JP5409500B2 - 厚さ測定方法 - Google Patents
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Description
ε(v)は共振器内の誘電率分布を示す。
2・・・円柱状誘電体
3・・・下側導体板
4・・・膜状絶縁体試料
5・・・上側導体板
t・・・膜状絶縁体試料の厚さ
Claims (3)
- 下側導体板上に膜状絶縁体試料を配置し、円柱状誘電体を、その下面が前記膜状絶縁体試料の上面に当接するように配置し、前記円柱状誘電体の上面に上側導体板を配置して誘電体共振器を構成し、前記円柱状誘電体の比誘電率、前記誘電体共振器の寸法および前記誘電体共振器のTEモードの共振周波数の測定値に基づき、前記膜状絶縁体試料の厚さを求めることを特徴とする厚さ測定方法。
- 前記誘電体共振器のTE011モードの共振周波数の測定値から前記膜状絶縁体試料の厚さを求めることを特徴とする請求項1記載の厚さ測定方法。
- 前記膜状絶縁体試料に入る電界エネルギーが、前記誘電体共振器全体の電界エネルギーに対して0.1%以下の条件の下で、前記膜状絶縁体試料の厚さを求めることを特徴とする請求項2記載の厚さ測定方法。
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