JP5340284B2 - 真空バルブの制御方法 - Google Patents
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Description
さらに、本発明の方法は、Lバルブのような真空バルブに適用されてもよい。このようなLバルブは米国特許公報US6,431,518B1などにより開示されている。L形状の動きを構成する個別の動きは、同一または異なるアクチュエータにより実行される。
図3において、閉軌道sに対する、アクチュエータにより消費される電流値Iが曲線21により示されている。アクチュエータ5の初期加速後、電流Iは閉軌道の大部分を通じてほぼ一定の(好ましくは変動量が10%以下の)値にまで低下する。閉塞部材3を当接位置pの到達直前に制動するため、供給電流値は、最初は増加し、その後は低下する。シール4が当接位置pにおいてシール面に当接することにより、電流値がピーク22(比較的短時間で電流値が上昇した後で低下する)を示す。このピークに続き、電流値Iは、シール経路の終期において弾性シール4の圧力の増加とともに増加する。閉位置において、保持装置36の動作後に電流供給は停止されうる。
Claims (6)
- 真空バルブの運転または制御方法であって、前記真空バルブは、
バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、
前記真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で変位可能であり、少なくとも1つの弾性シール(4)がシール面(35)に押し付けられる前記閉位置において前記バルブ開口部(2)を閉じる閉塞部材(3)と、
前記閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、
前記アクチュエータ(5)を作動させ、前記閉塞部材(3)の閉位置において前記弾性シール(4)に作用する圧力を調節する制御装置(9)と、を備え、
前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、前記真空バルブの複数の採用可能な構成のうち1つとしての前記弾性シール(4)または前記閉塞部材(3)の構成を表わすパラメータの関数として調節されることを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記弾性シール(4)および前記閉塞部材(3)のうち一方または両方の2以上の異なる構成の中から1つの構成を選択するための入力がユーザによって行われ、前記弾性シール(4)に作用する圧力が前記入力の関数として調節されることを特徴とする方法。 - 請求項1または2記載の方法において、
プロセスガスを用いてプロセスが実行される少なくとも1つのプロセスモードおよび真空領域におけるプロセスが実行される1つのサービスモードが運転モードとして設けられ、前記サービスモードにおいて、前記制御装置(9)により設定される、前記弾性シール(4)に作用する圧力が、前記プロセスモードよりも高圧に調節されることを特徴とする方法。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の方法において、
2以上の運転モードの中から1つの運転モードを選択するための入力がユーザによって行われ、前記制御装置(9)により、前記弾性シール(4)に作用する圧力が前記入力の関数として調節されることを特徴とする方法。 - 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、前記弾性シールに接触するプロセスガスの種類の関数として調節されることを特徴とする方法。 - 請求項5記載の方法において、
前記プロセスガスの種類は、ユーザにより入力されうることを特徴とする方法。
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