JP5360966B2 - 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 - Google Patents
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この液体接触部において誘導体の先端部の位置に対する内導体の先端部の位置のズレ長さL1(突出する方向を正とする)、誘導体の先端部の位置に対する外導体の先端部の位置のズレ長さL2(突出する方向を正とする)および内導体の外径dが
−(d+1mm)<L1<(d+1mm)
と
−(d+1mm)<L2
の両方を満たすものである。
外導体が接地されており、液中プラズマ用電極の液体接触部より電磁波を液体容器中に照射して、液中でプラズマを発生させるようになしたものである。
−(d+1mm)<L1<(d+1mm)
と
−(d+1mm)<L2
を同時に満たすようになっている。ここで、d、D、L1、L2の単位はmmである。すなわち、L1は誘導体の先端部の位置に対する内導体の先端部の位置の突出する方向へのズレ長さであり、誘導体の先端部の位置に対する外導体の先端部の位置のズレ長さである。以上、安定したプラズマを発生させるために、内導体2、誘電体3、外導体4の先端部は上記条件を満たしているが、その範囲内においても、なるべく位置がそろっていることが好ましい。L2についても
L2<(d+1mm)
を満たすことが好ましく、プラズマの発生を容易にする点においては、L1、L2を実質的に0にするのが理想的である。
LOSS=((D/d)+1)/(ln(D/d))
d/Dが0.2785(D/d = 3.5911)程度のときが最小となる。
2.内導体
3.誘電体
4.外導体
5.液体接触部
6.電磁波供給用電源
7.液体容器
8.液体
Claims (2)
- 延在する内導体と、内導体の外周に設けられた誘電体と、誘電体の外周に設けられた外導体とを有し、一端部が液体に接する液体接触部となっており、
この液体接触部において、誘導体の先端部の位置に対する内導体の先端部の位置のズレ長さL1(突出する方向を正とする)、誘導体の先端部の位置に対する外導体の先端部の位置のズレ長さL2(突出する方向を正とする)および内導体の外径dが
−(d+1mm)<L1<(d+1mm)
と
−(d+1mm)<L2
の両方を満たすものである液中プラズマ用電極と、
液中プラズマ用電極に接続された電磁波供給用電源およびマッチング回路と、液体容器と、を有し、
液中プラズマ用電極の液体接触部が液体容器内に挿入されており、他端部が電磁波供給用電源に接続されており、
外導体が接地されており、
液中プラズマ用電極の液体接触部より電磁波を液体容器中に照射して、液中でプラズマを発生させるようになした液中プラズマ発生装置。 - 請求項1に記載の液中プラズマ発生装置を使用した液中プラズマ発生方法であって、
液体容器に液体を入れ、電磁波供給用電源より液中プラズマ用電極に電磁波を供給して液体接触部に気泡を発生させるとともに、その気泡に電磁波を照射してプラズマを発生させる液中プラズマ発生方法。
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