JP5341265B2 - 対物光学系 - Google Patents

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Description

本発明は、カメラ付き携帯電話や内視鏡などに利用される小型で広角な対物光学系に関する。
近年、CCDやCMOSセンサ等の固体撮像素子の高精細・高画素化が進んでおり、撮影範囲の拡大つまり広角化も望まれている。一方、撮影光学系は、携帯性・機動性の面で小型化が強く望まれている。特に、内視鏡用の撮像光学系は、小型化、低コスト化、広角化および高精細化が同時に要求され、広角でかつ少数のレンズで収差を抑えた構成の対物光学系が望まれている。
従来の内視鏡用の対物光学系は、レトロフォーカスタイプで4枚から6枚のレンズ構成のもの(例えば、特許文献1参照。)や、2枚から4枚のレンズ構成のもの(例えば、特許文献2,3,5参照。)が一般的である。また、デジタルカメラやカメラ付き携帯電話用として、トリプレットと呼ばれる3枚のレンズ構成のものや(例えば、特許文献4参照。)、4群構成のものが知られている(例えば、特許文献6参照。)。
特開2009−223183号公報 特開2009−251227号公報 特開2011−17918号公報 特開2004−325713号公報 特開2002−162561号公報 特開2006−293042号公報 特開平10−197806号公報 国際公開第2008/032447号
固体撮像素子の高精細・高画素化に対応するためには、対物光学系で発生する収差をより小さく抑える必要がある。また、広角化するためには、周辺性能に強く影響する倍率の色収差を特に小さく抑える必要がある。
特許文献1では、アッベ数の異なる様々な硝材や接合レンズを用いることで、収差、特に、倍率の色収差を補正しており広角化には好適であるが、対物レンズの長さが像高(IH)に対して6倍以上と長くなる。また、特許文献1および6では、絞りが光学系の中間に配置されているために広角化した場合に入射側レンズ径が大きくなるという問題がある。一方、特許文献2から5では、絞りが第1レンズより物体側に配置されているので、第1レンズの外径を小さくし全長を短くすることが可能であるが、撮像素子の高精細化、および、広角化に対して結像性能が不十分であるという問題がある。
倍率の色収差を抑える手段として、特許文献7および8のように、接合レンズの代わりにDOEを用いることが考えられている。しかし、特許文献7,8の光学系は両方とも、小型化と広角化との両立に対しては不十分であるという問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、収差補正が良好であり高精細・高画素な固体撮像素子にも好適に対応可能でありながら小型で広角な対物光学系を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は参考例として、物体側から順に、明るさ絞り、正の第1群、第2群および第3群を含み、前記第1群の像側の面が、像側に向かって凸であり、前記第2群が、2枚の正レンズまたは単レンズからなる対物光学系を提供する。
上記発明の参考例としての一態様においては、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、正の第2群および第3群からなり、前記第1群が、正レンズと負レンズとの接合レンズからなり、該接合レンズは、最も物体側の面が物体側に向かって凹、最も像側の面が像側に向かって凸であり、前記第3群が、下記条件式(1)を満足する1枚のレンズからなり、60°以上の画角を有していてもよい。
(1) 0.001 ≦ |f/f3| ≦ 0.3
ただし、f3は前記第3群の焦点距離、fは全系の焦点距離である。
対物光学系を小型化するためには、特許文献3に示されるように、物体側に絞りを配置し、正の第1群と正の第2群の構成にすることが有効である。しかし、この構成では、画角を広角にしたときに軸外収差を十分に抑制することができず、高精細な撮像素子に対応する性能を確保することが難しい。そこで、本発明の一態様では、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、正の第2群および第3群の構成にすることで、広い画角においても、軸外収差(コマ収差、非点隔差、像面湾曲)を良好に補正しその発生を抑えることを可能としている。特に、3群構成によるパワー配分によりペッツバール和を小さく抑えることができる。
また、上記一態様の構成によれば、最も物体側に配置される明るさ絞りから像側に向って、軸外光束と中心光軸との距離を除々に離すことができる。よって、第1群で発生したコマ収差を、第2群および第3群において、軸上性能・焦点距離・全長への影響を小さく抑えながら補正することが可能となっている。
また、広角にしつつ高精細な撮像素子に対応する性能を確保するためには、倍率の色収差を十分に抑える必要がある。特許文献3では、像側に配置した接合レンズにより倍率の色収差を補正しているが、この配置では接合レンズの大きさが撮像素子と同程度になる。そうすると、接合レンズの性質上、凸レンズのパワーが大きくなるため、レンズ縁のコバ厚を確保するために中心が厚くなり、外径とともに全体を大きくする必要が生じる。さらに、接合面での曲率半径が外径に対して小さくなるために、深い凹面の負レンズが必要となり、加工性が悪化する。これに対し、本発明の一態様では、レンズ外径を最小とすることができる第1群に接合レンズを配置することで、接合レンズを小型にすることができ、加工性も良好にすることができる。
また、第1群において、最も物体側の面を物体側に向って凹面とし、かつ、最も像側の面を像側に向って凸面とすることにより、第1群の主点位置が明るさ絞りから像側へ離されることとなる。これにより、第1群のパワー配置が明るさ絞りに対して略同心円状となり、非点隔差および軸外コマ収差の発生を抑えることができる。
また、条件式(1)によって第3群のパワーを適切な範囲に規定することにより、収差を良好に補正することができる。|f/f3|が上限0.3より大きい場合、第3群のパワーが相対的に強くなり過ぎることにより、ペッツバール和の過剰補正のため軸外像面が倒れたり、コマ収差が大きくなったりし、画質が低下する。一方、|f/f3|が下限0.001より小さい場合、第3群のパワーが相対的に小さくなり、第1群のパワーが相対的に大きくなるため、第1群でコマ収差が大きく発生したり、像面湾曲を十分に補正できなくなったりし、画質が低下する。
上記一態様においては、前記第3群が、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズからなることが好ましい。
第3群は、ペッツバール和を補正して像面湾曲を調整し、第1群で発生したコマ収差を補正している。第3群は、物体側面を物体側に凸にすることでコマ収差を良好に補正することができ、また、像側面を像側に凹にすることで像面湾曲を良好に補正することができる。
上記一態様においては、前記第3群が、下記条件式(2)を満足する構成が好ましい。
(2) 2 < |(Ca+Cb)/(Ca−Cb)| < 50
ただし、Caは前記メニスカスレンズの物体側面の曲率、Cbは前記メニスカスレンズの像側面の曲率である。
|(Ca+Cb)/(Ca−Cb)|が下限2以下の場合、メニスカスレンズの形状が両凸レンズまたは両凹レンズに近づき、コマ収差の補正が難しくなる。一方、|(Ca+Cb)/(Ca−Cb)|が上限50以上場合、メニスカスレンズは、凸面の突出量が大きくなり、厚くなる。また、レンズ縁のコバ厚さを確保することが難しくなる。
上記の条件式(2)を満足する構成においては、前記第1群が、下記条件式(3)を満足することが好ましい。
(3) 0.2 < f/f1 < 0.7
ただし、f1は前記第1群の焦点距離である。
条件式(3)において、f/f1が下限0.2以下の場合、第2群および第3群のパワーが相対的に強くなり、軸外性能が劣化する。一方、f/f1が上限0.7以上の場合、第1群のパワーが相対的に強くなり、コマ収差の発生が大きくなり、第2群および第3群においてコマ収差を十分に補正することが難しくなる。
上記の条件式(3)を満足する構成においては、前記第1群が、下記条件式(4)を満足することが好ましい。
(4) −9 < (C1+C3)/(C1−C3) < −4
ただし、C1は前記第1群の最も物体側の面の曲率、C3は前記第1群の最も像側の面の曲率である。
条件式(4)において、(C1+C3)/(C1−C3)が下限−9以下の場合、メニスカスレンズは、凸面の突出量が大きくなり、厚くなる。また、レンズ縁のコバ厚さを確保するのが難しくなる。一方、(C1+C3)/(C1−C3)が上限−4以上の場合、メニスカスレンズの形状が平凸レンズに近くなる。その場合、明るさ絞りに対して曲率が同心円状から外れてくるので、非点隔差が大きくなり、軸外性能が悪くなる。
さらに、上記の条件式(3)を満足する構成においては、前記第2群が、下記条件式(5)を満足することが好ましい。
(5) 0.3 < f/f2 < 0.8
ただし、f2は前記第2群の焦点距離である。
条件式(5)において、f/f2が下限0.3以下の場合、第1群および第3群のパワーが相対的に強くなり、軸外性能が劣化する。一方、f/f2が上限0.8以上の場合、第2群のパワーが相対的に強くなり、コマ収差の発生が大きくなるため、第3群においてコマ収差を十分に補正することが難しくなる。
上記の条件式(5)を満足する構成においては、前記第2群が、物体側から順に像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと像側の面が像側に向かって凸面である正レンズとからなる構成であってもよい。
第1群は、正の接合レンズであるためにパワーを強くすることが難しく、第2群のパワーを強くする必要がある。そこで、第2群を2つの正レンズに分けることで、収差の発生を防ぐことができる。また、物体側のレンズを像側に凸面を向けた正メニスカスレンズにし、像側のレンズの像側の面を像側に凸にすることで、絞りに対して曲率が略同心円的状になり非点隔差の発生を抑えることができる。
上記の第2群が正のメニスカスレンズと正レンズとからなる構成においては、下記条件式(6)を満足することが好ましい。
(6) −4 ≦ f3/f21 ≦ −0.5
ただし、f21は前記正のメニスカスレンズの焦点距離である。
第2群においては物体側の正レンズで像面湾曲、コマ収差が発生し、これらの収差を第3群が補正している。そこで、条件式(6)において、f3/f21が下限−4より小さい場合、第2群の物体側の正レンズでの収差発生量が大きくなり、第3群で十分に収差を補正することが難しくなる。一方、f3/f21が上限−0.5より大きい場合、第3群によって収差が過剰に補正されることにより、画質が低下する。
本発明の態様に係る対物光学系は、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群、正の第3群、第4群からなり、前記第1群が、1枚の像側に凸面を向けたメニスカスレンズまたは平凸レンズからなり、前記第2群が、1枚のレンズからなり、前記第3群が、正レンズと負レンズとの接合レンズからなり、前記第4群が、1枚のレンズからなり、下記条件式(7)および(8)を満足している。
(7) −0.5 < f/f4 < −0.001
(8) 0.1 ≦ |f4/f2| ≦ 5
ただし、fは全系の焦点距離、f4は前記第4群の焦点距離、f2は前記第2群の焦点距離である。
対物レンズが小型であるためには、特許文献2,3に示されるように、物体側に絞りを配置し、正の第1群と正の第2群との構成にすることが有効である。しかしながら、画角を100°以上の広角とした場合に、高精細な撮像素子に対応する性能を確保するための軸外収差を十分に抑制することができない。そこで、本発明の態様では、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群、正の第3群および第4群の構成にすることで、広い画角においても、軸外収差(コマ収差、非点隔差・像面湾曲)を良好に補正しその発生を抑えることを可能としている。特に、4群構成によるパワー配分によりペッツバール和を小さく抑えることができる。
また、上記態様によれば、最も物体側に配置される明るさ絞りから像側に向って、軸外光束と中心光軸との距離を除々に離すことができ、第1群で発生したコマ収差を第2群、第3および第4群で、軸上性能・焦点距離・全長への影響を小さく抑えながら補正することが可能となっている。特許文献1および6の構成は、明るさ絞りが光学系の中間位置に配置されているため、小型化には不向きである。一方、本発明の態様によれば、画角100°以上の広角の対物光学系を少ないレンズ枚数により達成することができる。
また、第1群において最も物体側の面を物体側に向かって凹または平面とし、かつ、最も像側の面を像側に向って凸とすることにより、第1群の主点位置を明るさ絞りから像側へ離すことができる。これにより、第1群のパワー配置を絞りに対して略同心円状とし、非点隔差および軸外コマ収差の発生を抑えることができる。
また、広角化と高精細な撮像素子に対応する性能を確保するためには、倍率の色収差を十分に抑える必要がある。本発明の態様では、第3群に接合レンズを用いることで、倍率の色収差を良好に補正している。一方、特許文献4では、接合レンズが配置されてないため広角化したときに倍率の色収差を十分に補正することが難しい。
また、条件式(7)によって第4群のパワーを適切な範囲に規定することにより、収差補正を良好にできる。f/f4が下限−0.5以下の場合、第4群のパワーが相対的に強くなり、ペッツバール和の過剰補正のため軸外像面が倒れ、また、コマ収差が大きくなり、画質が低下する。一方、f/f4が上限−0.001以上の場合、第4群のパワーが相対的に小さくなり、像面湾曲を十分に補正できなくなり、画質が低下する。
また、条件式(8)によって第2群と第4群の相対的なパワーの比を規定することにより、第2群で発生する像面湾曲及びコマ収差を、第4群によって良好に補正することができる。|f4/f2|が上限5より大きい場合、第2群での収差発生量が大きくなり、第4群で十分に補正できなくなる。一方、|f4/f2|が下限0.1より小さい場合、第2群のパワーが相対的に弱くなり過ぎて像面湾曲の補正が第4群に偏り、第4群のパワーが相対的に強くなってコマ収差が発生し、光学系全体が大きくなる。
上記態様においては、下記条件式(9)を満足する構成が好ましい。
(9) 0.3 < f/f3 < 0.8
ただし、f3は前記第3群の焦点距離である。
第3群の接合レンズは、色収差を補正していると同時に、広角化に対して全系のパワー配分を分担している。条件式(9)において、f/f3が下限0.3以下の場合、第1群のパワーが増大し、性能が低下する。一方、f/f3が上限0.8以上の場合、第3群のパワーが強くなり、第3群の接合レンズを構成する正レンズのレンズ縁のコバが薄くなり、接合レンズの製造が難しくなる。
上記の条件式(9)を満足する構成においては、下記条件式(10)を満足することが好ましい。
(10) 0.15 < f/f1 < 1.1
ただし、f1は前記第1群の焦点距離である。
条件式(10)において、f/f1が下限0.15以下の場合、第3群のパワーが相対的に強くなり、軸外性能が劣化する。一方、f/f1が上限1.1以上の場合、第1群のパワーが相対的に強くなり、コマ収差の発生が大きくなり、第2および4群でコマ収差を十分に補正することが難しくなる。
上記の条件式(10)を満足する構成においては、上記前記第1群が、下記条件式(11)を満足することが好ましい。
(11) 1 ≦ |(C1+C2)/(C1−C2)| < 40
ただし、C1は前記第1群の物体側面の曲率、C2は前記第1群の像側面の曲率である。
条件式(11)において、|(C1+C2)/(C1−C2)|が上限40以上の場合、メニスカスレンズの凸面の突出量が大きくなり厚くなる。また、レンズ縁のコバ厚さを確保することが難しくなる。一方、|(C1+C2)/(C1−C2)|が下限1より小さい場合、メニスカスレンズまたは平凸レンズの形状が両凸レンズの形状に近くなり、明るさ絞りに対して曲率が同心円状からはずれてくるので、非点隔差が大きくなり、軸外性能を低下する。
また、上記発明の参考例としてのもう1つの態様においては、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群および正の第3群を備え、前記第1群が、像側に凸面を向けたメニスカスレンズまたは1枚の平凸レンズからなり、前記第2群が、1枚のレンズからなり、前記第3群が、回折光学素子を含んでいてもよい
上記もう1つの態様では、物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群、正の第3群の構成にすることで、広い画角においても軸外収差(コマ収差、非点隔差・像面湾曲)を良好に補正しその発生を抑えることを可能としている。特に、3群構成によるパワー配分によりペッツバール和を小さく抑えることができる。
また、第1群は像側に凸面を向けたメニスカスレンズまたは平凸レンズ1枚の構成とすることにより、第1群の主点位置を明るさ絞りから像側へ離すことができ、これにより第1群のパワー配置が絞りに対して略コンセントリックとなり、非点隔差および軸外コマ収差の発生を抑えることができる。
また、上記もう1つの態様の対物光学系の構成によれば、最も物体側に配置されている明るさ絞りから像側に向って軸外光束と中心光軸との距離を除々に離すことができる。これにより、第1群で発生したコマ収差を、第2群および第3群において軸上性能、焦点距離、全長への影響を小さく抑えながら補正することが可能となっている。
広角化と高精細な撮像素子に対応する性能を確保するためには、倍率の色収差を十分に抑える必要がある。本発明のもう1つの態様では、第3群に回折光学素子を含ませることにより倍率の色収差を抑えている。また、回折光学素子は、従来の接合レンズに比べて軸方向の厚さを薄くできるので、全長短縮にも寄与している。
ここで、回折光学素子の色収差の補正作用について簡単に説明する。
従来の屈折レンズでは、中肉厚を0と仮定した薄肉レンズとして考えた場合、各々の面の曲率半径をそれぞれR1、R2、媒質の屈折率をn、焦点距離をfとする次式(100)が成り立つ。
(100) 1/f = (n−1)(1/R−1/R
屈折レンズの場合、図30に示されるように、式(200)に示すスネルの法則に従って光線は屈折する。
(200) nsinθ = n’sinθ’
ただし、nは入射側媒質の屈折率、n’は出射側媒質の屈折率、θは入射光線の角度、θ’は出射光線の角度である。
次に、一般的な回折光学素子について説明する。図31のように格子間隔dの回折格子に入射する光線は次式(300)に従って回折する。
(300) nsinθ−n’sinθ’ = mλ/d
(m=0,±1, ±2 …)
ただし、mは回折次数、λは光の波長である。
ここで、式(100)の両辺を波長λで微分することにより次式(400)が得られる。
df/dλ = −f(dn/dλ)/(n−1)
(400) Δf = −fΔn/(n−1)
また、fdoeを回折光学素子の焦点距離、hを入射光線の光線高、dを光線高hの格子間隔とし、式(300)でθ=0としたものを代入することにより、次式(500)が導かれる。
(500) fdoe = h/(n’*sinθ’) = dh/mλ
hは一定なので、式(500)はf=C/λ(C=定数)と表される。この式の両辺をλで微分すると、次式(600)が成り立つ。
df / dλ = −C/λ = −f/λ
(600) Δf = −f(Δλ/λ)
ここで、アッベ数νは、ν=(n−1)/Δnなので、式(400)および式(600)より、ν=λ/Δλとなる。よって、回折光学素子の可視域でのアッベ数νdは以下となる。
ν=λ/(λ−λ)=−3.453
以上のように、回折光学素子は大きな負の分散特性をもつ。通常の光学ガラスのアッベ数は20から95なので、回折光学素子は非常に大きな逆分散特性をもつ。したがって、通常のレンズと回折光学素子を組み合わせることで、軸上および倍率の色収差の除去に大きな効果がある。
上記もう1つの態様においては、以下の条件式(12)および(13)を満足することが好ましい。
(12) −0.4 ≦ f/f2 ≦ −0.05
(13) 0.1 ≦ f/f3 ≦ 0.4
ただし、f2は第2群の焦点距離、f3は第3群の焦点距離、fは全系の焦点距離である。
条件式(12)にて、第2群のパワーを負とすることで、全体のペッツバール和が小さくなり像面湾曲を補正することができる。ただし、f/f2が上限の−0.05を上回ると、ペッツバール和の補正が弱くなり軸外像面が倒れて画質が低下する。一方、f/f2が下限の−0.4を下回ると、ペッツバール和は良好に補正できるが、コマ収差のバランスがとれなくなり画質が低下する。
条件式(13)にて、第3群のパワーを適切な範囲とすることで収差補正を良好にできる。f/f3が上限の0.4を上回って第3群のパワーが強くなると、ペッツバール和が大きくなり軸外像面が倒れて画質が低下する。一方、f/f3が下限の0.1を下回って第3群のパワーが小さくなると第1群のパワーが大きくなるため、第1群で発生するコマ収差が大きくなり画質が低下する。
上記もう1つの態様においては、前記第3群が、物体側から順に前記回折光学素子を含むレンズと、もう1枚のレンズとからなる構成が好ましい。
第3群の働きは、前述のように回折光学素子を用いて倍率の色収差を補正することと、軸上と軸外とが分離していることを利用して像面への光線の入射方向および像面湾曲を調節することである。第3群を、回折光学素子を含むレンズともう1枚のレンズとに分けることにより、この役割をそれぞれに分担させやすくなり、より広角化を図ることができる。
上記構成においては、条件式(14)を満足することが好ましい。
(14) 0.001 ≦ |f/f34| ≦ 0.2
ただし、f34はもう1枚のレンズの焦点距離である。
条件式(14)にて、第3群のもう1枚のレンズのパワーを適切な範囲内に規定することで収差補正を良好にすることができる。|f/f34|が上限の0.2を上回ると、ペッツバール和が大きくなり軸外像面が倒れて画質が低下する。一方、|f/f34|が下限の0.001を下回ってパワーが弱くなると、像面湾曲および像面への光線入射方向の調整の役割が著しく弱くなるため広角化が難しくなる。
本発明によれば、収差補正が良好であり高精細・高画素な固体撮像素子にも好適に対応可能でありながら小型で広角な対物光学系を提供することができるという効果を奏する。
本発明の参考例としての第1の実施形態に係る対物光学系の全体構成図である。 本発明の第1の実施形態の実施例1に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図2の対物光学系の各種収差を示す図である。 本発明の第1の実施形態の実施例2に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図4の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第1の実施形態の実施例3に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図6の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第1の実施形態の実施例4に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図8の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る対物光学系の全体構成図である。 本発明の第2の実施形態の実施例1に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図11の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第2の実施形態の実施例2に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図13の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第2の実施形態の実施例3に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図15の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第2の実施形態の実施例4に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図17の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第2の実施形態の実施例5に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図19の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の参考例としての第3の実施形態に係る対物光学系の全体構成図である。 本発明の第3の実施形態の実施例1に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図22の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第3の実施形態の実施例2に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図24の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第3の実施形態の実施例3に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図26の対物光学系の各種の収差を示す図である。 本発明の第3の実施形態の実施例4に係る対物光学系の全体構成を示すレンズ断面図である。 図28の対物光学系の各種の収差を示す図である。 光の屈折の原理を説明する図である。 回折格子における光の屈折の原理を説明する図である。 スネルの法則とウルトラ−ハイインデックス法との関係を説明する図である。 密着積層型の回折光学素子の構成の一例を示す図である。 密着積層型の回折光学素子の構成のもう1つ例を示す図である。
以下、本発明に係る対物光学系について、第1から第3の実施形態および実施例を用いて詳細に説明する。
各実施例の収差図において、(a)は縦の球面収差、(b)は非点収差、(c)は倍率色収差、(d)は歪曲収差(単位%)、(e)は縦のコマ収差(像高比0.8)を示している。また、(b)の非点収差図において、実線はサジタル像面(s)を示し、破線はメリジオナル像面(m)を示している。
また、各実施例に記載のレンズデータにおいてrは曲率半径、dは面間隔、neはe線に対する屈折率、νdはd線に対するアッべ数、ERはレンズ面の有効半径、OBJは物体面、IMGは像面である。明るさ絞りに対応する面については、面番号にSを示している。非球面については、面番号に*を示し、次式で表される非球面形状の近軸曲率半径r、円錐形数K、非球面系数Ai(i=2,4,6,8)を非球面データに示す。次式は、光軸方向をz、光軸に直交する方向をyにとっている。ただし、各実施例の非球面データにおいて、非球面系数Aiの値が0の場合にはその記載を省略する。
z=(y/r)/[1+{1−(1+K)(y/r)1/2
+A2y+A4y+A6y+A8y
(第1の実施形態)
以下に、本発明の参考例としての第1の実施形態に係る対物光学系1について図1を参照して説明する。
本実施形態に係る対物光学系1は、60°以上の画角を有する広角対物光学系であって、図1に示されるように、物体側から順に明るさ絞りS、正の第1群G1、正の第2群G2および第3群G3からなる。符号F1,F2は平行平板を示している。また、矢印IMGは像面を示している。
第1群G1は、正レンズL1と負レンズL2との接合レンズLCからなる。接合レンズLCは、最も物体側の面である正レンズL1の物体側面が物体側に向って凹面となり、最も像側の面である負レンズL2の像側面が像側に向かって凸面となっている。
第2群G2は、像側に凸面を向けた1枚の正のメニスカスレンズL3からなっている。
第3群G3は、物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズL4からなっている。
対物光学系1は、下記条件式(1)から(5)を満足している。
(1) 0.001 ≦ |f/f3| ≦ 0.3
(2) 2 < |(Ca+Cb)/(Ca−Cb)| < 50
(3) 0.2 < f/f1 < 0.7
(4) −9 < (C1+C3)/(C1−C3) < −4
(5) 0.3 < f/f2 < 0.8
ただし、fは全系の焦点距離、f1は第1群G1の焦点距離、f2は第2群G2の焦点距離、f3は第3群G3の焦点距離、C1は正レンズL1の物体側面の曲率、C3は負レンズL2の像側面の曲率、CaはメニスカスレンズL4の物体側面の曲率、CbはメニスカスレンズL4の像側面の曲率である。
このように構成された本実施形態に係る対物光学系1によれば、小型で広角でありながら、収差が良好に補正されているので高精細・高画素な固体撮像素子にも好適に対応することができる。
なお、本実施形態においては、第2群G2が、1枚の正のメニスカスレンズL3からなることとしたが、これに代えて、物体側から順に像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと像側の面が像側に向かって凸面である正レンズとからなることとしてもよい。この構成においては、第2群G2が、下記条件式(6)を満足することが好ましい。
(6) −4 ≦ f3/f21 ≦ −0.5
ただし、f21は正のメニスカスレンズの焦点距離、f3は第3群G3の焦点距離である。
(第1の実施形態の実施例)
次に、上述した第1の実施形態の実施例1から4について、図2から図9を参照して説明する。
〔実施例1〕
第1の実施形態の実施例1に係る対物光学系は、図2に示されるように、第1群が正と負の2枚のメニスカスレンズの接合レンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚の正のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図3に示す。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 9.5782 1.00000
1 ∞ 0.3193 1.51825 64.14 0.286
2 ∞ 0.0000 1.00000 0.070
3(S) ∞ 0.0536 1.00000 0.070
4 −0.8042 0.4182 1.72407 41.98 0.121
5 −0.3297 0.0958 1.93429 18.90 0.284
6* −0.6203 0.0192 1.00000 0.389
7 −2.8380 0.4241 1.53336 56.00 0.479
8* −0.8494 0.0223 1.00000 0.589
9* 1.7704 0.5715 1.53336 56.00 0.766
10 1.8918 0.6089 1.00000 0.737
11 ∞ 0.3831 1.51825 64.14 0.801
12 ∞ 0.0537 1.00000 0.836
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第6面
r=−0.6203, K=−0.4652
A2=0.0000E+00, A4=5.2561E−01
A6=−7.0139E−01, A8=0.0000E+00
第8面
r=−0.8494, K=0.2688
A2=0.0000E+00, A4=−3.6881E−01
A6=1.7365E−01, A8=8.3006E−01
第9面
r=1.7704, K=0.3033
A2=0.0000E+00, A4=5.3091E−02
A6=1.7766E−01, A8=−1.3199E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.84
Fno. 7.119
有効Fno. 7.420
物点距離 9.5782
半画角 58.3
歪曲収差 −49.8%
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.5と小型であり、かつ、画角117°を達成している。また、第1群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的に接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.034と十分に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f11×νd11)+1/(f12×νd12)=0
ただし、
f11:第1群の正メニスカスレンズの焦点距離
νd11:第1群の正メニスカスレンズ材質のアッベ数
f12:第1群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd12:第1群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
である。
〔実施例2〕
第1の実施形態の実施例2に係る対物光学系は、図4に示されるように、第1群が両凹レンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚の正のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図5に示す。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 10.5305 1.00000
1(S) ∞ 0.0590 1.00000 0.070
2 −0.7943 0.1053 1.93429 18.90 0.146
3 0.8644 0.3121 1.73234 54.68 0.261
4* −0.5534 0.0211 1.00000 0.398
5 −3.7589 0.4001 1.73234 54.68 0.564
6* −1.0547 0.0246 1.00000 0.646
7* 2.1599 0.2106 1.53336 56.00 0.772
8 2.0675 0.8497 1.00000 0.764
9 ∞ 0.4212 1.51825 64.14 0.871
10 ∞ 0.0702 1.00000 0.913
11 ∞ 0.0000 1.00000 0.928
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第4面
r=−0.5534, K=−0.4885
A2=0.0000E+00, A4=5.7879E−01
A6=−3.2845E−01, A8=0.0000E+00
第6面
r=−1.0547, K=0.2599
A2=0.0000E+00, A4=−4.6661E−01
A6=9.5445E−02, A8=−4.5977E−01
第7面
r=2.1599, K=−0.1186
A2=0.0000E+00, A4=5.8487E−02
A6=−8.0494E−02, A8=1.4847E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.924
Fno. 7.122
有効Fno. 7.412
物点距離 10.5305
半画角 66.2
歪曲収差 −62.8%
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約2.7と小型であり、かつ、画角132°を達成している。また、第1群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的に接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.014と十分に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f11×νd11)+1/(f12×νd12)=0
ただし、
f11:第1群の両凹レンズの焦点距離
νd11:第1群の両凹レンズ材質のアッベ数
f12:第1群の両凸レンズの焦点距離
νd12:第1群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
〔実施例3〕
第1の実施形態の実施例3に係る対物光学系は、図6に示されるように、第1群が正と負の2枚のメニスカスレンズの接合レンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた2枚の正のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図7に示す。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 10.5060 1.00000
1(S) ∞ 0.0588 1.00000 0.070
2 −0.8303 0.4203 1.73234 54.68 0.167
3 −0.3175 0.1051 1.93429 18.90 0.313
4* −0.5661 0.0210 1.00000 0.480
5 −2.9598 0.5293 1.53336 56.00 0.644
6* −1.4920 0.0210 1.00000 0.768
7 −11.9054 0.4069 1.73234 54.68 0.902
8 −2.0416 0.0210 1.00000 0.948
9* 1.6084 0.3502 1.53336 56.00 0.952
10 1.1460 0.4678 1.00000 0.849
11 ∞ 0.4202 1.51825 64.14 0.864
12 ∞ 0.0700 1.00000 0.912
13 ∞ 0.0000 1.00000 0.924
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第4面
r=−0.5661, K=−0.5030
A2=0.0000E+00, A4=7.1355E−01
A6=−9.1217E−01, A8=0.0000E+00
第6面
r=−1.4920, K=0.2997
A2=0.0000E+00, A4=−7.2345E−01
A6=6.7007E−01, A8=−7.3451E−01
第9面
r=1.6084, K=0.2571
A2=0.0000E+00, A4=4.7200E−03
A6=2.5175E−03, A8=−3.3216E−03
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.922
Fno. 7.103
有効Fno. 7.335
物点距離 10.506
半画角 66.5
歪曲収差 −61.2%
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.1と小型であり、かつ、画角133°を達成している。また、第1群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的に接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.042と十分に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f11×νd11)+1/(f12×νd12)=0
ただし、
f11:第1群の正メニスカスレンズの焦点距離
νd11:第1群の正メニスカスレンズ材質のアッベ数
f12:第1群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd12:第1群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
である。
〔実施例4〕
第1の実施形態の実施例4に係る対物光学系は、図8に示されるように、第1群が両凹レンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた2枚の正のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図9に示す。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 10.3535 1.00000
1 ∞ 0.2071 1.51825 64.14 0.380
2 ∞ 0.0000 1.00000 0.070
3(S) ∞ 0.0580 1.00000 0.070
4 −0.7128 0.1035 1.93429 18.90 0.135
5 0.9212 0.4097 1.73234 54.68 0.380
6* −0.5335 0.0207 1.00000 0.414
7 −11.8730 0.4086 1.53336 56.00 0.582
8* −1.7600 0.0242 1.00000 0.679
9 −13.2586 0.3382 1.73234 54.68 0.756
10 −2.2819 0.0207 1.00000 0.800
11* 3.6636 0.2761 1.53336 56.00 0.823
12 2.0883 0.6897 1.00000 0.802
13 ∞ 0.4141 1.51825 64.14 0.867
14 ∞ 0.0690 1.00000 0.900
15 ∞ 0.0000 1.00000 0.908
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第6面
r=−0.5335, K=−0.4108
A2=0.0000E+00, A4=4.7734E−01
A6=−1.2498E+00, A8=0.0000E+00
第8面
r=−1.7600, K=0.2745
A2=0.0000E+00, A4=−5.5390E−01
A6=3.3596E−01, A8=−3.9294E−01
第11面
r=3.6636, K=0.0838
A2=0.0000E+00, A4=1.1642E−01
A6=−1.6562E−01, A8=1.1267E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.908
Fno. 7.1022
有効Fno. 7.339
物点距離 10.354
半画角 65.9
歪曲収差 −60.5%
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.4と小型であり、かつ、画角132°を達成している。また、第1群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的に接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.013と十分に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f11×νd11)+1/(f12×νd12)=0
ただし、
f11:第1群の両凹レンズの焦点距離
νd11:第1群の両凹レンズ材質のアッベ数
f12:第1群の両凸レンズの焦点距離
νd12:第1群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
第1の実施形態の実施例1から4に係る対物光学系の条件式(1)から(6)の値を表1に示す。
Figure 0005341265
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係る対物光学系1’について図10を参照して説明する。
本実施形態に係る対物光学系1’は、図10に示されるように、物体側から順に明るさ絞りS、正の第1群G1’、第2群G2’、正の第3群G3’および第4群G4’からなる。符号F1,F2は平行平板を示している。また、矢印IMGは像面を示している。
第1群G1’は、像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズL1’からなっている。
第2群G2’は、像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズL2’からなっている。
第3群G3’は、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ(負レンズ)L31’と、両凸レンズ(正レンズ)L32’とが貼り合わせられた接合レンズからなっている。
第4群G4’は、物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズL4’からなっている。
対物光学系1’は、下記条件式(7)から(11)を満足している。
(7) −0.5 < f/f4 < −0.001
(8) 0.1 ≦ |f4/f2| ≦ 5
(9) 0.3 < f/f3 < 0.8
(10) 0.15 < f/f1 < 1.1
(11) 1 ≦ |(C1+C2)/(C1−C2)| < 40
ただし、fは全系の焦点距離、f1は第1群G1’の焦点距離、f2は第2群G2’の焦点距離、f3は第3群G3’の焦点距離、f4は第4群G4’の焦点距離、C1は第1群G1’のメニスカスレンズL1’の物体側面の曲率、C2は第1群G1’のメニスカスレンズL1’の像側面の曲率である。
このように構成された本実施形態に係る対物光学系1’によれば、小型で広角でありながら、収差が良好に補正されているので高精細・高画素な固体撮像素子にも好適に対応することができる。
なお、本実施形態においては、対物光学系1’が、下記条件式(7)’、(8)’および(11)’を満足することがより好ましい。
(7)’ −0.5 < f/f4 < −0.05
(8)’ 0.7 ≦ |f4/f2| ≦ 3
(11)’ −25 < (C1+C2)/(C1−C2) < −2
また、本実施形態においては、第1群G1’が、1枚のメニスカスレンズL1’からなることとしたが、これに代えて、像側に凸面を向けた1枚の平凸レンズからなることとしてもよい。
(第2の実施形態の実施例)
次に、上述した第2の実施形態の実施例1から5について、図11から図20を参照して説明する。
〔実施例1〕
第2の実施形態の実施例1に係る対物光学系は、図11に示されるように、第1群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第4群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図12に示す。
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.4とコンパクトであるにも関わらず、画角162°を達成できている。これは、第1群、第2群および第4群に使用した非球面を有効に活用し、第1群のパワーを比較的弱めることができている点が一因となっている。第1群、第2群および第4群は、非球面を安価に製造できるように、樹脂素材の光学部材の屈折率、アッベ数になっている。
また、第3群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的な接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が0.0002と非常に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f31×νd31)+1/(f32×νd32)=0
ただし、
f31:第3群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd31:第3群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
f32:第3群の両凸レンズの焦点距離
νd32:第3群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 10.7407 1.00000
1 ∞ 0.2864 1.51825 64.14 0.444
2 ∞ 0.0000 1.00000 0.070
3(S) ∞ 0.0251 1.00000 0.070
4 −0.5647 0.4382 1.53336 56.00 0.131
5* −0.5087 0.0215 1.00000 0.441
6 −8.5360 0.5384 1.53336 56.00 0.706
7* −2.6765 0.0215 1.00000 0.835
8 1.9649 0.1432 1.93429 18.90 1.111
9 1.2552 0.9619 1.73234 54.68 1.050
10 −3.7653 0.0215 1.00000 1.043
11* 3.0262 0.1432 1.53336 56.00 0.983
12 2.0404 0.2688 1.00000 0.933
13 ∞ 0.2864 1.51825 64.14 0.935
14 ∞ 0.0716 1.00000 0.941
15 ∞ 0.0000 1.00000 0.944
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第5面
r=−0.5087, K=−0.5730
A4=3.4135E−01, A6=−1.6667E−01
第7面
r=−2.6765, K=0.3236
A4=−5.6866E−01, A6=2.9915E−01
A8=−2.9358E−01
第11面
r=3.0262, K=−0.7326
A4=−1.2124E−01, A6=−5.2156E−02
A8=4.9143E−02
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.942
Fno. 7.1
有効Fno. 7.316
物点距離 10.7407
半画角 81.0
歪曲収差 −85.3%
〔実施例2〕
第2の実施形態の実施例2に係る対物光学系は、図13に示されるように、第1群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第3群が両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとの接合レンズからなり、第4群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図14に示す。
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.4とコンパクトであるにも関わらず、画角134°を達成できている。また、第3群の接合レンズの配置を、物体側から両凸レンズ、負のメニスカスレンズとすることで、両凸レンズの物体側の曲率を比較的緩くすることができ、加工性を向上することができる。
また、第3群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的な接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.0009と非常に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f31×νd31)+1/(f32×νd32)=0
ただし、
f31:第3群の両凸レンズの焦点距離
νd31:第3群の両凸レンズ材質のアッベ数
f32:第3群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd32:第3群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
である。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 10.8206 1.00000
1 ∞ 0.2885 1.51825 64.14 0.505
2 ∞ 0.0000 1.00000 0.070
3(S) ∞ 0.0606 1.00000 0.070
4 −0.6889 0.4743 1.53336 56.00 0.167
5* −0.5236 0.0216 1.00000 0.467
6 −5.0892 0.5172 1.53336 56.00 0.663
7* −1.5171 0.0216 1.00000 0.766
8 15.8237 0.6654 1.73234 54.68 0.890
9 −1.1797 0.1443 1.93429 18.90 0.917
10 −1.8042 0.0216 1.00000 0.984
11* 7.1895 0.3607 1.53336 56.00 0.934
12 2.4561 0.1918 1.00000 0.900
13 ∞ 0.4328 1.51825 64.14 0.902
14 ∞ 0.0721 1.00000 0.938
15 ∞ 0.0000 1.00000 0.949
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第5面
r=−0.5236, K=−0.5602
A4=8.2684E−01, A6=−8.8005E−01
第7面
r=−1.5171, K=0.3086
A4=−6.0835E−01, A6=3.5648E−01
A8=−4.1914E−01
第11面
r=7.1895, K=−0.8426
A4=−3.2140E−02, A6=−2.8034E−02
A8=9.1159E−04
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.949
Fno. 7.101
有効Fno. 7.277
物点距離 10.8206
半画角 67.3
歪曲収差 −61.7%
〔実施例3〕
第2の実施形態の実施例3に係る対物光学系は、図15に示されるように、第1群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第4群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図16に示す。
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.4とコンパクトである。これは、第1群、第2群および第4群に使用した非球面を有効に活用し、第1群および第3のパワー配分が中庸で良好であることと、第2群に対する第4群のパワーの関係が良好であることが一因となっている。また、第1群、第2群および第4群は、非球面を安価に製造できるように、樹脂素材の光学部材の屈折率、アッベ数になっている。
また、第3群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的な接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が0.0031と非常に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f31×νd31)+1/(f32×νd32)=0
ただし、
f31:第3群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd31:第3群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
f32:第3群の両凸レンズの焦点距離
νd32:第3群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 9.1117 1.00000
1(S) ∞ 0.0486 1.00000 0.070
2 −0.5113 0.3505 1.53336 56.00 0.131
3* −0.4118 0.0182 1.00000 0.351
4 −6.4926 0.4172 1.53336 56.00 0.512
5* 9.6467 0.0182 1.00000 0.703
6 1.4550 0.1215 1.93429 18.90 0.955
7 1.0228 0.9176 1.73234 54.68 0.891
8 −3.4882 0.0182 1.00000 0.869
9* 2.9102 0.2005 1.53336 56.00 0.797
10 1.8246 0.1994 1.00000 0.768
11 ∞ 0.3645 1.51825 64.14 0.771
12 ∞ 0.0607 1.00000 0.795
13 ∞ 0.0000 1.00000 0.801
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第3面
r=−0.4118, K=−0.7823
A4=3.2237E−01, A6=7.0227E+00
第5面
r=9.6467, K=−18.6012
A4=−7.9835E−01, A6=8.6197E−01
A8=−1.1310E+00
第9面
r=2.9102, K=−0.5374
A4=8.0527E−02, A6=1.3508E−01
A8=−6.2436E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.799
Fno. 7.1
有効Fno. 7.458
物点距離 9.1117
半画角 62.6
歪曲収差 −60.6%
〔実施例4〕
第2の実施形態の実施例4に係る対物光学系は、図17に示されるように、第1群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第4群が物体側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図18に示す。
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.5とコンパクトであるにも関わらず、画角130°を達成できている。
また、第3群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的な接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.0003と非常に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f31×νd31)+1/(f32×νd32)=0
ただし、
f31:第3群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd31:第3群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
f32:第3群の両凸レンズの焦点距離
νd32:第3群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 8.9635 1.00000
1 ∞ 0.2390 1.51825 64.14 0.359
2 ∞ 0.0000 1.00000 0.070
3(S) ∞ 0.0478 1.00000 0.070
4 −0.6162 0.3537 1.53336 56.00 0.139
5* −0.3468 0.0179 1.00000 0.345
6 −1.8782 0.3257 1.53336 56.00 0.468
7* 21.7650 0.0179 1.00000 0.629
8 1.7277 0.1195 1.93429 18.90 0.819
9 1.0560 0.7833 1.73234 54.68 0.803
10 −2.5053 0.0179 1.00000 0.824
11* −5.0382 0.1972 1.53336 56.00 0.793
12 2.0594 0.1733 1.00000 0.768
13 ∞ 0.3585 1.51825 64.14 0.769
14 ∞ 0.0598 1.00000 0.785
15 ∞ 0.0000 1.00000 0.789
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第5面
r=−0.3468, K=−1.4851
A4=−5.9706E−01, A6=3.8918E+00
第7面
r=21.7650, K=−114.7633
A4=−1.0752E+00, A6=1.0417E+00
A8=−2.3817E+00
第11面
r=−5.0382, K=−4.6981
A4=1.0055E+00, A6=−1.1993E+00
A8=2.7826E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.786
Fno. 7.1
有効Fno. 7.608
物点距離 8.9635
半画角 65.0
歪曲収差 −68.0%
〔実施例5〕
第2の実施形態の実施例5に係る対物光学系は、図19に示されるように、第1群が像側に凸面を向けた1枚の平凸レンズからなり、第2群が像側に凸面を向けた1枚のメニスカスレンズからなり、第3群が物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズとの接合レンズからなり、第4群が1枚のレンズからなる。このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図20に示す。
本実施例に係る対物光学系は、全長が像高に対して約3.0とコンパクトである。
また、第3群の接合レンズのパワー配置とガラスの選定が良好になっており、倍率色収差を良好に補正することができる。具体的には、一般的な接合レンズの色消し条件を定義する下式の左辺の値が−0.0045と非常に小さく、当該条件を十分に満足している。
1/(f31×νd31)+1/(f32×νd32)=0
ただし、
f31:第3群の負メニスカスレンズの焦点距離
νd31:第3群の負メニスカスレンズ材質のアッベ数
f32:第3群の両凸レンズの焦点距離
νd32:第3群の両凸レンズ材質のアッベ数
である。
また、第1群が平凸レンズであるので、加工性が良い。
レンズデータ
面番号 r d ne Vd ER
OBJ ∞ 9.7064 1.00000
1(S) ∞ 0.0162 1.00000 0.070
2 ∞ 0.5824 1.77621 49.60 0.074
3 −1.0505 0.0194 1.00000 0.362
4 −2.4612 0.2588 1.69417 31.07 0.400
5* −1.9696 0.0194 1.00000 0.525
6 5.0054 0.1294 1.93429 18.90 0.624
7 1.5479 0.7026 1.73234 54.68 0.716
8 −1.0435 0.0194 1.00000 0.796
9* −1.8151 0.2135 1.53336 56.00 0.840
10 3.4045 0.1132 1.00000 0.826
11 ∞ 0.3883 1.51825 64.14 0.827
12 ∞ 0.0647 1.00000 0.846
13 ∞ 0.0000 1.00000 0.857
IMG ∞ 0.0000
非球面データ
第5面
r=−1.9696, K=−101.6619
A4=−3.5827E−03, A6=8.1097E−01
A8=−2.2443E−01
第9面
r=−1.8151, K=−4.6873
A4=5.2855E−01, A6=−7.2987E−01
A8=5.3510E−01
各種データ
焦点距離 1.0
像高 0.852
Fno. 7.1277
有効Fno. 7.481
物点距離 9.7064
半画角 59.7
歪曲収差 −55.4%
第2の実施形態の実施例1から5に係る対物光学系の条件式(7)から(11)の値を表2に示す。
Figure 0005341265
上述の第2の実施形態の実施例1から5から以下の発明が導かれる。
〔付記項1〕
物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群、正の第3群および第4群からなり、前記第1群が1枚の像側に凸面を向けたメニスカスレンズからなり、前記第2群が1枚のレンズからなり、前記第3群が正レンズと負レンズとの接合レンズからなり、前記第4群が1枚のレンズからなり、下記条件式(7)’および(8)’を満足する対物光学系。
(7)’ −0.5 < f/f4 < −0.05
(8)’ 0.7 ≦ |f4/f2| ≦ 3
ただし、fは全系の焦点距離、f4は前記第4群の焦点距離、f2は前記第2群の焦点距離である。
付記項1の対物光学系によれば、第1群を像側に凸面に向けたメニスカスレンズとすることで、主点位置をより像側に配置し、曲率を明るさ絞りに対して同心円状にできるので、非点格差の発生を抑えることができる。また、条件式(7)’によって第4群のパワーを規定することにより、像面湾曲を良好に補正することできる。また、条件式(8)’によって第2群のパワーと第4群のパワーとの比を規定することにより、像面湾曲およびコマ収差を良好に補正することができ、かつ、レンズ全体の小型化を達成することができる。
〔付記項2〕
下記条件式(9)を満足する付記項1に記載の対物光学系。
(9) 0.3 < f/f3 < 0.8
ただし、f3は前記第3群の焦点距離である。
〔付記項3〕
下記条件式(10)を満足する付記項2に記載の対物光学系。
(10) 0.15 < f/f1 < 1.1
ただし、f1は前記第1群の焦点距離である。
〔付記項4〕
前記第1群が、下記条件式(11)’を満足する付記項3に記載の対物光学系。
(11)’ −25 < (C1+C2)/(C1−C2) < −2
ただし、C1は前記第1群の物体側面の曲率、C2は前記第1群の像側面の曲率である。
付記項4の対物光学系によれば、条件式(11)’によって規定されるメニスカスレンズの形状が広角化と高精細画質に対して有効である。条件式(11)’において、下限−25以下の場合にはメニスカスレンズの凸面の突出量が大きくなり厚くなり、また、レンズ縁のコバ厚さを確保することが難しくなる。一方、上限−2以上の場合には、メニスカスレンズの形状が平凸レンズに近くなり、明るさ絞りに対して曲率が同心円からはずれてくるため、非点隔差が大きくなり軸外性能が低下する。
(第3の実施形態)
次に、本発明の参考例としての第3の実施形態に係る対物光学系1”について図21を参照して説明する。
本実施形態に係る対物光学系1”は、図21に示されるように、物体側から順に明るさ絞りS、正の第1群G1”、第2群G2”および正の第3群G3”を備えている。
第1群G1”は、1枚の像側に凸面を向けたメニスカスレンズL1”からなる。なお、第1群G1”は、メニスカスレンズL1”に代えて、像側に凸面を向けた1枚の平凸レンズから構成されていてもよい。
第2群G2”は、1枚のメニスカスレンズL2”からなる。
第3群G3”は、物体側から順に、回折光学素子を含むレンズL3”、および、メニスカスレンズ(もう1枚のレンズ)L4”からなる。回折光学素子は、回折格子が形成された回折光学面を有するレンズL31”,L32”である。レンズ3”は、2つのレンズL31”,L32”の回折光学面31a,32aが互いに密着されてなる。
また、対物光学系1”は、最も物体側および最も像側にそれぞれ平行平板F1,F2を備えている。
対物光学系1”は、次式(12)から(14)を満足している。
(12) −0.4 ≦ f/f2 ≦ −0.05
(13) 0.1 ≦ f/f3 ≦ 0.4
(14) 0.001 ≦ |f/f34| ≦ 0.2
ただし、f2は第2群G2”の焦点距離、f3は第3群G3”の焦点距離、fは全系の焦点距離、f34は第3群のもう1枚のレンズの焦点距離である。
このように構成された本実施形態に係る対物光学系1”によれば、収差が良好に補正されているので高精細・高画素の固体撮像素子に好適に用いることができるとともに、小型化かつ広角化を実現することができる。
ここで、密着積層型の回折光学素子について説明する。
単層の回折格子は回折効率が波長に依存するため、積層化することにより波長依存性をなくしかつ高回折効率を得ることができる。このように2つの回折格子の回折光学面を密着させて積層化したものが密着積層型の回折光学素子である。
図33および図34は密着積層型の回折光学素子の模式図である。
図33は、2つの回折光学素子11,12から密着積層型の回折光学素子が構成されている。回折光学素子11,12を構成する材質としては、波長依存性が小さく回折効率が良好な屈折率と分散の組み合わせが用いられる。符号13は回折光学面を示している。回折光学素子12は、回折光学面ではない面を凸面とすることにより屈折作用を有している。
図34は、ベースとなる一般的なガラス研磨の平凸レンズ14の平面側に、密着積層型の回折光学素子を形成した例が示されている。図33と同様に、回折光学素子11,12は、波長依存性が小さく回折効率が良好な屈折率と分散の組み合わせの材質からなる。
なお、密着積層型の回折光学素子および密着積層型の回折光学素子の材質の高回折効率な組み合わせについては、「増補改訂版 回折光学素子入門(オプトロニクス社、平成18年2月8日発行)」等に詳細に記載されている。
(第3の実施形態の実施例)
次に、上述した本発明の第3の実施形態の実施例について説明する。
なお、各種データにおいてfは全系の焦点距離、Fno.はFナンバー、2ωは画角、IHは像高である。これらの値は焦点距離を1として規格化されている。また、d線は587.56nm、C線は656.27nm、e線は546.07nm、F線は486.13nm、g線は435.84nmの波長のスペクトル線である。
また、非球面は次式で定義される。
Z=CH/{(1−(1+K)(CH))}1/2
+A+A+A+A1010
ただし、Zは光軸方向の非球面の位置、Hは光軸からの距離、Cは曲率半径の逆数、Kは円錐係数、A(i=4,6,8,10)はi次の非球面係数である。ただし、各実施例の非球面データにおいて、非球面系数Aiの値が0の場合にはその記載を省略する。
次に、各実施例の説明の前に、回折光学素子を含む光学系の設計方法である高屈折率法(別名:ウルトラ−ハイインデックス法(ultra−high index methods))について説明する。ウルトラ−ハイインデックス法は、回折光学素子を屈折率の極めて大きい仮想レンズ(ウルトラ−ハイ インデックス レンズ)に置き換えて設計する方法である。
このウルトラ−ハイインデックス レンズにおいては、次式が成り立つ。
(700) (n−1)dz/dh = nsinθ−n’sinθ’
ただし、nはウルトラ−ハイ インデックスレンズの屈折率、zはウルトラ−ハイ インデックスレンズの光軸方向の座標、hは光軸からの距離、nおよびn’はそれぞれ入射側媒質及び出射側媒質の屈折率、θおよびθ’はそれぞれ光線の入射角及び出射角である。図32は、式(700)に含まれる各パラメータの関係を図示したものである。
式(300)および式(700)より、次式(800)が成り立つ。
(800) (n−1)dz/dh=mλ/d
よって、ウルトラ−ハイ インデックス レンズの面形状と回折光学素子のピッチとの間には式(800)の等価関係が成り立つ。この式(800)に基づいて、ウルトラ−ハイインデックス法で設計したデータから回折光学素子のピッチを求めることができる。
一方、一般的な軸対称の非球面形状は、次式(900)によって表される。
(900) z =c h/[1+{1−(1+k)c}1/2]
+Ah+Bh+Ch+Dh10+…
ただし、zは光軸(像の方向を正)、cは基準面の曲率、hは面とz軸との交点を原点としz軸に直交する座標軸のうちのメリジオナル方向の座標軸、kは円錐定数、A、B、C、Dはそれぞれ4次、6次、8次、10次の非球面係数である。
ここで、式(800)および式(900)より、ある光線高における上記非球面と等価の回折光学素子のピッチdは次式で表される。
(1000) d =
mλ/[(n−1){ch/(1−c(1+k)h1/2
+4Ah+6Bh+8Ch+10Dh+・・・}]
従って、ウルトラ−ハイ インデックス レンズとして表現されたレンズ形状から、等価な回折型レンズの面形状を求めることができ、実際に製作することが可能である。
なお、ウルトラ−ハイインデックス法については、前述の「増補改訂版 回折光学素子入門」等に詳細に記載されている。
〔実施例1〕
第3の実施形態の実施例1に係る対物光学系は、図22および以下のレンズデータに示されるように、物体側から順にカバーガラスと、明るさ絞りと、像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第1群と、1枚のレンズからなる第2群と、回折光学素子を含むレンズおよび物体側の面が非球面となっているレンズからなる第3群とから構成されている。第1群のメニスカスレンズは、像側の面が光軸から外側に向かって曲率が緩くなる非球面となっている。第2群のレンズは、像側の面が非球面となっている。
回折光学素子を含むレンズは、d線の屈折率1.6、アッベ数20の材料と、d線の屈折率1.75、アッベ数33との材料とを貼合わせた密着積層型の回折光学素子である。また、回折光学面(第9面、第10面)の面形状は、上述のウルトラハイインデックス法によって表示している。ウルトラハイインデックス法による第9面の各波長に対する屈折率は以下のとおりである。
d線:1001
C線:1117.941
e線:930.3859
F線:828.3708
g線:742.7625
第10面の非球面形状でウルトラハイインデックス法から計算される位相が得られる密着積層型の回折光学素子面の形状を求め、実物の回折光学素子を製作できる。
このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図23に示す。本実施例によれば、画角162°と非常に広角であるにも関わらず、画像全体にわたって収差を良好に抑えることができ、高精細・高画素な撮像素子に対しても十分な性能を有している。また、全長が像高に対して2.9程度と非常に短く、構成する光学レンズの外径もイメージサークル径付近より小さくでき、コンパクトなものとなっている。
レンズデータ
面番号 r d ne νd
1 ∞ 0.3729 1.51825 64.14
2 ∞ 0.0000 1.00000
3(S) ∞ 0.0358 1.00000
4 −1.1970 0.4014 1.77621 49.60
5* −0.5240 0.0224 1.00000
6 −2.4252 0.4107 1.69417 31.07
7* −12.1151 0.0224 1.00000
8 ∞ 0.1199 1.60697 20.00
9 ∞ 0.0000 9.3E+2 −3.45
10*−1.193E+04 0.2872 1.75538 33.00
11 −5.5558 0.0224 1.00000
12* 5.2889 0.3268 1.53336 56.00
13 12.2175 0.2148 1.00000
14 ∞ 0.4475 1.51825 64.14
15 ∞ 0.0746 1.00000
16(IMG) ∞
非球面データ
第5面
K=−0.8925, A4=−6.0868E−02
A6=3.0355E+00
第7面
K=225.3917, A4=−5.8826E−01
A6=1.7596E−01, A8=−2.8023E−01
第10面
K=−1.0000, A4=1.3256E−05
A6=−2.3829E−05, A8=2.3364E−07
第12面
K=−0.7568, A4=3.2742E−02
A6=−2.8077E−02, A8=1.3799E−02
A10=1.0475E−04
各種データ
f=1, Fno.=7.13, 2ω=161.6°
IH=0.982, 物点距離11.19
なお、本実施例の密着型積層型の回折光学素子は、図33に示される構成となっているが、以下の(A)、(B)、(C)に示される若干の変更により、性能を変えずに図34に示される構成とすることができる。
(A)第10面の面間隔(d)を0.2872から0.04に変更する。
(B)第10面と第11面との間に以下に示される第10’面を追加する。
r=∞、d=0.255、ne=1.81078、νd=40.92
(C)第11面の曲率半径(r)を−5.5558から−5.964に変更する。
〔実施例2〕
第3の実施形態の実施例2に係る対物光学系は、図24および以下のレンズデータに示されるように、物体側から順に明るさ絞りと、像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第1群と、1枚のレンズからなる第2群と、回折光学素子を含むレンズおよび物体側の面が非球面のレンズからなる第3群とから構成されている。第1群のメニスカスレンズは、像側の面が光軸から外に向い曲率が緩くなる非球面となっている。第2群のレンズは、像側の面が非球面となっている。
回折光学素子を含むレンズは、d線の屈折率1.6、アッベ数20の材料と、d線の屈折率1.74、アッベ数33との材料とを貼合わせた密着積層型の回折光学素子である。回折光学面(第7面、第8面)の面形状の表現は、上述のウルトラハイインデックス法によって表示している。ウルトラハイインデックス法による各波長に対する第7面の屈折率は以下の通りである。
d線:1001
C線:1117.941
e線:930.3859
F線:828.3708
g線:742.7625
第8面の非球面形状でウルトラハイインデックス法から計算される位相が得られる密着積層型の回折光学素子面の形状を求め、実物の回折光学素子を製作できる。
このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図25に示す。本実施例によれば、画角145°非常に広角であるにも関わらず、画像全体にわたって収差を良好に抑えることができ、高精細・高画素な撮像素子に対しても十分な性能を持っている。また、全長が像高に対して3程度と非常に短く、構成する光学レンズ外径もイメージサークル径付近より小さくでき、コンパクトなものとなっている。
レンズデータ
面番号 r d ne νd
1(S) ∞ 0.0434 1.00000
2 −1.1326 0.4366 1.77621 49.60
3* −0.5341 0.0217 1.00000
4 −3.2912 0.4372 1.69417 31.07
5* −12.7510 0.0217 1.00000
6 ∞ 0.1383 1.60697 20.00
7 ∞ 0.0000 9.3E+02 −3.45
8*−1.129E+04 0.2940 1.74530 33.00
9 −6.1407 0.0217 1.0000
10* 6.8043 0.3083 1.53336 56.00
11 7.7203 0.2178 1.0000
12 ∞ 0.4341 1.51825 64.14
13 ∞ 0.0724 1.0000
14(IMG) ∞
非球面データ
第3面
K=−0.8633, A4=−1.5706E−01
A6=3.5599E+00
第5面
K=225.3892, A4=−6.1396E−01
A6=2.4624E−01, A8=−3.4665E−01
第8面
K=−1.0000, A4=3.1680E−05
A6=−2.7735E−05, A8=7.7059E−06
第10面
K=−0.7368, A4=2.9269E−02
A6=−5.1281E−02, A8=5.0753E−02
各種データ
f=1, Fno.=7.07, 2ω=145.2°
IH=0.952, 物点距離10.8532
なお、本実施例の密着型積層型の回折光学素子は、図33に示される構成となっているが、以下の(A)、(B)、(C)に示される若干の変更により、性能を変えずに図34に示される構成とすることができる。
(A)第8面の面間隔(d)を0.294から0.0461に変更する。
(B)第8面と第9面との間に以下に示される第8’面を追加する。
r=∞、d=0.257、ne=1.81078、νd=40.92
(C)第9面の曲率半径(r)を−6.1407から−6.6810に変更する。
〔実施例3〕
第3の実施形態の実施例3に係る対物光学系は、図26および以下のレンズデータに示されるように、物体側から順にカバーガラスと、明るさ絞りと、像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第1群と、1枚のレンズからなる第2群と、回折光学素子を含むレンズ1つからなる第3群とから構成されている。第1のメニスカスレンズは、像側の面が光軸から外に向い曲率が緩くなる非球面となっている。第2群のレンズは、像側の面が非球面となっている。
回折光学素子を含むレンズは、d線の屈折率1.6、アッベ数20の材料と、d線の屈折率1.75、アッベ数33との材料とを貼合わせた密着積層型である。回折光学面の面形状(第9面、第10面)は、上述のウルトラハイインデックス法によって表現されている。ウルトラハイインデックス法による第9面の各波長に対する屈折率は以下の通りである。
d線:1001
C線:1117.941
e線:930.3859
F線:828.3708
g線:742.7625
第10面の非球面形状でウルトラハイインデックス法から計算される位相が得られる密着積層型の回折光学素子面の形状を求め、実物の回折光学素子を製作できる。
このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図27に示す。本実施例によれば、画角133°と広角であるにも関わらず、画像全体にわたって収差を良好に抑えることができ、高精細・高画素な撮像素子に対しても十分な性能を持っている。また、大きさも、全長が像高に対して3.5程度と非常に短く、構成する光学レンズ外径もイメージサークル径付近より小さくでき、コンパクトなものとなっている。
レンズデータ
面番号 r d ne νd
1 ∞ 0.3528 1.51825 64.14
2 ∞ 0.0000 1.00000
3(S) ∞ 0.0564 1.00000
4 −1.1085 0.4235 1.77621 49.60
5* −0.5207 0.0212 1.00000
6 −3.1977 0.4249 1.69417 31.07
7* −12.7612 0.0212 1.00000
8 ∞ 0.1383 1.60697 20.00
9 ∞ 0.0000 9.3E+02 −3.45
10*−1.129E+04 0.2894 1.75538 33.00
11 −6.1175 0.4534 1.00000
12 ∞ 0.4233 1.51825 64.14
13 ∞ 0.0706 1.00000
14(IMG) ∞
非球面データ
第5面
K=−0.8654, A4=−1.6366E−01
A6=4.0512E+00
第7面
K=225.3881, A4=−6.5486E−01
A6=2.8787E−01, A8=−4.0320E−01
第10面
K=−1.0000, A4=1.9934E−05
A6=−3.1467E−05, A8=6.8967E−06
各種データ
f=1, Fno.=7.09, 2ω=132.6°
IH=0.928, 物点距離10.58
〔実施例4〕
第3の実施形態の実施例4に係る対物光学系は、図28および以下のレンズデータに示されるように、物体側から順に明るさ絞りと、像側に凸面を向けた正の平凸レンズからなる第1群と、1枚のレンズからなる第2群と、回折光学素子を含むレンズおよび像側に凸面を向けた正の平凸レンズからなる第3群とから構成されている。第1群のメニスカスレンズは、像側の面が光軸から外に向い曲率が緩くなる非球面である。第2群のレンズは、像側の面が非球面である。
第3群の回折光学素子は、d線の屈折率1.6、アッベ数20の材料と、d線の屈折率1.75、アッベ数33の材料とを貼合わせた密着積層型である。回折光学面(第7面、第8面)の面形状は、上述のウルトラハイインデックス法によって表現している。ウルトラハイインデックス法による第7面の屈折率は以下の通りである。
d線:1001
C線:1117.941
e線:930.3859
F線:828.3708
g線:742.7625
第8面の非球面形状でウルトラハイインデックス法から計算される位相が得られる密着積層型の回折光学素子面の形状を求め、実物の回折光学素子を製作できる。
このように構成された本実施例の対物光学系の収差図を図29に示す。本実施例によれば、画角130°と広角であるにも関わらず、画像全体にわたって収差を良好に抑えることができ、高精細・高画素な撮像素子に対しても十分な性能を持っている。また、大きさも、全長が像高に対して3程度と非常に短く、構成する光学レンズ外径もイメージサークル径付近より小さくでき、コンパクトなものとなっている。
レンズデータ
面番号 r d ne νd
1(S) ∞ 0.0154 1.00000
2 ∞ 0.3848 1.77621 49.60
3* −0.6329 0.0231 1.00000
4 −1.5531 0.4233 1.69417 31.07
5* −10.2102 0.0231 1.00000
6 ∞ 0.1231 1.60697 20.00
7 ∞ 0.0000 9.3E+02 −3.45
8*−1.231E+04 0.2925 1.74530 33.00
9 −8.1071 0.0231 1.00000
10 5.2272 0.3079 1.53336 56.00
11 ∞ 0.0279 1.00000
12 ∞ 0.4618 1.51825 64.14
13 ∞ 0.0770 1.00000
14(IMG) ∞
非球面データ
第3面
K=−1.5979, A4=1.2370E+00
A6=−5.7116E+00
第5面
K=224.9839, A4=−3.8940E−01
A6=−2.5397E−02, A8=7.2292E−01
第8面
K=−1.0000, A4=1.2064E−05
A6=−2.0367E−05, A8=1.8755E−07
各種データ
f=1, Fno.=7.06, 2ω=130.3°
IH=1.013, 物点距離11.545
上述した第3の実施形態の実施例1から4に係る対物光学系の条件式(12)から(15)の値を表3に示す。
Figure 0005341265
〔付記〕
なお、上述した第3の実施形態の実施例から以下の構成の発明が導かれる。
〔付記項1’〕
物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群および正の第3群を備え、前記第1群が、像側に凸面を向けたメニスカスレンズからなり、前記第2群が、1枚のレンズからなり、前記第3群が、密着複層型回折光学素子を含む1枚のレンズからなり、かつ、下記条件式(12)および(13)を満足する対物光学系。
(12) −0.4 ≦ f/f2 ≦ −0.05
(13) 0.1 ≦ f/f3 ≦ 0.4
ただし、f2は前記第2群の焦点距離、f3は前記第3群の焦点距離、fは全系の焦点距離である。
〔付記項2’〕
下記条件式(15)を満足する付記項1’に記載の対物光学系。
(15) 0.9 ≦ f/f1 ≦ 1.4
ただし、f1は前記第1群の焦点距離である。
〔付記項3’〕
前記第2群のレンズは、像側の面が非球面である付記項2’に記載の光学系。
〔付記項4’〕
物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群および正の第3群を備え、前記第1群が、1枚の像側に凸面を向けたメニスカスレンズまたは平凸レンズからなり、前記第2群が、1枚のレンズからなり、前記第3群が、密着複層型回折光学素子ともう1枚のレンズとからなり、かつ、下記条件式(12)から(14)を満足する対物光学系。
(12) −0.4 ≦ f/f2 ≦ −0.05
(13) 0.1 ≦ f/f3 ≦ 0.4
(14) 0.001 ≦ |f/f34| ≦ 0.2
ただし、f2は前記第2群の焦点距離、f3は前記第3群の焦点距離、f34は前記別のもう1枚のレンズの焦点距離、fは全系の焦点距離である。
〔付記項5’〕
下記条件式(15)を満足する付記項4’に記載の対物光学系。
(15) 0.9 ≦ f/f1 ≦ 1.4
ただし、f1は前記第1群の焦点距離である。
〔付記項6’〕
前記第2群のレンズは、像側の面が非球面である付記項5’に記載の対物光学系。
1,1’,1” 対物光学系
G1,G1’,G1” 第1群
G2,G2’,G2” 第2群
G3,Gs3’,G3” 第3群
G4’ 第4群
L1 正レンズ
L1’,L1”,L2’,L2”,L4,L4’,L4” メニスカスレンズ
L2 負レンズ
L3 正のメニスカスレンズ
L3’,LC 接合レンズ
L3” 回折光学素子を含むレンズ
L31’ メニスカスレンズ(負レンズ)
L32’ 両凸レンズ(正レンズ)
L31”,L32” 回折光学素子
31a,32a 回折光学面
F1,F2 平行平板
IMG 像面
S 明るさ絞り

Claims (4)

  1. 物体側から順に明るさ絞り、正の第1群、第2群、正の第3群、第4群からなり、
    前記第1群が、1枚の像側に凸面を向けたメニスカスレンズまたは平凸レンズからなり、
    前記第2群が、1枚のレンズからなり、
    前記第3群が、正レンズと負レンズとの接合レンズからなり、
    前記第4群が、1枚のレンズからなり、
    下記条件式(7)および(8)を満足する対物光学系。
    (7) −0.5 < f/f4 < −0.001
    (8) 0.1 ≦ |f4/f2| ≦ 5
    ただし、
    f:全系の焦点距離、
    f4:前記第4群の焦点距離、
    f2:前記第2群の焦点距離
    である。
  2. 下記条件式(9)を満足する請求項1に記載の対物光学系。
    (9) 0.3 < f/f3 < 0.8
    ただし、
    f3:前記第3群の焦点距離
    である。
  3. 下記条件式(10)を満足する請求項2に記載の対物光学系。
    (10) 0.15 < f/f1 < 1.1
    ただし、
    f1:前記第1群の焦点距離
    である。
  4. 前記第1群が、下記条件式(11)を満足する請求項3に記載の対物光学系。
    (11) 1 ≦ |(C1+C2)/(C1−C2)| < 40
    ただし、
    C1:前記第1群の物体側面の曲率、
    C2:前記第1群の像側面の曲率
    である。
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