JP4792488B2 - 薬液供給装置 - Google Patents

Description

本発明はフォトレジスト液等の薬液を吐出する薬液供給装置に関する。

半導体ウエハの表面に回路パターンを形成する前には、半導体ウエハの表面を平坦化するために研磨加工が行われており、研磨加工に際しては表面に研磨液が塗布される。研磨加工後に表面に回路パターンが形成される際には、フォトレジスト液や洗浄液が塗布される。研磨液やフォトレジスト液等の薬液を被塗布物に供給するためのポンプとしては、可撓性チューブを有するチューブポンプが使用されている。

可撓性チューブはポンプハウジング内に組み込まれ、可撓性チューブによりその内側のポンプ室と外側の駆動室とにより仕切られている。駆動室内に対して非圧縮性の間接媒体の供給と排出とを行うことによって可撓性チューブは径方向に膨張収縮してポンプ動作することになる。可撓性チューブのポンプハウジングに対する固定方式には、特許文献１のように可撓性チューブの両端部をポンプハウジングに溶着ないし溶接するようにした溶接タイプ、特許文献２のように可撓性チューブの両端部をそれぞれの内部に嵌合されるアダプタとポンプハウジングとの間で挟み込むようにした締付タイプとがある。
特開２００８−１０１５１０号公報 特開平１１−１１７８７２号公報

可撓性チューブがポンプ動作するときには、可撓性チューブの弾性変形部は径方向に膨張収縮し、このときには弾性変形部は長さ方向に弾性変形することになる。可撓性チューブは両端部でポンプハウジングに固定されているので、ポンプ動作時には、可撓性チューブの軸方向中央部が最も大きく径方向に弾性変形し、中央部が最もつぶれたときに可撓性チューブ内に最大の張力が発生する。この張力は可撓性チューブの両端部をポンプハウジングから引き抜く方向に作用することになる。

半導体ウエハの生産性向上のために、近年においては、半導体ウエハに対する薬液の高速供給が求められている。また、薬液の吐出量を変えることなく薬液供給ポンプを小型化するために、可撓性チューブの長さを短くすることが求められている。薬液供給ポンプの高速作動と小型化とを達成するには、可撓性チューブの両端部のポンプハウジングに対する固定強度とシール性を高めることが必要となっている。

可撓性チューブ両端部の固定強度を高めるには、上述した溶接タイプが好ましいが、このタイプの固定方式においてはポンプハウジングと可撓性チューブとを同種の材質とする必要がある。例えば、ポンプハウジングと可撓性チューブとをフッ素樹脂を用いれば、溶接タイプとすることができるが、ポンプハウジングをフッ素樹脂に代えて金属製とすると、フッ素樹脂と金属とを溶接することができないので、溶接タイプのチューブポンプを製造することはできない。

一方、可撓性チューブ両端部を締付タイプとするには、両端部をテーパ形状としてポンプハウジングとアダプタとの間でテーパ形状の端部を挟み付けるようにしている。可撓性チューブを樹脂製とすると、樹脂はクリープ現象が発生するので、徐々に両端部のシール性が低下することになる。ゴム製の可撓性チューブは、樹脂よりも弾性があるのでシール性は樹脂に勝るが、ポンプ動作時に張力が加えられると、ポンプハウジングとアダプタとにより挟み付けられた端部が張力によって薄くなる。このため、張力が大きくなる薬液供給ポンプには締付タイプは適用できないという問題点がある。

可撓性チューブのシール性が低下すると、駆動室内の非圧縮性の間接媒体が外部に漏出したり、外部空気が駆動室内に流入することになり、駆動室の膨張収縮量と可撓性チューブ内からの薬液の吐出量との対応関係が崩れて薬液の吐出精度が低下することになる。また、可撓性チューブの端部がポンプハウジングとアダプタとの間で強く挟み付けられていないと、ポンプ動作時に可撓性チューブが張力によって締付部に対してずれたり抜けたりし、薬液の吐出精度が低下するだけでなく、可撓性チューブに部分的なつぶれ過ぎや折れ目が発生し、可撓性チューブの耐久性が低下することになる。

本発明の目的は、可撓性チューブを有する薬液供給装置における薬液の吐出精度を高めることにある。

本発明の他の目的は、可撓性チューブの耐久性を高めることにある。

本発明の薬液供給装置は、液体流入口および液体流出口が設けられたポンプハウジングと、前記ポンプハウジング内に組み込まれ、前記液体流入口および前記液体流出口に連通するポンプ室を区画するとともに前記ポンプハウジングとの間に非圧縮性の間接媒体が封入される駆動室を区画する可撓性チューブと、前記ポンプハウジングに設けられ、前記非圧縮性の間接媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、前記ポンプハウジングの内面に前記可撓性チューブの端部に対応させて配置される外側シール材と、外面に内側シール材が設けられ、前記可撓性チューブの端部内に配置される締結筒体と、前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入され、前記締結筒体をその内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記内側シール材と前記外側シール材を前記可撓性チューブに密着させる楔スリーブとを有することを特徴とする。

本発明の薬液供給装置は、前記ポンプハウジングの内面に前記可撓性チューブの端部に対応させて外側凹凸部を形成し、前記締結筒体に前記外側凹凸部に対応させて内側凹凸部を形成し、前記楔スリーブを前記締結筒体の内側に挿入すると前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする。

本発明の薬液供給装置は、液体流入口および液体流出口が設けられたポンプハウジングと、前記ポンプハウジング内に組み込まれ、前記液体流入口および前記液体流出口に連通するポンプ室を区画するとともに前記ポンプハウジングとの間に非圧縮性の間接媒体が封入される駆動室を区画する可撓性チューブと、前記ポンプハウジングに設けられ、前記非圧縮性の間接媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、前記可撓性チューブの中央部の弾性変形部よりも大径のストレート孔および前記弾性変形部と前記ストレート孔との間のテーパ孔からなる端部に対応させて前記ポンプハウジングの内面に形成された嵌合孔に配置される外側シール材と、前記ストレート孔に対応するストレート外周面および前記テーパ孔に対応するテーパ外周面を有するとともに外周面に内側シール材が設けられ、前記可撓性チューブの端部内に配置される締結筒体とを有し、前記テーパ外周面と前記テーパ孔との間で前記可撓性チューブを締結するとともに前記ストレート外周面を前記ストレート孔に押し付けて前記外側シール材と前記内側シール材とを前記可撓性チューブに密着させることを特徴とする。

本発明の薬液供給装置は、前記ポンプハウジングの内周面に前記可撓性チューブの端部に対応させて外側凹凸部を形成し、前記締結筒体に前記外側凹凸部に対応させて内側凹凸部を形成し、前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする。

本発明の薬液供給装置は、前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入される楔スリーブを有し、当該楔スリーブが前記締結筒体を前記テーパ面の内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記内側シール材と前記外側シール材を前記可撓性チューブに密着させることを特徴とする。

本発明の薬液供給装置は、前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入される楔スリーブを有し、当該楔スリーブが前記締結筒体を前記テーパ面の内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする。本発明の薬液供給装置は、前記締結筒体の内部に逆止弁を設けることを特徴とする。

本発明によれば、可撓性チューブの端部の外面を外側シール材によりシールし、内面を内側シール材によりシールするので、可撓性チューブの端部をポンプハウジングに溶接することなく、可撓性チューブの端部の内外面のシール性を高めて薬液や間接媒体の漏れを防止することができる。これにより、可撓性チューブの両端部を締結タイプとすることができ、ポンプハウジングと可撓性チューブとを異種材料を用いて製造することができる。例えば、ポンプハウジングを金属材料とし可撓性チューブを樹脂材料とすることができる。

本発明によれば、可撓性チューブがポンプハウジング内に組み込まれるとともに可撓性チューブの端部内に締結筒体が組み込まれた状態のもとで、端部内に組み込まれる締結筒体の内側に楔スリーブを挿入して締結筒体を拡径することによって外側シール材と内側シール材とを押し潰して可撓性チューブの端部に密着させることによりシール性を高めることができる。本発明によれば、締結筒体を楔スリーブにより拡径して締結筒体とポンプハウジングとの間で可撓性チューブに折り曲げ部を形成することによって、可撓性チューブの端部のシール性を高めることができる。

本発明によれば、可撓性チューブのシール性を高めることができるので、可撓性チューブの耐久性を高めることができるとともに、吐出精度を高めることができる。

本発明によれば、ポンプハウジング内に逆止弁を組み込むことができるので、逆止弁をポンプハウジングの外部に配置する場合に比して薬液供給装置を小型化することができる。本発明によれば、可撓性チューブの端部を強固にポンプハウジングに固定することができるので、可撓性チューブの長さに比して直径を大きくしても、ポンプ動作時に可撓性チューブに加わる張力により可撓性チューブが締付部に対してずれたり、抜けてしまうことを防止でき、吐出精度を高めることができ、可撓性チューブの耐久性を向上させることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（Ａ）は本発明の一実施の形態である薬液供給装置の正面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の底面図であり、図２は図１（Ａ）の一部を拡大して示す断面図であり、図３は図２に示したポンプハウジングの流入側端部を拡大して示す断面図であり、図４はポンプハウジングの流出側端部を拡大して示す断面図である。

この薬液供給装置１０は、外形がほぼ直方体形状となった金属製のポンプハウジング１１を有している。ポンプハウジング１１の側壁にはシリンダ部１２が一体に設けられており、シリンダ部１２はポンプハウジング１１に対して横方向に突出している。図２に示されるように、ポンプハウジング１１には貫通孔１３が長手方向に貫通して形成され、貫通孔１３内には円筒形状の可撓性チューブ１４が組み込まれている。ポンプハウジング１１の両端は開口されており、ポンプハウジング１１の一端部には図１（Ｂ）に示すようにボルト１５によりジョイント金具１６ａが取り付けられ、ジョイント金具１６ａには、流入側のコネクタ１７ａが止めナット１８ａにより固定されている。ポンプハウジング１１の他端部にボルトにより取り付けられたジョイント金具１６ｂには、流出側のコネクタ１７ｂが止めナット１８ｂにより固定されている。流入側のコネクタ１７ａは可撓性チューブ１４内に連通する液体流入口１９ａを有し、流出側のコネクタ１７ｂは可撓性チューブ１４内に連通する液体流出口１９ｂを有している。

流入側のコネクタ１７ａには、図１（Ａ）に示されるように、薬液タンク２０内に収容されたレジスト液等の薬液２１を案内する供給側流路２２ａが接続されるようになっている。一方、流出側のコネクタ１７ｂには、吐出側流路２２ｂが接続されるようになっており、吐出側流路２２ｂの先端には薬液２１を吐出するノズル２３が設けられている。このノズル２３からは、薬液供給装置１０が半導体ウエハの表面を研磨加工するための研磨装置に使用されるときには、研磨液が薬液２１として半導体ウエハに塗布される。薬液供給装置１０が回路パターンを形成する装置に使用されるときには、ノズル２３からはフォトレジスト液や洗浄液が薬液として半導体ウエハに塗布される。

図２に示されるように、可撓性チューブ１４の流入側の端部１４ａは締結筒体２４ａによりポンプハウジング１１の一端部に固定され、可撓性チューブ１４の流出側の端部１４ｂは締結筒体２４ｂによりポンプハウジング１１の他端部に固定される。それぞれの締結筒体２４ａ，２４ｂの内側には円筒形状のバルブホルダ２５ａ，２５ｂが組み込まれ、それぞれのバルブホルダ２５ａ，２５ｂには逆止弁２６ａ，２６ｂが２つずつ設けられている。

可撓性チューブ１４、締結筒体２４ａ，２４ｂおよびバルブホルダ２５ａ，２５ｂは、レジスト液等の薬液２１と反応しない材料であるフッ素樹脂により形成されている。フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）が使用されている。ただし、これらの材料としては、薬液の種類によって種々選択される。

可撓性チューブ１４によってこの内側のポンプ室２７と外側の駆動室２８とに区画されており、可撓性チューブ１４のうち締結筒体２４ａ，２４ｂの間の部分は径方向に弾性変形してポンプ動作を行う。駆動室２８はシリンダ部１２に形成されたシリンダ孔１２ａに連通し、駆動室２８とシリンダ孔１２ａ内には非圧縮性の間接媒体２９が封入されている。シリンダ孔１２ａ内にはピストン３０が軸方向に往復動自在に装着されており、ピストン３０を図２において矢印Ａ方向に駆動すると、可撓性チューブ１４の弾性変形部が径方向に収縮してポンプ室２７が収縮する。これにより、ポンプ室２７内の薬液は逆止弁２６ｂを通過して液体流出口１９ｂから吐出側流路２２ｂを介してノズル２３に向けて吐出される。このときには、ポンプ室２７内の薬液は逆止弁２６ａにより薬液タンク２０内へ逆流することが阻止される。

一方、ピストン３０を図２において矢印Ｂ方向に駆動すると、可撓性チューブ１４の弾性変形部が径方向に膨張してポンプ室２７が膨張する。これにより、薬液タンク２０内の薬液は供給側流路２２ａを介してポンプ室２７内に流入する。このときには、吐出側流路２２ａ内の薬液は逆止弁２６ｂによりポンプ室２７に向けて流れることが阻止される。

このようにピストン３０は非圧縮性の間接媒体２９を介してポンプ室２７を膨張収縮する駆動手段となっており、ピストン３０を軸方向に往復動するために、図１に示されるように、ポンプハウジング１１のシリンダ部１２には接続ケース３１を介して駆動ユニット３２が取り付けられている。駆動ユニット３２は、電動モータ３３の主軸により回転駆動されるボールねじとこれにねじ結合して軸方向に往復動するねじ軸とを有し、ねじ軸はシリンダ部１２のピストン３０に連結されている。

図２に示されるように、可撓性チューブ１４の中央部は弾性変形部３４となっており、流入側の端部１４ａは弾性変形部３４が間接媒体２９により径方向の外力を受けていないときにおける弾性変形部３４の径よりも大径のストレート部３５ａと、弾性変形部３４とストレート部３５ａとの間のテーパ部３６ａとを有している。ポンプハウジング１１には端部１４ａが嵌合する嵌合孔が形成されており、嵌合孔はストレート部３５ａに対応するストレート孔３７ａと、テーパ部３６ａに対応するテーパ孔３８ａとを有している。可撓性チューブ１４の流出側の端部１４ｂは、端部１４ａと同様に大径のストレート部３５ｂと、弾性変形部３４とストレート部３５ｂとの間のテーパ部３６ｂとを有しており、ポンプハウジング１１には端部１４ｂが嵌合する嵌合孔が形成されている。この嵌合孔はストレート部３５ｂに対応するストレート孔３７ｂと、テーパ部３６ｂに対応するテーパ孔３８ｂとを有している。

図３に示されるように、ストレート孔３７ａには２つの環状溝４１ａが形成され、それぞれの環状溝４１ａにはＯリングからなる外側シール材４２ａが配置されている。外側シール材４２ａは可撓性チューブ１４の端部１４ａとポンプハウジング１１との間から間接媒体２９が外部に漏出するのを防止する。同様に、図４に示されるように、ストレート孔３７ｂには２つの環状溝４１ｂが形成され、それぞれの環状溝４１ｂにはＯリングからなる外側シール材４２ｂが配置されている。外側シール材４２ｂは可撓性チューブ１４の端部１４ｂとポンプハウジング１１との間から間接媒体２９が外部に漏出するのを防止する。

図３に示されるように、締結筒体２４ａの外周面のうち可撓性チューブ１４のストレート部３５ａに対応するストレート外周面４３ａには環状溝４４ａが形成され、環状溝４４ａにはＯリングからなる内側シール材４５ａが配置されている。内側シール材４５ａは可撓性チューブ１４の端部１４ａと締結筒体２４ａとの間から薬液が外部に漏出するのを防止する。同様に、図４に示されるように、締結筒体２４ｂの外周面のうち可撓性チューブ１４のストレート部３５ｂに対応するストレート外周面４３ｂには環状溝４４ｂが形成され、環状溝４４ｂにはＯリングからなる内側シール材４５ｂが配置されている。内側シール材４５ｂは可撓性チューブ１４の端部１４ｂと締結筒体２４ｂとの間から薬液が外部に漏出するのを防止する。

図３に示されるように、締結筒体２４ａの軸方向内側端部にはテーパ孔３８ａに対応させてテーパ外周面４６ａが形成されている。同様に、図４に示されるように、締結筒体２４ｂの軸方向内側端部にはテーパ孔３８ｂに対応させてテーパ外周面４６ｂが形成されている。したがって、テーパ外周面４６ａ，４６ｂをテーパ孔３８ａ，３８ｂに突き当てた状態として締結筒体２４ａ，２４ｂを可撓性チューブ１４の端部１４ａ，１４ｂ内に組み込むと、締結筒体２４ａ，２４ｂのストレート外周面４３ａ，４３ｂがストレート孔３７ａ，３７ｂに向けて押し付けられる。これにより、外側シール材４２ａ，４２ｂと内側シール材４５ａ，４５ｂはそれぞれ可撓性チューブ１４の端部１４ａ，１４ｂに密着されてシール性が確保される。

図３および図４に示されるように、ポンプハウジング１１のストレート孔３７ａ，３７ｂには、外側凹凸部として径方向内方に突出した突起部４７ａ，４７ｂが形成されており、それぞれの突起部４７ａ，４７ｂに対応させて締結筒体２４ａ，２４ｂのストレート外周面４３ａ，４３ｂには内側凹凸部として環状溝４８ａ，４８ｂが形成されている。したがって、締結筒体２４ａ，２４ｂを端部１４ａ，１４ｂ内に嵌合させると、可撓性チューブ１４のストレート部３５ａ，３５ｂには突起部４７ａ，４７ｂと環状溝４８ａ，４８ｂとにより折り曲げられた折り曲げ部４９ａ，４９ｂが形成されることになる。この折り曲げ部４９ａ，４９ｂによって間接媒体２９と薬液２１が外部に漏れることが防止される。また、可撓性チューブ１４を強固に固定することができる。

なお、外側凹凸部と内側凹凸部との凹凸関係を逆にして、ストレート孔３７ａ，３７ｂに外側凹凸部として環状溝を形成し、ストレート外周面４３ａ，４３ｂに内側凹凸部として突起部を形成するようにしても良い。

それぞれの締結筒体２４ａ，２４ｂの内側には、図３および図４に示されるように、円筒形状のガイド筒体５１ａ，５１ｂが設けられており、それぞれのガイド筒体５１ａ，５１ｂは軸方向内方端で締結筒体２４ａ，２４ｂに一体となっている。それぞれのガイド筒体５１ａ，５１ｂと締結筒体２４ａ，２４ｂとの間にはポンプハウジング１１の開口部側に向けて徐々に隙間が大きくなるようにテーパ形状となったガイド溝５２ａ，５２ｂが形成されている。それぞれのガイド溝５２ａ，５２ｂにはガイド溝５２ａ，５２ｂに対応してテーパ形状となった円筒形状の楔スリーブ５３ａ，５３ｂが挿入されるようになっており、楔スリーブ５３ａ，５３ｂはそれぞれポンプハウジング１１に形成された環状溝に係合する止めリング５４ａ，５４ｂによってポンプハウジング１１に固定される。

図５（Ａ），（Ｂ）は締結筒体２４ｂと楔スリーブ５３ｂとの組立手順を示す断面図である。図５（Ａ）に矢印Ｃにより示されるように、可撓性チューブ１４がポンプハウジング１１内に組み込まれ、可撓性チューブ１４の端部１４ｂ内に締結筒体２４ｂが組み込まれた状態のもとで、ポンプハウジング１１の開口端部側から締結筒体２４ｂの内側に楔スリーブ５３ｂが挿入される。ガイド筒体５１ｂが一体となった締結筒体２４ｂは、樹脂材料により成形されたときには、図５（Ａ）に示されるように軸方向外方端側の外径が内方端の外径よりも小径となっており、このときの締結筒体２４ｂの外方端の内径ｄ１は、楔スリーブ５３ｂの先端外径ｄ２とほぼ同一かやや小径となっている。

楔スリーブ５３ｂが挿入されると、締結筒体２４ｂはその軸方向内方端を中心として図５（Ａ）において矢印Ｄで示されるように径方向外方に傾斜する方向に拡径変形する。これにより、外側シール材４２ｂと内側シール材４５ｂは、径方向に押し潰されて図５（Ｂ）に示されるように弾性変形し、可撓性チューブ１４の端部１４ｂに密着して間接媒体２９と薬液２１のシール性が高められる。楔スリーブ５３ｂが締結筒体２４ｂの内部に挿入されると、さらに、突起部４７ｂと環状溝４８ｂにより端部１４ｂには折り曲げ部４９ｂが形成されることになり、この折り曲げ部４９ｂによっても間接媒体２９と薬液２１のシール性が高められる。特に、楔スリーブ５３ｂは軸方向の内方端部が細くなって外周面がテーパ形状となっているので、楔スリーブ５３ｂの挿入力が楔効果により拡大され、小さい挿入力によって硬質樹脂製の可撓性チューブ１４に折り曲げ部４９ｂを確実に形成することができる。楔スリーブ５３ｂは図５（Ｂ）に示されるように止めリング５４ｂによってポンプハウジング１１に固定される。

このようにして楔スリーブ５３ｂがポンプハウジング１１に取り付けられた後に、図５（Ｂ）に示されるように、バルブホルダ２５ｂが可撓性チューブ１４の端部１４ｂの内側に組み込まれる。ガイド筒体５１ｂの軸方向内方端の内径ｄ３は、バルブホルダ２５ｂの先端部外径ｄ４とほぼ同一径となっており、バルブホルダ２５ｂをガイド筒体５１ｂの内側に嵌合させると、バルブホルダ２５ｂに設けられたシール材５５ｂによりバルブホルダ２５ｂとガイド筒体５１ｂとの間からの薬液２１の漏れが防止される。

図５は可撓性チューブ１４のうち液体流出口側の端部１４ｂ内に組み込まれる締結筒体２４ｂと楔スリーブ５３ｂの部分を示すが、反対側の液体流入口側の端部１４ａについても同様の構造となっており、図３に示されるように、バルブホルダ２５ｂにはシール材５５ａが設けられている。

それぞれのバルブホルダ２５ａ，２５ｂには、図３および図４に示されるように、逆止弁２６ａ，２６ｂが組み込まれ、バルブホルダ２５ａ，２５ｂと逆止弁２６ａ，２６ｂはコネクタ１７ａ，１７ｂにより位置決めされて止めナット１８ａ，１８ｂにより固定される。このように、ポンプハウジング１１内に逆止弁２６ａ，２６ｂが組み込まれており、逆止弁を含めた薬液供給装置１０のサイズを小型化することができる。コネクタ１７ａ，１７ｂには逆止弁２６ａ，２６ｂを通過した薬液２１の漏れを防止するためのシール材５６ａ，５６ｂが設けられている。

図６は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置１０ａを示す断面図である。この薬液供給装置１０ａにおける可撓性チューブ１４の両端部１４ａ，１４ｂは、図２に示した薬液供給装置１０と相違して弾性変形部３４と同一径となっている。このように可撓性チューブ１４を全体的に同一径としても、可撓性チューブ１４がポンプハウジング１１内に組み込まれるとともに端部１４ａ，１４ｂ内に締結筒体２４ａ，２４ｂが組み込まれた状態のもとでポンプハウジング１１の開口端から締結筒体２４ａ，２４ｂの内側に楔スリーブ５３ａ，５３ｂを挿入すると、締結筒体２４ａ，２４ｂがその内方端を中心として傾斜するように拡径して内側シール材４５ａ，４５ｂと外側シール材４２ａ，４２ｂを可撓性チューブ１４に密着させてシール性を高めることができる。しかも、折り曲げ部４９ａ，４９ｂを可撓性チューブ１４に形成してシール性を高めることができる。

図２に示した薬液供給装置１０の可撓性チューブ１４のように、ストレート部３５ａ，３５ｂとテーパ部３６ａ，３６ｂとを両端部１４ａ，１４ｂに設けると、締結筒体２４ａ，２４ｂをポンプハウジング１１内に押し込むことにより、テーパ部３６ａ，３６ｂが締め付けられてシール性が高められることになる。さらに、楔スリーブ５３ａ，５３ｂを締結筒体２４ａ，２４ｂの内側に挿入する際には、締結筒体２４ａ，２４ｂがテーパ部３６ａ，３６ｂにより位置決めされるので、楔スリーブ５３ａ，５３ｂの挿入操作が容易となる。

これにより、図２および図６に示すように、金属製のポンプハウジング１１にフッ素樹脂等の硬質樹脂からなる可撓性チューブ１４をシール性を確保しつつ強固に固定することができる。これらを強固に固定することができるので、ポンプ動作時に可撓性チューブに加わる張力により可撓性チューブが締付部に対してずれたり、抜けてしまうことを防止でき、吐出精度を高めることができ、可撓性チューブの耐久性を向上させることができる。

薬液供給装置の変形例としては、折り曲げ部４９ａ，４９ｂを外側シール材４２ａ，４２ｂよりも軸方向外側に設けるようにするタイプがある。さらには、図２のように可撓性チューブ１４にテーパ部３６ａ，３６ｂを設ける場合には、テーパ部３６ａ，３６ｂに外側シール材と内側シール材の少なくともいずれか一方を密着させるようにするタイプがある。

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、ポンプ室２７を膨張収縮するための駆動手段としてはピストン３０に限られず、ベローズやダイヤフラムを使用するようにしても良い。

（Ａ）は本発明の一実施の形態である薬液供給装置の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の底面図である。 図１（Ａ）の一部を拡大して示す断面図である。 ポンプハウジングの流入側端部を拡大して示す断面図である。 ポンプハウジングの流出側端部を拡大して示す断面図である。 （Ａ），（Ｂ）は締結筒体と楔スリーブとの組立手順を示す断面図である。 本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す断面図である。

符号の説明

１１ ポンプハウジング
１２ シリンダ部
１４ 可撓性チューブ
１９ａ 液体流入口
１９ｂ 液体流出口
２０ 薬液タンク
２１ 薬液
２３ ノズル
２４ａ，２４ｂ 締結筒体
２５ａ，２５ｂ バルブホルダ
２６ａ，２６ｂ 逆止弁
２７ ポンプ室
２８ 駆動室
２９ 間接媒体
３０ ピストン（駆動手段）
３４ 弾性変形部
３５ａ，３５ｂ ストレート部
３６ａ，３６ｂ テーパ部
４２ａ，４２ｂ 外側シール材
４５ａ，４５ｂ 内側シール材
４７ａ，４７ｂ 突起部（外側凹凸部）
４８ａ，４８ｂ 環状溝（内側凹凸部）
４９ａ，４９ｂ 折り曲げ部
５２ａ，５２ｂ ガイド溝
５３ａ，５３ｂ 楔スリーブ

Claims (7)

1. 液体流入口および液体流出口が設けられたポンプハウジングと、
   前記ポンプハウジング内に組み込まれ、前記液体流入口および前記液体流出口に連通するポンプ室を区画するとともに前記ポンプハウジングとの間に非圧縮性の間接媒体が封入される駆動室を区画する可撓性チューブと、
   前記ポンプハウジングに設けられ、前記非圧縮性の間接媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、
   前記ポンプハウジングの内面に前記可撓性チューブの端部に対応させて配置される外側シール材と、
   外面に内側シール材が設けられ、前記可撓性チューブの端部内に配置される締結筒体と、
   前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入され、前記締結筒体をその内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記内側シール材と前記外側シール材を前記可撓性チューブに密着させる楔スリーブとを有することを特徴とする薬液供給装置。
2. 請求項１記載の薬液供給装置において、前記ポンプハウジングの内面に前記可撓性チューブの端部に対応させて外側凹凸部を形成し、前記締結筒体に前記外側凹凸部に対応させて内側凹凸部を形成し、前記楔スリーブを前記締結筒体の内側に挿入すると前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする薬液供給装置。
3. 液体流入口および液体流出口が設けられたポンプハウジングと、
   前記ポンプハウジング内に組み込まれ、前記液体流入口および前記液体流出口に連通するポンプ室を区画するとともに前記ポンプハウジングとの間に非圧縮性の間接媒体が封入される駆動室を区画する可撓性チューブと、
   前記ポンプハウジングに設けられ、前記非圧縮性の間接媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、
   前記可撓性チューブの中央部の弾性変形部よりも大径のストレート孔および前記弾性変形部と前記ストレート孔との間のテーパ孔からなる端部に対応させて前記ポンプハウジングの内面に形成された嵌合孔に配置される外側シール材と、
   前記ストレート孔に対応するストレート外周面および前記テーパ孔に対応するテーパ外周面を有するとともに外周面に内側シール材が設けられ、前記可撓性チューブの端部内に配置される締結筒体とを有し、
   前記テーパ外周面と前記テーパ孔との間で前記可撓性チューブを締結するとともに前記ストレート外周面を前記ストレート孔に押し付けて前記外側シール材と前記内側シール材とを前記可撓性チューブに密着させることを特徴とする薬液供給装置。
4. 請求項３記載の薬液供給装置において、前記ポンプハウジングの内周面に前記可撓性チューブの端部に対応させて外側凹凸部を形成し、前記締結筒体に前記外側凹凸部に対応させて内側凹凸部を形成し、前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする薬液供給装置。
5. 請求項３または４記載の薬液供給装置において、前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入される楔スリーブを有し、当該楔スリーブが前記締結筒体を前記テーパ面の内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記内側シール材と前記外側シール材を前記可撓性チューブに密着させることを特徴とする薬液供給装置。
6. 請求項４記載の薬液供給装置において、前記可撓性チューブが前記ポンプハウジング内に組み込まれるとともに前記端部内に前記締結筒体が組み込まれた状態のもとで前記ポンプハウジングの開口端から前記締結筒体の内側に挿入される楔スリーブを有し、当該楔スリーブが前記締結筒体を前記テーパ面の内方端を中心として傾斜させるように拡径して前記外側凹凸部と内側凹凸部とにより折り曲げられる折り曲げ部を前記可撓性チューブに形成することを特徴とする薬液供給装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の薬液供給装置において、前記締結筒体の内部に逆止弁を設けることを特徴とする薬液供給装置。

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