JP5366476B2 - 視覚装置 - Google Patents
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mm)。また、2次元走査となるために測定周波数が遅くなる。さらに、測定周波数を上げようとすると、走査回数が増加するために処理時間が長くなる。
した光点位置および光学素子が照射した光の位置とに基づいて、当該光の位置における物体までの距離を算出する。
距離を短くすることができるため、各方向の分解能をさらに細かくすることが可能となる。
以下、図1〜図6を参照して、本発明の第1の実施形態に係る視覚装置について説明する。典型的には、当該視覚装置は、マシンビジョンシステムやマニピュレータ等に用いられる。なお、図1は、当該視覚装置の全体構成の一例を示す概要図である。図2は、当該視覚装置に含まれる光照射ユニット1の構成の一例を示す概要図である。図3は、光照射ユニット1の構成の一例を側面方向から見た図である。図4は、当該視覚装置の構成の一例を示すブロック図である。図5は、LD(Laser Diode;レーザダイオード)11〜LD14がそれぞれ発光するタイミングの一例を示す図である。図6は、LD11〜LD14がそれぞれ発光することによって照射されるスポットSPの位置の一例を示す図である。
のスポットSP11〜SP14は、下からスポットSP11、SP12、SP13、およびSP14の順に上記副走査方向へ離間してそれぞれ照射されることになる。そして、それぞれのスポットSP11〜SP14は、ポリゴンミラー10の回転に応じて、図示B方向(すなわち、主走査方向)に移動するため、測定対象物に対して主走査方向および副走査方向にそれぞれ拡張された広範囲の走査範囲にスポットSP11〜SP14を照射することができる。
光を繰り返すようにそれぞれの発光タイミングを制御する。そして、LD11〜LD14がそれぞれ発光/消光する周波数(以下、点灯周波数と記載する)は、好ましくはそれぞれ同じ点灯周波数=FL(Hz)で設定される。
ログ信号とy座標を示すアナログ信号とを生成して、それぞれAD22およびAD23へ出力する。AD22およびAD23は、それぞれ取得したx座標を示すアナログ信号およびy座標を示すアナログ信号をデジタル信号に変換して、制御部19aに出力する。そして、上述したように、位置検出部2上で集光する散乱光の光点位置が光照射ユニット1と測定対象物の表面に照射されているスポットSPとの距離に応じて移動するため、制御部19aは、上記光点位置に基づいて、スポットSPにおける測定対象物までの距離、測定対象物の形状や表面の凹凸量を算出する。
してもかまわない。図8に示すように、ポリゴンミラー10が有する複数の側面のうち、第i面が回転軸に対して傾斜角度θiだけ傾斜して形成されているとする。この場合、LD11〜LD14からそれぞれ第i面に入射するレーザ光は、傾斜角度θiに応じた角度αiだけ仰角方向(または俯角方向)に反射して、測定対象物に投光されることになる。つまり、傾斜角度θiをポリゴンミラー10の側面毎に異なる角度にすることによって、光照射ユニット1からレーザ光が投光される上下方向角度を変化させる、すなわち側面毎に副走査方向に対する投光方向を変化させることができる。
点灯周波数FL:30.9kHz
ポリゴンミラー10の回転速度:2300rpm
全走査範囲測定周波数:18Hz
走査角度:84°
間隔Pa:0.0006rad
となる。ここで、走査角度は、ポリゴンミラー10を反射して主走査方向に投光されるレーザ光の角度範囲である。
の各側面の傾斜角度を設定する。つまり、LD11〜LD14がそれぞれ配置されている離間距離を相対的に図9で示した態様で用いるポリゴンミラー10各側面間の傾斜角度差より、相対的に小さな傾斜角度差でポリゴンミラー10の各側面を形成することによって、図10に示すような走査領域を形成することが可能となる。
いて反射光を照射することによって、主走査方向に拡張された広範囲を走査範囲として順次レーザ光を照射することができる。例えば、図13に示すように、LD11〜LD14が順次発光/消光を繰り返しながらポリゴンミラー10が一定速度でA方向(図11参照)に回転することによって、それぞれのスポットSPが主走査方向へ移動しながら走査が行われる。ただし、主走査方向に対して、スポットSP11〜SP14がそれぞれ照射される走査方向が異なるため、スポットSP11〜SP14毎の走査範囲を狭くすることができ、短時間で主走査方向に対して広範囲の走査が可能となる。
補うように新たなLDを追加設置することによって、結果的に複数のLDが斜め格子状に並設されることになる。
LDで実現でき、LD12およびLD14が不要となる。また、2つの直交する偏光成分(P偏光、S偏光)を受光する受光部が別に構成され、それぞれの偏光成分による測定が同時に行うことができる。したがって、図16の例では、測定周波数を2倍にして、さらに処理を高速化することができる。
以下、図17〜図20を参照して、本発明の第2の実施形態に係る視覚装置について説明する。なお、図17は、当該視覚装置に含まれる光照射ユニット1の構成の一例を示す概要図である。図18は、当該視覚装置の構成の一例を示すブロック図である。図19は、位置検出部2に付与されるズーム機能および受光方向調整機能を説明するための上面図である。図20は、当該視覚装置の動作の一例を示すフローチャートである。なお、第2の実施形態に係る視覚装置は、上述した第1の実施形態に係る視覚装置にズーム機能を付加したものである。したがって、第2の実施形態に係る視覚装置の説明において、上述した第1の実施形態に係る視覚装置を同様の構成要素については、同一の参照符号を付して詳細な説明を省略する。
部19bは、スポットSPにおける距離変化に応じて移動する上記光点位置の移動量が、注目領域内において拡大されるようにズームレンズ31の位置を調整する。そして、制御部19bは、次のステップに処理を進める。
ームレンズ31を介してプリズム32の他方で進行方向が内側へ曲げられて、領域Bから受光する位置検出部2の受光面と同じ受光面に入射する。つまり、領域Bからの散乱光を受光するための位置検出部2の受光面(ディテクタ)で、領域Cからの散乱光も受光することができる。このように、ズームレンズ31によって焦点距離が長くなったとしても、内側に光の進行方向を変化させる一対のプリズム32をズームレンズ31と位置検出部2との間に設置することによって、位置検出部2の受光面積を大きくすることなく、位置検出部2の測定分解能を高くすることができる。なお、領域Bと領域Aとは、一部が重複していてもかまわない。また、領域Bと領域Cとは、一部が重複していてもかまわない。
凸量を測定することも可能となる。
Semi−conductor;相補性金属酸化膜半導体)等を用いて、散乱光の光点位置を検出してもかまわない。
10…ポリゴンミラー
11〜14…LD
15〜18…LDドライバ
19…制御部
21…アナログ信号処理回路
22、23…AD
24、101…モータ
25、103…エンコーダ
26、102…モータドライバ
104…偏光フィルタ
105…ミラー
2…位置検出部
3…集光レンズ
31…ズームレンズ
32…プリズム
33…絞り
40…フォトダイオード
41…ハーフミラー
Claims (9)
- 物体に対して照射した光の反射光を受光することによって当該物体との距離を測定する視覚装置であって、
光源と、
前記光源から発せられる光を反射する反射面の方向を変化させることによって、当該光が照射する方向を主走査方向に走査移動させる光学素子と、
前記光学素子が照射した光が物体に照射された場合、当該物体の表面で反射した散乱光の少なくとも一部を受光する受光部とを備え、
前記光源は、
互いに離間して設けられ、前記光学素子が有する反射面に向けてそれぞれ光を発する複数の発光素子と、
前記複数の発光素子のうち1つを順次発光させる発光制御部とを含み、
前記光学素子は、前記主走査方向に垂直な副走査方向に設けられた回転軸を中心として前記反射面となる第1〜第nの側面(nは任意の整数)を有し、当該回転軸を中心に前記主走査方向に回転することによって前記反射面の方向を変化させるポリゴンミラーであり、
前記ポリゴンミラーが有する前記第1〜第nの側面は、前記回転軸に対してそれぞれ異なる傾斜角度を有しており、
第i−1の側面で光を反射させて走査する領域に対し、前記第i−1の側面に隣接する第iの側面(i=2〜n)で光を反射させて走査する領域を、前記副走査方向に順次ずらして形成するべく、隣接する第i−1の側面と第iの側面との傾斜角度差が一定である、視覚装置。 - 前記複数の発光素子は、それぞれ前記主走査方向に垂直な前記副走査方向に互いに離間して列設される、請求項1に記載の視覚装置。
- 前記複数の発光素子は、それぞれ前記主走査方向に互いに離間して列設される、請求項1に記載の視覚装置。
- 前記複数の発光素子は、それぞれ斜め格子状に互いに離間して並設される、請求項1に記載の視覚装置。
- 前記複数の発光素子と前記光学素子との間に設けられ、それぞれ当該発光素子から出射される光を2つの直交する偏光成分に分離して当該光学素子の反射面に入射させる偏光部を、さらに備え、
前記受光部は、前記偏光部で分離される2つの偏光成分をそれぞれ別に受光する2つの受光素子を含む、請求項1に記載の視覚装置。 - 前記受光部は、
集光レンズと、
前記集光レンズを介して集光する前記散乱光の光点位置を検出する位置検出部とを含み、
前記視覚装置は、前記位置検出部が検出した光点位置および前記光学素子が照射した光の位置とに基づいて、当該光の位置における物体までの距離を算出する距離算出部を、さらに備える、請求項1に記載の視覚装置。 - 前記受光部は、前記散乱光を拡大して前記位置検出部で集光するまでの焦点距離を長くするズーム機構を、さらに含む、請求項6に記載の視覚装置。
- 前記光学素子が照射した光が物体に照射された場合、物体の表面で反射して当該光学素子へ戻る光を検出する戻り光検出部と、
前記光学素子が照射した光の位置と前記光源が光を発してから前記戻り光検出部が前記
光学素子へ戻る光を検出するまでの時間とに基づいて、当該光の位置における物体までの概算距離を算出する概算距離測定部と、
前記概算距離測定部が算出した光の位置毎の概算処理に応じて、前記位置検出部が光点位置の検出対象とする散乱光の反射範囲を選定する範囲選定部と、
前記範囲選定部が選定した反射範囲に応じて、前記集光レンズが散乱光を集光する集光方向および前記ズーム機能の拡大率を設定し、当該集光方向および拡大率に基づいて前記受光部の方向を変化させて前記ズーム機能の焦点距離を変化させる受光制御部とを、さらに備える、請求項7に記載の視覚装置。 - 前記複数の発光素子は、互いに等間隔で離間し、それぞれ発する光が前記光学素子の反射面上または近傍で集束する位置に設けられる、請求項1に記載の視覚装置。
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