(TiO2)−3モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoPtCr−TiO2−SiO2磁性層51を6.0nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層56を0.10nmの厚さで形成した。次に、94モル%(Co17Cr)−6モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoCr−SiO2磁性層52を1.0nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層57を0.05nmの厚さで形成した。91モル%(Co16Cr17Pt)−7モル%(SiO2)−2モル%(Cr2O3)ターゲットを用いて、CoCrPt−SiO2−Cr2O3磁性層53を4.5nmの厚さで形成した。次に、Co22Pt5Cr5Bターゲットを用いて、CoPtCrB磁性層54を2.5nmの厚さで形成した。
Arガス圧50mTorr下で、89モル%(Co24Pt2Cr)−8モル%(TiO2)−3モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoPtCr−TiO2−SiO2磁性層51を5.7nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層56を0.12nmの厚さで形成した。次に、94モル%(Co17Cr)−6モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoCr−SiO2磁性層52を1.5nmの厚さで形成した。次に、91モル%(Co16Cr17Pt)−7モル%(SiO2)−2モル%(Cr2O3)ターゲットを用いて、CoCrPt−SiO2−Cr2O3磁性層53を4.3mの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層58を0.10nmの厚さで形成した。次に、Co22Pt5Cr5Bターゲットを用いて、CoPtCrB磁性層54を2.5nmの厚さで形成した。
Arガス圧50mTorr下で、89モル%(Co24Pt2Cr)−8モル%(TiO2)−3モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoPtCr−TiO2−SiO2磁性層51を6.2nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層56を0.10nmの厚さで形成した。次に、94モル%(Co17Cr)−6モル%(SiO2)ターゲットを用いて、CoCr−SiO2磁性層52を1.0nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層57を0.05nmの厚さで形成した。91モル%(Co16Cr17Pt)−7モル%(SiO2)−2モル%(Cr2O3)ターゲットを用いて、CoCrPt−SiO2−Cr2O3磁性層53を4.7nmの厚さで形成した。次に、Ruターゲットを用いて、Arガス圧10mTorrでRu交換結合制御層58を0.10nmの厚さで形成した。次に、Co22Pt5Cr5Bターゲットを用いて、CoPtCrB磁性層54を2.5nmの厚さで形成した。
Ru交換結合制御層56を成膜しないこと以外は、全て実施例2と同様にして垂直磁気記録媒体とする。
まず、事前検討として、実施例、各比較例に用いられる磁性層に関して、各々単膜10nmでの磁気異方性をトルクメーターで測定した。その結果、89モル%(Co24Pt2Cr)−8モル%(TiO2)−3モル%(SiO2)はKu=8.3×106erg/cc、94モル%(Co17Cr)−6モル%(SiO2)はKu=2.0×106erg/cc、91モル%(Co16Cr17Pt)−7モル%(SiO2)−2モル%(Cr2O3)はKu=4.0×106erg/cc、Co22Pt5Cr5BはKu=8.9×106erg/ccであった。
2 軟磁性裏打ち層
3 シード層
4 下地層
5 磁気記録層
51 第1磁性層
52 第2磁性層
53 第3磁性層
54 第4磁性層
56、57、58 交換結合制御層
6 保護層
7 液体潤滑層
Claims (4)
- 非磁性基体上に磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、第1磁性層、第1交換結合制御層、第2磁性層、第3磁性層および第4磁性層をこの順に備え、
前記第1磁性層、第2磁性層、第3磁性層および第4磁性層の垂直磁気異方性定数をそれぞれKu 1 、Ku 2 、Ku 3 およびKu 4 としたときに、Ku 4 >Ku 3 >Ku 2 、かつKu 1 >Ku 3 >Ku 2 の関係を満たすことを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記第2磁性層と前記第3磁性層の間に第2交換結合制御層を備えることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第3磁性層と前記第4磁性層の間に第2交換結合制御層を備えることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第2磁性層と前記第3磁性層の間に第2交換結合制御層を備え、前記第3磁性層と前記第4磁性層の間に第3交換結合制御層を備えることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011056576A JP5413389B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-03-15 | 垂直磁気記録媒体 |
MYPI2011003483A MY155369A (en) | 2010-08-02 | 2011-07-26 | Perpendicular magnetic recording medium |
SG2011053725A SG177876A1 (en) | 2010-08-02 | 2011-07-26 | Perpendicular magnetic recording medium |
CN201110229211.9A CN102347032B (zh) | 2010-08-02 | 2011-08-01 | 垂直磁记录介质 |
US13/196,045 US8557409B2 (en) | 2010-08-02 | 2011-08-02 | Perpendicular magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173411 | 2010-08-02 | ||
JP2010173411 | 2010-08-02 | ||
JP2011056576A JP5413389B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-03-15 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012053969A JP2012053969A (ja) | 2012-03-15 |
JP5413389B2 true JP5413389B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=45527049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011056576A Active JP5413389B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-03-15 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8557409B2 (ja) |
JP (1) | JP5413389B2 (ja) |
CN (1) | CN102347032B (ja) |
MY (1) | MY155369A (ja) |
SG (1) | SG177876A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9978413B2 (en) | 2006-06-17 | 2018-05-22 | Dieter Suess | Multilayer exchange spring recording media |
TW201219587A (en) * | 2010-11-05 | 2012-05-16 | Solar Applied Mat Tech Corp | Targets and recording materials in magnetic recording medium formed from the target |
JP5941331B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2016-06-29 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US20140093746A1 (en) * | 2012-09-30 | 2014-04-03 | Seagate Technology Llc | Magnetic seed layer |
US9552837B2 (en) * | 2013-11-01 | 2017-01-24 | HGST Netherlands B.V. | Vertically and horizontally weakly coupled perpendicular small grain media |
JP6535612B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2019-06-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US9990951B2 (en) * | 2016-02-23 | 2018-06-05 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording with multiple antiferromagnetically coupled layers |
TWI702294B (zh) * | 2018-07-31 | 2020-08-21 | 日商田中貴金屬工業股份有限公司 | 磁氣記錄媒體用濺鍍靶 |
WO2020031459A1 (ja) | 2018-08-09 | 2020-02-13 | Jx金属株式会社 | スパッタリングターゲット、グラニュラ膜および垂直磁気記録媒体 |
US11475916B1 (en) * | 2021-06-23 | 2022-10-18 | Western Digital Technologies, Inc. | Dual seed layer for magnetic recording media |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3136133B2 (ja) | 1998-10-09 | 2001-02-19 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体 |
JP4019703B2 (ja) | 2001-12-07 | 2007-12-12 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP2007273057A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US9978413B2 (en) * | 2006-06-17 | 2018-05-22 | Dieter Suess | Multilayer exchange spring recording media |
JP2008084481A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
JP5412729B2 (ja) | 2007-04-19 | 2014-02-12 | 富士電機株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
JP2010009683A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
-
2011
- 2011-03-15 JP JP2011056576A patent/JP5413389B2/ja active Active
- 2011-07-26 MY MYPI2011003483A patent/MY155369A/en unknown
- 2011-07-26 SG SG2011053725A patent/SG177876A1/en unknown
- 2011-08-01 CN CN201110229211.9A patent/CN102347032B/zh active Active
- 2011-08-02 US US13/196,045 patent/US8557409B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8557409B2 (en) | 2013-10-15 |
MY155369A (en) | 2015-10-15 |
SG177876A1 (en) | 2012-02-28 |
US20120028077A1 (en) | 2012-02-02 |
CN102347032A (zh) | 2012-02-08 |
CN102347032B (zh) | 2016-06-08 |
JP2012053969A (ja) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5413389B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US8431257B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
JP4540557B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US8758911B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording medium manufacturing method | |
JP5892213B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
JP4379817B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録装置 | |
JP4761224B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US20090073599A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus using the same | |
JP5182631B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US7871718B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
JP2006155861A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録再生装置 | |
JP2008146816A (ja) | 粒間交換強化層を含む多層記録構造を備えた垂直磁気記録媒体 | |
US7824785B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
JP4623594B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4534711B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5569213B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP3900999B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4771222B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5782819B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5516283B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2006004527A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP2014524633A (ja) | 二重連続層を有する記録スタック | |
JP4534402B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP5455188B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2013058273A (ja) | 垂直磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130618 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131015 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5413389 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |