JP5381455B2 - 半導体評価回路 - Google Patents
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Description
例えば、256Mビットのメモリ容量のセルアレイを有して構成され、前記セルアレイは、4つのセンスアンプに対応してカラム方向に4系統の64Mビットの系統に分割され、さらに、各64Mビット単位のセルアレイは、ドレイン線4096本とゲート線1024本とで選択される4Mビット単位のセルアレイに分割されて配置されると共に、前記セルアレイ中の測定対象トランジスタを選択するためのデコーダが、メインデコーダとサブデコーダとによる階層構造で構成され、前記サブデコーダから前記4Mビット単位のセルアレイへのビット線は、4096本のローカルビット線により配線され、前記メインデコーダら各サブデコーダへのビット線は512本のグローバルビット線により配線される。
これにより、DMA−TEG等の大規模な半導体評価回路において、不良トランジスタの選別と、不良トランジスタのトランジスタ特性の測定とを高速(短時間)で行うことができる。
これにより、DMA−TEG等の大規模な半導体評価回路において、不良トランジスタの選別と、不良トランジスタのトランジスタ特性の測定とを高速(短時間)で行うことができる。
これによりDMA−TEG等の大規模な半導体評価回路において、不良トランジスタの検出と、不良トランジスタのトランジスタ特性の測定とを高速(短時間)で行うことができる。
これにより、外部の半導体試験装置等から入力されるアドレス信号の入力端子の数を低減できる。このため、半導体評価回路のチップ面積の増加を抑制できる。
これにより、閾値Vth判定モードにおいて、測定対象トランジスタを高速で選択することができる。このため、閾値Vth判定を高速(短時間)で行うことができる。
これにより、閾値Vth判定モードにおいて、センス時間、センスアンプ出力時間を制御することが可能となる。
これにより、半導体評価回路における不良トランジスタの選別と、不良トランジスタの閾値Vthの測定とを高速(短時間)で行うことができる。
これにより、複数のセンスアンプを使用して、セルアレイ中のトランジスタ群における各トランジスタの閾値Vthの判定を行う場合に、各センスアンプ間のオフセット差をキャンセルして高精度で閾値Vthの判定を行うことができる。
これにより、測定対象トランジスタのドレイン電流およびドレイン電圧を同じ条件にして、閾値Vth判定を行うことができる。
例えば、セルアレイが256Mビット(256M個のトランジスタ)の場合、このセルアレイは4つのセンスアンプに対応して4系統の64Mビットの系統に分割され、さらに、各64Mビット単位のセルアレイは4Mビット単位のセルアレイに分割されて配置される。また、セルアレイ中の測定対象トランジスタを選択するためのデコーダが、メインデコーダとサブデコーダとによる階層構造で構成される。
これにより、大規模な半導体評価回路(DMA−TEG)において、その面積を縮小できると共に、ドレイン線(ビット線)の長さを短くでき、寄生容量、寄生抵抗、オフリーク電流の増大等、特性悪化の要因を排除することができる。
これにより、大規模な半導体評価回路(DMA−TEG等)において、ソース及びドレインの配線を共通とすることでその面積を縮小できる。
これにより、測定対象トランジスタのドレインに接続されるメタル配線の配線抵抗を低減するとともに、測定時における各トランジスタの配置された位置による依存性を小さくし、精度の高い測定を行うことができる。
これにより、大規模な半導体評価回路(DMA−TEG等)において、パッドを配置するための余裕度を削減することができ、チップ全体のレイアウト面積を縮小できる。
これにより、出力バッファにおける貫通電流をなくし、さらに電流変化率(di/dt)を小さく設定できる。
まず、本発明の半導体評価回路の基本概念について説明する。
例えば、1ポイントの測定時間を1msとして、各10ポイント測定すると、1M個では、1×10−3×10(ポイント)×106=10000秒を要し、仮に1waferに100個のチップがあるとすると、106秒=11日を要したが、それでも、測定できるレベルではあった。その結果、5σレベルではほとんど正規分布に乗ることが判明したため、さらに、6σの分布を調べる必要が出てきた。
しかしながら、前述したように、従来の評価方式で1G個のトランジスタ特性を評価すると11600日も要することになり、実質上評価不能であった。
本発明の実施の形態として、現実的なチップ面積及び測定時間を考慮して、65nmプロセスを用いて、256Mビット(トランジスタ数)の大規模半導体評価回路(DMA−TEG)を作成する場合の仕様の例について説明する。
第1に、256Mビットと大容量でありながら、チップの外部端子(PAD端子)の数を増加させないために、アドレス入力をマルチプレックス方式として、PAD端子数を削減する。
第2に、閾値Vthの測定方法として、トランジスタの電流特性を直接測定する、4端子モードと、アンプを用いて閾値を判定する、アンプモード(Amp mode:閾値Vth判定モード)を有する。
第4に、アドレス入力方法において、任意のランダムなアドレスを入力できる、ランダムモードと、クロック信号CLKによって、シリアルに内部カウンタを作動させ、内部でアドレス信号を発生させる、シリアルモードを有する。
第5に、カラム(ドレイン)とゲートをそれぞれ全非選択にできる、テストモードを有する。
第6に、内部を4つのブロックに分けて、それぞれに独立した読み出し回路を設けて、4つの測定対象トランジスタ(DUT)を同時に測定可能な構成(×4モード)として、高速評価を行う。
本発明の半導体評価回路(DMA−TEG)では、メモリセルの閾値Vthの判定を行うためのセンスアンプを有している。
このセンスアンプの機能については、以下の通りである。
第1に、センスアンプの判定レベルは、100nA−Vth(Idが100nA流れるときのゲート電圧を閾値と定義)、1μA−Vth(Idが1μA流れるときのゲート電圧を閾値と定義)と、異なる設定に出来る。この設定レベルは、任意に可能である。
第3にセンスアンプは、動作点を最適に設定するため、NMOSトランジスタ評価用にはPMOSカレントミラー方式、PMOSトランジスタ評価用にはNMOSカレントミラー方式を用いる。
なお、図6および図7に、本発明の半導体評価回路(DMA−TEG)におけるピン(端子)仕様を示す。
図6および図7に示すように、制御信号のピン(端子)として、CLK、SELCONT、RESET、MODE<1>、MODE<0>、TEST<1>、TEST<0>、を有している。
図8は、本発明の半導体評価回路(DMA−TEG)における、閾値Vth測定モード(4端子測定モード)におけるタイミング仕様を示す図である。
測定を終了した時点で、RESETを“H”にすれば、このシーケンスは終了する。
ここで、センス時間は「CLK=“H”」、センスデータ出力時間は「CLK=“L”」で設定できるので、トランジスタの特性に合わせて、自由に設定できる。
図10は、256Mビットの半導体評価回路(DMA−TEG)のチップレイアウト例を示す図である。
外部端子となるPAD(パッド)42の配置は、チップの上側に一列に配置されている。PAD42の下側に制御回路(周辺回路)41を配置する。センスアンプSAを4個設けて、セルアレイを縦に4分割している。
また、図11は、本発明の半導体評価回路(DMA−TEG)の回路構成を示すブロック図である。図11において、セルアレイ(DUTアレイ)31は、「4Mビット+4Mビット」単位のセルブロックの上記ミニアレイである。
また、図12は、グローバルビット線、ローカルビット線方式を採用したカラムデコーダの構成を示す図であり、カラムデコーダをツリー構造(階層構造)としたものである。なお、図12に示すカラムデコーダ回路においては、ドレイン線Drain1等が90度回転した状態で示されている。
上記「カラムアドレス3本=8ビット」(#2)のスイッチマトリクスは、8本のグローバルビット線GBのいずれかを選択する。
また、上記「カラムアドレス3本=8ビット」(#3)のスイッチマトリクスは、8つの「カラムアドレス3本=8ビット」(#2)の出力のいずれかを選択する。
また、上記「カラムアドレス3本=8ビット」(#4)のスイッチマトリクスは、8つの「カラムアドレス3本=8ビット」(#3)の出力のいずれかを選択し、Drain Forceと接続する。
なお、図示しないが、プリロウデコーダ121から出力される16本の信号線gf1〜gf16のうち、非選択となる15本の信号線は、GFB(非選択ゲートバイアス)に接続され、非選択ゲートバイアスの電圧が出力される。
また、従来、標準CMOSプロセスで製造されたトランジスタでは、1M個(5σ)のトランジスタ評価で、閾値分布はほぼ正規分布に乗ることは判明していたため、本発明の説明では、アンプの判定基準を5σに設定したが、プロセスによってはバラツキが大きいものもあり、その場合には、5σ(測定トランジスタの数は287個)より範囲を狭めて、高精度測定トランジスタの数を、1000個〜10000個に増加させても、1M個のトランジスタを全て測定するよりも大幅に高速化できるもので、特に5σに限定するわけではない。
また、図15は、本発明の半導体評価回路(256M−DMA)の全体のDUT、すなわち、セルアレイ(4M−DUT)と、センスアンプ(SA)との配置関係を示す図である。図に示すように、セルアレイは、各センスアンプSAごとに、4系列に分割されている。
次に、図16は、図15におけるセルアレイ(4M−DUT)のレイアウトにおける配置を示す概念図である。図に示すように、4M−DUT(測定対象トランジスタ)には、ビット線(DATA線)が4096本、ワード線(ROW線)が1024本配置される。また、4Mの測定対象トランジスタ(DUT)に対して、2DUTがオープン(空DUT)とされ、トランジスタが未実装にされている。これは、デコーダ回路の不良や、アドレス回路不具合をチェックするために、図の左下の2個のトランジスタを削除するものである。
図17は、センスアンプのオフセット差について説明するための図である。前述のように、本発明の半導体評価回路(DMA−TEG)においては、測定の高速化のために、センスアンプを複数個(本例では4個)使用している。図17(A)に示すように、256MビットのDMA−TEGでは、評価セルアレイを8Mビット単位で32ブロックA1〜A32に分割し、また、各ブロックA1〜A32を4Mビット単位で2分割し、センスアンプSAを4つ設けることで、閾値Vth判定モードにおいて4系統の測定が同時に行えるようにしている。この4系統の並列測定により、アンプモードにおける測定時間を短縮することができる。
図20は、閾値Vth判定モードにおける処理の流れを示すフローチャートである。まず、4端子測定モードで、各センスアンプの基準電流IREF値の確定に使用する測定対象トランジスタ(DUT)の100nAVthを測定し、そのVG(ゲート電圧)を決める(ステップS1)。
このステップS1では、センスアンプのオフセット差を校正するための基準となるトランジスタを決める。DUTの中から適当なトランジスタを基準トランジスタTRに設定して、その特性を合わせ込む。正確なドレイン電圧を調べるので、ドレインセンス機能が設けられている、例えば、基準トランジスタTRとして、図10に示す第16番目のセルアレイA16の中から選ぶ。
このステップS2のドレインセンスモードでは、バイアス電圧VDCONT(例えば、1.0V)を設定する。そして、信号MODE<0>=“1”として、AMPモードに設定し、上述の基準トランジスタTR(DUTから選んだトランジスタ)を選択して、ゲート電圧としてGF(100nA)を入力、ドレインセンスモードでDUT(TR)のドレインをモニタして、VDCONT端子からBIAS電圧(1.0V+Vth(Ta)+α)を入力し、DUT(TR)のドレイン電圧が1.0VとなるVDCONT電圧を、VDCONT(1.0V)とする。
このステップS3では、半導体テスタの基準電流IREFを決定する。そして、信号MODE<0>=“1”として、AMPモードに設定する。DUTのゲート電圧としてGF(100nA)を入力し、VDCONTの電圧をVDCONT(例えば、1.0V)として、DUT(TR)のドレイン電圧を1.0Vとして、電流を100nAに設定する。この時点で、センスアンプの(+)入力側には、DUT(TR)が接続されて、100nAの電流が流れている。
また、図24は、センスアンプ回路の具体的な構成例を示す図である。図24に示すセンスアンプ回路は、測定対象トランジスタ(DUT)に流れる電流と、基準電流IREFとを20倍として、比較する例である。
本発明の実施形態における半導体評価回路(DMA−TEG)では、上述したように、高感度、高精度センスアンプを採用しているので、出力バッファノイズ対策を行う必要がある。この設定基準としては、例えば、中速の汎用メモリの出力バッファノイズ以下となるように電流変化率(di/dt)を設定する必要がある。
これにより、出力バッファにおける貫通電流をなくし、さらに電流変化率(di/dt)を小さく設定できる。
256M−DMAは、DUTのトランジスタが大量に配置され、超大規模なサイズとなり、チップ面積が大きくなる点も課題である。また、配線も微細化されており、測定部からDUTまでの配線における配線抵抗に起因するトランジスタ特性の場所依存性、いわゆる、システマチックな特性ばらつきが出てしまい、高精度な評価、分析ができなくなってしまう懸念がある。このため、本実施形態における半導体評価回路(DMA−TEG)では、配線抵抗、寄生抵抗等が重要な課題であるため、超大規模でありながら、特性に影響のないように考慮されている。
ところで、従来から、DRAM(Dynamic Random Access Memory)等の半導体評価回路においては、製造検査時またはフィールド(市場)において不良扱いとなった製品について、電気的にメモリセルのアドレスを特定した後に、この不良となったメモリセルの場所を光学顕微鏡などで観察して、物理的な解析が行なわれている。
記号nnは、“X−ROWカウント(ロウ方向のカウント)”として、64kビットセルアレイ241が、4Mビットセルブロック231において下段から何番目に位置するかを示すカウント数(nn)である。このカウント数(nn)は、「01〜03」で示す数値である。
図35(A)において、セルブロック231は4Mビット単位のセルブロック(4Mビットセルブロック)を示しており、格子状の線(基板電位供給用パターン291)で囲まれる1つの升目で示す部分が、64kビット単位のセルアレイ(64kビットセルアレイ)241に相当する。この64kビットセルアレイ241の大きさは「69.1μ×89.64μ」程度である。
また、凸状パターンを組み合わせて形成した位置識別マークのサイズは、光学顕微鏡等の解析装置画面で確認できる大きさに抑えることにより、観測対象を移動させずとも位置識別マークの全体を目視でき、容易に位置を特定することができる。
なお、本実施例では、凸部の一つ一つをそれぞれ数値に対応させて、それを合計することで位置番号を表す方式にしたが、各凸マークをそれぞれ桁を表すようにして、配置位置により、1桁目の数値、10桁目の数値、100桁目の数値、等、のようにすれば、大きい数を表すことが出来る。また、各凸部のマークを2進値で表しても良い。
次に、本発明の半導体試験装置の構成について説明する。
図37は、本発明の半導体試験装置の構成例を示す図であり、例えば、256Mビットの半導体評価回路(DMA−TEG)を評価する半導体試験装置の備える処理部を示す図である。図に示す半導体試験装置320は、本発明の半導体評価回路401に対して動作モードを設定し、半導体評価回路401との間で信号のやり取りを行い、半導体評価回路401を評価(試験)するための装置である。なお、半導体評価回路401では、センスアンプとして、センスアンプSA_A,SA_Bの2つのみを示しているが、実際には4個のセンスアンプが搭載されている。
なお、本実施例では、高精度な測定を行うために、センスアンプの基準電流IREF、バイアス電圧VDCONT、2段目のセンスアンプ52の定電流等を外部のテスタから供給する方式としたが、テスタの機能を簡略化したい場合(安価なテスタを使用する場合)には、これらの基準回路をチップに内蔵する方式にしても良い。
Claims (13)
- 測定対象となるMOSトランジスタをマトリックス状に配列してなるセルアレイと、前記セルアレイの中から測定対象となるトランジスタを選択するためのカラムデコーダおよびロウデコーダと、前記測定対象トランジスタの出力信号と所定の基準信号とを比較するセンスアンプと、を有し、前記カラムデコーダおよびロウデコーダから出力される信号により前記セルアレイ中の測定対象トランジスタが選択されて特性が評価される半導体評価回路であって、
外部端子から、動作モードを設定するモード選択信号と、測定対象トランジスタを選択するアドレス信号と、を含む所定の信号を入力し、
前記モード選択信号に応じて、
前記ロウデコーダおよびカラムデコーダにより選択された測定対象トランジスタのゲートおよびドレインに所定の電圧を印加し、前記センスアンプにより、前記測定対象トランジスタの出力信号と前記基準信号とを比較し、該比較結果を前記外部端子に出力する閾値Vth判定モードと、
前記ロウデコーダおよびカラムデコーダにより選択された測定対象トランジスタのゲートおよびドレインに所望の電圧を印加し、当該測定対象トランジスタの出力信号を前記外部端子に出力する閾値Vth測定モードと、
が作動するように構成され、
前記半導体評価回路は外部端子として、
前記半導体評価回路の動作モードを設定するモード選択信号が入力されるモード選択信号端子と、
前記セルアレイ中の測定対象トランジスタを選択するためのアドレス信号が入力されるアドレス信号入力端子と、
前記測定対象トランジスタのゲート電圧を制御するゲート電圧制御信号が入力されるゲート電圧制御端子と、
前記測定対象トランジスタのドレイン電圧を制御するドレイン電圧制御信号が入力されるドレイン電圧制御端子と、
前記センスアンプの出力信号を出力するセンスアンプ出力端子と、
前記測定対象トランジスタの出力信号を出力するドレイン測定端子と、
を備え、
また、内部回路として、
前記アドレス信号入力端子から入力されるアドレス信号を基に、前記測定対象トランジスタを選択するロウデコーダおよびカラムデコーダと、
前記ゲート電圧制御信号を基に前記測定対象トランジスタのゲートに所望のゲート電圧を印加するためのゲート電圧印加部と、
前記ドレイン電圧制御信号を基に前記測定対象トランジスタのドレインに所望のドレイン電圧を印加するためのドレイン電圧印加部と、
前記ロウデコーダおよびカラムデコーダにより選択された測定対象トランジスタの出力信号を前記ドレイン測定端子に出力するドレインセンス部と、
を備え、
前記モード選択信号により前記閾値Vth判定モードが選択された場合に、
前記アドレス信号を基に前記カラムデコーダおよびロウデコーダにより、測定対象トランジスタを順次に選択し、
前記ゲート電圧印加部により、測定対象トランジスタのゲートに所定のゲート電圧を印加し、
前記ドレイン電圧印加部により、測定対象トランジスタのドレインに所定のドレイン電圧を印加し、
前記センスアンプにより、前記測定対象トランジスタの出力信号と前記基準信号とを比較し、該比較結果を前記センスアンプ出力端子に出力する、
ように作動し、
前記モード選択信号により閾値Vth測定モードが選択された場合に、
前記アドレス信号を基に前記カラムデコーダおよびロウデコーダにより、測定対象トランジスタを選択し、
前記ゲート電圧印加部により、測定対象トランジスタのゲートに所望のゲート電圧を印加し、
前記ドレイン電圧印加部により、測定対象トランジスタのドレインに所望のドレイン電圧を印加し、
前記ドレインセンス部より、前記測定対象トランジスタの出力信号を前記ドレイン測定端子に出力する、
ように作動する、
ことを特徴とする半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路は、外部の半導体試験装置と前記外部端子を通して信号を入出力するように構成され、
前記半導体試験装置では、
前記閾値Vth判定モードにおいて、前記半導体評価回路内のセンスアンプの出力信号を基に不良トランジスタを選別する不良トランジスタ識別部と、
前記閾値Vth測定モードにおいて、前記半導体評価回路内のゲート電圧印加部およびドレイン電圧印加部を制御し、前記測定対象トランジスタのゲートおよびドレインに所望の電圧を印加し、前記ドレインセンス部を介して当該測定対象トランジスタの出力信号を検出することにより、トランジスタ特性の測定を行うトランジスタ特性測定部と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体評価回路。 - 前記アドレス信号入力端子から入力されるアドレス信号が、
前記カラムデコーダが取り込むアドレスと、前記ロウデコーダが取り込むアドレスの2回に分けて与えられるアドレスマルチプレックス機能を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路は内部カウンタを備え、
前記閾値Vth判定モードにおいては、前記内部カウンタを作動させ、半導体評価回路内でシリアルなアドレス信号を発生させて測定対象トランジスタを順次に選択し、
前記閾値Vth測定モードにおいては、前記アドレス信号入力端子から入力される任意のランダムなアドレス信号により測定対象トランジスタを選択する、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体評価回路。 - 前記センスアンプの動作は内部クロック信号に同期して行われ、
前記クロック信号の第1の論理レベルの際に、前記測定対象トランジスタの出力信号と前記基準信号とを比較するセンス動作が行われ、
前記クロック信号の第2の論理レベルの際に、前記センスアンプの比較結果の出力動作が行われる、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路は、複数のセンスアンプを有し、前記セルアレイが前記複数のセンスアンプのそれぞれに対応して複数の系統のトランジスタ群に分割されると共に、
前記センスアンプの第1の入力端子には、前記セルアレイ中の選択された測定対象トランジスタの出力信号が入力され、
前記センスアンプの第2の入力端子には、前記測定対象トランジスタの出力信号と比較するための基準信号が入力される、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体評価回路。 - 前記各センスアンプのそれぞれの第1の入力端子に、同一条件の入力信号を与えた状態において、前記センスアンプのそれぞれの第2の入力端子に可変の信号を入力し、前記センスアンプの出力の変化を検出することにより、前記各センスアンプ間のオフセット差をキャンセルする基準信号を設定する、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体評価回路。 - 前記ドレインセンス部により前記測定対象トランジスタのドレイン電圧をモニタすると共に、前記ドレイン電圧印加部によりドレイン電圧を所望の電圧に設定するドレインセンスモードが行われる、
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路は、第一のブロックと第二のブロック群により構成される評価セルアレイを有して構成され、
前記セルアレイは、1つないしn個のセンスアンプに対応してカラム方向にn系統のn個の前記第一のブロックに分割され、さらに、複数の前記第一のブロックのドレイン線と複数のゲート線により構成される前記第二のブロック群に分割されて配置されると共に、
前記セルアレイ中の測定対象トランジスタを選択するためのデコーダが、メインデコーダとサブデコーダとによる階層構造で構成され、
前記サブデコーダから前記第二のブロック群のセルアレイへのビット線は、4096本のローカルビット線により配線され、
前記メインデコーダから各サブデコーダへのビット線はグローバルビット線により配線される、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路はその構成部分のレイアウトとして、
前記半導体評価回路が形成される半導体基板表面上の第1の方向を上下方向で表し、前記第1の方向と直交する第2の方向を左右方向で表した場合に、
前記セルアレイ中にマトリックス状に配置される測定対象トランジスタは、各行が左右方向に、各列が上下方向になるようにマトリックス状に配列されると共に、各測定対象トランジスタは、ドレインと、ゲート領域と、ソースとが上下方向になるように配置され、
前記半導体基板表面から所定の距離を隔て左右方向に配置されると共に、前記上下方向に配列される各測定対象トランジスタのソースに共通接続される第1のメタル配線と、
前記半導体基板表面から所定の距離を隔てて上下方向に配置されると共に、前記上下方向に配列される各測定対象トランジスタのドレインに共通接続される第2のメタル配線と、
前記半導体基板表面から所定の距離を隔てて左右方向に配置されると共に、前記左右方向に配列される各測定対象トランジスタのゲートに共通接続される第3のメタル配線と、
を備えることを特徴とする請求項9に記載の半導体評価回路。 - 前記グローバルビット線及び前記ローカルビット線の配線の抵抗値は、前記メインデコーダないし前記サブデコーダのスイッチ抵抗値よりも小さく設定される、
ことを特徴とする請求項9に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路への入力信号および出力信号の信号端子となる外部端子(パッド)が、半導体基板の周辺部に一列に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体評価回路。 - 前記半導体評価回路内の出力信号をバッファするバッファ回路は、
PチャネルMOSトランジスタ(PMOS)のドレインと、NチャネルMOSトランジスタ(NMOS)のドレインとを接続してなる一対のトランジスタと、
入力信号を論理反転する第1のインバータと、
前記第1のインバータの出力信号を入力とし、前記PMOSへゲート信号を出力する第2のインバータと、
前記第1のインバータの出力信号を入力とし、前記NMOSへゲート信号を出力する第3のインバータと、
で構成され、
前記第2のインバータの出力信号は、ロウレベルからハイレベルに変化する際の立ち上がり時間よりも、ハイレベルからロウレベルに変化する立ち下がり時間が、所定時間、遅くなるように設定され、
前記第3のインバータの出力信号は、ロウレベルからハイレベルに変化する際の立ち上がり時間よりも、ハイレベルからロウレベルに変化する立ち下がり時間が、所定時間、速くなるように設定される、
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体評価回路。
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