JP5395357B2 - 電流路狭窄層の形成方法およびccp−cpp型gmr素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図2〜図6は、本実施の形態に係る電流路狭窄層の形成方法における各工程での断面を表すものである。本実施の形態では、まず、図2に示したように、Cu層31の上に、第1の酸化性材料層としての第1のアルミニウム(またはアルミニウム銅合金)層32を形成する。なお、Cu層31は最終的に第1のCu層115(図1)となるものである。以下の説明では、アルミニウム(またはアルミニウム銅合金)層をAl(AlCu)層と記すものとする。
本実施例では、AlTiC(アルテック)よりなる基板上に、シード層、ピンニング層としてのAFM(反強磁性)層、シンセティック(SyAP)ピンド層、本実施例の電流路狭窄層、銅スペーサ層、フリー層および保護層を順に積層してCPP−GMR積層体を形成し、その性能を調べた。具体的には、以下のような層構造のCPP−GMR積層体を形成した。
本実施例では、以下のような層構造のCPP−GMR積層体を形成した。
本実施例では、以下のような層構造のCPP−GMR積層体を形成した。
Claims (12)
- 基板上に銅層を形成する工程と、
前記銅層の上に、第1の酸化性材料層(layer of an oxidizable material )を形成する工程と、
前記第1の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第1のプラズマイオン処理(PIT)を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第1のイオンアシスト酸化(IAO)処理を行う工程と、
前記第1のプラズマイオン処理および第1のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第1の酸化性材料層の上に、第2の酸化性材料層を形成する工程と、
前記第2の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第2のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第2のイオンアシスト酸化を行う工程と
を少なくとも行い、
前記第1および第2のイオンアシスト酸化処理として、イオンアシスト酸化、プラズマ酸化およびラジカル酸化を含む任意のエネルギー付与酸化処理(energized oxidation )と自然酸化処理との組み合わせたものを行う
ことを特徴とする電流路狭窄層の形成方法。 - さらに、前記第2のプラズマイオン処理および第2のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第2の酸化性材料層の上に1層以上の酸化性材料層を形成し、各酸化性材料層を形成するごとにプラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理を行うことにより、前記電流路狭窄層を形成し、
前記イオンアシスト酸化処理として、イオンアシスト酸化、プラズマ酸化およびラジカル酸化を含む任意のエネルギー付与酸化処理と自然酸化処理との組み合わせたものを行う
ことを特徴とする請求項1に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 磁気ピンニング層と、その上に形成された磁気ピンド層とを含む基板を用意する工程と、
前記基板上に銅層を形成するステップと、前記銅層上に第1の酸化性材料層を形成するステップと、前記第1の酸化性材料層に対して、0ないし500秒間にわたって第1のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第1のイオンアシスト酸化処理を行うステップと、前記第1のプラズマイオン処理および第1のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第1の酸化性材料層の上に第2の酸化性材料層を形成するステップと、前記第2の酸化性材料層に対して、0ないし500秒間にわたって第2のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第2のイオンアシスト酸化処理を行うステップとを少なくとも行うことにより、電流路狭窄層を形成する工程と、
前記電流路狭窄層を形成したのち、この電流路狭窄層の、プラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理がなされた最上の酸化性材料層の上に、銅スペーサ層と、磁気フリー層と、キャップ層とを順次積層する工程と
を含み、
前記第1および第2のイオンアシスト酸化処理として、イオンアシスト酸化、プラズマ酸化およびラジカル酸化を含む任意のエネルギー付与酸化処理と自然酸化処理との組み合わせたものを行う
ことを特徴とするCCP−CPP型GMR素子の製造方法。 - 前記各酸化性材料層を、AlCu、Al、Mg、MgCu、Ti、Cr、Hf、Zr、Fe、Taからなる群より選ばれた1以上の材料により形成する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 前記各プラズマイオン処理は、プラズマエッチングを含むプラズマによりエネルギー付与されたイオン(energized ions)、またはイオンビームによりエネルギー付与されたイオンに曝す処理を含む
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 前記各酸化性材料層を、各層に対するプラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理の後において0.2nmないし2nmの膜厚を有するように形成する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 基板上に第1の銅層を形成する工程と、
前記第1の銅層の上に、第1の酸化性材料層を形成する工程と、
前記第1の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第1のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第1のイオンアシスト酸化処理を行う工程と、
前記第1のプラズマイオン処理および第1のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第1の酸化性材料層の上に、第2の銅層を形成する工程と、
前記第2の銅層の上に、第2の酸化性材料層を形成する工程と、
前記第2の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第2のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第2のイオンアシスト酸化処理を行う工程と
を少なくとも行い、
前記第1および第2のイオンアシスト酸化処理として、イオンアシスト酸化、プラズマ酸化およびラジカル酸化を含む任意のエネルギー付与酸化処理と自然酸化処理との組み合わせたものを行う
ことを特徴とする電流路狭窄層の形成方法。 - さらに、前記第2のプラズマイオン処理および第2のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第2の酸化性材料層の上に、銅層および1層以上の酸化性材料層の組を1回以上繰り返し積層し、各酸化性材料層を形成するごとにプラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理を行うことにより、電流路狭窄層を形成する
ことを特徴とする請求項7に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 前記第2の銅層の膜厚を0.5nmにする
ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 磁気ピンニング層と、その上に形成された磁気ピンド層とを含む基板を用意する工程と、
前記基板上に第1の銅層を形成するステップと、前記第1の銅層の上に第1の酸化性材料層を形成するステップと、前記第1の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第1のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第1のイオンアシスト酸化処理を行うステップと、前記第1のプラズマイオン処理および前記第1のイオンアシスト酸化処理がなされた前記第1の酸化性材料層の上に第2の銅層を形成する工程と、第2の銅層の上に第2の酸化性材料層を形成するステップと、前記第2の酸化性材料層に対し、0ないし500秒間にわたって第2のプラズマイオン処理を行ったのち、5ないし500秒間にわたって第2のイオンアシスト酸化処理を行うステップとを少なくとも行うことにより、電流路狭窄層を形成する工程と、
前記電流路狭窄層を形成したのち、この電流路狭窄層の、プラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理がなされた最上の酸化性材料層の上に、銅スペーサ層と、磁気フリー層と、キャップ層とを順次積層する工程と
を含み、
前記イオンアシスト酸化処理として、イオンアシスト酸化、プラズマ酸化およびラジカル酸化を含む任意のエネルギー付与酸化処理と自然酸化処理との組み合わせたものを行う
ことを特徴とするCCP−CPP型GMR素子の製造方法。 - 前記各酸化性材料層を、AlCu、Al、Mg、MgCu、Ti、Cr、Hf、Zr、Fe、Taからなる群より選ばれた1以上の材料により形成する
ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の電流路狭窄層の形成方法。 - 前記各酸化性材料層を、各層に対するプラズマイオン処理およびイオンアシスト酸化処理の後において0.2nmないし2nmの膜厚を有するように形成する
ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の電流路狭窄層の形成方法。
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