JP5270701B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
基板を保持するテーブルと、
投影システムであって基板と当該投影システムとが相対的に動かされている間、基板上に像を投影する投影システムと、
投影システムと基板および/またはテーブルとの間の空間に液体を閉じ込める液体閉じ込め構造体と、を備える。
液体閉じ込めシステムは液体のメニスカスを固定するメニスカス固定デバイスを有し、メニスカス固定デバイスは、使用中低圧に接続される複数の開口を含み、複数の開口は75μmから150μmの範囲の直径を有する。
ある実施の形態では、メニスカス固定デバイスは、低圧に接続された場合液体と気体の両方を抽出する。
ある実施の形態では、複数の開口は約100μmから125μmの範囲の直径を有する。
ある実施の形態では、複数の開口は空間を囲む複数の同心仮想線上に配置され、その同心仮想線の数は例えば1から10の範囲内にあり、好適には3から5の範囲内にある。
ある実施の形態では、複数の開口は複数の列状に配置され、その列の数は例えば1から10の範囲にあり、好適には3から5の範囲にある。
そのような実施の形態では、複数の列のうちの少なくともひとつは空間の周りの閉ループを形成する。
ある実施の形態では、複数の開口は間隔を隔てて配置され、かつ、複数の開口は約100μmから約500μmの範囲、好ましくは約200μmから300μmの範囲の中心間距離を有する。
ある実施の形態では、複数の開口は規則的なアレイ状に配置され、または不規則に配置される。
ある実施の形態では、複数の開口は、メニスカス固定デバイスのコーナであって液体閉じ込め構造体と基板および/またはテーブルとの間の相対運動中に先導または追従するコーナに設けられる。
ある実施の形態では、液体閉じ込めシステムは複数の開口を定義する表面を有する。
ある実施の形態では、リソグラフィ装置を使用するデバイス製造方法が提供される。このデバイス製造方法は、
液体の主な部分を基板の表面に接触する空間に閉じ込めることと、
基板を走査方向に動かす間液体の主な部分を通じて基板に像を投影することと、を含む。
液体の主な部分を閉じ込めることは、複数の開口を通じて環境から液体および気体を抽出することによって液体の主な部分のメニスカスを固定することを含む。複数の開口は75μmから150μmの範囲の直径を有する。
ある実施の形態では、複数の開口は空間を囲む複数の同心仮想線に配置される。
ある実施の形態では、抽出することは、複数の開口を通じて液体および気体の両方を同時に抽出することを含む。
ある実施の形態では、液浸リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造体が提供される。この流体ハンドリング構造体は、2相流体抽出開口の2次元パターンを備える。その2相流体抽出開口は空間に閉じ込められた液浸液のメニスカスを固定する。メニスカスは、メニスカスに実質的に直交する2次元パターンの開口の線形アレイ中の固定開口に固定される。
ある実施の形態では、流体ハンドリング構造体の下面の幾何学的中心に対して半径方向に、メニスカスが空間に対して進むおよび/または静止している場合、固定開口は線形アレイの中で空間および/または幾何学的中心に最も近い開口である。
ある実施の形態では、開口の2次元パターンは空間の少なくとも一部の周りに放射状に配置される。
ある実施の形態では、流体ハンドリング構造体は平面視でコーナを有する形状を有し、開口の2次元アレイは少なくともそのコーナに配置される。
ある実施の形態では、流体ハンドリング構造体は空間に液浸液を供給し閉じ込めるよう構成され、その空間は、液浸リソグラフィ装置の投影システムと投影システムに対向する対向表面との間に定義され、対向表面はテーブルおよび基板のうちの少なくともひとつを含む。
ある実施の形態では、2次元パターンは2次元アレイである。
ある実施の形態では、線形アレイは少なくとも部分的に曲がっている。
上述の説明は例示であり、限定を意図しない。よって、後述の請求の範囲から逸脱することなく既述の本発明に変更を加えることができるということは、関連技術の当業者には明らかなことである。
Claims (9)
- リソグラフィ装置であって、
基板を保持するテーブルと、
投影システムであって前記基板と当該投影システムとが相対的に動かされている間、前記基板上に像を投影する投影システムと、
前記投影システムと前記基板および/またはテーブルとの間の空間に液体を閉じ込める液体閉じ込め構造体と、を備え、
前記液体閉じ込め構造体は液体のメニスカスを固定するメニスカス固定デバイスを有し、
前記メニスカス固定デバイスは、使用中低圧に接続される複数の開口を含み、
前記複数の開口は75μmから150μmの範囲の直径を有し、
前記液体閉じ込め構造体は前記基板および/またはテーブルと対向する表面を有し、
前記メニスカス固定デバイスのコーナであって前記液体閉じ込め構造体と前記基板および/またはテーブルとの間の相対運動中に先導するコーナを先導コーナと称すとき、前記複数の開口は前記表面のうち前記先導コーナに対応するコーナ部に設けられ、
前記コーナ部の半径方向内側の境界は前記表面の幾何学的中心に対して正の曲率半径を有する曲線であり、
前記コーナ部の半径方向外側の境界は60度から80度の範囲の角度をなすコーナを形成する、リソグラフィ装置。 - 前記メニスカス固定デバイスは、前記低圧に接続された場合液体と気体の両方を抽出する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の開口は約100μmから125μmの範囲の直径を有する、請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の開口は複数の列状に配置され、その列の数は1から10の範囲にあり、好適には3から5の範囲にある、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の開口は間隔を隔てて配置され、かつ、前記複数の開口は約100μmから約500μmの範囲、好ましくは200μmから300μmの範囲の中心間距離を有する、請求項1から4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の開口は規則的なアレイ状に配置され、または不規則に配置される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置を使用するデバイス製造方法であって、
液体閉じ込め構造体を使用して、液体の主な部分を基板の表面に接触する空間に閉じ込めることと、
前記基板を走査方向に動かす間前記液体の主な部分を通じて前記基板に像を投影することと、を含み、
前記液体閉じ込め構造体は前記液体の主な部分のメニスカスを固定するメニスカス固定デバイスを有し、
前記メニスカス固定デバイスは、使用中低圧に接続される複数の開口を含み、
前記複数の開口は75μmから150μmの範囲の直径を有し、
前記液体閉じ込め構造体は前記基板と対向する表面を有し、
前記メニスカス固定デバイスのコーナであって前記液体閉じ込め構造体と前記基板との間の相対運動中に先導するコーナを先導コーナと称すとき、前記複数の開口は前記表面のうち前記先導コーナに対応するコーナ部に設けられ、
前記コーナ部の半径方向内側の境界は前記表面の幾何学的中心に対して正の曲率半径を有する曲線であり、
前記コーナ部の半径方向外側の境界は60度から80度の範囲の角度をなすコーナを形成する、デバイス製造方法。 - 前記複数の開口を通じて液体および気体の両方を同時に抽出することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 液浸リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造体であって、本流体ハンドリング構造体は2相流体抽出開口の2次元パターンを備え、その2相流体抽出開口は空間に閉じ込められた液浸液のメニスカスを固定し、
前記メニスカスは、前記メニスカスに実質的に直交する前記2次元パターンの開口の線形アレイ中の固定開口に固定され、
前記流体ハンドリング構造体は平面視でコーナを有する形状を有し、
前記流体ハンドリング構造体は基板と対向する表面を有し、
前記流体ハンドリング構造体のコーナであって前記流体ハンドリング構造体と前記基板との間の相対運動中に先導するコーナを先導コーナと称すとき、前記2相流体抽出開口の2次元パターンは前記表面のうち前記先導コーナに対応するコーナ部に設けられ、
前記コーナ部の半径方向内側の境界は前記表面の幾何学的中心に対して正の曲率半径を有する曲線であり、
前記コーナ部の半径方向外側の境界は60度から80度の範囲の角度をなすコーナを形成する、流体ハンドリング構造体。
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