JP5405737B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 溝部
14 拡散領域
20 ONO膜
22 トンネル絶縁膜
24 トラップ層
26 トップ絶縁膜
30 ワードライン
31 第3導電層
32 第1導電層
34 第4導電層
35 第5導電層
36 第2導電層
38 第6導電層
40 第7導電層
50 第1マスク
52 第2マスク
70 周辺領域
72 素子分離溝
80 メモリセル領域
Claims (16)
- 溝部が設けられた半導体基板と、
前記溝部内面を覆うトンネル絶縁膜と、
前記溝部上部の内面のトンネル絶縁膜に接して設けられたトラップ層と、トラップ層に接して設けられたトップ絶縁膜と、
前記溝部に埋め込まれ、前記溝部下部においては前記トンネル絶縁膜と接し、前記溝部上部においては前記トップ絶縁膜に接して設けられたゲート電極と、を具備し、
前記トラップ層および前記トップ絶縁膜の端部は、前記溝部下部と前記溝部上部との間において、前記溝部両側からそれぞれ前記ゲート電極に埋め込まれるように突出していることを特徴とする半導体装置。 - 突出した前記トラップ層および前記トップ絶縁膜は前記溝部側面から上方に突出していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 突出した前記トラップ層および前記トップ絶縁膜は前記溝部側面から水平に突出していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記溝部の両側の半導体基板内に拡散領域が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の半導体装置。
- 半導体基板に溝部を形成する工程と、
前記溝部内面を覆うトンネル絶縁膜を形成する工程と、
前記溝部下部において前記トンネル絶縁膜に接し、前記溝部上部において前記トンネル絶縁膜が露出するように、前記溝部内に第1導電層を形成する工程と、
前記溝部上部に接し、かつ前記第1導電層上にトラップ層およびトップ絶縁膜を順に形成する工程と、
前記第1導電層上に形成された前記トラップ層および前記トップ絶縁膜の前記溝部幅方向中央部を除去する工程であって、前記除去により形成された前記トラップ層および前記トップ絶縁膜の端部は、前記溝部下部と前記溝部上部との間において、前記溝部両側からそれぞれ突出している、工程と、
前記溝部幅方向中央部の前記第1導電層上方の前記トップ絶縁膜上に第2導電層を形成する工程と、
前記第1導電層および前記第2導電層からゲート電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電層を形成する工程は、前記溝部幅方向中央部においては、前記第1導電層の上面が、前記半導体基板の上面より高くなるように前記第1導電層を形成する工程であることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝部内の前記トンネル絶縁膜全体に接し、前記半導体基板の上面より高く第3導電層を形成する工程を有し、
前記第1導電層を形成する工程は、前記第3導電層をエッチングする工程を含むことを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第3導電層をエッチングする工程は、前記第3導電層を等方性エッチングする工程であることを特徴とする請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3導電層を形成する工程は、前記溝部を形成する第1マスク層と同じマスクを用い前記第3導電層を形成する工程であることを特徴とする請求項7または8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3導電層上に、前記溝部により画定された第2マスク層を形成する工程を有し、
前記第3導電層をエッチングする工程は、前記第2マスクを用い前記第3導電層をエッチングする工程であることを特徴とする請求項7から9のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電層上に形成された前記トップ絶縁膜上に第4導電層を形成する工程を有し、
前記トラップ層および前記トップ絶縁膜の前記溝部幅方向中央部を除去する工程は、前記第4導電層と、前記溝部幅方向中央部の前記トラップ層および前記トップ絶縁膜と、前記溝部幅方向中央部の前記第1導電層と、を研磨する工程を含むことを特徴とする請求項6から10のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2導電層を形成する工程は、前記第1導電層および前記第4導電層上に第5導電層を形成する工程と、前記第4導電層と前記第5導電層とより前記第2導電層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1導電層を形成する工程は、前記第1導電層の上面が、前記半導体基板の上面より低くなるように前記第1導電層を形成する工程であることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝部上部の前記溝部両側に設けられた前記トップ絶縁膜の側壁にそれぞれ第6導電層を形成する工程を有し、
前記トラップ層および前記トップ絶縁膜の前記溝部幅方向中央部を除去する工程は、前記第6導電層をマスクに前記トラップ層および前記トップ絶縁膜を除去する工程を含むことを特徴とする請求項13記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第6導電層の間に第7導電層を形成する工程を有し、
前記第2導電層を形成する工程は、前記第6導電層および前記第7導電層上に第5導電層を形成する工程と、前記第6導電層と前記第7導電層と前記第5導電層とより前記第2導電層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項14記載の半導体装置の製造方法。 - 前記溝部を形成する工程は、素子分離溝を形成する工程を含むことを特徴とする請求項5から15のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
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