JP5404322B2 - 多接合型太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
しかし太陽電池は、導入コストが高く、これが普及の足枷となっている。そのため、太陽電池を普及させるためには、導入コストを下げる必要がある。
そこで、太陽電池の導入コストを下げるためには、製造コストを下げる工夫が必要である。
また、ある多接合型太陽電池の基板の成膜が完了し、次に製造する多接合型太陽電池の基板が成膜室内に配置されたときには、既に最初の光電変換層を形成するのに適した温度領域に近い温度まで基板を加熱できるように、加熱装置が設定されている。よって、比較的早期に、最初の光電変換層を成膜できる温度環境が整い、次に製造する多接合型太陽電池の基板の光電変換層の成膜を速やかに開始できる。
その結果、多接合型太陽電池の製造時間を短縮することができる。
図4に示すように成膜室14は、直方体形状を呈する筐体であり、一面には基板2を搭載したホルダ13を出し入れ可能な開口15を備えている。開口15の周囲にはフランジ19が設けてあり、別の搬送用チャンバ30のフランジ37がパッキン41で気密を保ち接続可能である。また、開口15は図示しない扉を備えており、この扉で成膜室14を開閉することができる。搬送用チャンバ30には図示しないヒータが設けてあり、収容した基板2を第1温度領域又は第1温度領域以上の温度となるように加熱することができる。
ここで、本発明における「結晶質シリコン」とは、結晶シリコンと非晶質シリコンの混晶系であり、成膜条件によって結晶分率が変化する材料である。
搬送用チャンバ30内と成膜室14内は、予め高真空状態となっている。すなわち、基板2を備えたホルダ13を収容した搬送用チャンバ30が成膜室14に接近し、搬送用チャンバ30に設けられたフランジ37が成膜室14のフランジ19と接続されると、両フランジ間がパッキン41で気密が保たれる。そして、搬送用チャンバ30と成膜室14とが接続されると、搬送用チャンバ30の図示しない開口に設けられた扉と、成膜室14の開口15の扉(図示せず)が開かれ、基板2を固定したホルダ13が、高真空状態の搬送用チャンバ30から同じく高真空状態の成膜室14へと移動する。
まず、配管26を介して原料ガスを成膜室14内に供給し、高真空状態の成膜室14内を原料ガス雰囲気状態にする。そして電極25に、図示しない高周波交流電源から電力を供給し、電極25を所定の電位に設定する。各ヒータ23は、予め通電されていて、基板2は成膜室14内に配置されると直ちに成膜に適した温度に設定される。
以下において各ヒータ23の温度の設定と、電極25への通電及び通電の遮断は、図示しない制御装置によって制御される。
ここで、「微結晶シリコン」とは、「結晶質シリコン」と同様に、結晶シリコンと非晶質シリコンの混晶系であり、成膜条件によって結晶分率が変化する材料である。
2 基板(絶縁性基板)
3 透明導電膜(第1電極層)
4 アモルファスシリコン薄膜層(光電変換層)
5 結晶質シリコン薄膜層(光電変換層)
6 アモルファスシリコン薄膜層のp型シリコン層
7 アモルファスシリコン薄膜層のi型シリコン層
8 アモルファスシリコン薄膜層のn型シリコン層
11 裏面側電極(第2電極層)
12 シリコン薄膜層
14 成膜室
16 結晶質シリコン薄膜層のp型シリコン層
17 結晶質シリコン薄膜層のi型シリコン層
18 結晶質シリコン薄膜層のn型シリコン層
21 真空ポンプ
23a〜23f ヒータ
25a〜25e 電極
30 搬送用チャンバ
Claims (7)
- 基板上に異なる光電変換層を複数備えた多接合型太陽電池の基板を同一の成膜室で連続的に製造する際に、
第1の光電変換層を形成するのに適した第1温度領域と、第2の光電変換層を形成するのに適した第2温度領域とが相違し、第1の光電変換層と第2の光電変換層が、連続して成膜される場合において、
成膜室に備えた加熱装置の設定を変えることによって、成膜室内の基板の温度を任意に変更可能であり、
前記基板の第1の光電変換層を形成中に、前記加熱装置の設定温度を、基板温度が第1温度領域内の温度から、第2温度領域に近付くように設定することを特徴とする多接合型太陽電池の製造方法。 - 基板温度が第1温度領域を逸脱する前に第1の光電変換層が形成されることを特徴とする請求項1に記載の多接合型太陽電池の製造方法。
- 成膜前の基板を成膜室に収容する前に、当該基板の温度を第1温度領域内あるいは第1温度領域以上の温度に昇温させておくことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の多接合型太陽電池の製造方法。
- 第1の光電変換層が、p型シリコン層,i型シリコン層,n型シリコン層を有するアモルファスシリコン薄膜層であり、第2の光電変換層が、p型シリコン層,i型シリコン層,n型シリコン層を有する結晶質シリコン薄膜層であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の多接合型太陽電池の製造方法。
- アモルファスシリコン薄膜層を成膜する際の基板の温度領域が190〜210℃であり、結晶質シリコン薄膜層を成膜する際の基板の温度領域が160〜180℃であることを特徴とする請求項4に記載の多接合型太陽電池の製造方法。
- 複数の基板を同時に同一の成膜室で成膜することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の多接合型太陽電池の製造方法。
- 基板に最後に成膜される光電変換層を形成中に、前記加熱装置の設定温度を、最後に成膜される光電変換層を形成するのに適した最終温度領域内の温度から、次に成膜室内に収容されて成膜される基板の、最初に形成される光電変換層を成膜するのに適した温度領域に近付くように設定することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の多接合型太陽電池の製造方法。
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