JP5412443B2 - Pcb圧力センサにおける一体型空洞 - Google Patents
Pcb圧力センサにおける一体型空洞 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5412443B2 JP5412443B2 JP2010545214A JP2010545214A JP5412443B2 JP 5412443 B2 JP5412443 B2 JP 5412443B2 JP 2010545214 A JP2010545214 A JP 2010545214A JP 2010545214 A JP2010545214 A JP 2010545214A JP 5412443 B2 JP5412443 B2 JP 5412443B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- plate
- opening
- printed circuit
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 61
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0272—Adaptations for fluid transport, e.g. channels, holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10151—Sensor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4697—Manufacturing multilayer circuits having cavities, e.g. for mounting components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49126—Assembling bases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
本発明は、概して、圧力センサに関し、より具体的には、PCB圧力センサに関する。
圧力センサにおける圧力伝達のためのチャネルおよび/または空洞は、通常は、プラスチック部品および金属部品の成形、形成、溶接、接合、機械加工によってアセンブリ構造において作成される。多くの場合、これは、高価であり、困難な組み立て工程をもたらす。この点に関し、圧力チャネル、回路レイアウト、および装着特徴、ならびに他の構成要素を含み、その全てが同一の構造内に含まれる圧力センサアセンブリの必要性がある。
本発明の第1の局面によると、一体型圧力センサアセンブリが提供される。一体型圧力センサアセンブリは、複数の板を備えるプリント回路基板アセンブリと、プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に装着される圧力ダイと、プリント回路基板アセンブリを少なくとも部分的に囲繞する筺体とを含む。プリント回路基板アセンブリは、少なくとも1つの圧力チャネルおよび少なくとも1つの電気チャネルを含む。好ましくは、プリント回路基板アセンブリは、底部板と、上部板と、上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板とを備える。上部板は、好ましくは、各々が圧力チャネルの一部分を部分的に画定する第1の開口部および第2の開口部を備える。好ましくは、少なくとも1つの中心板は、第1の開口部を含み、少なくとも1つの中心板における第1の開口部は、上部板における第1の開口部と流体連通する。好ましくは、少なくとも1つの中心板における第1の開口部は、スロットであり、少なくとも1つの中心板における第1の開口部は、上部板における第2の開口部と流体連通する。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
一体型圧力センサアセンブリであって、
(a)複数の板を備えるプリント回路基板アセンブリと、
(b)該プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に装着される圧力ダイと、
(c)該プリント回路基板アセンブリを少なくとも部分的に囲繞する筺体と
を備え、該プリント回路基板アセンブリは、少なくとも1つの圧力チャネルおよび少なくとも1つの電気チャネルを備える、一体型圧力センサアセンブリ。
(項目2)
前記プリント回路基板アセンブリは、
(a)底部板と、
(b)上部板と、
(c)前記上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と
を備える、項目1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目3)
前記上部板は、第1の開口部および第2の開口部を備え、各々の開口部が前記圧力チャネルの一部分を部分的に画定する、項目2に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目4)
前記少なくとも1つの中心板は、第1の開口部を備え、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第1の開口部と流体連通する、項目3に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目5)
前記少なくとも1つの中心板における前記第1の開口部は、スロットであり、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第2の開口部と流体連通する、項目4に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目6)
前記筺体は、少なくとも1つの圧力ポートを備える、項目1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目7)
回路層は、前記上部板の上部側および前記底部板の底部側の各々に配置される、項目1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目8)
回路層は、前記少なくとも1つの中心板の上部側および該少なくとも1つの中心板の底部側の各々に配置され、該回路層は、前記電気チャネルを少なくとも部分的に画定する、項目7に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目9)
回路層は、前記上部板の底部および前記底部板の上部の各々に配置され、該回路層は、前記電気チャネルを少なくとも部分的に画定する、項目7に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目10)
方法であって、
(a)
(i)底部板と、
(ii)上部板と、
(iii)該上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と
を備えるプリント回路基板アセンブリを提供することと、
(b)該プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に配置される圧力ダイを提供することと、
(c)筺体であって、該筺体は、該プリント回路基板アセンブリを少なくとも部分的に囲繞する、筺体を提供することと
を含み、該プリント回路基板アセンブリは、少なくとも1つの流体伝達チャネルおよび少なくとも1つの電気伝達チャネルを備える、方法。
(項目11)
前記圧力ダイは、圧電センサである、項目1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
(項目12)
前記上部板において、第1の開口部および第2の開口部を画定することをさらに含み、各々は、前記流体伝達チャネルの一部分を部分的に画定する、項目10に記載の方法。
(項目13)
前記少なくとも1つの中心板において、第1の開口部を画定することをさらに含み、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第1の開口部と流体連通する、項目12に記載の方法。
(項目14)
前記少なくとも1つの中心板における第1の開口部は、スロットであり、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第2の開口部と流体連通する、項目13に記載の方法。
(項目15)
前記流体伝達チャネルを少なくとも部分的に画定するために、前記上部板上の前記第1および第2の開口部を、前記中心板上の前記第1の開口部と整列するステップをさらに含む、項目14に記載の方法。
(項目16)
(a)底部板と、
(b)上部板と、
(c)該上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と
を備えるプリント回路基板アセンブリであって、該プリント回路基板アセンブリは、そこを通る少なくとも1つの流体チャネルおよび少なくとも1つの電気チャネルを備える、プリント回路基板アセンブリ。
(項目17)
前記流体チャネルは、前記上部板、底部板、および中心板のうちの少なくとも2つを貫通する、項目16に記載のプリント回路基板アセンブリ。
(項目18)
前記流体チャネルは、前記板のうちの少なくとも2つの間で流体連通を提供し、前記電気チャネルは、該板のうちの少なくとも2つの間で電気通信を提供する、項目16に記載のプリント回路基板アセンブリ。
(項目19)
前記プリント回路基板アセンブリの一部分上に少なくとも部分的に配置される検知要素をさらに備え、該検知要素は、前記流体チャネルにおける圧力を測定する、項目16に記載のプリント回路基板アセンブリ。
(項目20)
前記検知要素は、前記上部板上の第1の開口部の上に少なくとも部分的に配置され、該第1の開口部は、前記流体チャネルを少なくとも部分的に画定する、項目19に記載のプリント回路基板アセンブリ。
本明細書において使用する「前部」、「後部」、「上部」、「底部」、「側面」等の用語が、単に、説明を容易にするためのものであり、図面に示す構成要素の配向を指すことを理解されたい。
Claims (19)
- 一体型圧力センサアセンブリであって、
(a)複数の板を備えるプリント回路基板アセンブリと、
(b)該プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に装着される圧力ダイと、
(c)該プリント回路基板アセンブリを少なくとも部分的に囲繞する筺体と
を備え、該プリント回路基板アセンブリは、少なくとも1つの圧力チャネルおよび少なくとも1つの電気チャネルを備え、
該筺体は、第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートを備え、該第1の圧力ポートおよび該第2の圧力ポートは、離間した関係で配置されており、かつ、該筺体の外側に位置付けられており、該第1の圧力ポートは、第1の吸入流体を受けるように構成され、該第2の圧力ポートは、第2の吸入流体を受けるように構成され、該第1の吸入流体の圧力は、該第2の吸入流体の圧力よりも大きい、一体型圧力センサアセンブリ。 - 前記プリント回路基板アセンブリは、
(a)底部板と、
(b)上部板と、
(c)前記上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と
を備える、請求項1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。 - 前記上部板は、第1の開口部および第2の開口部を備え、各々の開口部が前記圧力チャネルの一部分を部分的に画定する、請求項2に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの中心板は、第1の開口部を備え、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第1の開口部と流体連通する、請求項3に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの中心板における前記第1の開口部は、スロットであり、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第2の開口部と流体連通する、請求項4に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 回路層は、前記上部板の上部側および前記底部板の底部側の各々に配置される、請求項1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 回路層は、前記少なくとも1つの中心板の上部側および該少なくとも1つの中心板の底部側の各々に配置され、該回路層は、前記電気チャネルを少なくとも部分的に画定する、請求項6に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 回路層は、前記上部板の底部および前記底部板の上部の各々に配置され、該回路層は、前記電気チャネルを少なくとも部分的に画定する、請求項6に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 方法であって、
(a)
(i)底部板と、
(ii)上部板と、
(iii)該上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と
を備えるプリント回路基板アセンブリを提供することと、
(b)該プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に配置される圧力ダイを提供することと、
(c)筺体であって、該筺体は、該プリント回路基板アセンブリを少なくとも部分的に囲繞する、筺体を提供することと
を含み、該プリント回路基板アセンブリは、少なくとも1つの流体伝達チャネルおよび少なくとも1つの電気伝達チャネルを備え、
該筺体は、第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートを備え、該第1の圧力ポートおよび該第2の圧力ポートは、離間した関係で配置されており、かつ、該筺体の外側に位置付けられており、該第1の圧力ポートは、第1の吸入流体を受けるように構成され、該第2の圧力ポートは、第2の吸入流体を受けるように構成され、該第1の吸入流体の圧力は、該第2の吸入流体の圧力よりも大きい、方法。 - 前記圧力ダイは、圧電センサである、請求項1に記載の一体型圧力センサアセンブリ。
- 前記上部板において、第1の開口部および第2の開口部を画定することをさらに含み、各々は、前記流体伝達チャネルの一部分を部分的に画定する、請求項9に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの中心板において、第1の開口部を画定することをさらに含み、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第1の開口部と流体連通する、請求項11に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの中心板における前記第1の開口部は、スロットであり、該少なくとも1つの中心板における該第1の開口部は、前記上部板における前記第2の開口部と流体連通する、請求項12に記載の方法。
- 前記流体伝達チャネルを少なくとも部分的に画定するために、前記上部板上の前記第1および第2の開口部を、前記中心板上の前記第1の開口部と整列するステップをさらに含む、請求項13に記載の方法。
- (a)底部板と、
(b)上部板と、
(c)該上部板と底部板との間に配置される少なくとも1つの中心板と、
(d)該上部板に接続される第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートと
を備えるプリント回路基板アセンブリであって、
該第1の圧力ポートは、第1の吸入流体を受けるように構成され、該第2の圧力ポートは、第2の吸入流体を受けるように構成され、該第1の圧力ポートおよび該第2の圧力ポートは、離間した関係で配置されており、かつ、該プリント回路基板アセンブリの外側に位置付けられており、該第1の吸入流体の圧力は、該第2の吸入流体の圧力よりも大きく、
該プリント回路基板アセンブリは、そこを少なくとも部分的に通る少なくとも1つの流体チャネルおよび少なくとも1つの電気チャネルを備える、プリント回路基板アセンブリ。 - 前記流体チャネルは、前記上部板、底部板、および中心板のうちの少なくとも2つを貫通する、請求項15に記載のプリント回路基板アセンブリ。
- 前記流体チャネルは、前記板のうちの少なくとも2つの間で流体連通を提供し、前記電気チャネルは、該板のうちの少なくとも2つの間で電気通信を提供する、請求項15に記載のプリント回路基板アセンブリ。
- 前記プリント回路基板アセンブリの一部分上に少なくとも部分的に配置される検知要素をさらに備え、該検知要素は、前記流体チャネルにおける圧力を測定する、請求項15に記載のプリント回路基板アセンブリ。
- 前記検知要素は、前記上部板上の第1の開口部の上に少なくとも部分的に配置され、該第1の開口部は、前記流体チャネルを少なくとも部分的に画定する、請求項18に記載のプリント回路基板アセンブリ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/024,975 | 2008-02-01 | ||
US12/024,975 US20090194831A1 (en) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | Integrated cavity in pcb pressure sensor |
PCT/US2009/032678 WO2009097549A1 (en) | 2008-02-01 | 2009-01-30 | Integrated cavity in pcb pressure sensor |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013122449A Division JP2013210389A (ja) | 2008-02-01 | 2013-06-11 | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011511291A JP2011511291A (ja) | 2011-04-07 |
JP5412443B2 true JP5412443B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=40913278
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010545214A Expired - Fee Related JP5412443B2 (ja) | 2008-02-01 | 2009-01-30 | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
JP2013122449A Withdrawn JP2013210389A (ja) | 2008-02-01 | 2013-06-11 | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013122449A Withdrawn JP2013210389A (ja) | 2008-02-01 | 2013-06-11 | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090194831A1 (ja) |
EP (1) | EP2288893A1 (ja) |
JP (2) | JP5412443B2 (ja) |
DE (1) | DE112009000261T5 (ja) |
GB (1) | GB2470141B (ja) |
WO (1) | WO2009097549A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013210389A (ja) * | 2008-02-01 | 2013-10-10 | Custom Sensors & Technologies Inc | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100280788A1 (en) * | 2009-05-04 | 2010-11-04 | R. W. Becketi Corporation | Integrated multi-sensor component |
US9063016B2 (en) | 2009-05-04 | 2015-06-23 | R.W. Beckett Corporation | Fail safe multi-sensor component |
DE102010018499A1 (de) | 2010-04-22 | 2011-10-27 | Schweizer Electronic Ag | Leiterplatte mit Hohlraum |
US8844561B2 (en) * | 2010-05-20 | 2014-09-30 | Eaton Corporation | Isolation valve with integrated sensor |
US20130048742A1 (en) * | 2011-08-25 | 2013-02-28 | Johnson Controls Technology Company | Dual port pneumatic fitting apparatus |
DE102012102979A1 (de) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Durchflussmessgerät, Messrohr sowie Verfahren zur Herstellung eines Durchflussmessgeräts |
DE202015000540U1 (de) * | 2015-01-27 | 2015-04-10 | Kendrion Kuhnke Automotive GmbH | Pneumatische Steuer- und Messvorrichtung sowie Sitzkomfortsystem |
US20160298575A1 (en) * | 2015-04-02 | 2016-10-13 | Sensata Technologies, Inc. | Combined temperature, absolute and differential pressure sensor assembly |
EP3112830B1 (en) | 2015-07-01 | 2018-08-22 | Sensata Technologies, Inc. | Temperature sensor and method for the production of a temperature sensor |
FR3041430B1 (fr) * | 2015-09-17 | 2017-11-24 | Sagem Defense Securite | Dispositif de mesure et systeme de mesure d'une pression comprenant un tel capteur |
EP3276242B1 (en) * | 2016-07-28 | 2019-08-28 | Sensirion AG | Differential pressure sensor comprising an adaptor device |
US10428716B2 (en) | 2016-12-20 | 2019-10-01 | Sensata Technologies, Inc. | High-temperature exhaust sensor |
US10502641B2 (en) | 2017-05-18 | 2019-12-10 | Sensata Technologies, Inc. | Floating conductor housing |
US10285275B2 (en) | 2017-05-25 | 2019-05-07 | Tt Electronics Plc | Sensor device having printed circuit board substrate with built-in media channel |
WO2019166605A1 (en) * | 2018-03-02 | 2019-09-06 | Grundfos Holding A/S | Pressure sensor |
CN110057480B (zh) * | 2019-05-21 | 2024-02-06 | 衢州学院 | 一种叉型共轭结构的光纤光栅扭矩传感器及其安装方法 |
US11346264B2 (en) * | 2019-08-29 | 2022-05-31 | Cummins Emission Solutions Inc. | Systems and methods for controlling exhaust gas aftertreatment sensor systems |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS561328A (en) * | 1979-06-20 | 1981-01-09 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure converter |
US4705067A (en) * | 1986-05-13 | 1987-11-10 | Coffee Curtis L | Electric-to-pressure transducer |
DE3805851A1 (de) * | 1988-02-25 | 1989-08-31 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Leiterplatte mit einer kuehlvorrichtung |
US5121290A (en) * | 1990-06-25 | 1992-06-09 | At&T Bell Laboratories | Circuit pack cooling using perforations |
US5315877A (en) * | 1993-02-19 | 1994-05-31 | Kavlico Corporation | Low cost versatile pressure transducer |
JPH0749278A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Omron Corp | 圧力センサ |
JP3111816B2 (ja) * | 1993-10-08 | 2000-11-27 | 株式会社日立製作所 | プロセス状態検出装置 |
JPH0821776A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-23 | Hitachi Ltd | 半導体式差圧センサ |
US5969259A (en) * | 1995-04-07 | 1999-10-19 | Sensym, Inc. | Side port package for micromachined fluid sensor |
US5596147A (en) * | 1995-11-17 | 1997-01-21 | Wilda; Douglas W. | Coplanar pressure sensor mounting for remote sensor |
US6131467A (en) * | 1997-05-09 | 2000-10-17 | Fujikoki Corporation | Pressure sensor including a joint for connecting a housing and connector case together |
WO1999030121A1 (fr) * | 1997-12-09 | 1999-06-17 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Unite capteur de pression de type capacitif |
JP2000310575A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Denso Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
JP2001133345A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
US6584851B2 (en) * | 2000-11-30 | 2003-07-01 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Fluid pressure sensor having a pressure port |
US6505398B2 (en) * | 2000-12-04 | 2003-01-14 | Kavlico Corporation | Very high pressure miniature sensing and mounting technique |
JP3930271B2 (ja) * | 2001-02-02 | 2007-06-13 | 三菱重工業株式会社 | ロジックプレート |
US6581468B2 (en) * | 2001-03-22 | 2003-06-24 | Kavlico Corporation | Independent-excitation cross-coupled differential-pressure transducer |
JP4801274B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2011-10-26 | 本田技研工業株式会社 | 圧力センサを内蔵した制御箱 |
JP4250387B2 (ja) * | 2002-08-20 | 2009-04-08 | 長野計器株式会社 | 変換器およびその製造方法 |
US6924447B2 (en) * | 2003-02-24 | 2005-08-02 | Shin Jiuh Corp. | Waterproof structure of printed circuit board |
EP1601935A4 (en) * | 2003-03-07 | 2007-09-26 | Upchurch Scient Inc | COLLECTOR AND MICROFLUIDIC INSULATION METHODS |
US7028552B2 (en) * | 2004-05-17 | 2006-04-18 | Kavlico Corporation | Reliable piezo-resistive pressure sensor |
JP4710460B2 (ja) * | 2005-07-20 | 2011-06-29 | 株式会社村田製作所 | セラミック多層基板、その製造方法、およびパワー半導体モジュール |
JP2007192773A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-02 | Denso Corp | 圧力センサ素子の取付構造 |
JP2007333500A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサの製造方法および圧力センサ |
US20090194831A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Integrated cavity in pcb pressure sensor |
-
2008
- 2008-02-01 US US12/024,975 patent/US20090194831A1/en not_active Abandoned
-
2009
- 2009-01-30 DE DE112009000261T patent/DE112009000261T5/de not_active Withdrawn
- 2009-01-30 GB GB1013750.3A patent/GB2470141B/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-30 JP JP2010545214A patent/JP5412443B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-30 WO PCT/US2009/032678 patent/WO2009097549A1/en active Application Filing
- 2009-01-30 EP EP09706506A patent/EP2288893A1/en not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-06-11 JP JP2013122449A patent/JP2013210389A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013210389A (ja) * | 2008-02-01 | 2013-10-10 | Custom Sensors & Technologies Inc | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112009000261T5 (de) | 2011-06-01 |
GB2470141B (en) | 2012-03-14 |
EP2288893A1 (en) | 2011-03-02 |
JP2013210389A (ja) | 2013-10-10 |
US20090194831A1 (en) | 2009-08-06 |
GB2470141A (en) | 2010-11-10 |
JP2011511291A (ja) | 2011-04-07 |
WO2009097549A1 (en) | 2009-08-06 |
GB201013750D0 (en) | 2010-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5412443B2 (ja) | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 | |
US8297127B2 (en) | Pressure sensor with low cost packaging | |
US9857212B2 (en) | Thermal airflow sensor having a diaphragm with a cavity opening on the back side and a support member including a communicating hole | |
KR100965802B1 (ko) | 대칭적으로 제공된 센서칩 및 압력도입통로를 구비한차압센서 | |
US7673518B2 (en) | Compact absolute and gage pressure transducer having a mounting apparatus for accurately positioning and aligning a leadless semiconductor chip on an associated header | |
US7176541B2 (en) | Pressure sensor | |
US8312774B2 (en) | Flow-through pressure sensor apparatus | |
US10119875B2 (en) | Pressure sensor device with a MEMS piezoresistive element attached to an in-circuit ceramic board | |
KR20150083029A (ko) | 유체 매질의 온도 및 압력을 검출하기 위한 센서 | |
KR20180013925A (ko) | 유체 매체의 압력 검출 장치, 및 상기 장치의 제조 방법 | |
KR20150056482A (ko) | 물리량 측정 센서 | |
JP2014163936A (ja) | 原子層堆積で被覆された入力ポートを有する統合基準真空圧力センサ | |
JP2014048072A (ja) | 圧力センサモジュール | |
CN111664990B (zh) | 无引线压力传感器 | |
US9506829B2 (en) | Pressure sensors having low cost, small, universal packaging | |
JP5744299B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
US20190090065A1 (en) | Sensor System, Sensor Arrangement, And Assembly Method Using Solder For Sealing | |
JP2018105748A (ja) | 圧力センサ | |
WO2022239442A1 (ja) | 差圧センサ及びその製造方法 | |
JP4207848B2 (ja) | 圧力センサ | |
JPH09138173A (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP2023038631A (ja) | 耐塵埃/耐ノイズ構造を有するセンサ | |
US20170184468A1 (en) | Sensor for detecting a pressure of a fluid medium | |
JP2002365112A (ja) | フローセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131023 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5412443 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |