JP5407707B2 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第4のステップの後、図2Fに示すようにLLOによるレーザ照射で成長基板を剥離する。その後、図2Gに示すようにダイシングして個片化してLEDチップ5を形成する。
12 n型半導体層
13 発光層
14 p型半導体層
15 第1の金属層
16 支持基板
17 第2の金属層
18 ペースト層
19 接合層
19a、19b 粒子塊
19c 間隙
20 封止部材
10’、100 LEDチップ
Claims (9)
- 成長基板を含むIII族窒化物化合物半導体発光素子の半導体層を支持基板へ接合し、その後前記半導体発光素子の前記成長基板をLLO(レーザリフトオフ)により剥離する工程を含む半導体発光素子の製造方法において、
前記半導体素子の前記半導体層の全域へ第1の金属層を積層するステップと、
前記支持基板の全域へ第2の金属層を積層するステップと、
前記第1の金属層と前記第2の金属層との間に、平均粒径が0.005μm〜1.0μmであり、前記第1の金属層及び前記第2の金属層に含まれる金属と同一の金属の微粒子を含むペーストを介在させるステップと、
前記ペーストを介して、前記第1の金属層と前記第2の金属層とを熱圧着するステップと、を含み、前記熱圧着するステップにおいて、前記熱圧着の温度条件は100℃〜320℃であり、圧力条件は0.1Pa〜2.0Paであることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記ペーストは、前記第1の金属層と前記第2の金属層との間の全域に充填される、請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記第1及び第2の金属層は、金、銀、白金、又はパラジウムから選択される少なくとも一つの金属を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記熱圧着するステップは、前記金属の粒子間に間隙が形成され、かつ前記金属の粒子の一部が前記第1及び/又は第2の金属層に侵入するように熱圧着することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 半導体層に導電性基板が接合されたIII族窒化物化合物半導体発光素子であって、
前記半導体層の全域上に設けられる第1の金属層と、
前記導電性基板の全域上に設けられる第2の金属層と、
前記第1及び第2の金属層の間に設けられ、前記第1及び第2の金属層を接合する金属製の接合層であって、平均粒径が0.005μm〜1.0μmであり、前記第1及び第2の金属層に含まれる金属と同一の金属の微粒子を温度条件は100℃〜320℃、圧力条件は0.1Pa〜2.0Paで熱圧着により接合してなる接合層と、
を含む半導体発光素子。 - 前記金属の微粒子間に間隙を有し、かつ前記金属の粒子の一部は前記第1及び/又は第2の金属層に侵入していることを特徴とする、請求項5に記載の半導体発光素子。
- 前記第1及び第2の金属層は、金、銀、白金、又はパラジウムから選択される少なくとも一つの金属を含むことを特徴とする、請求項5又は6に記載の半導体発光素子。
- 前記第1の金属層を積層するステップにおいて、前記第1の金属層は前記半導体層のp型半導体層上へ積層されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記第1の金属層の層厚は0.3μm〜5.0μmであり、前記第2の金属層の層厚は0.3μm〜10μmであり、前記接合層の層厚は0.5μm〜20μmであることを特徴とする、請求項5〜7のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
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