JP5396425B2 - 液浸システムのコンポーネント、液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板Wを正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
[00116](特徴1)使用時にDUV放射に曝露されない超疎水性表面を備えたリソグラフィ装置の液浸システムのコンポーネント。
[00117](特徴2)前記表面がコーティングを含む、特徴1に記載のコンポーネント。
[00118](特徴3)前記表面が構造化されている、前記特徴のいずれかに記載のコンポーネント。
[00119](特徴4)前記表面の構造が、ガスギャップが前記表面上の液浸液の下に存在する構造である、特徴3に記載のコンポーネント。
[00120](特徴5)前記表面の構造が、液浸液が固体と液体との間にガスポケットを備えた安定した複合界面を形成する構造である、特徴3又は4に記載のコンポーネント。
[00121](特徴6)前記構造が、規則的な反復パターンを有する、特徴3〜5に記載のコンポーネント。
[00122](特徴7)前記構造が、前記コンポーネントの表面内にある、特徴3〜6のいずれかに記載のコンポーネント。
[00123](特徴8)前記構造上のコーティングをさらに含んで超疎水性表面を形成する、特徴7に記載のコンポーネント。
[00124](特徴9)前記構造が、前記表面上のコーティング内の構造である、特徴3〜8のいずれかに記載のコンポーネント。
[00125](特徴10)前記構造が、前記表面上のコロイド粒子によって提供される、特徴3〜5のいずれかに記載のコンポーネント。
[00126](特徴11)前記構造化表面が、マイクロ構造化又はナノ構造化表面である、特徴3〜10のいずれかに記載のコンポーネント。
[00127](特徴12)前記表面が、粘着性平面部材によって提供される、前記特徴のいずれかに記載のコンポーネント。
[00128](特徴13)前記コンポーネントが、エンコーダシステムの一部である、前記特徴のいずれかに記載のコンポーネント。
[00129](特徴14)前記エンコーダシステムが、エミッタと、マスクに対する前記エミッタの位置を測定するマスクとを備える、特徴13に記載のコンポーネント。
[00130](特徴15)前記超疎水性表面が、前記エミッタ及び/又はマスク上にある、特徴14に記載のコンポーネント。
[00131](特徴16)前記コンポーネントが、センサ、又は基板支持体、あるいは前記センサと前記基板支持体の両方を備えるテーブルの表面であって、前記表面が、前記センサ及び/又は前記基板支持体から少なくとも一定距離にある、特徴1〜12のいずれかに記載のコンポーネント。
[00132](特徴17)前記コンポーネントが、ブリッジ路である、特徴1〜12のいずれかに記載のコンポーネント。
[00133](特徴18)前記表面の少なくとも一部が、一方向の構造を備える、特徴17に記載のコンポーネント。
[00134](特徴19)液体が前記ブリッジ路上にある時に、前記コンポーネントが移動するように意図された方向に前記一方向の構造が伸びる、特徴18に記載のコンポーネント。
[00135](特徴20)特徴1〜19のいずれかに記載のコンポーネントを備えるリソグラフィ装置。
[00136](特徴21)基板を保持する基板テーブルと、前記基板テーブルと前記基板上に放射ビームを投影する投影システムとの間に液浸液を供給する液体ハンドリング構造とを備え、前記液浸液に接触し、使用時に前記投影ビームに曝露される表面からしきい値の距離にあるリソグラフィ装置の表面、望ましくは全表面が超疎水性特性を有するリソグラフィ装置。
[00137](特徴22)超疎水性構造化表面を備えたリソグラフィ装置の液浸システムのコンポーネント。
[00138](特徴23)前記表面の構造が、ガスギャップが前記表面上の液浸液の下に存在する構造である、特徴22に記載のコンポーネント。
[00139](特徴24)前記表面の構造が、液浸液が固体と液体との間にガスポケットを備えた安定した複合界面を前記表面上に形成する構造である、特徴22又は23に記載のコンポーネント。
[00140](特徴25)前記構造化表面が、平面視で規則的な反復パターンを有する、特徴22〜24のいずれかに記載のコンポーネント。
[00141](特徴26)前記構造が、平面視で1次元又は2次元構造である、特徴22〜25のいずれかに記載のコンポーネント。
[00142](特徴27)前記構造が、突起の間に谷を備えた複数の突起を有する、特徴22〜26のいずれかに記載のコンポーネント。
[00143](特徴28)前記谷の深さが、100nm〜10μm又は200nm〜2μmである、特徴27に記載のコンポーネント。
[00144](特徴29)前記突起の最大平面寸法と谷の深さの比が、1:1〜1:4又は1:1.5〜1:3である、特徴27又は28に記載のコンポーネント。
[00145](特徴30)前記突起の最大平面寸法が、隣接する突起間の距離より大きい、特徴27〜29のいずれかに記載のコンポーネント。
[00146](特徴31)前記突起の最大平面寸法が、50nm〜50μm又は20μm未満である、特徴27〜30のいずれかに記載のコンポーネント。
[00147](特徴32)前記突起の最大平面寸法を前記谷の深さで除算した値が、1未満又は0.6未満である、特徴27〜31のいずれかに記載のコンポーネント。
[00148](特徴33)前記構造が、前記コンポーネントの表面内に形成される、特徴22〜32のいずれかに記載のコンポーネント。
[00149](特徴34)前記構造上のコーティングをさらに含む、特徴33に記載のコンポーネント。
[00150](特徴35)前記構造が、前記コンポーネントの表面上のコーティング内に形成される、特徴22〜32のいずれかに記載のコンポーネント。
[00151](特徴36)前記疎水性構造化表面が、粘着性平面部材によって提供される、特徴22〜32のいずれかに記載のコンポーネント。
[00152](特徴37)前記疎水性構造化表面が、構造化PTFE、PMMA又はPDMSである、特徴22〜36のいずれかに記載のコンポーネント。
[00153](特徴38)前記表面が、コロイド粒子堆積物によって形成される、特徴22〜32又は35のいずれかに記載のコンポーネント。
[00154](特徴39)前記コロイド粒子堆積物の微粒子が、500nm未満又は200nm未満の直径を有する、特徴38に記載のコンポーネント。
[00155](特徴40)前記コロイド粒子堆積物が、コロイダルシリカのコロイド粒子堆積物である、特徴38又は39に記載のコンポーネント。
[00156](特徴41)前記疎水性構造化表面が、マイクロ構造化又はナノ構造化表面である、特徴22〜40のいずれかに記載のコンポーネント。
[00157](特徴42)特徴22〜41のいずれかに記載のコンポーネントを備えるリソグラフィ装置。
[00158](特徴43)前記リソグラフィ装置が液浸リソグラフィ装置であり、前記液浸液が超純水である、特徴42に記載のコンポーネント。
[00159](特徴44)液浸液を通してパターン付放射ビームをテーブル上に支持された基板上に投影するステップを含み、前記テーブルが超疎水性構造化表面を含むデバイス製造方法。
[00160](特徴45)液浸液を通してパターン付放射ビームをテーブル上に支持された基板上に投影するステップを含み、DUV放射に曝露されない前記テーブルの表面が超疎水性であるデバイス製造方法。
Claims (15)
- DUV放射に曝露されない超疎水性表面を備えるリソグラフィ装置の液浸システムのコンポーネントであって、
前記コンポーネントが、前記超疎水性表面の少なくとも一部を備えるブリッジ路を備え、
前記ブリッジ路の前記表面が、一方向の構造を備え、
液体が前記ブリッジ路上にあるときに前記ブリッジ路が移動するように意図された方向に、前記一方向の構造が伸びる、コンポーネント。 - 前記表面がコーティングを含む、請求項1に記載のコンポーネント。
- 前記表面の構造が、液浸液が安定した複合の界面であって固体と液体との間にガスポケットを備える前記界面を形成する構造である、請求項1又は2に記載のコンポーネント。
- 前記構造が、規則的な反復パターンを有する、請求項3に記載のコンポーネント。
- 前記構造が、前記コンポーネントの表面内にある、請求項3又は4に記載のコンポーネント。
- 前記構造上のコーティングをさらに含んで前記超疎水性表面を形成する、請求項5に記載のコンポーネント。
- 前記表面の前記構造が、マイクロ構造又はナノ構造の表面を有する、請求項3〜6のいずれかに記載のコンポーネント。
- 前記コンポーネントが、テーブルである、請求項1〜7のいずれかに記載のコンポーネント。
- 前記コンポーネントが、センサおよび基板支持体のうちの少なくとも一つをさらに備えるテーブルの表面であり、前記超疎水性表面が、前記センサ及び/又は前記基板支持体から少なくとも所定の距離にある、請求項8に記載のコンポーネント。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のコンポーネントを備えるリソグラフィ装置。
- 基板を保持し、かつ、ブリッジ路を備える基板テーブルと、
前記基板テーブルと前記基板上に放射ビームを投影する投影システムとの間の空間に液浸液を供給する液体ハンドリング構造とを備え、
前記液浸液に接触し得、前記投影ビームに曝露される表面から少なくとも所定の距離にある前記ブリッジ路の表面が超疎水性特性を有し、
前記ブリッジ路の前記表面が、一方向の構造を備え、
液体が前記ブリッジ路上にあるときに前記ブリッジ路が移動するように意図された方向に、前記一方向の構造が伸びる、リソグラフィ装置。 - 超疎水性構造化表面を備えるリソグラフィ装置の液浸システムのコンポーネントであって、
前記コンポーネントが、前記超疎水性構造化表面の少なくとも一部を備えるブリッジ路を備え、
前記ブリッジ路の前記表面が、一方向の構造を備え、
液体が前記ブリッジ路上にあるときに前記ブリッジ路が移動するように意図された方向に、前記一方向の構造が伸びる、コンポーネント。 - 請求項12に記載のコンポーネントを備えるリソグラフィ装置。
- 液浸液を通してパターン付放射ビームをテーブル上に支持された基板上に投影するステップを含み、
前記テーブルが超疎水性構造化表面とブリッジ路とを備え、前記超疎水性構造化表面の少なくとも一部が前記ブリッジ路を提供し、
前記ブリッジ路の前記表面が、一方向の構造を備え、
液体が前記ブリッジ路上にあるときに前記ブリッジ路が移動するように意図された方向に、前記一方向の構造が伸びる、デバイス製造方法。 - 液浸液を通してパターン付放射ビームをテーブル上に支持された基板上に投影するステップを含み、DUV放射に曝露されない前記テーブルの表面が超疎水性であり、
ブリッジ路が前記超疎水性表面の少なくとも一部を備え、
前記ブリッジ路の前記表面が、一方向の構造を備え、
液体が前記ブリッジ路上にあるときに前記ブリッジ路が移動するように意図された方向に、前記一方向の構造が伸びる、デバイス製造方法。
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