JP5401672B2 - 精密供給ポンプ - Google Patents
精密供給ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5401672B2 JP5401672B2 JP2010243565A JP2010243565A JP5401672B2 JP 5401672 B2 JP5401672 B2 JP 5401672B2 JP 2010243565 A JP2010243565 A JP 2010243565A JP 2010243565 A JP2010243565 A JP 2010243565A JP 5401672 B2 JP5401672 B2 JP 5401672B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- fluid
- chamber
- pump
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/0009—Special features
- F04B43/0054—Special features particularities of the flexible members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B13/00—Pumps specially modified to deliver fixed or variable measured quantities
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B9/00—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members
- F04B9/02—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members the means being mechanical
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
Claims (8)
- ポンプであって、
内部に配置された内部ハウジングチャンバーを有し、第1のハウジング端部から第2のハウジング端部に延びるハウジングと、
前記ハウジングチャンバー内で軸方向に移動可能に配置された加圧組立体であって、
前記ハウジングの第1の端部に隣接して配置された無孔ヘッドと、前記ヘッドの縁端の周囲に円周状に延び前記ヘッドの縁端を形成する薄肉スカートと、を有する加圧部材であって、前記スカートが、所定の軸方向長さを有し、前記スカートの周辺縁端の周囲に配置されたフランジを有し、前記加圧部材が、内部に部分的に配置された開口を有する背面を備える加圧部材と、
前記加圧部材の背面に結合され、その上に前記スカートを配置できる寸法にされた円筒状の外部表面を有する支持具と、を備える加圧組立体と、
前記支持具を通って前記加圧部材の開口内に突き出し、前記加圧組立体に結合されたシャフトと、
前記ハウジングの第1の端部に取付けられ、流体入口ポートと流体出口ポートとを有する流体チャンバーを備える流体移送本体であって、前記加圧部材のフランジが、前記本体と前記ハウジングとの間に挿入される、流体移送本体と、
前記ハウジングの第2の端部に取付けられ、前記シャフトを動かして前記ハウジングチャンバー内の前記加圧組立体を軸方向運動させるために、内部に配置されたアクチュエータを備えるアクチュエータハウジングと、
前記ハウジングチャンバーと連通し、前記ポンプ内で前記流体チャンバーと前記ハウジングチャンバーとの間の所定の正差圧を維持し、前記加圧組立体の軸方向運動の間、前記スカートに所定の圧力を与えて付勢し、前記スカートを前記ハウジングチャンバー又は支持具の支持表面に接触させるとともに、前記加圧組立体の吸入行程の間、ハウジングチャンバーから外向きに一方向に強制した空気の通路を与えるように構成される逆止弁手段と、
前記流体入口ポート及び流体出口ポートと流体接続し、前記加圧組立体のそれぞれ吸入行程及び排出行程の間、前記流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向流れを確実にする逆止弁手段と、を備え、
前記加圧組立体の軸方向運動が、同軸に配置された前記ハウジングチャンバーと前記支持具との表面間に隣接する、前記加圧部材のスカートの転動によって行われる、ポンプ。 - 精密供給ポンプであって、
内部に配置された内部ハウジングチャンバーを有し、第1のハウジング端部から第2のハウジング端部に延びるハウジングと、
前記ハウジングチャンバー内で軸方向に移動可能に配置された加圧組立体であって、
円筒状の外部表面を有する加圧部材であって、前記加圧部材が、
前記ハウジングの第1の端部に隣接して配置されたヘッドと、
前記ヘッドの縁端の周囲に円周状に延び、前記ヘッドの縁端を形成し、加圧組立体の所定の範囲の軸方向運動を与える所定の軸方向長さを有する薄肉スカートと、
前記スカートの周辺縁端の周囲に円周状に配置されたフランジと、を備え、前記加圧部材が、内部に部分的に配置された開口を有する背面を備える、加工組立体と、
更に、前記加圧部材の背面に結合され、前記スカートを配置できる寸法にされた直径を有する円筒状の外部表面を備える支持具と、
前記支持具を通って前記加圧部材の開口内に突き出し、前記加圧組立体に結合されたシャフトと、
前記ハウジングの第1の端部に取付けられ、内部に流体チャンバーを備える流体移送本体であって、前記流体チャンバーが、前記加圧組立体と軸方向に心合わせをして配置され、前記流体チャンバーが流体入口ポートと流体出口ポートとを備え、前記加圧部材のフランジが、前記本体と前記ハウジングとの間に挿入される、流体移送本体と、
前記ハウジングの第2の端部に取付けられ、内部に配置されたアクチュエータを備えるアクチュエータハウジングであって、前記アクチュエータが、前記シャフトに結合された回転作動部材を有する、アクチュエータハウジングと、
前記ハウジングに接続され、前記ハウジングチャンバーと連通する逆止弁手段であって、前記ハウジングチャンバー内に前記流体チャンバー内よりも低い値の所定の圧力を維持して、加圧組立体の軸方向運動の間、前記スカートに所定の圧力を加えて前記スカートを付勢し、前記スカートを前記ハウジングチャンバー及び支持具の隣接する同軸の表面に対して支持されるように接触させるとともに、前記加圧組立体の吸入行程の間、ハウジングチャンバーから外向きに一方向に強制した空気の通路を与えるように構成される逆止弁手段と、
それぞれの前記流体入口ポート及び流体出口ポートと流体接続するように配置され、加圧組立体の軸方向運動の間、前記流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向の通過を確実にする逆止弁とを備え、
前記加圧組立体の軸方向運動が、前記ハウジングチャンバーと前記支持具との隣接する同軸の表面の間の前記加圧部材のスカートの転動によって行われる、精密供給ポンプ。 - マルチポンプ組立体を備える精密供給ポンプであって、各ポンプ組立体が、
内部に配置され第1のハウジング端部から第2のハウジング端部に延びる内部ハウジングチャンバーを有するハウジングと、
前記ハウジングチャンバー内で軸方向に移動可能に配置された加圧組立体であって、
加圧部材であって、
前記ハウジングの第1の端部に隣接して配置され、円筒状の縁端を有するヘッドと、
前記ヘッドの前記縁端の周囲に円周状に延び、前記ヘッドの前記縁端を形成し、所定の度合の軸方向の加圧組立体の運動を与えるのに十分な軸方向長さを有する、薄肉スカートと、
前記スカートの周辺縁端の周囲に円周状に配置され、前記周辺縁端を形成するフランジとを備え、前記加圧部材が、内部に部分的に配置された開口を有する背面を備える、加圧部材と、
前記加圧部材の背面に結合され、上に前記スカートを配置できる寸法にされた円筒状の外部表面を有する支持具と、を備える加圧組立体と、
前記支持具を通って前記加圧部材の開口内に突き出し、前記加圧組立体に結合されたシャフトと、
前記ハウジングの第1の端部に取付けられ、流体入口ポートと流体出口ポートとを有する内部の流体チャンバーを備える流体移送本体であって、前記加圧部材のフランジが前記本体と前記ハウジングとの間に挿入される流体移送本体と、
前記ハウジングの第2の端部に取付けられ、内部に配置され前記シャフトを動かして前記ハウジングチャンバー内の前記加圧組立体を軸方向運動させるアクチュエータを備えるアクチュエータハウジングと、
前記ハウジングに接続され、前記ハウジングチャンバーと連通する逆止弁であって、前記ポンプ内で前記流体チャンバーと前記ハウジングチャンバーとの間の所定の正差圧を維持し、前記加圧組立体の軸方向運動の間、前記スカートに所定の圧力を加えて付勢し、前記スカートを、前記ハウジングチャンバー又は支持具の支持表面に接触させるとともに、前記加圧組立体の吸入行程の間、ハウジングチャンバーから外向きに一方向に強制した空気の通路を与えるように構成される逆止弁と、
それぞれの前記流体入口及び流体出口ポートと流体接続し、前記加圧組立体のそれぞれの吸入及び排出行程の間、前記流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向流れを確実にする流体入口及び流体出口逆止弁手段と、を備え、
前記加圧組立体の軸方向運動が、前記ハウジングチャンバーと前記支持具との隣接する同軸に配置された表面の間の前記加圧部材のスカートの転動によって行なわれ、
各ポンプ組立体の前記流体入口及び流体出口逆止弁手段が、それぞれの流体入口及び流体出口マニホールドと流体接続し、それぞれの流体入口及び流体出口マニホールドが、それぞれのポンプの流体入口及び流体出口と流体接続する、精密供給ポンプ。 - 精密供給ポンプであって、
内部に配置され第1のハウジング端部から第2のハウジング端部に延びる内部ハウジングチャンバーを有するハウジングと、
前記ハウジングチャンバー内で軸方向に移動可能に配置された加圧組立体であって、
円筒状の外部表面を有し、一体形構造を有する加圧部材であって、
前記ハウジングの第1の端部に隣接して配置された無孔ヘッドと、
前記ヘッドと一体形で、前記ヘッドの縁端に沿って円周状に延び、前記ヘッドの縁端を形成し、所定の範囲の加圧組立体の軸方向運動を与える所定の軸方向長さを有する、薄肉スカートと、
前記スカートと一体形で、前記スカートの周囲に円周状に配置され、前記スカートの周辺縁端を形成するフランジとを備え、前記加圧部材が、内部に部分的に配置された開口を有する背面を備える、加圧部材と、
前記加圧部材の背面に結合され、上に前記スカートを配置できる寸法にされた直径を有する円筒状の外部表面を有する支持具と、を備える加圧組立体と、
前記支持具を通って前記加圧部材の開口内に突き出し、前記加圧組立体に結合された、シャフトと、
前記ハウジングチャンバー内に配置され、前記支持具に取付けられ、前記シャフトを中に配置できるように、中を通して配置された開口を備えるシャフトカップリング部材であって、前記シャフトが、前記カップリング部材に移動可能に結合される、シャフトカップリング部材と、
前記ハウジングの第1の端部に取付けられた流体移送本体であって、前記加圧組立体に隣接して配置された内部の流体チャンバーを備え、前記流体チャンバーが、流体入口ポートと流体出口ポートとを備え、前記加圧部材のフランジが前記本体と前記ハウジングとの間に挿入され、前記加圧部材のフランジが前記本体と前記ハウジングとの間に漏れのない取付けを与える、流体移送本体と、
前記ハウジングの第2の端部に取付けられたアクチュエータハウジングであって、内部に配置され、前記シャフトに結合された回転作動部材を有するアクチュエータを備え、前記シャフトが、前記カップリング部材に結合され、シャフトの回転が、前記ハウジング内の前記カップリング部材、接続された支持具、及び加圧部材の軸方向変位を発生する、アクチュエータハウジングと、
前記ハウジングに接続され、前記ハウジングチャンバーと連通する逆止弁手段であって、加圧組立体の軸方向運動の間、前記ハウジングチャンバー内に前記流体チャンバー内よりも低い所定の値の圧力を維持し、前記スカートに所定の圧力を与えて付勢し、前記スカートを前記ハウジングチャンバー及び支持具の隣接する同軸の表面に支持されるように接触させるとともに、前記加圧組立体の吸入行程の間、ハウジングチャンバーから外向きに一方向に強制した空気の通路を与えるように構成される逆止弁手段と、
それぞれの前記流体入口ポート及び流体出口ポートと流体接続し、ポンプの運転中個別に作動され、前記流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向の通過を確実にする、流体入口及び出口ポペット弁と、を備え、
更に、前記シャフトカップリング部材は、らせん状の溝又はねじの付いた内部開口を有し、シャフトカップリング部材とシャフトとの間に挿入された複数の可動式ボールを介して、シャフトと結合され、
前記加圧組立体の軸方向運動が、前記ハウジングチャンバーと前記支持具との隣接する同軸に配置された表面の間の前記加圧部材のスカートの転動運動によって行われる、精密供給ポンプ。 - 前記流体移送本体に接続された第2のハウジングと第2の加圧組立体とを更に備え、前記流体移送本体が、第2の流体入口ポートと第2の流体出口ポートとを有する第2の流体チャンバーを備える、請求項1から4に記載のポンプ又は精密供給ポンプ。
- 前記ポンプ又は精密供給ポンプが、前記加圧組立体の軸を地面と平行にして、水平位置に設置され、前記流体入口ポートが前記流体出口ポートの下に配置される、請求項1から4に記載のポンプ又は精密供給ポンプ。
- 前記流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向流れを確実にする逆止弁手段が、前記流体入口ポート及び流体出口ポートと連通し、前記逆止弁がそれぞれの流体入口ポート及び流体出口ポートと連通した流体中に配置されているか、又は、前記流体入口及び流体出口の逆止弁手段が、ポペット弁及び前記ポペット弁を駆動する制御手段を備える、請求項1から3に記載のポンプ又は精密供給ポンプ。
- 前記制御手段が、位置感知手段を備える、請求項7に記載のポンプ又は精密供給ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/888,801 US7335003B2 (en) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | Precision dispense pump |
US10/888,801 | 2004-07-09 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007520542A Division JP4685870B2 (ja) | 2004-07-09 | 2005-07-07 | 精密供給ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011021611A JP2011021611A (ja) | 2011-02-03 |
JP5401672B2 true JP5401672B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=34981370
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007520542A Expired - Fee Related JP4685870B2 (ja) | 2004-07-09 | 2005-07-07 | 精密供給ポンプ |
JP2010243565A Active JP5401672B2 (ja) | 2004-07-09 | 2010-10-29 | 精密供給ポンプ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007520542A Expired - Fee Related JP4685870B2 (ja) | 2004-07-09 | 2005-07-07 | 精密供給ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7335003B2 (ja) |
JP (2) | JP4685870B2 (ja) |
DE (1) | DE112005001604T5 (ja) |
WO (1) | WO2006017187A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6394417B1 (en) * | 1998-10-09 | 2002-05-28 | Swagelok Co. | Sanitary diaphragm valve |
ITPD20060027U1 (it) * | 2006-02-16 | 2007-08-17 | Giovanni Rampazzo | Dispositivo per il collegamento di una pompa dosatrice ad un impianto idraulico |
DE102007060957A1 (de) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Rösler, Peter | Entlüftungspumpe für Wasserbetten |
EP2454482B1 (en) * | 2009-07-13 | 2020-05-13 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Dispensing pump |
US20120118141A1 (en) * | 2009-07-27 | 2012-05-17 | Shimadzu Corporation | Plunger-type measuring pump |
US20110081265A1 (en) * | 2009-10-06 | 2011-04-07 | Williams Hansford R | Pulse pump |
PL2484916T3 (pl) * | 2011-02-04 | 2014-02-28 | Siemens Ag | Sprężarka odśrodkowa mająca dyfuzor o zmiennej geometrii oraz sposób |
BRPI1103647A2 (pt) * | 2011-07-07 | 2013-07-02 | Whirlpool Sa | disposiÇço entre componentes de compressor linear |
BRPI1103447A2 (pt) * | 2011-07-19 | 2013-07-09 | Whirlpool Sa | feixe de molas para compressor e compressor provido de feixe de molas |
BRPI1104172A2 (pt) * | 2011-08-31 | 2015-10-13 | Whirlpool Sa | compressor linear baseado em mecanismo oscilatório ressonante |
US9671376B2 (en) * | 2011-12-26 | 2017-06-06 | Shimadzu Corporation | Flow path switching valve |
HU229852B1 (en) | 2012-08-15 | 2014-10-28 | Hibar Systems Ltd Richmond Hill | Electronically controlled and driven linear pump actuator |
US10155208B2 (en) * | 2014-09-30 | 2018-12-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Liquid mixing system for semiconductor fabrication |
US9987655B2 (en) * | 2015-06-26 | 2018-06-05 | Tokyo Electron Limited | Inline dispense capacitor system |
KR102462049B1 (ko) | 2016-08-11 | 2022-11-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 고순도 분배 시스템 |
CN107728431A (zh) | 2016-08-11 | 2018-02-23 | 东京毅力科创株式会社 | 具有弯液面控制的高精度分配系统 |
TWI760354B (zh) | 2016-08-11 | 2022-04-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 高純度分配單元 |
US11772234B2 (en) | 2019-10-25 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Small batch polishing fluid delivery for CMP |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2711134A (en) | 1950-07-26 | 1955-06-21 | Infilco Inc | Chemical feeder |
US3183840A (en) | 1962-08-03 | 1965-05-18 | Lynes Inc | Pump |
DE1804532C3 (de) | 1968-10-23 | 1976-01-02 | A. Pierburg Autogeraetebau Kg, 4040 Neuss | Kraftstoffmembranpumpe für Brennkraftmaschinen |
US3617157A (en) | 1970-06-24 | 1971-11-02 | United Ind Syndicate | Fuel pumps with reversible air dome and filter |
DE2908516A1 (de) * | 1979-03-05 | 1980-10-16 | Teves Gmbh Alfred | Bremskraftverstaerker fuer ein kraftfahrzeug |
JPS5810180A (ja) * | 1981-07-13 | 1983-01-20 | Fujikura Rubber Ltd | 流体ポンプ |
US4543044A (en) | 1983-11-09 | 1985-09-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Constant-flow-rate dual-unit pump |
US4773035A (en) | 1984-10-19 | 1988-09-20 | Amdahl Corporation | Pipelined data processing system utilizing ideal floating point execution condition detection |
DE3446914A1 (de) * | 1984-12-21 | 1986-07-03 | Ott Kg Lewa | Membranpumpe mit hydaulisch angetriebener rollmembran |
GB8708417D0 (en) | 1987-04-08 | 1987-05-13 | Eaton Sa Monaco | Electric pump |
US4950134A (en) * | 1988-12-27 | 1990-08-21 | Cybor Corporation | Precision liquid dispenser |
JPH03179184A (ja) | 1989-12-05 | 1991-08-05 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 往復動ポンプ |
IT1251298B (it) | 1991-08-27 | 1995-05-08 | Tetra Dev Co | Metodo e dispositivo per il pompaggio dosato |
US5284425A (en) | 1992-11-18 | 1994-02-08 | The Lee Company | Fluid metering pump |
FR2698665B1 (fr) | 1992-11-27 | 1995-02-17 | Imaje | Pompe étanche à piston. |
US5480292A (en) | 1993-05-19 | 1996-01-02 | Asti Sae | Dual chamber pump |
JPH0953566A (ja) | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Koganei Corp | ダイヤフラムポンプ |
AU3601997A (en) | 1996-07-15 | 1998-02-09 | Furon Company | Double acting pneumatically driven rolling diaphragm pump |
US6079959A (en) * | 1996-07-15 | 2000-06-27 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Reciprocating pump |
US5913665A (en) * | 1997-03-28 | 1999-06-22 | Tetra Laval Holdings & Finance, Sa | Fill pump with rolling diaphragms attached by vacuum to the piston |
US6000416A (en) | 1997-06-04 | 1999-12-14 | Furon Company | Compact valve with rolling diaphragm poppet |
JP4026202B2 (ja) * | 1997-10-29 | 2007-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 液体充填用ダイヤフラムポンプ装置 |
JP2000065240A (ja) | 1998-08-21 | 2000-03-03 | Neriki:Kk | 止め弁 |
US6068198A (en) * | 1999-03-23 | 2000-05-30 | Gupta; Umesh | Aerosol generating and dispensing system |
US6349858B1 (en) | 1999-10-08 | 2002-02-26 | Saint-Gobain Performance Plastics | Dispense head assembly |
US6478547B1 (en) | 1999-10-18 | 2002-11-12 | Integrated Designs L.P. | Method and apparatus for dispensing fluids |
US6325932B1 (en) | 1999-11-30 | 2001-12-04 | Mykrolis Corporation | Apparatus and method for pumping high viscosity fluid |
JP4351344B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2009-10-28 | 藤倉ゴム工業株式会社 | 定量ポンプ |
KR20030003564A (ko) * | 2001-07-03 | 2003-01-10 | 주식회사 유피디 | 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 유지 구동 장치의에너지 회수 회로 |
DE10162773A1 (de) * | 2001-12-20 | 2003-07-10 | Knf Flodos Ag Sursee | Dosierpumpe |
JP2004143960A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Smc Corp | ポンプ装置 |
-
2004
- 2004-07-09 US US10/888,801 patent/US7335003B2/en active Active
-
2005
- 2005-07-07 WO PCT/US2005/024283 patent/WO2006017187A1/en active Application Filing
- 2005-07-07 DE DE112005001604T patent/DE112005001604T5/de not_active Withdrawn
- 2005-07-07 JP JP2007520542A patent/JP4685870B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-29 JP JP2010243565A patent/JP5401672B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112005001604T5 (de) | 2007-09-06 |
JP2008506068A (ja) | 2008-02-28 |
US20060008366A1 (en) | 2006-01-12 |
US7335003B2 (en) | 2008-02-26 |
JP4685870B2 (ja) | 2011-05-18 |
WO2006017187A1 (en) | 2006-02-16 |
JP2011021611A (ja) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5401672B2 (ja) | 精密供給ポンプ | |
US6079959A (en) | Reciprocating pump | |
US7293967B2 (en) | Pump apparatus | |
JP2004044807A (ja) | ポンピング防止式分配弁 | |
US20080142102A1 (en) | Check Valve and Pump for High Purity Fluid Handling Systems | |
JPH01500135A (ja) | フィルタ・ポンプ・ヘッド組立体 | |
JP6873991B2 (ja) | 流体制御弁、及び流体制御弁製造方法 | |
JPH10512351A (ja) | 三方ポペットバルブ装置 | |
CN1396995A (zh) | 夹紧阀 | |
JP2007023935A (ja) | ローリングダイヤフラムポンプ | |
TWI593885B (zh) | 具有改良的止回閥總成的氣動往復式流體泵及相關方法 | |
US5224841A (en) | Pneumatic bellows pump with supported bellows tube | |
US8047815B2 (en) | Precision pump with multiple heads | |
EP2454482B1 (en) | Dispensing pump | |
US20080237509A1 (en) | Piping Member | |
US20140072465A1 (en) | Bellows Pump | |
WO1998002659A1 (en) | Double acting pneumatically driven rolling diaphragm pump | |
JP6719323B2 (ja) | 往復動ポンプ | |
EP1380912A2 (en) | Variable flowrate regulator | |
JP3576245B2 (ja) | プランジャーポンプ | |
TW201743001A (zh) | 具有完全關閉之一薄膜閥 | |
TW201629350A (zh) | 單軸偏心螺旋泵 | |
TWI826920B (zh) | 液體供給裝置 | |
EP3887031A1 (en) | Plural material dispensing system | |
JP5952848B2 (ja) | ダイアフラムの固定構造、それを備えたダイアフラムポンプ及び弁装置、並びにダイアフラムの固定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20121213 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20121213 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20121228 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130311 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131003 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5401672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |