JP4540557B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4540557B2 JP4540557B2 JP2005183707A JP2005183707A JP4540557B2 JP 4540557 B2 JP4540557 B2 JP 4540557B2 JP 2005183707 A JP2005183707 A JP 2005183707A JP 2005183707 A JP2005183707 A JP 2005183707A JP 4540557 B2 JP4540557 B2 JP 4540557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- layer
- recording layer
- recording medium
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 367
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 87
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 87
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 87
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 10
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 260
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 26
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 20
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 12
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 8
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 8
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 4
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 3
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 3
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 3
- 239000005345 chemically strengthened glass Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000009813 interlayer exchange coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 238000007885 magnetic separation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 229910001005 Ni3Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/676—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having magnetic layers separated by a nonmagnetic layer, e.g. antiferromagnetic layer, Cu layer or coupling layer
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
磁気記録媒体の高密度化を進めるためは、磁気記録層を構成する結晶粒子の磁気的な分離を促進し、磁化反転単位を小さくしていく必要がある。磁性体の熱安定性(熱揺らぎ耐性)は、一軸異方性定数をKuとし、活性化体積をVaとすると、両者の積であるKuVaという指標で表され、Vaは磁化反転単位の体積Vと相関していることが知られている。即ち、KuVa(あるいはKuV)が小さくなるほど磁気記録媒体の熱安定性は低下する。この指標から明らかなように、記録密度を向上するために磁化反転単位を小さくするとともに熱安定性が低下することとなり、垂直磁気記録媒体といえども熱揺らぎ問題を生じることとなる。従って、磁化反転単位を小さくしても熱安定性を維持するためには、Kuを大きくする必要がある。
また、磁化反転単位を小さくしていくと、反磁界が小さくなるため、磁気記録層の反転磁界は大きくなっていく。つまり、磁化反転単位を小さくするほど記録に必要となる磁場強度は大きくなっていくことになる。
つまり、高密度化に向けた磁化反転単位の微細化とKuの増加は、磁気記録媒体の記録分解能と熱安定性の向上に寄与するものの、双方とも「磁気記録媒体への記録しやすさ」(以下、単に「記録容易性」とも表記する。)を低下させることにつながる。
以上の背景から、記録容易性を低下させることなく磁気記録媒体の熱安定性や電磁変換特性を向上させる方法が求められている。
また、特許文献2では、面内磁気記録媒体に適用されている反強磁性結合(AFC)を垂直磁気記録媒体に適用することで、逆磁区ノイズを低減し、熱揺らぎ耐性を向上させるという方法が提案されている。しかし、反強磁性結合した磁気記録層を用いた場合、反転磁界が増大することが報告されており(例えば、非特許文献1参照。)、記録容易性の低下は本質的に避けられない。
より具体的には、非磁性基体、第1の磁気記録層、第1の磁気記録層の直上に設けられた結合層、結合層の直上に設けられた第2の磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層は、個別に磁化反転するように前記結合層によって結合エネルギーを制御されて強磁性結合しており、第1の磁気記録層および第2の磁気記録層は磁化容易軸が非磁性基体面に対して垂直方向であり、第1の磁気記録層の異方性磁界をHk1、一軸異方性定数をKu1、膜厚をT1とし、前記第2の磁気記録層の異方性磁界をHk2、一軸異方性定数をKu2、膜厚をT2として、Hk1>Hk2の場合はKu1T1>Ku2T2であり、Hk1<Hk2の場合はKu1T1<Ku2T2とすることを特徴とする。
また、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の単位面積当りの交換結合エネルギーは、5×10−3erg/cm2以上とすることが好ましい。
また、結合層としては、V、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Nb、Mo、Ru、Rh、Ta、W、Re、Irの内から選ばれる元素、またはこれらの内の少なくとも一つの元素を主成分とする合金を用いることが好ましく、その膜厚は2nm以下であることが好ましく、0.3nm以下とすることがさらに好ましい。このようにすることで、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の交換結合エネルギーを適切に制御することが可能となる。
また、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内の少なくともいずれか一つが、非磁性酸化物または非磁性窒化物のマトリクス中に磁性結晶粒子が分散してなるグラニュラー構造からなることが好ましい。
始めに、本発明の原理について説明する。
低ノイズ化、S/N向上等の磁気記録媒体性能の向上と熱安定性の両立を目指した反強磁性結合多層磁気記録層については、面内磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体における検討結果が既に報告されている。しかしながら、複数の磁気記録層間の結合エネルギーを制御した強磁性結合多層磁気記録層に関しては、充分な検討が行われているとは言いがたい。そこで、発明者らは、詳細な理論的および実験的な検討を行い、この結果、図2および図3の関係を得るに至った。
図2は、2層の磁気記録層において、規格化エネルギー障壁の磁気記録層間交換結合エネルギーに対する依存性を検討した結果の一例を示す。エネルギー障壁は熱安定性の指標であり、その値が大きいほど熱安定であることを示している。図2では、エネルギー障壁を、2層の磁気記録層間の交換結合エネルギーが0の時の値で規格化した値で表している。図中、点線から左側は2層の磁気記録層が反強磁性結合している状態であり、右側は強磁性結合している状態を表している。どちらの結合においても、層間の交換結合エネルギーの絶対値が大きくなるほど、結合が強くなっていく。図から明らかなように、2層の磁気記録層間の結合を反強磁性結合としても、強磁性結合としても、結合エネルギーの絶対値が大きくなるほど、即ち結合が強くなるほど熱安定性は増していく。
図2と図3を併せて考えると、2層の磁気記録層を反強磁性結合させた場合、交換結合エネルギーの絶対値を大きくするほど熱安定性は増すが、保磁力が増加して記録容易性が低下することになる。強磁性結合させた場合は、交換結合エネルギーが大きくなるほど熱安定性が増し、同時に記録容易性も向上する。このように、強磁性結合した2層の磁気記録層を用いることで、熱安定性と記録容易性の向上が同時に達成されることが明らかとなった。
図4、5を参照して、各磁気記録層が個別に磁化反転する場合について説明する。
図4は、第1の磁気記録層5と第2の磁気記録層7が結合層6を介して強磁性結合し、第2の磁気記録層が先に磁化反転する場合を例にとって示したもので、各磁気記録層の磁化の方向を矢印で表している。
図5は、この磁気記録媒体のヒステリシスループ(M−Hループ)の模式図で、横軸は磁気記録媒体に印加する外部磁場(H)、縦軸は磁気記録媒体の磁化(M)である。
図5において、磁気記録媒体を+Hの方向(図5で右側の方向)に十分大きな磁場で飽和させる。この時、各磁気記録層の磁化は図4の(A)の状態となる。そこから、磁場を徐々に−H方向(図5で左側の方向)にかけて行くと、Hc21で第2の磁気記録層が磁化反転する。この時、各磁気記録層の磁化は図4の(B)の状態となっている。磁気記録層が強磁性結合していることから、Hc21はHが負の側(図5の左半分)となる。更に−H方向の磁場を強くしていくと、Hc11で第1の磁気記録層も磁化反転する。この時、各磁気記録層の磁化は図4の(C)の状態となる。
一方で、磁気記録層間で強磁性結合を有することから、図2に示すように、エネルギー障壁が高く熱安定性は高く維持されている。このように、各磁気記録層を個別に、順次磁化反転させることで、熱安定性を阻害することなく反転磁界をより効果的に低下させることができるのである。
以下、本発明のより詳細な内容について説明する。
図1は、本発明の垂直磁気記録媒体の一実施形態を説明するためのもので、断面模式図で示している。非磁性基体1上に、軟磁性裏打ち層2、下地層3、非磁性中間層4、第1の磁気記録層5、結合層6、第2の磁気記録層7、保護層8、液体潤滑層9を順次形成している。
非磁性基体1としては、磁気記録媒体用に通常用いられる基体であってよく、例えば、NiPメッキを施したAl合金や強化ガラス、結晶化ガラス等を用いることができる。また、基板加熱温度を100℃以内に抑える場合は、ポリカーボネイト、ポリオレフィン等の樹脂からなるプラスチック基板を用いることもできる。
下地層3は、その上に形成する非磁性中間層4または第1の磁気記録層5の結晶配向性、結晶粒径等を制御するために形成することが好ましい層で、非磁性材料、軟磁性材料を用いることができる。下地層を省略することも可能である。
非磁性材料としては、Ta、Zr、Ni3Alなどの材料を用いることができる。非磁性材料を用いる場合は、記録ヘッドが発生する磁場を軟磁性裏打ち層に効果的に集中させる観点からは膜厚が薄い程良く、0.2nm以上10nm以下とすることが望ましい。
非磁性中間層4は、第1の磁気記録層5の結晶配向性、結晶粒径及び粒界偏析を好適に制御するために形成する。非磁性中間層4を省略することも可能である。その材料としては、RuまたはRu中にC、Cu、W、Mo、Cr、Ir、Pt、Re、Rh、Ta、Vからなる群から選択される材料を1種類以上添加したRu基合金、あるいはPt、Ir、Re、Rhなどを用いることが好ましい。非磁性中間層の膜厚は、磁気記録層の磁気特性や電磁変換特性を劣化させない範囲で可能な限り薄くすることが、高密度記録を実現するためには必要であり、具体的には1nm以上20nm以下とすることが好ましい。
結合層6は、第1の磁気記録層5と第2の磁気記録層7を適切に強磁性結合させるために必要な層である。即ち、2層の磁気記録層を結合層を備えずに積層した場合は、これらは全く同時に磁化反転することとなり、個別に磁化反転することにより熱安定性を向上させながら反転磁界を低下させるという機能を持たせることが出来なくなる。また、積層した磁気記録層の交換結合が完全に切れた場合には、図2において交換結合エネルギーが0の点から明らかなように、エネルギー障壁が低くなり、熱安定性を向上させることができない。従って、強磁性結合を維持しながら、適切な磁気記録層間の結合エネルギーを導出するという観点から、結合層が必要となる。磁気記録層間の強磁性結合は、垂直磁気記録媒体が使用される常温にて生じていることが必要である。
実際の垂直磁気記録媒体では、反磁界の影響でヒステリシスループが傾きを持つこと、および反磁界係数を正確に見積ることが困難なため、Jは概算値となるが、発明者らの検討によるとJが5×10−3erg/cm2以上であれば、積層による熱安定性向上と反転磁界低下の効果を得ることができた。
なお、他にもPdやPtなどの材料でも強磁性結合を得ることができる。しかし、PdやPtを用いた場合、結合層と磁気記録層の界面において異方性エネルギーが増大してしまい、却って反転磁界の増大を招くという結果が得られており、不適である。
また、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の単位面積当りの交換結合エネルギーを5×10−3erg/cm2以上とし、かつ第2の磁気記録層の結晶配向を良好に保つために、結合層6の膜厚は2nm以下とすることが好ましい。発明者らの検討によれば、結合層6の材料の内、Fe、Co、Niを除く材料では、結合層6の膜厚を0.3nm以下とするか、または1.2nm以上かつ2nm以下とすることで、適切な強磁性結合状態を得ることができる。膜厚が2nmを超えると結合エネルギーが小さくなりすぎるため、熱安定性向上の効果が得られなくなる。また、強磁性材料であるFe、Co、Niの場合には、膜厚が2nmを超えるとFe、Co、Niの磁気特性が強く現れてしまい、磁気記録媒体の特性を劣化させる原因となるため、結合層6の膜厚を2nm以下とすることが好ましい。
第2の磁気記録層7としては、第1の磁気記録層5と同様の材料、構成を用いることができる。
第1の磁気記録層と第2の磁気記録層は次の関係を満たすように設定する。第1の磁気記録層の一軸異方性定数をKu1、膜厚をT1、異方性磁界をHk1とし、第2の磁気記録層の一軸異方性定数をKu2、膜厚をT2、異方性磁界をHk2として、Hk1>Hk2の場合は、Ku1T1>Ku2T2となるよう設定する。またHk1<Hk2の場合は、Ku1T1<Ku2T2を満たすように、第1および第2の磁気記録層の膜厚および材料を設定する。
次に、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内、Hkの低い磁気記録層の組成の設定について説明する。媒体ノイズを低減し、S/Nを向上させるためには、磁気記録層のPt含有量を低減することが好ましい。しかしながら、Pt含有量を低減するに伴い、熱安定性が劣化する。従って、従来の磁気記録層で熱安定性を確保する場合には、Pt含有量は10原子%を超えて高く設定されていた。これに対し、本発明に係る結合エネルギーを制御した積層磁気記録層を用いれば、十分な熱安定性を維持できるため、Pt含有量を低減することが可能となる。より具体的には、最もHkの低い磁気記録層、即ち最初に磁化反転を開始する磁気記録層のPt含有量を低減することが可能となる。当該層にPtを全く含まない材料を適用することも可能である。更に、発明者らの検討によれば、Ptを含む場合にはその含有量を10原子%以下とすることで、媒体ノイズを低減し、S/Nを向上させるとともに、反転磁界を効果的に低下できることが明らかとなった。即ち、磁気記録層の組成については、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内、Hkの低い磁気記録層において、少なくともCoとCrを含有して構成し、Ptを含む場合にはその含有量が10原子%以下であるように構成することが好ましい。
より具体的には、第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内、Hkの低い磁気記録層として、例えば、78原子%Co−22原子%Cr、76原子%Co−18原子%Cr−6原子%B、66原子%Co−20原子%Cr−10原子%Pt−4原子%B、75原子%Co−18原子%Cr−5原子%Pt−2原子%Ta等を用いることができる。
磁気記録層を3層以上により構成することも可能である。即ち、各磁気記録層の間に結合層を設けて強磁性結合を備え、かつ各磁気記録層の異方性磁界Hkの大小の順序に併せて、各磁気記録層の一軸異方性定数と膜厚の積KuTの大小の順序を設定する。このようにして、各磁気記録層を個別に磁化反転させることにより、3層以上の磁気記録層を備える場合においても熱安定性向上の効果と同時に、反転磁界を低下させる効果を得ることが可能となる。
保護層8は、例えばカーボンを主体とする薄膜が用いられる。その他、磁気記録媒体の保護層として一般的に用いられる様々な薄膜材料を使用しても良い。
液体潤滑層9は、例えばパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を用いることができる。その他、磁気記録媒体の液体潤滑層材料として一般的に用いられる様々な潤滑材料を使用しても良い。
以下に本発明の垂直磁気記録媒体について実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
非磁性基体1として表面が平滑な化学強化ガラス基板(HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、87原子%Co−5原子%Zr−8原子%Nbターゲットを用いてCoZrNb非晶質軟磁性裏打ち層2を200nmの膜厚で成膜した。次にパーマロイ系合金である82原子%Ni−12原子%Fe−6原子%Siターゲットを用いてNiFeSi下地層3を11nmの膜厚で成膜した。引き続いて、Ruターゲットを用いて、Arガス圧4.0Pa下でRu非磁性中間層4を10nmの膜厚で成膜した。引き続いて90モル%(74原子%Co−12原子%Cr−14原子%Pt)−10モル%SiO2ターゲットを用いてガス圧5.3Pa下でグラニュラー構造のCoCrPt−SiO2第1磁気記録層5を10nmの膜厚で成膜した。次に、Ruターゲットを用いて、Ru結合層6を0.2nmの膜厚で成膜した。引き続いて、90モル%(72原子%Co−16原子%Cr−12原子%Pt)−10モル%SiO2ターゲットを用いてガス圧5.3Pa下でグラニュラー構造のCoCrPt−SiO2第2磁気記録層7を6nmの膜厚で成膜した。最後にカーボンターゲットを用いてカーボンからなる保護層8を7nmの膜厚で成膜後、真空装置から取り出した。Ru非磁性中間層およびCoCrPt−SiO2第1および第2磁気記録層を除く各層の成膜はすべてArガス圧0.67Pa下で行った。CoCrPt−SiO2第1および第2磁気記録層はRFマグネトロンスパッタリング法により、それ以外の各層はDCマグネトロンスパッタリング法により形成した。その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑層9を2nmの膜厚でディップ法により形成し、垂直磁気記録媒体とした。
(比較例1)
Ru結合層6とCoCrPt−SiO2第2磁気記録層7を成膜しなかったこと以外は実施例1と全く同様にして垂直磁気記録媒体を作製して比較例1とした。
上述のようにして得られた実施例1および比較例1について、カー(Kerr)効果測定装置を用いて保磁力(Hc)を測定し、リード・ライトテスタを用いてオーバーライト(O/W)、信号出力、規格化ノイズ、再生信号出力対ノイズ比(S/N)、D50、信号出力の減衰率(Decay)を測定し、比較した。ここでD50は出力が最大値の半分になる時の線記録密度を表す。
図6を参照すれば、比較例1は実施例1に比べてO/Wが低く、記録電流を増加させてもO/Wは20dB程度までしか向上していないことが分かる。これに対し、実施例1では、一般に必要と言われるO/W>30dBの条件を低い記録電流で実現しており、更に、今回用いたヘッドの定格電流である50mAでは35dB以上になっている。この結果から、実施例1に係る磁気記録媒体の記録容易性が良好であることが分かる。
通常、Hcが低下すると電磁変換特性も低下すると考えられるが、実施例1は全く逆であり、比較例1に比べて、出力の向上、ノイズの低減が達成され、S/Nが2dB向上していることがわかる。また、D50は磁気記録媒体の記録分解能を表し、この値が大きいほど高密度まで記録可能であることを示すが、実施例1では比較例1と比べてD50が約8%向上しており、磁気記録媒体の高密度化が達成されていることが分かる。信号出力の減衰率に関しては、その値が小さいほど熱安定性が高いことを表しているが、表1から明らかなように、実施例1と比較例1の信号出力の減衰率の差は誤差の範囲であり、実施例1、比較例1とも信号出力の減衰率はほぼ0であると言って良い。
CoCrPt−SiO2第1磁気記録層の膜厚を7nmとし、第2磁気記録層の膜厚を12nmとしたこと以外は実施例1と全く同様にして垂直磁気記録媒体を作製して比較例2とした。第1磁気記録層および第2磁気記録層の交換結合エネルギー、一軸異方性定数Ku1、Ku2、異方性磁界Hk1、Hk2は、それぞれ実施例1と同等である。即ち、第1磁気記録層の膜厚と第2磁気記録層の膜厚を調整して、Ku1T1が2.9×10−12erg/cm2、Ku2T2が3.0×10−12erg/cm2として、Ku2T2がKu1T1よりやや大きくなるようにしたものである。
比較例2の垂直磁気記録媒体について、前述と全く同様の手法でHc、TAA、O/W、規格化ノイズ、S/N、D50、信号出力の減衰率を測定した。表2に、実施例1および比較例2を比較した結果を示す。
以上のように、全く同じ材料を使用した層構成としているにも係らず、第1磁気記録層と第2磁気記録層のKu1T1、Ku2T2が異なるだけでHcを下げることができず、また電磁変換特性が大幅に劣化することが明らかとなった。この結果から、実施例1および比較例2のようにHk1>Hk2の場合には、Ku1T1>Ku2T2に設定することが、反転磁界を十分に低下させ、高い電磁変換特性を得るために必要であることが分かった。
非磁性基体1として表面が平滑な化学強化ガラス基板(HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、87原子%Co−5原子%Zr−8原子%Nbターゲットを用いてCoZrNb非晶質軟磁性裏打ち層2を200nmの膜厚で成膜した。次にパーマロイ系合金である82原子%Ni−12原子%Fe−6原子%Siターゲットを用いてNiFeSi下地層3を11nmの膜厚で成膜した。引き続いて、Ruターゲットを用いて、Arガス圧4.0Pa下でRu非磁性中間層4を10nmの膜厚で成膜した。引き続いて90モル%(72原子%Co−10原子%Cr−18原子%Pt)−10モル%SiO2ターゲットを用いてガス圧5.3Pa下でグラニュラー構造のCoCrPt−SiO2第1磁気記録層5を10nmの膜厚で成膜した。次に、Coターゲットを用いて、10体積%のN2ガスを添加したArガスを用いて、ガス圧1Pa下でCo結合層6を0.3nmの膜厚で成膜した。引き続いて、70原子%Co−20原子%Cr−10原子%Ptターゲットを用いてCoCrPt第2磁気記録層7を6nmの膜厚で成膜した。最後にカーボンターゲットを用いてカーボンからなる保護層8を7nmの膜厚で成膜後、真空装置から取り出した。Ru非磁性中間層、CoCrPt−SiO2第1磁気記録層およびCo結合層を除く各層の成膜はすべてArガス圧0.67Pa下で行った。CoCrPt−SiO2第1磁気記録層はRFマグネトロンスパッタリング法により、それ以外の各層はDCマグネトロンスパッタリング法により形成した。その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑層9を2nmの膜厚でディップ法により形成し、垂直磁気記録媒体とした。
(比較例3)
Co結合層6とCoCrPt第2磁気記録層7を成膜しなかったこと以外は実施例2と全く同様にして垂直磁気記録媒体を作製して比較例3とした。
上述のようにして得られた実施例2および比較例3について、実施例1の場合と同様に、Hc、O/W、規格化ノイズ、S/N、D50、信号出力の減衰率を測定して比較した。表3に実施例2および比較例3に係る磁気記録媒体のHc、336kfciで記録した信号上に45kfciの信号を上書きした時のO/W、336kfciにおける規格化ノイズ、S/N、D50、28kfciにおける信号出力の減衰率を示す。
非磁性基体1として表面が平滑な化学強化ガラス基板(HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、87原子%Co−5原子%Zr−8原子%Nbターゲットを用いてCoZrNb非晶質軟磁性裏打ち層2を200nmの膜厚で成膜した。次にパーマロイ系合金である82原子%Ni−12原子%Fe−6原子%Siターゲットを用いてNiFeSi下地層3を11nmの膜厚で成膜した。引き続いて、Ruターゲットを用いて、Arガス圧4.0Pa下でRu非磁性中間層4を10nmの膜厚で成膜した。引き続いて90モル%(72原子%Co−10原子%Cr−18原子%Pt)−10モル%SiO2ターゲットを用いてガス圧5.3Pa下でグラニュラー構造のCoCrPt−SiO2第1磁気記録層5を9.5nmの膜厚で成膜した。次に、Ruターゲットを用いて、Ru結合層6を1.6nmの膜厚で成膜した。引き続いて、61原子%Co−22原子%Cr−13原子%Pt−4原子%Bターゲットを用いてCoCrPtB第2磁気記録層7を6.5nmの膜厚で成膜した。最後にカーボンターゲットを用いてカーボンからなる保護層8を7nmの膜厚で成膜後、真空装置から取り出した。Ru非磁性中間層およびCoCrPt−SiO2第1磁気記録層を除く各層の成膜はすべてArガス圧0.67Pa下で行った。CoCrPt−SiO2第1磁気記録層はRFマグネトロンスパッタリング法により、それ以外の各層はDCマグネトロンスパッタリング法により形成した。その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑層9を2nmの膜厚でディップ法により形成し、垂直磁気記録媒体とした。
(比較例4)
Ru結合層6とCoCrPtB第2磁気記録層7を成膜しなかったこと以外は実施例3と全く同様にして垂直磁気記録媒体を作製して比較例4とした。
まず、実施例3〜6のKu1、Ku2等を実施例1の場合と同様にして測定した。実施例3〜6のKu1T1は4.8×10−12erg/cm2、Hk1は20.0kOeであり、Ku2T2は実施例3と4が1.2×10−12erg/cm2、実施例5が9.8×10−13erg/cm2、実施例6が8.5×10−13erg/cm2であった。Hk2は実施例3と4が13.2kOe、実施例5が10.1kOe、実施例6が8.17kOeであった。従って、Hk1>Hk2かつKu1T1>Ku2T2となっている。
比較例4と実施例3、4、5、6を比較すると明らかであるが、本発明に係る強磁性結合した2層磁性層により、Hcが低下してO/Wが向上するとともに、信号の減衰率が大幅に小さくなっている。つまり、媒体の記録容易性と熱安定性が大幅に向上していることが分かる。加えて、低ノイズ化、S/N向上といった磁気記録媒体としての性能向上も達成されており、高密度化にも繋がっていることが分かる。
2 軟磁性裏打ち層
3 下地層
4 非磁性中間層
5 第1の磁気記録層
6 結合層
7 第2の磁気記録層
8 保護層
9 液体潤滑層
Claims (8)
- 非磁性基体、第1の磁気記録層、該第1の磁気記録層の直上に設けられた結合層、該結合層の直上に設けられた第2の磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、前記第1の磁気記録層と第2の磁気記録層は、個別に磁化反転するように前記結合層によって結合エネルギーを制御されて強磁性結合しており、前記第1の磁気記録層および第2の磁気記録層は磁化容易軸が前記非磁性基体面に対して垂直方向であり、前記第1の磁気記録層の異方性磁界をHk1、一軸異方性定数をKu1、膜厚をT1とし、前記第2の磁気記録層の異方性磁界をHk2、一軸異方性定数をKu2、膜厚をT2として、Hk1>Hk2の場合はKu1T1>Ku2T2であり、Hk1<Hk2の場合はKu1T1<Ku2T2であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 前記第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の単位面積当りの交換結合エネルギーが、5×10−3erg/cm2以上であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記結合層が、V、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Nb、Mo、Ru、Rh、Ta、W、Re、Irの内から選ばれる元素、またはこれらの内の少なくとも一つの元素を主成分とする合金を用いることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記結合層の膜厚が、2nm以下であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記結合層の膜厚が、0.3nm以下であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内の少なくともいずれか一つが、非磁性酸化物または非磁性窒化物のマトリクス中に磁性結晶粒子が分散してなるグラニュラー構造からなることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内、Hkの低い磁気記録層がCoとCrを含有し、Ptの含有量が0原子%以上、10原子%以下であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第1の磁気記録層と第2の磁気記録層の内、Hkの低い磁気記録層が、Ta、B、Nb、Nの内から選ばれる少なくとも一つの元素をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005183707A JP4540557B2 (ja) | 2004-07-05 | 2005-06-23 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004197775 | 2004-07-05 | ||
JP2005183707A JP4540557B2 (ja) | 2004-07-05 | 2005-06-23 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006048900A JP2006048900A (ja) | 2006-02-16 |
JP4540557B2 true JP4540557B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=36076943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005183707A Active JP4540557B2 (ja) | 2004-07-05 | 2005-06-23 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8329321B2 (ja) |
JP (1) | JP4540557B2 (ja) |
CN (1) | CN100570715C (ja) |
MY (1) | MY146728A (ja) |
Families Citing this family (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8323808B2 (en) | 2004-01-09 | 2012-12-04 | Fuji Electric Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
US7687157B2 (en) * | 2005-02-04 | 2010-03-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular recording media having an exchange-spring structure |
US20060228586A1 (en) * | 2005-04-06 | 2006-10-12 | Seagate Technology Llc | Ferromagnetically coupled magnetic recording media |
JP2007220177A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
US7550210B2 (en) * | 2006-03-09 | 2009-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with multiple exchange-coupled magnetic layers having substantially similar anisotropy fields |
JP4564933B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2010-10-20 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | 垂直磁気記録媒体とその磁気特性評価法、及び磁気記録再生装置 |
JP2007257804A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
JP4628294B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-02-09 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | 磁気記憶装置 |
JP2007273057A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP2007273054A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US7488545B2 (en) * | 2006-04-12 | 2009-02-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with laminated recording layers formed of exchange-coupled ferromagnetic layers |
JP2007317304A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US8263239B2 (en) * | 2006-06-26 | 2012-09-11 | HGST Netherlands B.V. | Laminated magnetic thin films for magnetic recording with weak ferromagnetic coupling |
JP4623594B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2011-02-02 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
JP4771222B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-09-14 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
JP2008084413A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録装置 |
KR100829575B1 (ko) * | 2006-11-03 | 2008-05-14 | 삼성전자주식회사 | 패턴화된 자기 기록 매체 |
JP2008140460A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US20080138662A1 (en) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with multilayer recording structure including intergranular exchange enhancement layer |
US20080144213A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with laminated magnetic layers separated by a ferromagnetic interlayer for intergranular exchange-coupling enhancement |
JP2008176858A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直磁気記録媒体、及びそれを用いたハードディスクドライブ |
JP2008204493A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Fujitsu Ltd | ディスクリート型の磁気記録媒体 |
JP2008226416A (ja) | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体とその製造方法 |
JPWO2008126133A1 (ja) * | 2007-03-19 | 2010-07-15 | 昭和電工株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
US7638210B2 (en) * | 2007-04-16 | 2009-12-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with exchange-coupled magnetic layers and improved coupling layer |
JP5412729B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2014-02-12 | 富士電機株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
WO2008132880A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | 垂直磁気記録媒体 |
JP2008287829A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JP5260510B2 (ja) | 2007-05-30 | 2013-08-14 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JP2009015959A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
JP5103097B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2012-12-19 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 |
KR101344407B1 (ko) * | 2007-09-21 | 2013-12-26 | 후지 덴키 가부시키가이샤 | 자기기록매체 |
JP2009080904A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | 磁気記録装置 |
WO2009044811A1 (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Showa Denko K.K. | 垂直磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |
JP2009087501A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
JP2009087500A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
JP2009110606A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 |
JP5179833B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2013-04-10 | 昭和電工株式会社 | 垂直磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 |
US20090155627A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Discrete track media with a capped media structure having high moment and exchange |
JP2009187597A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
JP2009187608A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録パターンド媒体および磁気記録再生装置 |
US9127365B2 (en) * | 2008-02-16 | 2015-09-08 | HGST Netherlands B.V. | Generation of multilayer structures in a single sputtering module of a multi-station magnetic recording media fabrication tool |
JP2009199691A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4968591B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2012-07-04 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP4922976B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-04-25 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US20110019308A1 (en) * | 2008-03-28 | 2011-01-27 | Showa Denko K.K. | Perpendicular magnetic recording medium, method of manufacturing perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording/reproducing apparatus |
JP2011034603A (ja) * | 2008-03-31 | 2011-02-17 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JP2010040071A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体の製造方法、および磁気記憶装置 |
WO2010032766A1 (ja) * | 2008-09-16 | 2010-03-25 | Hoya株式会社 | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
US20100073813A1 (en) * | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Qing Dai | PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIA HAVING A CAP LAYER FORMED FROM A CoPtCr ALLOY |
JPWO2010038448A1 (ja) * | 2008-09-30 | 2012-03-01 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
JP5153575B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2013-02-27 | 株式会社日立製作所 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
JP5245734B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2013-07-24 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
SG162634A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-07-29 | Showa Denko Hd Singapore Pte L | Perpendicular magnetic recording medium |
US8685547B2 (en) * | 2009-02-19 | 2014-04-01 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media with enhanced writability and thermal stability |
US20100247960A1 (en) * | 2009-03-31 | 2010-09-30 | Seagate Technology Llc | Patterned ecc and gradient anisotropy media through electrodeposition |
JP5182275B2 (ja) | 2009-11-18 | 2013-04-17 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP5448750B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-03-19 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 磁気記録媒体 |
US8168310B2 (en) | 2009-12-15 | 2012-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording media with oxide-containing exchange coupling layer |
JP2011253597A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
SG189257A1 (en) * | 2010-12-17 | 2013-05-31 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Sputtering target for magnetic recording film and method for producing same |
JP2012203933A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 記録層上部に軟磁性粒子混在保護層を有する垂直磁気記録媒体及びこれを備えた磁気ディスク装置 |
US20120307395A1 (en) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIUM WITH AN INVERTED Hk STRUCTURE |
US9040180B2 (en) * | 2011-06-08 | 2015-05-26 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording disk with multiple magnetic layers and intermediate dual nucleation films for control of grain size |
JP2011227992A (ja) * | 2011-08-15 | 2011-11-10 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
US8787130B1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-07-22 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing heat assisted magnetic recording media configured to couple energy from a near field transducer |
US9406327B2 (en) * | 2013-08-30 | 2016-08-02 | HGST Netherlands B.V. | Granular media with a high-Hk assist layer for microwave-assisted magnetic recording |
US9685184B1 (en) | 2014-09-25 | 2017-06-20 | WD Media, LLC | NiFeX-based seed layer for magnetic recording media |
US9990940B1 (en) | 2014-12-30 | 2018-06-05 | WD Media, LLC | Seed structure for perpendicular magnetic recording media |
US10204671B2 (en) | 2017-03-10 | 2019-02-12 | Simon Fraser University | Applications of non-collinearly coupled magnetic layers |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5851643A (en) * | 1993-11-11 | 1998-12-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording read-back system which uses such media |
US6183893B1 (en) * | 1998-04-06 | 2001-02-06 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus using the same |
US6468670B1 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-22 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with composite perpendicular recording layer |
JP2002358616A (ja) * | 2000-06-12 | 2002-12-13 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
US20020192506A1 (en) * | 2001-06-04 | 2002-12-19 | International Business Machines Corporation | `Thermal Spring' magnetic recording media for writing using magnetic and thermal gradients |
JP2003157516A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体および磁気記録装置 |
JP4515690B2 (ja) | 2002-05-29 | 2010-08-04 | 昭和電工株式会社 | 垂直多層磁気記録媒体 |
JP2004039033A (ja) | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US6939626B2 (en) * | 2003-07-24 | 2005-09-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic anisotropy adjusted laminated magnetic thin films for magnetic recording |
JP2005085338A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体、磁気記憶装置、及び記録方法 |
US7081309B2 (en) * | 2004-03-23 | 2006-07-25 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic recording disk with antiferromagnetically-coupled magnetic layer having multiple ferromagnetically-coupled lower layers |
-
2005
- 2005-06-23 JP JP2005183707A patent/JP4540557B2/ja active Active
- 2005-07-01 US US11/174,281 patent/US8329321B2/en active Active
- 2005-07-04 MY MYPI20053049A patent/MY146728A/en unknown
- 2005-07-05 CN CNB2005100833196A patent/CN100570715C/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100570715C (zh) | 2009-12-16 |
US20060177703A1 (en) | 2006-08-10 |
MY146728A (en) | 2012-09-14 |
CN1734565A (zh) | 2006-02-15 |
US8329321B2 (en) | 2012-12-11 |
JP2006048900A (ja) | 2006-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4540557B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5892213B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
JP5103097B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
US8592060B2 (en) | Perpendicular magnetic recording media having low medium noise and systems using the same | |
JP4379817B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録装置 | |
US20070231609A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic memory apparatus | |
JP5274998B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 | |
US8557409B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
JP2008034060A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
US6902835B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus | |
JP5412729B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4534711B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2013168197A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2009032356A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP4771222B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2006079718A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5782819B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4367326B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US20050153168A1 (en) | Co-based perpendicular magnetic recording media | |
JP2006286106A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP4233710B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP5516283B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP3643536B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
JP2009070555A (ja) | 磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060703 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060704 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070614 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20070625 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20070810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071022 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080306 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20081216 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090219 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4540557 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |