KR20000071611A - 펌프몸체와 같이 유체전달시스템 및 적용예 특히특수유체용 펌프의 구성부품을 위한 씰 및 씰링방법 - Google Patents

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노르통 아스티 쏘시에떼 아노님
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Abstract

본 발명은 유체전달시스템내에서 전달되는 특수유체의 오염문제를 해결하고, 또한 특수한 기하학적 형상 및 설계에 의해 개선되는 불투과성을 제공하기 위한 신규 씰 시스템에 관련된다.
펌프 벨로우즈(3)의 지지요소 및 상기 씰(5)은 PTFE로 제조되고 씰을 위한 하우징(4)을 형성하고, 인장력을 작용하는 펌프요소(2)가 PFA보다 덜 변형되는 재료로 제조된다. 씰은 안전개구부(f) 및 돌출요소(10)를 가지는 것이 선호되고 돌출요소(10)의 돌출부분(60)이 펌프몸체(2)의 부분(50)에 의해 압축된다.
유체용 펌프가 반도체산업에 적용된다.

Description

펌프몸체와 같이 유체전달시스템 및 적용예 특히 특수유체용 펌프의 구성부품을 위한 씰 및 씰링방법{New sealing method, new seal for components of fluid transfer systems, especially a pump body, and their applications, especially in pumps for special fluids}
본 발명은 유체 및 좀더 구체적으로 특수유체들을 전달하기 위한 시스템내에 포함된 씰(seal)의 기술분야에 관련된다.
상기 적용예에 있어서 특수유체는 특수재료를 이용하는 유체들을 의미한다. 비제한적인 한가지 예로서 부식성유체가 주어진다. 또한 상기분야에서 상기 유체는 유체전달시스템에 의해 오염되지 않아야 하는 유체들을 의미한다. 비제한적인 한가지예로서 반도체산업에서 이용되는 특정유체들이 주어진다.
본 발명은 또한 상기 씰을 이용하는 특수유체용 펌프(pump)들에 관련된다. 비제한적인 한가지예로서 불소화재료로 제조된 튜브들 및 펌프들이 제공된다.
반도체산업에 있어서, 최근에 "특수"유체들이 이용된다. 특히 특수유체들은 마모재료를 포함한 수성유체, 물, 염기, 산 또는 용제일 수 있고 상기 분야의 업자들에게 알려진 유사한 재료일 수 있다.
특히 심각한 기술적문제는 산(acid)과 같은 유체들의 순환과 관련되고, 상기 유체들은 반도체생산시 이용되는 실리콘 플레이트(silicon plate)를 에칭하게 된다. 모든 오염 및 특히 유체의 입자오염은 반도체의 품질에 전적으로 치명적이다.
그러나 상기 유체들을 전달하는데 이용되는 시스템 및 특히 펌프 및 튜브들은 반드시 상기 형태의 모든 시스템과 같이 씰을 이용하는 것이 필요하다.
또한 상기 특정분야는 일반적으로 "O-링(ring)"으로서 알려진 토릭조인트(toric joint)들을 포함한다. 일반적으로 상기 O링은 하우징 또는 쓰로트(throat)부분들에 배열되고, 다음에 불투과성을 가지도록 칼라(collar)에 의해 압축된다. 두 개의 튜브들사이에 위치한 씰에 있어서, 인장기능의 링에 의해 인장기능이 이루어진다. 펌프몸체에 있어서, 기술적인 조립방법(로드(rod), 링, 나사등)에 의해 인장기능이 이루어진다.
해당 기술분야에 있어서, 상기 씰은 주로 탄성중합체재료로 제조된다. 그러나 상기 씰은 운반되는 유체의 입자오염을 야기시키는 경향이 있다. 사실상 유체의 순도는 부정적으로 부적합하고 반도체산업과 같은 "초순도의"산업에서 극도의 손상을 일으킬 수 있는 다른 형태의 입자 또는 금속을 제거할 수 있다.
상기 설명과 같이 상기 문제는 불소화된 재료로 제조된 펌프들에서 특히 분명하고, 상기 펌프들은 펌프몸체의 레벨에서 씰로 구성되고, 튜브들의 레벨에서 씰들에 의해 씰링될 필요가 있다.
본 발명은 상기 문제 특히, 전달된 유체들의 오염과 관련된 문제를 해결가능한 새로운 씰(seal)에 관련되고, 또한 특수한 기하학적형상 및 설계에 의해 불투과성을 개선할 수 있다.
본 발명의 다른 특징 및 장점이 첨부된 도면을 참고하여 하기 상세한 설명에 의해 분명해 진다.
도 1 은 반도체산업에서 이용되고 본 발명의 씰(seal)을 가진 "초 순수 화학용"펌프와 같은 특수유체용 펌프요소의 단면도.
도 2 는 본 발명의 씰에 관한 실시예 및 이를 둘러싸는 요소들을 도시하고 도 1 에 도시된 일부분을 도시한 확대단면도.
도 3 은 도 1 및 도 2 에 이용된 것과 같이 본 발명의 씰에 관한 실시예의 단면도.
* 부호설명
1 ... 튜브 2 ... 펌프몸체
3 ... 벨로우즈 4 ... 씰하우징
5 ... 씰 6 ... 외부벽
7 ... 씰링벽 10 ... 씰 돌출요소
20 ... 씰의 질량부분 30 ... 벽(7)과 접촉하는 씰의 면
40 ... 실의 면(30)과 접촉하는 벨로우즈의 벽(7)에 구성된 면
50 ... 펌프몸체(2)에 속하는 씰의 하우징을 구성하는 내측부분
60 ... 돌출요소(10)에 돌출구성된 "코너"
70 ... 펌프요소(2)에 속하는 씰의 하우징을 구성하는 외측부분
F ... 씰시스템상의 유체압력방향
T ... 막대들로부터(비제한적인) 실시예에 대한 인장하중의 작용방향
F ... 개구부 ep ... 개구부두께
l ... 개구부길이 a ... 씰(와셔)(5)의 두께
INT ... (가압유체의)펌프내측부
EXT ... 펌프외측부 PTFE ... 폴리테트라플루오르에틸렌
PVDF ... 폴리비닐이덴 플루오라이드
PFA ... 폴리플루오로알콕시
편의상 그리도 도면들 및 도면부호들을 설명하기 위해 펌프의 "내측부" 및 "외측부"각각에 대하여 상세한 설명이 주어진다.
도 1을 참고할 때, 펌프몸체(2)내부에 하우징(4)이 끼워맞춤된다. 펌프몸체의 일부분(50)에 의해 펌프의 "내측"부분 및 펌프몸체의 일부분(70)에 의해 펌프의 "외측"부분이 상기 하우징에 구성된다(벨로우즈(3)의 칼라) 요소(7)에 의해 하우징이 밀폐된다.
요소(6) 및 펌프몸체(2)사이에서 요소(7)가 인장된다.
외측을 향해 유체(F)의 손실을 방지하기 위해, 씰(5)의 높이에서 불투과성이 제공될 수 잇다.
펌프몸체의 특수한 실시예에 기초하여, 일반적으로 본 발명은 씰(5)을 포함한 하우징 및 상기 씰(5)에 대해 부착되는 요소(7)사이의 씰링방법에 관련되고, 상기 씰링방법에 따라, 하우징 및 대략 정사각형 또는 직사각형 단면을 가진 씰이 이용되고, 씰의 면(30) 및 씰(30)과 마주보는 요소(7)의 면(40)사이에 삽입된 평면접촉부가 구성되며, 상기 씰링방법에 따라, 씰(5) 및 부착된 요소(7)가 상대적으로 가요성 또는 "연성"을 가진 재료로 제조되며, 상기 요소(2)는 상대적으로 강성을 가진 재료로 제조된다.
본 발명에 따르면, 필연적인 표면상의 결함이 개선되거나 제거되어 우수한 씰링상태를 형성하도록 상대적으로 가요성을 가진 두 개의 재료들이 인장작용시 충분히 변성되기 때문에 씰(5) 및 지지요소(7)가 유리하게 구성된다.
따라서 "상대적인 가요성"은 씰링특성이 손상되지 않고도 표면상의 결함이 제거되는 상기 과정을 겪는 능력을 나타낸다. 상기 "상대적인 강성"은 상기 구속막대(tie rod)들에 의해 가해지는 하중을 가능한 양호하게 전달할 수 있고 다소 변형가능한 재료에 관련된다. 상기 설명 및 하기 실시예를 참고할 때, 상대적인 가요성 또는 연성재료 및 상대적인 강성재료의 적합한 "결합(pairing)"을 형성하는 적합한 재료들이 당업자에 의해 결정될 수 있다.
일반적으로 본 발명을 따르는 씰링방법의 특징에 따르면, 표면상의 결함이 개선되거나, 제거되도록, 인장작용시 상대적인 가요성을 가진 재료로 제조된 요소(7) 및 씰(5)이 충분히 변형된다.
종래기술에 있어서, "O-링"과 같이 상대적인 가요성을 가진 재료는 항상 두 개의 강성요소들사이에서 압축된다는 사실에 본 발명의 씰링방법이 기초한다. 사실상 제어되지 않은 표면변형에 기인하여, 상대적인 가요성을 가지고 사실상 동일한 두 개의 재료들사이의 직접적인 평면접촉은 적합한 씰링상태를 형성하지 못할 수 있다.
본 발명의 선호되는 실시예에 따르면, 씰(5) 및 직접 평면접촉하는 씰에 부착된 요소(7)가 동일한 재료로 제조된다.
본 발명의 선호되는 실시예에 따르면, 씰 및 요소(7)를 구성하는 재료는 PTFE이다. 당업자들이 평가할 수 있는 특수용도의 변형가능한 금속 또는 합금과 같은 다른 재료 또는 PTFE의 특성과 유사한 특성을 나타내는 수정된 FEP 또는 PFA를 이용하는 것이 가능하다.
본 발명의 선호되는 실시예에 따르면, 요소(2)를 구성하는 재료는 PFA이다. 상기 합금보다 강성이 더 크거나 덜 변형가능한 합금에 의해 PFA가 대체될 수 있다.
특정 실시예에 따르면, 상기 PTFE는 Teflon PTFETM이라는 상표로 Du Pont de Nemours 사에 의해 시판되거나 ALGOFLONTM이라는 상표로 AUSIMNT사에 의해 시판되는 것이다.
특정 실시예에 따르면, 상기 PFA Teflon PFATM이라는 상표로 Du Pont de Nemours사에 의해 시판되는 것이다.
ASYTM D 695 기준에 따라 항복점에서 압축강도는 각각,
Teflon PFATM에 대해 24MPa 및 Teflon PTFETM에 대해 12Mpa이고,
ASTM D 2240 기준에 따라 쇼와 D경도는 각각
Teflon PFATM에 대해 60 및 Teflon PTFETM에 대해 55이다.
동일한 기준들에 따를 때 FEP(에틸렌-프로필렌 플루오린 레진)은 15.2MPa의 압축강도 및 56-57의 쇼와강도를 가진다.
동일한 기준들에 따를 때 비교에 의해 PVDF(폴리비닐플루오라이드)는 75MPa의 압축강도 및 77의 쇼와강도를 가진다.
상기 수치에 의하면 압축강도 및 쇼와 D강도의 차이와 관련하여 본 발명에서 "상대적인 가요성 또는 연성" 그리고 "상대적인 강성"이 의미하는 것을 당해업자가 평가할 수 있고, 수치적으로 작게 보일지라도, 상기 차이는 중요하다. 따라서 당해업자들에 의해 적합한 재료들이 결합될 수 있고, 두 재료들사이의 상대적인 강도 및 가요성의 허용범위가 결정될 수 있다.
선호되는 실시예에 따르고, 도 2 및 도 3을 참고할 때, 본 발명의 씰은 정사각형 또는 직사각형 단면을 가진 와셔(washer)이고, 지지요소(7)의 측부위에 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 끼워맞춤되지만 와셔(5)의 폭을 충분히 가로질러 구성되지 못하며, 내측부상에 개방되는 개구부가 "내측의"내측부상에 상기 씰에 의해 구성되고,
개구부의 길이(l)는 와셔(5)의 전체폭에 대해 약 1/3 내지 2/3인 것이 선호되고 약 2/3가 선호된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 개구부(f)에 씰링작용이 선호된다. 사실상 유체는 이용가능한 두 개의 채널들을 가진다. 즉 씰의 면(30) 및 면(40)사이의 채널과 요소(2)의 일부분(50) 및 씰(5)의 내측코너(60)사이의 채널을 가진다.
후자의 경우에 있어서, 즉 요소 2(50) 및 씰 5(20)사이에 유체가 삽입되면, 유체는 압력을 받으며 개구부(f)내부로 관통되고 개구부를 개방하려하고 그 결과 추가의 씰링하중(면(30)/면(40)+5/2)을 형성한다.
따라서 본 발명의 개구부(f)는 제 2 안정기능을 수행한다.
개구부(f)의 제 2 기능: 개구부에 의해 추가로 굽힘응력 또는 전단응력을 발생시키지 않고 씰(5)의 상기 부분(60)이 자유롭게 위치설정될 수 잇다.
상기 추가단계른 유체압력이 작용하는 측부위에서 정확하게 결함(여기서 개구부(f))을 씰내부에 형성되지 않도록 하는 것으로부터 유래된다.
또한 본 발명에 따르면, 내측부를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)이 씰(5)의 돌출요소(10)에 구성되고, 즉 부분(60)은 내측부를 향해 씰의 내측부로 면(20)위로 돌출한다.
따라서 인장작용시, 씰링상태를 형성하는 요소(7)의 면(40)에 대해 돌출단부(50)에 의해 요소(2)의 부분(50)이 돌출요소(10)를 인장한다.
또한 상기 설명과 같이, 개구부(f)가 개방되고, 상기 개구부내부로 유체가 관통한다.
이와 관련하여, 특허 제 EP 0 295 479 호에 따르면, 두 개의 측면들에 의해 씰링기능의 와셔(14)가 압착된다. 여기서 와셔는 개구부 또는 돌출요소로 구성되지 않고 직접적인 면 씰링이 형성되지 않는다. 또한 상기 특허에 의하면, 서로 마주보는 요소들에 대한 특수강성조합이 설명되지 않는다. 마지막으로, 상기 특허는 특수유체에 관한 것이 아니다. 상기 특허는 두 개의 측면들에 의해 와셔(14)의 대략적인 동시압착기술만을 설명하고 있다.
따라서 본 발명은 상기 설명의 씰링방법을 설명하고 있고, 상기 씰링방법에 있어서, 펌프의 내측부(INT)를 향하여 경미하게 돌출구조를 이루는 내측부분(60)이 씰의 돌출요소에 구성되고, 인장요소(2)의 부분(50)에 의해 요소(7)의 벽(40)에 대해 씰의 돌출요소(10)가 인장되어, 도 2를 참고할 때 상기 돌출요소의 내측코너(60)가 인장된다.
씰(5)을 구성하는 돌출요소(10)의 두께는 가요성 및 변형성을 가질정도로 충분히 작고, 당해업자에 의해 용이하게 결정될 수 있다.
본 발명은 또한 상기 씰 및 씰의 변형예들과 관련된다.
본 발명은 또한 본 발명을 따르는 방법의 적용에 관련되고, 엄격하거나 심지어 반도체, 전자, 항공, 우주, 제약 및 화학공업 및 유사기술 같은 특수한 씰링기준이 적용되는 모든 산업에서 본 발명의 씰이 관련된다.
특히 본 발명은 특수유체를 전달하고 특히 비제한적으로, 특히 부식성유체 및/또는 씰에 의해 오염되지 않아야 하는 유체를 전달하기 위한 펌프 및/또는 튜브들을 포함한 유체전달시스템에 관련되고, 상기 시스템은 상기 적어도 한 개의 씰링시스템으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
특히 상기 비제한적인 실시예에서 처럼, 펌프몸체(2)내부에 끼워맞춤되는 하우징(4)내부에 배열되고 펌프에 구성된 벨로우즈(3)의 칼라(7)에 대해 인장되는 씰(5)에 의해 펌프의 씰링시스템이 형성된다.
상기 씰(5)이 개구부(f)와 끼워맞춤되고, 따라서 돌출요소(10)와 끼워맞춤된다.
씰(5)에 구성된 하우징의 내측부분을 형성하는 펌프몸체의 일부분(50)에 의해 인장되고 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)이 돌출요소(10)에 구성되는 것이 선호된다.
따라서 본 발명과 관련되 하기 요소들
- 씰을 포함한 하우징으로 구성되는 요소(2) 및 상기 씰에 부착되는 지지요소(7)사이의 씰에 있어서, 상기 씰이 정사각형 또는 직사각형단면을 가지고, 씰의 면(30) 및 상기 면(30)가 마주보는 요소(7)의 면(40)사이에 직접적인 면접촉이 형성되며, 씰(5) 및 부착된 요소(7)가 상대적인 가요성 또는 "연성"을 가진 재료로 제조되는 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰이 연결함이 개선되거나 제거되도록 인장시 씰(5)이 충분히 변형가능하다.
- 상기 씰에 있어서, 주재료가 PTFE인 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰에 있어서, 주재료가 PTFE와 유사한 특성을 가지거나 수정된 FEP 또는 PFE와 같이 상대적인 연성을 가지는 또다른 폴리머 또는 상대적인 연성을 가진 금속 또는 합금인 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰에 있어서, Teflon PTFETM의 상표로 Dupont de Nemours사에 의해 시판되는 PTFE가 상기 주재료인 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰에 있어서, 정사각형 또는 직사각형 단면을 가진 와셔에 의해 씰이 구성되고, 내측의 측부(INT)상에 내측부(f)을 구성하며, 상기 개구부가 내측부로 개방되어 지지요소(7)의 측부위에 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 끼워맞춤되지만 와셔(5)의 폭을 충분히 가로지르지 않는 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰에 있어서, 개구부(f)의 길이(l)가 와셔(5)의 전체폭(a)의 1/3내지 2/3 이고 2/3가 선호되는 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰에 있어서, 씰(5)의 돌출요소(10)가 내부를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60) 즉, 씰의 내측면(20)내부를 향하여 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)인 것을 특징으로 한다.
- 상기 씰링방법 및 씰이 엄격한 씰링기준이 적용되는 반도체산업, 일반적으로 전자산업, 우주항공산업, 화학 및 제약산업 및 신규하고 유사한 기술에서 적용되는 것을 특징으로 한다.
- 부식성유체 및/또는 씰에 의해 오며되지 않아야 하는 유체와 같은 특수유체를 전달하기 위한 펌프에 있어서, 적어도 한 개의 상기 씰로 구성되는 것을 특징으로 한다.
- 부식성유체 및/또는 씰에 의해 오염되지 않아야 하는 유체와 같은 특수유체를 전달하기 위한 펌프가 펌프몸체(2)내부에 끼워맞춤되는 하우징(4)내부에 배열되고, 펌프가 벨로우즈(3)의 칼라(7)에 대해 인장되는 씰(5)에 의해 펌프씰링시스템이 구성되는 것을 특징으로 한다.
- 상기 펌프에 있어서, 정사각형 또는 직사각형단면을 가진 와셔에 의해 씰(5)이 구성되고, 내측부(INT)상에 개구부(f)를 구성하며, 상기 개구부가 내측부로 개방되어, 지지요소(7)의 측부위에 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 제공하는 것을 특징으로 한다.
- 상기 펌프에 있어서, 개구부(f)의 길이(l)가 와셔(5)의 전체 폭(a)의 1/3내지 2/3이고 2/3가 선호되는 것을 특징으로 한다.
- 상기 펌프에 있어서, 씰(5)의 돌출요소(10)가 내부를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분 즉, 씰의 내측면(20)내부를 향하여 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)인 것을 특징으로 한다.
- 상기 따르는 펌프가 엄격한 씰링기준이 적용되는 반도체산업, 일반적으로 전자산업, 우주항공산업, 화학 및 제약산업 및 신규하고 유사한 기술에서 적용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 분야의 당해업자들에게 직접 적용가능한 적용예 및 이용과 구성예, 실시예 및 재료선택에 관련된다.

Claims (33)

  1. 씰(5)을 포함한 하우징으로 구성된 부품(2) 및 상기 씰에 부착되는 부품(7)사이의 씰링방법에 있어서,
    정사각형 또는 직사각형 단면을 가진 씰 및 씰링하우징이 이용되고, 면(30)과 마주보는 부품(7)의 면(40) 및 씰의 면(30)사이에 면위의 면접촉이 형성되며, 씰(5) 및 부착된 부품(7)가 상대적인 가요성 또는 "연성"을 가진 재료로 제조되고, 부품(2)가 상대적인 강성을 가진 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 표면결합이 충진되거나 압착되도록, 상대적인 가요성 또는 "연성"을 가진 재료로 제조된 씰(5) 및 인장시 부품(7)가 충분히 변형되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 직접면접촉상태로 씰에 부착된 부품(7) 및 씰(5)이 동일재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 씰(5) 및 부품(7)를 구성하는 재료가 PTFE인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  5. 제 3 항에 있어서, 부품(2)를 위해 이용되는 재료에 대하여 씰(5) 및 상기 부품을 구성하는 재료가 폴리머 또는 상대적인 연성을 가진 금속 또는 합금인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항중 한 항에 있어서, 부품(2)를 구성하는 재료가 PFA 인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항중 한 항에 있어서, 부품(5,7)들에 대해 이용되는 재료와 비교하여 부품(2)를 구성하는 재료가 폴리머 또는 상대적인 강성을 가진 금속인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  8. 제 4 항에 있어서, Teflon PTFETM의 상표로 Dupont de Nemours사에 의해 시판되거나 ALGOFLONTM의 상표로 AUSIMINT사에 의해 시판되는 PTFE가 씰(5) 및 부품(7)를 구성하는 재료인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  9. 제 6 항에 있어서, Teflon PFATM의 상표로 Du Pont de Nemours사에 의해 시판되는 PFEZ가 부품(2)을 구성하는 재료인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항중 한 항에 있어서, 씰(5)은 정사각형 또는 직사각형단면을 가진 와셔이고, "하측"의 측부(INT)상에 슬릿(f)를 가지며, 상기 슬릿(f)이 부품(7)의 측부위에서 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 제공하며, 측부(INT)위에 개방되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 슬릿(f)의 길이(l)가 와셔(5)의 전체 폭(a)의 2/3이 되도록 약 1/3 내지 2/3인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 부품(2)(50) 및 씰(5)(20)사이에 유체가 유입되면, 유체가 압력을 받으며 슬릿(f)내부로 통과하고 그결과 씰(5)의 돌출요소(10)상에 압력을 가하며, 그 결과 부품(7)의 면(40)에 대해 씰의 면(30)을 강력하게 부착, 추가로 면위에 면접촉상태를 보강하고, 따라서 슬릿(f)이 제 2 안전요소의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항중 한 항에 있어서, 내측부(INT)를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60) 즉, 내측부(INT)를 향해 씰의 내측면(20)을 경미하게 통과하는 부분(60)이 씰(5)의 돌출요소(10)에 구성되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 부품(7)의 면(40)에 대해 돌출구조의 단부(60)를 통해 요소(2)의 부분(50)이 돌출요소(10)를 인장하는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 단부(60)의 인장작용에 의해 슬릿(f) 개방상태가 유지되어, 상기 슬릿내부로 유체가 관통되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  16. 씰을 포함한 하우징으로 구성되는 부품(2) 및 상기 씰에 부착되는 지지부품(7)사이의 씰에 있어서,
    상기 씰이 정사각형 또는 직사각형단면을 가지고, 씰의 면(30) 및 상기 면(30)과 마주보는 요소(7)의 면(40)사이에 면위에 면접촉이 형성되며, 씰(5) 및 부착된 부품(7)이 상대적인 가요성 또는 "연성"을 가진 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 표면결함이 충진되거나 압착되도록 인장시, 씰(5)이 충분히 변형가능한 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 상기 씰을 구성하는 재료가 PTFE인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  19. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 부품(2)을 위해 이용되는 재료에 대하여 씰을 구성하는 재료가 폴리머 또는 상대적인 연성을 가진 금속 또는 합금인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  20. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, Teflon PTFETM의 상표로 Dupont de Nemours사에 의해 시판되거나 ALGOFLONTM의 상표로 AUSIMONT사에 의해 시판되는 PTFE가 씰의 구성재료인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  21. 제 16 항 내지 제 20 항에 있어서, 정사각형 또는 직사각형 단면을 가진 와셔에 의해 씰이 구성되고, 내측의 측부(INT)상에 슬릿(f)을 구성하며, 지지부품(7)의 측부위에서 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 제공하여 상기 개구부가 내측부로 개방되는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  22. 제 21 항에 있어서, 개구부(f)의 길이(l)가 와셔(5)의 전체폭(a)의 2/3가 되도록 1/3 내지 2/3인 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서, 씰(5)의 돌출요소(10)가 내부를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)으로 구성되고, 즉 내측부(INT)를 향해 씰의 내측면(20)내부를 부분(60)이 경미하게 통과하는 것을 특징으로 하는 씰링방법.
  24. 제 1 항 내지 제 23 항중 한 항을 따르는 씰링방법 및 씰이 반도체 산업, 일반적으로 전자산업, 우주항공산업, 화학 및 제약산업에 관련되는 것을 특징으로 하는 씰링방법 및 씰의 적용.
  25. 부식성유체 및/또는 씰에 의해 오염되지 않아야 하는 유체와 같은 특수유체를 전달하기 위한 펌프에 있어서,
    제 16 항 내지 제 23 항중 한 항을 따르는 적어도 한 개의 씰로 구성되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  26. 제 25 항에 따라 부식성유체 및/또는 씰에 의해 오염되지 않아야 하는 유체와 같은 특수유체를 전달하기 위한 펌프에 있어서,
    펌프몸체(2)내부에 끼워맞춤되는 하우징(4) 내부에 배열되고, 펌프의 벨로우즈(3)의 칼라(7)에 대해 인장되는 씰(5)에 의해 펌프씰링시스템이 구성되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  27. 제 26 항에 있어서, 정사각형 또는 직사각형단면을 가진 와셔에 의해 씰(5)이 구성되고, 내측부(INT)상에 슬릿(f)이 구성하며, 지지요소(7)의 측부위에 씰(5)내부에 돌출요소(10)를 제공하여 상기 슬릿이 내측부로 개방되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  28. 제 27 항에 있어서, 개구부(f)의 길이(l)가 와셔(5)의 전체 폭(a)의 1/3내지 2/3이고 2/3가 선호되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  29. 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 씰(5)의 돌출요소(10)가 내부를 향해 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)으로 구성되고, 즉, 단부에서 씰의 내측부를 향하여 경미하게 돌출구조를 이루는 부분(60)인 것을 특징으로 하는 펌프.
  30. 제 25 항 내지 제 29 항을 따르는 펌프가 반도체산업, 일반적으로 전자산업, 우주항공산업, 화학 및 제약산업에 관련되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  31. 제 16 항 내지 23 항중 한 항에 있어서, 씰(5)을 구성하는 돌출요소(10)의 두께(ep)가 변형가능하고 전성을 가지도록 충분히 작은 것을 특징으로 하는 펌프.
  32. 제 1 항 내지 제 15 항중 한 항을 따르는 방법에 있어서,
    - ASTM D 695 기준을 따르는 유동임계치에 압축강도가 각각 Teflon PFATM에 대해 12MPa이며, Teflon PTFETM에 대해 12MPa 이며,
    - ASTM D 2240 기준을 따르는 쇼와 D강도가 각각 Teflon PFATM에 대해 60이고, Teflon PTFETM에 대해 55 이며,
    - 동일한 기준에 따라 FEP(에틸렌-프로필렌 플루오르 레진)가 15.2MPa의 압축강도 및 56-57의 쇼와 강도를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
  33. 제 16 항 내지 23 항 및 제 31 항에 있어서, ASTM D 695 기준에 따를 때 유동임계치에서 압축강도가 각각
    - Teflon PFATM에 대해 24MPa이고 Teflon PTFETM에 대해 12Mpa이며,
    - ASTM D 2240 기준에 따라 쇼와 D강도가 각각 Teflon PFATM에 대해 60이고, Teflon PTFETM에 대해 55이며,
    - 동일한 기준에 따라 FEP(에틸렌-프로필렌 플루오르 레진)가 15.2MPa의 압축강도 및 56-57의 쇼와강도를 가지는 것을 특징으로 하는 씰.
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