JP5379684B2 - 過酷な環境において熱陰極の放出性能を維持する方法および装置 - Google Patents
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Description
真空計は、高い圧力のもとや、真空計の陰極の放出特性を劣化させる種類のガスの中で稼動されると、数時間あるいは数分でも故障する。
110 第1陰極
115 第2陰極
120,125 イオンコレクタ電極
130 ワイヤグリッド(陽極)
135 イオン化体積空間(陽極体積空間)
200 制御回路
Claims (22)
- 陽極体積空間を規定する陽極と、
前記陽極体積空間の外部に配設された少なくとも2つの陰極と、
前記陽極体積空間内に配設されたイオンコレクタ電極と、
前記少なくとも2つの陰極に接続された制御回路であって、少なくとも1つの陰極を第1温度に加熱し、少なくとも1つの他の陰極を、前記少なくとも1つの陰極とは独立に、当該他の陰極から電子を放出するには不十分な第2温度に加熱するよう構成された制御回路と、
を備えた電離真空計。 - 請求項1において、前記第1温度は、前記少なくとも1つの陰極から電子を放出するのに十分な値に設定されており、前記イオンコレクタ電極は、電子とガス原子およびガス分子との衝突によって生成されるイオンを捕集するように構成されている電離真空計。
- 請求項2において、前記第2温度が200℃から1000℃の範囲にある電離真空計。
- 請求項2において、前記制御回路が、(i)前記少なくとも1つの陰極を前記第1温度に加熱し、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に加熱することと、(ii)前記少なくとも1つの他の陰極を前記第1温度に加熱し、前記少なくとも1つの陰極を前記第2温度に加熱することとを交互に行う電離真空計。
- 請求項2において、前記第2温度は可変温度である電離真空計。
- 請求項2において、前記制御回路は前記少なくとも1つの他の陰極を定常的に前記第2温度に加熱しておく電離真空計。
- 請求項2において、前記制御回路は前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に周期的に加熱する電離真空計。
- 請求項2において、前記制御回路は、(i)前記少なくとも1つの他の陰極を定常的に前記第2温度に加熱しておくことと、(ii)前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に周期的に加熱することを交互に行う電離真空計。
- 請求項2において、前記第2温度は、前記少なくとも1つの他の陰極に付着する物質の量を低減するのに十分な値に設定されているか、またはプロセスガスと前記少なくとも1つの他の陰極を形成する物質との間の化学的相互作用を低減するのに十分な値に設定されている電離真空計。
- 請求項2において、前記制御回路は、さらに、所定の圧力閾値を超える処理圧力に対応して、前記少なくとも1つの陰極を、前記少なくとも1つの陰極から放出される電子放出電流を減少させる温度に加熱するように構成されている電離真空計。
- 請求項1において、前記第1温度は前記第2温度とほぼ同一に設定されており、前記制御回路が、さらに、所定の圧力閾値を超える処理圧力または前記電離真空計の電源停止に対応して、前記少なくとも2つの陰極を前記第2温度に加熱するように構成されている電離真空計。
- 請求項1に記載の電離真空計を用いてガス分子およびガス原子からガスの圧力を測定する方法であって、
前記少なくとも1つの陰極を前記第1温度に加熱して電子を発生させることと、
前記少なくとも1つの他の陰極を前記第1温度より低い前記第2温度に加熱することと、
前記陽極によって規定される前記陽極体積空間内での、電子と、前記ガス原子および前記ガス分子の間の衝突によって生成されるイオンを捕集することと、
を含む測定方法。 - 請求項12において、前記第2温度を200℃から1000℃の範囲内に設定する測定方法。
- 請求項12において、さらに、(i)前記少なくとも1つの陰極を前記第1温度に加熱し、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に加熱することと、(ii)前記少なくとも1つの他の陰極を前記第1温度に加熱し、前記少なくとも1つの陰極を前記第2温度に加熱することとを交互に行うことを含む測定方法。
- 請求項12において、前記第2温度が可変温度である測定方法。
- 請求項12において、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に加熱することが、前記少なくとも1つの他の陰極を定常的に前記第2温度に加熱しておくことを含む測定方法。
- 請求項12において、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に加熱することが、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に周期的に加熱することを含む測定方法。
- 請求項12において、前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に加熱することが、(i)前記少なくとも1つの他の陰極を定常的に前記第2温度に加熱しておくことと、(ii)前記少なくとも1つの他の陰極を前記第2温度に周期的に加熱することを交互に行うことを含む測定方法。
- 請求項12において、前記第2温度は、前記少なくとも1つの他の陰極に付着する物質の量を低減するのに十分であるか、またはプロセスガスと前記少なくとも1つの他の陰極の物質との間の化学的相互作用を低減させる測定方法。
- 請求項12において、さらに、所定の圧力閾値を超える処理圧力に対応して、前記少なくとも1つの陰極を、前記少なくとも1つの陰極から放出される電子放出電流を減少させる温度に加熱することを含む測定方法。
- 請求項1に記載の電離真空計を用いてガス分子およびガス原子からガスの圧力を測定する方法であって、
複数の前記陰極を前記第1温度に加熱して電子を発生させることと、
前記複数の陰極を、所定の圧力閾値を超える処理圧力に対応して、前記第1温度より低い前記第2温度に加熱することと、
電子と前記ガス原子および前記ガス分子との衝突によって生成されるイオンを捕集することと、
を含む測定方法。 - 請求項21において、前記複数の陰極を前記第2温度に加熱することにより、電離真空計の構成部材のスパッタリングを低減させる測定方法。
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US3153744A (en) * | 1962-06-18 | 1964-10-20 | Nat Res Corp | Ionization manometer for measuring very low pressure |
US3353048A (en) * | 1964-11-23 | 1967-11-14 | Gen Telephone & Elect | Ionization gauge for monitoring the flow of evaporant material |
US3327931A (en) * | 1965-09-13 | 1967-06-27 | Charles L Hall | Ion-getter vacuum pump and gauge |
US3591827A (en) * | 1967-11-29 | 1971-07-06 | Andar Iti Inc | Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor |
US4018489A (en) | 1975-08-28 | 1977-04-19 | Rca Corporation | Method for extending cathode life in vidicon tubes |
US4412153A (en) | 1980-03-03 | 1983-10-25 | Varian Associates, Inc. | Dual filament ion source |
JPS5719949A (en) | 1980-07-09 | 1982-02-02 | Hitachi Ltd | Dual filament ion source |
JPS57152654A (en) * | 1981-03-18 | 1982-09-21 | Anelva Corp | Ionic current measuring device |
JPS596745U (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-17 | 日本電気株式会社 | 電離真空計 |
US4866640A (en) * | 1987-08-20 | 1989-09-12 | Granville-Phillips Company | Temperature compensation for pressure gauge |
JPH0268848A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-08 | Jeol Ltd | 電離真空計 |
JPH03206934A (ja) * | 1990-01-09 | 1991-09-10 | Seiko Instr Inc | 熱陰極電離真空計 |
US5256947A (en) | 1990-10-10 | 1993-10-26 | Nec Electronics, Inc. | Multiple filament enhanced ion source |
JPH0883592A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Kawasaki Steel Corp | イオン注入装置 |
US6054862A (en) | 1997-09-02 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Vacuum chamber bakeout procedure for preventing ion gauge failure |
JP3069544B2 (ja) * | 1997-12-19 | 2000-07-24 | 有限会社山本真空研究所 | 熱陰極電離真空計 |
CN1112580C (zh) * | 1999-06-25 | 2003-06-25 | 清华大学 | 具有极低吸放气率的极高真空微电离规 |
JP4493139B2 (ja) * | 2000-02-02 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計 |
JP3797160B2 (ja) * | 2000-11-09 | 2006-07-12 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源およびその運転方法 |
US6566884B2 (en) * | 2001-09-13 | 2003-05-20 | Duniway Stockroom Corporation | Ionization vacuum pressure gauge |
US6756785B2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-06-29 | Mks Instruments, Inc. | Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges |
DE10243634B4 (de) * | 2002-09-19 | 2005-02-03 | Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg | Kaltkatoden-Ionisationsmanometer |
WO2005045877A1 (en) | 2003-10-31 | 2005-05-19 | Saintech Pty Ltd | Dual filament ion source |
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US7030619B2 (en) * | 2004-02-19 | 2006-04-18 | Brooks Automation, Inc. | Ionization gauge |
JP2005259606A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Anelva Corp | 熱電子放出用フィラメント |
US7057170B2 (en) * | 2004-03-12 | 2006-06-06 | Northrop Grumman Corporation | Compact ion gauge using micromachining and MISOC devices |
US7313966B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-01-01 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure |
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