JPH0953566A - ダイヤフラムポンプ - Google Patents
ダイヤフラムポンプInfo
- Publication number
- JPH0953566A JPH0953566A JP20599595A JP20599595A JPH0953566A JP H0953566 A JPH0953566 A JP H0953566A JP 20599595 A JP20599595 A JP 20599595A JP 20599595 A JP20599595 A JP 20599595A JP H0953566 A JPH0953566 A JP H0953566A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- rolling
- reciprocating member
- pump chamber
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 腐食性の液体を供給し得るダイヤフラムポン
プを提供する。 【解決手段】 ハウジング3には往復動部材7を直線方
向に往復動自在に収容する収容孔4が形成されており、
収容孔4内をポンプ室14と駆動室15とに区画するロ
ーリングダイヤフラム13は、ハウジング3に取り付け
られる開放端と往復動部材に取り付けられる閉塞端を備
えた筒部13aを有している。往復動部材7にはポンプ
室14に向けて先細となるテーパー部25が設けられて
いる。ローリングダイヤフラム13の筒部13aによっ
て形成されるローリング部13dは、往復動部材7の駆
動によりテーパー部25に案内されて、軸方向に移動す
るとともに径方向にも移動することになり、ローリング
部13dに潰れが発生することが防止される。
プを提供する。 【解決手段】 ハウジング3には往復動部材7を直線方
向に往復動自在に収容する収容孔4が形成されており、
収容孔4内をポンプ室14と駆動室15とに区画するロ
ーリングダイヤフラム13は、ハウジング3に取り付け
られる開放端と往復動部材に取り付けられる閉塞端を備
えた筒部13aを有している。往復動部材7にはポンプ
室14に向けて先細となるテーパー部25が設けられて
いる。ローリングダイヤフラム13の筒部13aによっ
て形成されるローリング部13dは、往復動部材7の駆
動によりテーパー部25に案内されて、軸方向に移動す
るとともに径方向にも移動することになり、ローリング
部13dに潰れが発生することが防止される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はローリングダイヤフ
ラムを変形させて薬液などの液体を供給するローリング
ダイヤフラムを備えたダイヤフラムポンプに関する。
ラムを変形させて薬液などの液体を供給するローリング
ダイヤフラムを備えたダイヤフラムポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】軸方向に往復動する部材によって液体を
供給するようにしたダイヤフラムポンプが開発されてお
り、たとえば、特開昭61−197779号公報および
実開平2−13184号公報に示されるものがある。こ
のポンプは、筒部とこれの一端部に設けられた端板部と
を有し、断面U字形状に弾性体により形成されたダイヤ
フラムを有している。このダイヤフラムはローリングダ
イヤフラムとも言われており、このダイヤフラム内に形
成されたポンプ室は、ポンプ室に向かう方向の流れを許
容して逆方向の流れを阻止する逆止弁を介して液体貯留
室に接続されるとともに、ポンプ室に向かう方向の流れ
を阻止して逆方向の流れを許容する逆止弁を介して液体
吐出部に接続されている。
供給するようにしたダイヤフラムポンプが開発されてお
り、たとえば、特開昭61−197779号公報および
実開平2−13184号公報に示されるものがある。こ
のポンプは、筒部とこれの一端部に設けられた端板部と
を有し、断面U字形状に弾性体により形成されたダイヤ
フラムを有している。このダイヤフラムはローリングダ
イヤフラムとも言われており、このダイヤフラム内に形
成されたポンプ室は、ポンプ室に向かう方向の流れを許
容して逆方向の流れを阻止する逆止弁を介して液体貯留
室に接続されるとともに、ポンプ室に向かう方向の流れ
を阻止して逆方向の流れを許容する逆止弁を介して液体
吐出部に接続されている。
【0003】このダイヤフラムポンプにあっては、ダイ
ヤフラムの端板部を軸方向に往復動すると、筒部がロー
リング部を介して内外二重に畳まれてポンプ室が膨張収
縮することになり、液体を液体吐出部に供給することが
できる。端板部の往復動に際しては、ローリング部の位
置が変化する。
ヤフラムの端板部を軸方向に往復動すると、筒部がロー
リング部を介して内外二重に畳まれてポンプ室が膨張収
縮することになり、液体を液体吐出部に供給することが
できる。端板部の往復動に際しては、ローリング部の位
置が変化する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ダイヤ
フラムの材質としてゴムを用いると、ゴムを侵すような
腐食性の液体、たとえば溶剤や酸ないしアルカリ性の処
理液によってダイヤフラムが劣化するので、このような
腐食性の液体を供給するためのダイヤフラムポンプには
ゴム製のダイヤフラムを適用することはできない。
フラムの材質としてゴムを用いると、ゴムを侵すような
腐食性の液体、たとえば溶剤や酸ないしアルカリ性の処
理液によってダイヤフラムが劣化するので、このような
腐食性の液体を供給するためのダイヤフラムポンプには
ゴム製のダイヤフラムを適用することはできない。
【0005】ダイヤフラムの材質として、ポリテトラフ
ルオロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂を用いる
と、ゴムと相違して耐薬品性が得られるので、ダイヤフ
ラムの劣化ないし腐食を防止することができることが判
明した。
ルオロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂を用いる
と、ゴムと相違して耐薬品性が得られるので、ダイヤフ
ラムの劣化ないし腐食を防止することができることが判
明した。
【0006】そこで、PTFEなどのフッ素樹脂を用い
て形成されたローリングダイヤフラムを用いてダイヤフ
ラムポンプを形成したところ、薬液などの液体によって
劣化したり腐食することはないが、ローリングダイヤフ
ラムに亀裂や孔などが生じてしまい、耐久性に問題のあ
ることが判明した。
て形成されたローリングダイヤフラムを用いてダイヤフ
ラムポンプを形成したところ、薬液などの液体によって
劣化したり腐食することはないが、ローリングダイヤフ
ラムに亀裂や孔などが生じてしまい、耐久性に問題のあ
ることが判明した。
【0007】この原因を追求したところ、フッ素樹脂は
柔軟性ないし伸縮性がないために、端板部を直線往復動
させる際に、ダイヤフラムのローリング部が断面円弧状
とならず、鋭角に折れ曲がってしまい、円筒部も全体的
に横断面が円形とならずに軸方向に沿って折れ曲がり部
が形成されてしまうので、この結果、端板部を往復動さ
せると、ローリングダイヤフラムに亀裂などが発生する
ことが判明した。
柔軟性ないし伸縮性がないために、端板部を直線往復動
させる際に、ダイヤフラムのローリング部が断面円弧状
とならず、鋭角に折れ曲がってしまい、円筒部も全体的
に横断面が円形とならずに軸方向に沿って折れ曲がり部
が形成されてしまうので、この結果、端板部を往復動さ
せると、ローリングダイヤフラムに亀裂などが発生する
ことが判明した。
【0008】本発明の目的は、腐食性の液体を供給し得
るダイヤフラムポンプを提供することにある。
るダイヤフラムポンプを提供することにある。
【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0011】すなわち、本発明のダイヤフラムポンプ
は、往復動部材を直線方向に往復動自在に収容する収容
孔を有するハウジングと、ハウジングに取り付けられる
開放端と往復動部材に取り付けられる閉塞端を備えた筒
部を有して収容孔内をポンプ室と駆動室とに区画するロ
ーリングダイヤフラムとを有し、往復動部材にはポンプ
室に向けて先細となるテーパー部が設けられている。
は、往復動部材を直線方向に往復動自在に収容する収容
孔を有するハウジングと、ハウジングに取り付けられる
開放端と往復動部材に取り付けられる閉塞端を備えた筒
部を有して収容孔内をポンプ室と駆動室とに区画するロ
ーリングダイヤフラムとを有し、往復動部材にはポンプ
室に向けて先細となるテーパー部が設けられている。
【0012】筒部における駆動室に向かう傾斜角度と、
テーパー部におけるポンプ室に向かう傾斜角度とをほぼ
同一に設定しても良い。
テーパー部におけるポンプ室に向かう傾斜角度とをほぼ
同一に設定しても良い。
【0013】往復動部材にテーパー部を設けたので、こ
の往復動部材でローリングダイヤフラムを変形させてポ
ンプ動作を行う際には、ローリングダイヤフラムにはこ
れを押し広げたり、すぼめたりする力が作用し、筒部に
よって形成されるローリング部が軸方向に変化するとき
に径方向にも変化することから、ローリングダイヤフラ
ムとして硬度が高く柔軟性に乏しい材料を使用しても、
往復動部材による駆動の全作動範囲においてローリング
部の潰れ発生を防止することができる。したがって、腐
食性を有する薬液などの液体を供給することができる。
の往復動部材でローリングダイヤフラムを変形させてポ
ンプ動作を行う際には、ローリングダイヤフラムにはこ
れを押し広げたり、すぼめたりする力が作用し、筒部に
よって形成されるローリング部が軸方向に変化するとき
に径方向にも変化することから、ローリングダイヤフラ
ムとして硬度が高く柔軟性に乏しい材料を使用しても、
往復動部材による駆動の全作動範囲においてローリング
部の潰れ発生を防止することができる。したがって、腐
食性を有する薬液などの液体を供給することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【0015】図1は本発明の一実施の形態であるダイヤ
フラムポンプを示し、ハウジング本体1とこれの先端部
に取り付けられたヘッド部2とによりハウジング3が形
成されており、このハウジング3内には横断面が円形と
なった収容孔4が形成されている。
フラムポンプを示し、ハウジング本体1とこれの先端部
に取り付けられたヘッド部2とによりハウジング3が形
成されており、このハウジング3内には横断面が円形と
なった収容孔4が形成されている。
【0016】ハウジング本体1の基端部には空気圧シリ
ンダ5が取り付けられており、この空気圧シリンダ5に
よって軸方向に往復動されるピストンロッド6の先端に
は往復動部材7がねじ結合されている。この往復動部材
7は収容孔4内に軸方向に往復動自在に収容されてお
り、空気圧シリンダ5により駆動されるようになってい
る。
ンダ5が取り付けられており、この空気圧シリンダ5に
よって軸方向に往復動されるピストンロッド6の先端に
は往復動部材7がねじ結合されている。この往復動部材
7は収容孔4内に軸方向に往復動自在に収容されてお
り、空気圧シリンダ5により駆動されるようになってい
る。
【0017】空気圧シリンダ5の後端部にはガイドスリ
ーブ8が取り付けられ、このガイドスリーブ8の外周に
は調整ねじ10とロックナット11がねじ止めされてい
る。ピストンロッド6の基端部にはフランジ12が設け
られ、調整ねじ10の位置を変化させることによりピス
トンロッド6の前進限位置が規制されるようになってい
る。ピストンロッド6の後退限位置は、往復動部材7を
収容孔4の後端部に形成された段部によって規制され
る。
ーブ8が取り付けられ、このガイドスリーブ8の外周に
は調整ねじ10とロックナット11がねじ止めされてい
る。ピストンロッド6の基端部にはフランジ12が設け
られ、調整ねじ10の位置を変化させることによりピス
トンロッド6の前進限位置が規制されるようになってい
る。ピストンロッド6の後退限位置は、往復動部材7を
収容孔4の後端部に形成された段部によって規制され
る。
【0018】ハウジング本体1に形成された収容孔4内
には、ローリングダイヤフラム13が配置されており、
このローリングダイヤフラム13によって収容孔4はポ
ンプ室14と駆動室15とに区画されている。このロー
リングダイヤフラム13は、PTFEなどのフッ素樹脂
を用いて形成されており、筒部13aとこの筒部13a
の一端部側の開放端に設けられたリング部13bと他端
側に設けられた閉塞端に設けられたねじ止め部13cと
を有している。このローリングダイヤフラム13はリン
グ部13bでハウジング3に取り付けられ、ねじ止め部
13cで往復動部材7に取り付けられている。
には、ローリングダイヤフラム13が配置されており、
このローリングダイヤフラム13によって収容孔4はポ
ンプ室14と駆動室15とに区画されている。このロー
リングダイヤフラム13は、PTFEなどのフッ素樹脂
を用いて形成されており、筒部13aとこの筒部13a
の一端部側の開放端に設けられたリング部13bと他端
側に設けられた閉塞端に設けられたねじ止め部13cと
を有している。このローリングダイヤフラム13はリン
グ部13bでハウジング3に取り付けられ、ねじ止め部
13cで往復動部材7に取り付けられている。
【0019】ポンプ室14にはヘッド部2に形成された
流入路16が連通しており、この流入路16は液体貯留
槽17に液体案内路18を介して接続されている。ま
た、ポンプ室14にはヘッド部2に形成された流出路2
0が連通しており、この流出路20は液体吐出部21に
液体案内路22を介して接続されている。流入路16と
液体案内路18により液体貯留槽17内の液体をポンプ
室14に案内する第1流路が形成され、流出路20と液
体案内路22によりポンプ室14内の液体を液体吐出部
21に案内する第2流路が形成されている。
流入路16が連通しており、この流入路16は液体貯留
槽17に液体案内路18を介して接続されている。ま
た、ポンプ室14にはヘッド部2に形成された流出路2
0が連通しており、この流出路20は液体吐出部21に
液体案内路22を介して接続されている。流入路16と
液体案内路18により液体貯留槽17内の液体をポンプ
室14に案内する第1流路が形成され、流出路20と液
体案内路22によりポンプ室14内の液体を液体吐出部
21に案内する第2流路が形成されている。
【0020】往復動部材7を軸方向に往復動させてポン
プ室14を膨張収縮させたときに、流出路20内におい
てポンプ室14から液体吐出部21に向かう液体の流れ
を許容し、逆方向の流れを阻止するためにヘッド部2に
逆止弁23が設けられており、さらに、流入路16内に
おいて液体貯留槽17からポンプ室14に向かう流れを
許容し、逆方向の流れを阻止するためにヘッド部2に逆
止弁24が設けられている。
プ室14を膨張収縮させたときに、流出路20内におい
てポンプ室14から液体吐出部21に向かう液体の流れ
を許容し、逆方向の流れを阻止するためにヘッド部2に
逆止弁23が設けられており、さらに、流入路16内に
おいて液体貯留槽17からポンプ室14に向かう流れを
許容し、逆方向の流れを阻止するためにヘッド部2に逆
止弁24が設けられている。
【0021】図示するダイヤフラムポンプは、液体吐出
部21から半導体ウエハWに対してフォトレジスト液を
塗布するために用いられており、フォトレジストのよう
に腐食性を有する薬液を塗布する場合でも、ローリング
ダイヤフラム13の腐食を防止することができる。ハウ
ジング3のうちヘッド部2はローリングダイヤフラム1
3と同様にPTFEなどのフッ素樹脂により成形されて
おり、ハウジング本体1は金属により形成されている。
部21から半導体ウエハWに対してフォトレジスト液を
塗布するために用いられており、フォトレジストのよう
に腐食性を有する薬液を塗布する場合でも、ローリング
ダイヤフラム13の腐食を防止することができる。ハウ
ジング3のうちヘッド部2はローリングダイヤフラム1
3と同様にPTFEなどのフッ素樹脂により成形されて
おり、ハウジング本体1は金属により形成されている。
【0022】図2は図1に示されたローリングダイヤフ
ラム13をフッ素樹脂を素材として成形した状態を示す
図であり、このときにはねじ止め部13cがリング部1
3bから最も離れた状態、つまり筒部13aが最も延び
た状態となっており、筒部13aは断面が円錐台形状と
なっている。このような形状に成形されたローリングダ
イヤフラム13がダイヤフラムポンプに組み付けられる
と、図3に示されるように筒部13aの一部にローリン
グ部13dが形成される。
ラム13をフッ素樹脂を素材として成形した状態を示す
図であり、このときにはねじ止め部13cがリング部1
3bから最も離れた状態、つまり筒部13aが最も延び
た状態となっており、筒部13aは断面が円錐台形状と
なっている。このような形状に成形されたローリングダ
イヤフラム13がダイヤフラムポンプに組み付けられる
と、図3に示されるように筒部13aの一部にローリン
グ部13dが形成される。
【0023】ローリングダイヤフラム13のねじ止め部
13cにねじ結合される往復動部材7の先端部の外周面
にはテーパー部25が形成されており、このテーパー部
25はポンプ室14に向けて先細となっており、往復動
部材7がポンプ室14に向けて前進移動する際にはロー
リングダイヤフラム13の筒部13a内に進入すること
になる。図2に示すように筒部13aの駆動室15に向
かう方向の傾斜角度をθとすると、図3に示すようにテ
ーパー部25のポンプ室14に向かう方向の傾斜角度も
前記角度θとほぼ同一の角度となっている。
13cにねじ結合される往復動部材7の先端部の外周面
にはテーパー部25が形成されており、このテーパー部
25はポンプ室14に向けて先細となっており、往復動
部材7がポンプ室14に向けて前進移動する際にはロー
リングダイヤフラム13の筒部13a内に進入すること
になる。図2に示すように筒部13aの駆動室15に向
かう方向の傾斜角度をθとすると、図3に示すようにテ
ーパー部25のポンプ室14に向かう方向の傾斜角度も
前記角度θとほぼ同一の角度となっている。
【0024】ローリングダイヤフラム13がダイヤフラ
ムポンプに組み込まれた状態では、図1に示すように、
往復動部材7の先端部は筒部13a内に一部入り込んで
おり、テーパー部25の外側にはローリングダイヤフラ
ム13のローリング部13dが形成される。図1にあっ
ては、往復動部材7が後退限位置となった状態を示し、
この状態からフランジ12が調整ねじ10に当接するま
で前進する。この前進動作により、ポンプ室14は最も
収縮した状態となる。
ムポンプに組み込まれた状態では、図1に示すように、
往復動部材7の先端部は筒部13a内に一部入り込んで
おり、テーパー部25の外側にはローリングダイヤフラ
ム13のローリング部13dが形成される。図1にあっ
ては、往復動部材7が後退限位置となった状態を示し、
この状態からフランジ12が調整ねじ10に当接するま
で前進する。この前進動作により、ポンプ室14は最も
収縮した状態となる。
【0025】ローリングダイヤフラム13の素材として
柔軟性がなく比較的硬度が高いフッ素樹脂を用いても、
ローリング部13dを案内することになる往復動部材7
の外周面をテーパー形状とすることよって、往復動部材
7の全往復動作において、ローリング部13dはその円
周方向の全ての部分で確実に断面が円弧状となり、押し
潰される部分の発生はない。
柔軟性がなく比較的硬度が高いフッ素樹脂を用いても、
ローリング部13dを案内することになる往復動部材7
の外周面をテーパー形状とすることよって、往復動部材
7の全往復動作において、ローリング部13dはその円
周方向の全ての部分で確実に断面が円弧状となり、押し
潰される部分の発生はない。
【0026】図3はローリングダイヤフラム13の一部
を拡大して示す図であり、往復動部材7が後退限位置に
近い状態にあっては、筒部13aの外周面が収容孔4の
内周面には接触しないようになっており、往復動部材7
が前進移動するに伴って、ローリング部13dが形成さ
れる部分が軸方向に時々刻々変化するとともに、径方向
にも変化することになる。つまり、ローリング部13d
には往復動部材7によって軸方向と径方向との両方向に
力が作用することになる。このように、往復動部材7が
後退限の位置にあり、筒部13aのうち外側に折り畳ま
れた部分の長さが比較的長い状態のもとで、ローリング
部13dの径を小さくし、これが軸方向に変位する過程
で徐々に大きくするようにローリング部13dを移動さ
せるようにしたことから、比較的硬度が大きく、柔軟性
に乏しい材質のローリングダイヤフラム13を用いて
も、ローリング部13dに鋭角に折れ曲がる部分の発生
がなくなる。
を拡大して示す図であり、往復動部材7が後退限位置に
近い状態にあっては、筒部13aの外周面が収容孔4の
内周面には接触しないようになっており、往復動部材7
が前進移動するに伴って、ローリング部13dが形成さ
れる部分が軸方向に時々刻々変化するとともに、径方向
にも変化することになる。つまり、ローリング部13d
には往復動部材7によって軸方向と径方向との両方向に
力が作用することになる。このように、往復動部材7が
後退限の位置にあり、筒部13aのうち外側に折り畳ま
れた部分の長さが比較的長い状態のもとで、ローリング
部13dの径を小さくし、これが軸方向に変位する過程
で徐々に大きくするようにローリング部13dを移動さ
せるようにしたことから、比較的硬度が大きく、柔軟性
に乏しい材質のローリングダイヤフラム13を用いて
も、ローリング部13dに鋭角に折れ曲がる部分の発生
がなくなる。
【0027】図4(a)〜図4(d)は、比較例として
のダイヤフラムポンプの要部を示す図であり、この場合
には往復動部材7の外周面がストレートとなっている。
このようにストレートとすると、往復動部材7を駆動す
る際に、ローリング部13dには軸方向の力のみが作用
して、図4(b)において符号Dで示すように、筒部1
3aに軸方向に沿う折れ曲がり部が発生した。その折れ
曲がり部Dは、図4(c)に示すように、ローリング部
13dが潰れた状態となる。図4(d)は潰れない状態
の部分のローリング部13dを示す。
のダイヤフラムポンプの要部を示す図であり、この場合
には往復動部材7の外周面がストレートとなっている。
このようにストレートとすると、往復動部材7を駆動す
る際に、ローリング部13dには軸方向の力のみが作用
して、図4(b)において符号Dで示すように、筒部1
3aに軸方向に沿う折れ曲がり部が発生した。その折れ
曲がり部Dは、図4(c)に示すように、ローリング部
13dが潰れた状態となる。図4(d)は潰れない状態
の部分のローリング部13dを示す。
【0028】本発明にあっては、比較的高度が高いフッ
素樹脂を用いてローリングダイヤフラム13を形成して
も、ローリング部13dはその移動過程において円周方
向の全ての部分において図4(d)に示すような断面円
弧状となり、押し潰される部分が発生することがない。
これにより、ローリングダイヤフラム13を交換するこ
となく、長期間にわたり同一のローリングダイヤフラム
13を使用することが可能となり、耐久性が向上する。
素樹脂を用いてローリングダイヤフラム13を形成して
も、ローリング部13dはその移動過程において円周方
向の全ての部分において図4(d)に示すような断面円
弧状となり、押し潰される部分が発生することがない。
これにより、ローリングダイヤフラム13を交換するこ
となく、長期間にわたり同一のローリングダイヤフラム
13を使用することが可能となり、耐久性が向上する。
【0029】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0030】たとえば、図示する実施の形態にあって
は、ローリングダイヤフラム13としてフッ素樹脂製の
ものが使用されているが、ゴムなどのように比較的柔ら
かい材質のものに対しても適用することができる。ま
た、供給される液体としては、前記したフォトレジスト
液のみならず、種々の液体としても良く、特に腐食性を
有する液体の供給に好適である。さらに、図示する場合
には、空気圧シリンダ5によって往復動部材7を駆動す
るようにしているが、電動モータによって往復動部材7
を駆動するようにしても良い。
は、ローリングダイヤフラム13としてフッ素樹脂製の
ものが使用されているが、ゴムなどのように比較的柔ら
かい材質のものに対しても適用することができる。ま
た、供給される液体としては、前記したフォトレジスト
液のみならず、種々の液体としても良く、特に腐食性を
有する液体の供給に好適である。さらに、図示する場合
には、空気圧シリンダ5によって往復動部材7を駆動す
るようにしているが、電動モータによって往復動部材7
を駆動するようにしても良い。
【0031】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0032】(1).ローリングダイヤフラムとして比較的
硬度が高い材質を使用することが可能となる。
硬度が高い材質を使用することが可能となる。
【0033】(2).ローリングダイヤフラムによって形成
されるポンプ室を膨張収縮させる際に、ローリング部の
潰れを防止することができる。
されるポンプ室を膨張収縮させる際に、ローリング部の
潰れを防止することができる。
【0034】(3).これにより、腐食性の液体を供給する
ためのポンプにおけるローリングダイヤフラムを使用す
ることが可能となる。
ためのポンプにおけるローリングダイヤフラムを使用す
ることが可能となる。
【0035】(4).また、ローリングダイヤフラムの耐久
性を向上することができる。
性を向上することができる。
【図1】本発明の一実施の形態であるダイヤフラムポン
プを示す断面図である。
プを示す断面図である。
【図2】成形した状態におけるローリングダイヤフラム
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図3】ローリングダイヤフラムの変形例を示す断面図
である。
である。
【図4】(a)は比較例としてのダイヤフラムポンプの
要部を示す断面図であり、(b)は同図(a)の横断面
図であり、(c)は同図(b)におけるc−c線に沿う
断面図であり、(d)は同図(b)におけるd−d線に
沿う断面図である。
要部を示す断面図であり、(b)は同図(a)の横断面
図であり、(c)は同図(b)におけるc−c線に沿う
断面図であり、(d)は同図(b)におけるd−d線に
沿う断面図である。
1 ハウジング本体 2 ヘッド部 3 ハウジング 4 収容孔 5 空気圧シリンダ 6 ピストンロッド 7 往復動部材 8 ガイドスリーブ 10 調整ねじ 11 ロックナット 12 フランジ 13 ローリングダイヤフラム 13a 筒部 13b リング部 13c ねじ止め部 13d ローリング部 14 ポンプ室 15 駆動室 16 流入路 17 液体貯留槽 18 液体案内路 20 流出路 21 液体吐出部 22 液体案内路 23,24 逆止弁 25 テーパー部 W 半導体ウエハ D 折れ曲がり部
Claims (2)
- 【請求項1】 往復動部材を直線方向に往復動自在に収
容する収容孔を有するハウジングと、 前記ハウジングに取り付けられる開放端と前記往復動部
材に取り付けられる閉塞端を備えた筒部を有し、前記収
容孔内をポンプ室と駆動室とに区画するローリングダイ
ヤフラムと、 前記ハウジングに接続され、液体貯留槽内の液体を前記
ポンプ室に案内する第1流路と、 前記ハウジングに接続され、前記ポンプ室内の液体を液
体吐出部に案内する第2流路とを有し、 前記往復動部材に前記ポンプ室に向けて先細となるテー
パー部を設けたことを特徴とするローリングダイヤフラ
ムを備えたダイヤフラムポンプ。 - 【請求項2】 請求項1記載のダイヤフラムポンプであ
って、前記筒部における前記駆動室に向かう傾斜角度
と、前記テーパー部における前記ポンプ室に向かう傾斜
角度とをほぼ同一に設定したことを特徴とするダイヤフ
ラムポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20599595A JPH0953566A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | ダイヤフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20599595A JPH0953566A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | ダイヤフラムポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0953566A true JPH0953566A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16516171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20599595A Pending JPH0953566A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | ダイヤフラムポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0953566A (ja) |
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-
1995
- 1995-08-11 JP JP20599595A patent/JPH0953566A/ja active Pending
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