JP5405947B2 - ウエハ搬送装置、および、ウエハ搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハスタックからウエハセパレータ装置によって分離されて順次供給される水中のウエハを水面上に搬送するウエハ搬送装置に関する。

太陽電池などに用いられるシリコンウエハは、シリコンインゴットから１００〜２００μｍなどの所定の厚さに切り出され、多数枚重なった状態、すなわちウエハスタックとされ、次いで１枚ずつ分離されて、洗浄工程に送られる。

この際、従来はウエハスタックから手作業で１枚ずつに分離して無限ベルト式搬送装置などの搬送装置に載置されていたが、特開２０００−１５６３９６公報（特許文献１）などでは１枚ずつアームに吸着させながら移動させて分離する技術が提案されている。

しかしながらこのような方法では、動作もスムーズでなく、往復動や急停止があるので高速分離処理を行った場合、ウエハの落下などの事故が生じやすく、このとき、ウエハは上述のように極めて薄く脆弱なために破損が生じ、全体の歩留まりが低下する、さらには、破片の除去のための運転休止などの問題が生じてしまうために、たとえば１秒あたり１枚などの高速分離処理への対応には困難があった。

特開２０００−１５６３９６公報

本発明者らは、ウエハスタック供給装置によって、ウエハスタックが水流、振動（超音波振動）、気泡流などを利用するウエハセパレータ装置に供給されて１枚ずつに分離されたウエハをベルト搬送する検討を行った。

しかしながら、ウエハセパレータ装置によって一旦は分離されたウエハ同士が、ベルト搬送の初期段階で再度密着して複数のウエハが同時に搬送されることがしばしば生じ、このとき、後工程で洗浄不足などにより、そのウエハ自体のみならず、他のウエハにまで悪影響を及ぼし、歩留まり低下などの深刻な事態を引き起こすことがあり、この欠点を改善させるべく、鋭意、検討を行った。

すなわち、本発明は、上記した従来の問題点を改善する、高速分離処理に対応でき、かつ、供給されるウエハ同士が搬送初期に重なって密着した場合であっても、確実に分離させて後工程へ搬送することのできるウエハ搬送装置を提供することを目的とする。

本発明のウエハ搬送装置は上記課題を解決するために、請求項１に記載の通り、ウエハセパレータ装置によってウエハスタックから分離されて順次供給される水中のウエハを水面上に搬送するウエハ搬送装置であって、前記順次供給されるウエハを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置と、該第１の無限ベルト式搬送装置の前記ウエハ搬送方向下流にあって該第１の無限ベルト式搬送装置によって搬送される前記ウエハを引き継いでさらに搬送する、前記第１の無限ベルト式搬送装置の搬送速度よりも大きい搬送速度の第２の無限ベルト式搬送装置と、が設けられ、かつ、前記第２の無限ベルト式搬送装置が、その無限ベルトを濡れた状態でかつ前記ウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に密着させて、該ウエハを搬送するものであることを特徴とするウエハ搬送装置である。

また、本発明のウエハ搬送装置は、請求項２に記載の通り、請求項１に記載のウエハ搬送装置において、前記第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する上端のローラ付近に、前記無限ベルトに接しかつ前記ウエハを前記無限ベルトとともに挟持する上端搬送補助ローラが、設けられていることを特徴とする。

また、本発明のウエハ搬送装置は、請求項３に記載の通り、請求項１または請求項２に記載のウエハ搬送装置において、前記第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する下端のローラ付近に、前記無限ベルトに接しかつ前記ウエハを該無限ベルトとともに夾持する引き上げ補助ローラと、前記第１の無限ベルト式搬送装置の下方にあって前記順次供給されるウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に接して該ウエハを前記引き上げ補助ローラと前記無限ベルトとの接触部に供給するウエハ供給ローラと、が設けられていることを特徴とする。

また、本発明のウエハ搬送装置は、請求項４に記載の通り、請求項３に記載のウエハ搬送装置において、前記引き上げ補助ローラ付近に前記第１の無限ベルト式搬送装置によるウエハの搬送の開始を検知する第１のウエハセンサ、前記第１のウエハセンサの上方に前記引き上げ補助ローラと前記無限ベルトとの接触部によるウエハの上方への引き上げの終了を検知する第２のウエハセンサ、前記ウエハ供給ローラの下方にあって前記順次供給されるウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に接して該ウエハを前記接触部に供給する正方向および該正方向とは逆の方向である逆方向に回転するウエハ供給補助ローラ、および、前記第１のウエハセンサでウエハの搬送開始を検出したときに前記ウエハ供給補助ローラを前記逆方向に回転させ、前記第２のウエハセンサでウエハの引き上げの終了を検出したときに前記ウエハ供給補助ローラを前記正方向に回転させるウエハ供給補助ローラ制御手段が設けられていることを特徴とする。

また、本発明のウエハ搬送装置は、請求項５に記載の通り、請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置において、前記ウエハに接するローラの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなることを特徴とする。

また、本発明のウエハ搬送装置は、請求項６に記載の通り、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置において、前記ウエハに接する無限ベルトの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなることを特徴とする。

本発明のウエハ搬送方法は、請求項７に記載の通り、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置によることを特徴とするウエハ搬送方法である。

本発明のウエハ搬送装置によれば、前記順次供給されるウエハを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置と、該第１の無限ベルト式搬送装置の前記ウエハ搬送方向下流にあって該第１の無限ベルト式搬送装置によって搬送される前記ウエハを引き継いでさらに搬送する、前記第１の無限ベルト式搬送装置の搬送速度よりも大きい搬送速度の第２の無限ベルト式搬送装置と、が設けられ、かつ、前記第２の無限ベルト式搬送装置が、その無限ベルトを濡れた状態でかつ前記ウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に密着させて、該ウエハを搬送するものである構成により、部分的に重なり合ったウエハ同士であっても１枚ずつ分離させて搬送させることができる。

請求項２にかかるウエハ搬送装置によれば、第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する上端のローラに無限ベルトを介して接する上端搬送補助ローラが設けられている構成により、より確実にウエハを分離させることができる。

請求項３にかかるウエハ搬送装置によれば、第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する下端のローラに無限ベルトを介して接する引き上げ補助ローラと、順次供給されるウエハのウエハスタック側とは反対側の面に接してウエハを引き上げ補助ローラと無限ベルトとの接触部に供給するウエハ供給ローラと、が水中に設けられている構成により、簡単な構造でありながらウエハを第１の無限ベルト式搬送装置に供給させることができる。

請求項４にかかるウエハ搬送装置によれば、引き上げ補助ローラ付近に前記第１の無限ベルト式搬送装置によるウエハの搬送の開始を検知する第１のウエハセンサ、前記第１のウエハセンサの上方に前記引き上げ補助ローラと前記無限ベルトとの前記接触部によるウエハの上方への引き上げの終了を検知する第２のウエハセンサ、引き上げ補助ローラの下方に順次供給されるウエハのウエハスタック側とは反対の面に接してウエハを引き上げ補助ローラと無限ベルトとの接触部に供給する正方向および該正方向とは逆の方向である逆方向に回転するウエハ供給補助ローラ、および、第１のウエハセンサでウエハの搬送開始を検出したときにウエハ供給補助ローラを逆方向に回転させ、前２のウエハセンサでウエハの引き上げの終了を検出したときにウエハ供給補助ローラを正方向に回転させるウエハ供給補助ローラ制御手段が設けられている構成により、より確実にウエハを分離させることができる。

請求項５にかかるウエハ搬送装置によれば、ウエハに接するローラの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなる構成により、ローラ・ウエハ間の密着性が向上し、ウエハが確実に搬送される。

請求項６にかかるウエハ搬送装置によれば、ウエハに接する無限ベルトの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなる搬送されるウエハに付着する水分で第２の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを濡れた状態に保つことができるので、より確実にウエハを分離させることができる。

本発明にかかるウエハ搬送装置の例の運転状況（運転開始前）を示すモデル図である。図１（ａ）右側面図である。図１（ｂ）正面図である。 本発明にかかるウエハ搬送装置の他の例のローラ配置を示すモデル右側面図である。 本発明にかかるウエハ搬送装置の例の運転状況（ウエハがウエハセンサ６による検知位置に搬送された状態）を示すモデル図である。図３（ａ）右側面図である。図３（ｂ）正面図である。 本発明にかかるウエハ搬送装置の例の運転状況（ウエハがウエハセンサ７による検知位置に搬送された状態）を示すモデル図である。図４（ａ）右側面図である。図４（ｂ）正面図である。 本発明にかかるウエハ搬送装置の例の運転状況（２枚のウエハが一部重なった状態で引き継ぎ部に搬送された状態）を示すモデル図である。図５（ａ）右側面図である。図５（ｂ）正面図である。図５（ｃ）引き継ぎ部付近の拡大図である。

本発明のウエハ搬送装置の形態について、図を用いて説明する。

図１に、本発明にかかるウエハ搬送装置の一例のモデル図を示す。図１（ａ）は側面図（右側面図）、図１（ｂ）は正面図である。

このウエハ搬送装置の例は、ウエハスタックＷＳから図示しないウエハセパレータ装置によって分離されて、ウエハ供給装置８によって順次供給される水中のウエハＷを水面９上に搬送するウエハ搬送装置であって、順次供給されるウエハＷを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置４と、第１の無限ベルト式搬送装置４のウエハＷ搬送方向下流にあって第１の無限ベルト式搬送装置４によって搬送されるウエハＷを引き継いでさらに搬送する第２の無限ベルト式搬送装置５と、が設けられ、かつ、第２の無限ベルト式搬送装置５が、その無限ベルト５ａを濡れた状態で第１の無限ベルト式搬送装置４から引き継ぐウエハＷのウエハスタックＷＳ側とは反対の面に密着させて、ウエハＷを搬送するものであるウエハ搬送装置である。

さらにこのウエハ搬送装置は、第１の無限ベルト式搬送装置４の無限ベルト４ａが、順次供給されるウエハＷの前記ウエハスタックＷＳ側と同じ面に接してウエハＷを搬送するものである。

さらに、このウエハ搬送装置には第１の無限ベルト式搬送装置４の無限ベルト４ａを懸架する上端のローラ４ｃ付近に、具体的にはローラ４ｃとともに無限ベルト４ａを挟む位置に、無限ベルト４ａに接し、かつ、ウエハＷを無限ベルト４ａとともに挟持する上端搬送補助ローラ３ｂが、設けられている。

さらに、この例では、第１の無限ベルト式搬送装置４の無限ベルト４ａを懸架する下端のローラ４ｂ付近に、具体的にはローラ４ｂとともに無限ベルト４ａを挟む位置に、無限ベルト４ａに接し、かつ、ウエハＷを無限ベルト４ｃとともに挟持する引き上げ補助ローラ３ａと、順次供給されるウエハＷの前記ウエハスタックＷＳ側とは反対の面に接してウエハＷを引き上げ補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部に供給するウエハ供給ローラ２と、が設けられている。

さらに、この例では、下端のローラ４ｂ付近に第１の無限ベルト式搬送装置４によるウエハＷの搬送開始を検知する第１のウエハセンサ（この例では光学式センサであって発光部と受光部との対により構成される）６、第１のウエハセンサ６の上方に前記引き上げ補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部によるウエハＷ（一枚分）の上方への引き上げの終了を検知する第２のウエハセンサ（この例では光学式センサであって発光部と受光部との対により構成される）７、ウエハ供給ローラ２の下方に、順次供給されるウエハＷのウエハスタックＷＳ側とは反対側の面に接してウエハＷを引き上げて補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部に供給する正方向およびこの正方向とは逆の方向である逆方向に回転するウエハ供給補助ローラ１、および、第１のウエハセンサ６でウエハＷの搬送開始を検出したときにウエハ供給補助ローラ１を逆方向に回転させ、第２のウエハセンサ７でウエハＷ（１枚分）の引き上げの終了を検出したときにウエハ供給補助ローラ１を正方向に回転させるウエハ供給補助ローラ制御手段Ｋ（図１（ａ）にのみ図示する）が設けられている。ここで、ウエハ供給補助ローラ制御手段Ｋ演算判断回路ＣＰＵ、制御プログラムが収納されたＲＯＭ、各種情報（たとえばそのときのウエハ供給補助ローラの回転方向情報）を一時的に保持するＲＡＭ、各種電気信号の入出力を行うＩ／Ｏポート等から構成されている。

ここで、図１（ａ）および図１（ｂ）に示した装置では、上端搬送補助ローラ３ｂは、ローラ４ｃとともに無限ベルト４ａを挟む位置に、また、引き上げ補助ローラ３ａはローラ４ｂとともに無限ベルト４ａを挟む位置に、それぞれ設けられているが、これらは、それぞれ、無限ベルト４ａによって搬送されるウエハを無限ベルト４ａとともに夾持できる位置にあればよく、そのような位置に設けられた装置のモデル図（右側面図）を図２に示す。

ただし、ウエハは上述のように極めて薄く強度が弱いので、これらローラによりウエハに折れが生じないように、図２に示すように、無限ベルト４ａのこれらローラの対応箇所裏面側にはそれぞれ、背板４ｅおよび４ｄが設けられている。

図１（ａ）および図１（ｂ）は、ウエハＷの引き上げ前の状態を示すモデル図である。各ベルトおよびローラはそれぞれ図中矢印方向に回転している（ウエハ供給補助ローラ１以外は回転方向が変わることはないので、以下、回転表記を略す）。

次にこの搬送装置の機能について説明する。

図示しないウエハセパレータ装置によって水流、気泡流、あるいは超音波振動などによりウエハスタックＷＳから１枚ずつに分離されたウエハＷは図中矢印（左向き矢印）方向にわずかずつ移動するウエハ供給装置８によって図中左方向に搬送されて、そのウエハの最も右側のウエハＷが、このウエハＷに対してウエハスタックＷＳ側とは反対側に設けられたウエハ供給補助ローラ１およびウエハ供給ローラに当接してこれらローラの回転により水中内を上方に引き上げられる。

引き上げられたウエハＷは引き上げ補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部に供給され、これらによりさらに上方へと搬送される（図３（ａ）（右側面図）および図３（ｂ）（正面図）参照）。

可鍛のローラ４ｂ付近に設けられた第１のウエハセンサ６により第１の無限ベルト式搬送装置４によるウエハＷの搬送開始が図示しないウエハ供給補助ローラ制御手段に通知され、ウエハ供給補助ローラ制御手段Ｋはウエハ供給補助ローラ１を図３（ａ）に矢印で示すように逆方向に回転させ、搬送されるウエハＷの右側にある他のウエハが、搬送されるウエハと重なって上方に引き上げられるのを防止する。

さらに第１の無限ベルト式搬送装置４によりウエハＷが上方に搬送され、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、引き上げ補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部によるウエハＷの上方への引き上げが終了し、このとき第１のウエハセンサ６の上方に設けられた第２のウエハセンサ７によって引き上げ補助ローラ３ａと無限ベルト４ａとの接触部によるウエハＷ（１枚分）の上方への引き上げが終了した信号が図示しないウエハ供給補助ローラ制御手段Ｋに送られ、ウエハ供給補助ローラ制御手段Ｋはウエハ供給補助ローラ１を図４（ａ）に矢印で示すように正方向に回転するようにさせ、次のウエハの引き上げに備えさせて図１の状態に戻す。

図４（ａ）および図４（ｂ）に示されるようにウエハＷの大部分が水面９より上にある状態となると、ウエハＷと無限ベルト４ａとの間に存在する水の表面張力により、ウエハＷは無限ベルト４ａと密着するので、その後は、ウエハＷの無限ベルト４ａとは反対側にローラ等を設置しなくてもウエハＷは落下やずれが生じることなく上方へ搬送される。

このように第１の無限ベルト式搬送装置４により上方に搬送されたウエハＷは第１の無限ベルト式搬送装置４前記ウエハ搬送方向下流に設けられた第２の無限ベルト式搬送装置に引き継がれてさらに上方に搬送される。このとき、その第２の無限ベルト式搬送装置の無限ベルト５ａを濡れた状態に保つことにより、ウエハＷはこの無限ベルト５ａに密着して搬送される。図中、第２の無限ベルト式搬送装置５による搬送方向を変えるためのガイド５ｃが設けられているが、ベルト５ａとウエハＷとの間の密着性が損なわれないような太径のローラを用いてもよい。

この搬送装置によって上方に搬送されたウエハはこの例では図示しない洗浄装置へ搬送する他の搬送手段１０に引き継がれてさらに搬送される。

次に、第１の無限ベルト式搬送装置４によるウエハＷの搬送開始の際に、ウエハＷ１に他のウエハＷ２が付随し一部重なった状態で引き上げられた場合の、本装置の機能について説明する。

図５（ａ）は側面図、図５（ｂ）は正面図、図５（ｃ）は、第１の無限ベルト式搬送装置４と第２の無限ベルト式搬送装置５との間のウエハ引き継ぎ部の拡大図である。

ここで第２の無限ベルト式搬送装置５によるウエハの搬送速度が、第１の無限ベルト式搬送装置４によるウエハの搬送速度より大きくなるように設定されている。

ウエハＷ１に他のウエハＷ２が付随して一部重なった状態で水面上に引き上げられてしまった場合、第１の無限ベルト式搬送装置４と第２の無限ベルト式搬送装置５との間のウエハ引き継ぎ部に第１のウエハＷ１が達し、そのウエハスタックＷＳ側とは反対側の面が第２の無限ベルト式搬送装置５の濡れた状態の無限ベルト５ａに密着したとき、ウエハＷ２はまだ第１の無限ベルト式搬送装置４によって搬送されている状態であり、このとき搬送速度の違いにより ウエハＷ１とＷ２とには互いに引き離す方向の力がかかる（図４（ｃ）参照）。その結果、これらウエハＷ１とＷ２とは互いに分離されて第２の無限ベルト式搬送装置５によって順次搬送される。上記の力は第１の無限ベルト式搬送装置４の無限ベルト４ａを懸架する上端のローラ４ｃに無限ベルト４ａを介して接する上端搬送補助ローラ３ｂにより、より確実に発揮される。ここで、無限ベルト式搬送装置の速度比はウエハの大きさなどにより適宜調整するが、通常１：１．３〜１：２程度とする。

このような第２の無限ベルト式搬送装置５の無限ベルト５ａとウエハとの密着力は水の表面張力であり、無限ベルト５ａが濡れた状態で発現する。

このために、第２の無限ベルト式搬送装置５の無限ベルト５ａには水を供給する必要があるが、連続使用の場合、ウエハが接する場所を連続気泡を有する親水性高分子材料により構成すると、運転当初の水補給のみでその後の水の補給は行わなくても、水面上に搬送されるウエハに付着している水によって上記密着力は維持される。

ここで、第２の無限ベルト式搬送装置５の無限ベルト５ａだけではなく第１の無限ベルト式搬送装置４の無限ベルト４ａ、および、その他ローラのウエハ接触部に用いることができ、そのとき、連続気泡を有する親水性高分子材料とウエハとの接触時に生じる安定した密着力により、ウエハ搬送時にずれ、落下などの事故がより効果的に防止される。

また、ベルトなどで連続気泡を有する親水性高分子材料だけでは強度が不足する場合には、ウエハと直接接触しない部分に他の高強度な素材によって裏打ちするなどして必要な強度を確保することができる。

上記のような連続気泡を有する親水性高分子材料としては、アイオン社のソフラス、グローリ産業社のエコロンとして知られるものが挙げられ、上記搬送装置ではウエハと直接接する部分にはアイオン社のソフラスを用いた。これら連続気泡を有する親水性高分子材料は柔軟であるために、非常に薄いウエハであっても破損、傷の発生なしに安全に搬送することができる。ここで、アイオン社のソフラスは柔軟であるために、水中であってもウエハとの密着性が良好であり、上述のようにウエハ供給補助ローラ１およびウエハ供給ローラによるウエハの水中の搬送が特にスムーズに行われる。

以上の説明から理解されるように本発明のウエハ搬送装置は、アームなどの部材の往復動などなしに、ローラとベルトの回転運動だけで動作するものであり、このために１秒あたりウエハ１枚程度の高速連続搬送にも対応できるとともに、搬送の失敗によるウエハの落下（通常、落下したウエハは破損する）もあらかじめ防止されているために、信頼性が高い。

Ｗ、Ｗ１、Ｗ２ ウエハ
ＷＳ ウエハスタック
１ ウエハ供給補助ローラ
２ ウエハ供給ローラ
３ａ 引き上げ補助ローラ
４ 第１の無限ベルト式搬送装置
４ａ、５ａ 無限ベルト
４ｂ 下端のローラ
５ 第２の無限ベルト式搬送装置
６ 第１のウエハセンサ
７ 第２のウエハセンサ
８ ウエハ供給装置
９ 水面
Ｋ ウエハ供給補助ローラ制御手段

Claims (7)

1. ウエハセパレータ装置によってウエハスタックから分離されて順次供給される水中のウエハを水面上に搬送するウエハ搬送装置であって、
   前記順次供給されるウエハを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置と、該第１の無限ベルト式搬送装置の前記ウエハ搬送方向下流にあって該第１の無限ベルト式搬送装置によって搬送される前記ウエハを引き継いでさらに搬送する、前記第１の無限ベルト式搬送装置の搬送速度よりも大きい搬送速度の第２の無限ベルト式搬送装置と、が設けられ、かつ、
   前記第２の無限ベルト式搬送装置が、その無限ベルトを濡れた状態でかつ前記ウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に密着させて、該ウエハを搬送するものであることを特徴とするウエハ搬送装置。
2. 前記第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する上端のローラ付近に、前記無限ベルトに接しかつ前記ウエハを前記無限ベルトとともに挟持する上端搬送補助ローラが、設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハ搬送装置。
3. 前記第１の無限ベルト式搬送装置の無限ベルトを懸架する下端のローラ付近に、前記無限ベルトに接しかつ前記ウエハを該無限ベルトとともに夾持する引き上げ補助ローラと、
   前記第１の無限ベルト式搬送装置の下方にあって前記順次供給されるウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に接して該ウエハを前記引き上げ補助ローラと前記無限ベルトとの接触部に供給するウエハ供給ローラと、
   が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハ搬送装置。
4. 前記引き上げ補助ローラ付近に前記第１の無限ベルト式搬送装置によるウエハの搬送の開始を検知する第１のウエハセンサ、
   前記第１のウエハセンサの上方に前記引き上げ補助ローラと前記無限ベルトとの接触部によるウエハの上方への引き上げの終了を検知する第２のウエハセンサ、
   前記ウエハ供給ローラの下方にあって前記順次供給されるウエハの前記ウエハスタック側とは反対側の面に接して該ウエハを前記接触部に供給する正方向および該正方向とは逆の方向である逆方向に回転するウエハ供給補助ローラ、および、
   前記第１のウエハセンサでウエハの搬送開始を検出したときに前記ウエハ供給補助ローラを前記逆方向に回転させ、前記第２のウエハセンサでウエハの引き上げの終了を検出したときに前記ウエハ供給補助ローラを前記正方向に回転させるウエハ供給補助ローラ制御手段
   が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のウエハ搬送装置。
5. 前記ウエハに接するローラの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置。
6. 前記ウエハに接する無限ベルトの該ウエハに接する部分が、連続気泡を有する親水性高分子材料からなることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置によることを特徴とするウエハ搬送方法。

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