JPH07190228A - 無摺動ゲートバルブ - Google Patents
無摺動ゲートバルブInfo
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- JPH07190228A JPH07190228A JP5350099A JP35009993A JPH07190228A JP H07190228 A JPH07190228 A JP H07190228A JP 5350099 A JP5350099 A JP 5350099A JP 35009993 A JP35009993 A JP 35009993A JP H07190228 A JPH07190228 A JP H07190228A
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- electromagnet
- valve
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ ベローズを用いないで装置寿命を従来より大
巾に向上させる無摺動ゲートバルブを提供すること。 ［構成］ 真空槽の側壁部に開口３０ａ、３０ｂを形成
し、開口３０ａに対向し得るように弁体３３は配設され
ていて、これに取り付けたシャフト４４を有底筒体３５
が囲繞しており、その上端部は真空槽の側壁部の開口３
０ｂに気密に固定されている。これと同心的に電磁石３
６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂが取付部材３９に取り付
けられており、この部材が駆動部３８により上下動させ
られる。シャフト４４は浮遊状態におかれ、弁開閉時に
は上下動させ、かつ開口３０ａに向って着座し、かつこ
れから離座する。
巾に向上させる無摺動ゲートバルブを提供すること。 ［構成］ 真空槽の側壁部に開口３０ａ、３０ｂを形成
し、開口３０ａに対向し得るように弁体３３は配設され
ていて、これに取り付けたシャフト４４を有底筒体３５
が囲繞しており、その上端部は真空槽の側壁部の開口３
０ｂに気密に固定されている。これと同心的に電磁石３
６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂが取付部材３９に取り付
けられており、この部材が駆動部３８により上下動させ
られる。シャフト４４は浮遊状態におかれ、弁開閉時に
は上下動させ、かつ開口３０ａに向って着座し、かつこ
れから離座する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は無摺動ゲートバルブに関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】図６及び図７は、従来例
の無摺動ゲートバルブを示すものであるが、図において
弁体１は図６に明示されるように長方形状の板体であ
り、この周縁部に沿って溝が切られており、これにエラ
ストマーで成るシール部材２が嵌着されている。図７は
この弁体７により弁座形成部材３の開口３ａを閉じてい
る状態を示しているが、この弁座形成部材３は真空槽の
側壁部Ａ及びこれと対向する側壁部Ｂに気密に固定され
ており、図７において右方に真空処理室Ｃ、左方に搬送
室もしくは仕込・取出室Ｖを画成している。弁体１は一
対のコップ状の取付部材１２により、これに横方向に挿
通させたピン部材１３を介してシャフト４の上下動、傾
動に追随するように構成されており、この周囲には搬送
室もしくは仕込・取出室Ｖと大気側とを隔絶するベロー
ズ５が囲繞しており、この上端部は取付部材１２の下端
フランジ部に熔接接合され、この下端部は、駆動部取付
フレーム１５に固定されたフランジ部材６Ａにシール部
材を介在して気密に当接固定された他フランジ部材６Ｂ
に下端部が支持された軸受支持筒２０の下端フランジ部
に固定されている。
の無摺動ゲートバルブを示すものであるが、図において
弁体１は図６に明示されるように長方形状の板体であ
り、この周縁部に沿って溝が切られており、これにエラ
ストマーで成るシール部材２が嵌着されている。図７は
この弁体７により弁座形成部材３の開口３ａを閉じてい
る状態を示しているが、この弁座形成部材３は真空槽の
側壁部Ａ及びこれと対向する側壁部Ｂに気密に固定され
ており、図７において右方に真空処理室Ｃ、左方に搬送
室もしくは仕込・取出室Ｖを画成している。弁体１は一
対のコップ状の取付部材１２により、これに横方向に挿
通させたピン部材１３を介してシャフト４の上下動、傾
動に追随するように構成されており、この周囲には搬送
室もしくは仕込・取出室Ｖと大気側とを隔絶するベロー
ズ５が囲繞しており、この上端部は取付部材１２の下端
フランジ部に熔接接合され、この下端部は、駆動部取付
フレーム１５に固定されたフランジ部材６Ａにシール部
材を介在して気密に当接固定された他フランジ部材６Ｂ
に下端部が支持された軸受支持筒２０の下端フランジ部
に固定されている。
【０００３】真空槽の側壁部Ａには長方形状の開口Ａａ
が形成されており、ここをベローズ５の上端部が挿通さ
れている。又、ベローズ５の外周は保護筒８により気密
に被覆されており、この上端部は弁駆動部取付用板部材
１４に固定されており、この下端部はフランジ部材６Ｂ
に固定されている。
が形成されており、ここをベローズ５の上端部が挿通さ
れている。又、ベローズ５の外周は保護筒８により気密
に被覆されており、この上端部は弁駆動部取付用板部材
１４に固定されており、この下端部はフランジ部材６Ｂ
に固定されている。
【０００４】本実施例では、弁本体Ｍとは上述の側壁部
Ａ、Ｂ、筒体８などにより形成されているが、これらを
一体化したものを弁本体としてもよい。
Ａ、Ｂ、筒体８などにより形成されているが、これらを
一体化したものを弁本体としてもよい。
【０００５】駆動部取付フレーム１５の中央部には、例
えば空気シリンダでなる上下駆動部９が固定されてお
り、この両側にシャフト４を傾動させるための傾動駆動
部１０、１０が取り付けられており、又、一対となった
シャフト４の上端部４ａは上述したように、取付部材１
２に横方向に挿通したピン部材１３に係合しているが、
この下端部４ｂは連結部材１６により相互に連結されて
いて、この中央部が上下駆動部９の駆動軸９ａに固定さ
れている。又、軸受支持筒２０の上端部には上方球軸受
１１Ａが取り付けられており、又、傾動駆動部１０、１
０の連結部材１６内に下方球軸受１１Ｂが取り付けられ
ている。従って、駆動部１０の駆動軸１０ａ、１０ａが
紙面の裏側から表面に向って移動する時に、シャフト４
はこれら軸受１１Ａ、１１Ｂを支点として図７において
そのシャフト４の上端部４ａを時計方向に傾動させるよ
うに構成させている。
えば空気シリンダでなる上下駆動部９が固定されてお
り、この両側にシャフト４を傾動させるための傾動駆動
部１０、１０が取り付けられており、又、一対となった
シャフト４の上端部４ａは上述したように、取付部材１
２に横方向に挿通したピン部材１３に係合しているが、
この下端部４ｂは連結部材１６により相互に連結されて
いて、この中央部が上下駆動部９の駆動軸９ａに固定さ
れている。又、軸受支持筒２０の上端部には上方球軸受
１１Ａが取り付けられており、又、傾動駆動部１０、１
０の連結部材１６内に下方球軸受１１Ｂが取り付けられ
ている。従って、駆動部１０の駆動軸１０ａ、１０ａが
紙面の裏側から表面に向って移動する時に、シャフト４
はこれら軸受１１Ａ、１１Ｂを支点として図７において
そのシャフト４の上端部４ａを時計方向に傾動させるよ
うに構成させている。
【０００６】従来例の無摺動ゲートバルブは以上のよう
に構成されるが、次にこの作用について説明する。
に構成されるが、次にこの作用について説明する。
【０００７】図は弁体１が弁座形成部材３に形成された
開口３ａを閉じている。すなわち、弁閉状態を示してい
るが、これから弁開状態にする作用について説明する。
一対の駆動部１０を駆動すると、その駆動軸１０ａ、１
０ａが紙面の表側から裏側に向って駆動されることによ
り、図７に示すような弁閉状態を与えていたのである
が、シャフト４が直立位置に戻るべく、軸受１１Ａ、１
１Ｂを支点として図７において反時計方向に回動する。
これにより弁体１は弁座形成部材３から離座する。すな
わち、開口３ａを解放する。次いで、上下駆動部９によ
りシャフト４を下方へと移動させて、シャフト４の下端
部４ｂは二点鎖線で示す位置をとる。これにより弁体１
は開口３ａから充分に離れた位置におかれ、開口３ａを
介して真空処理室Ｃから搬送室もしくは仕込・取出室Ｖ
へ、又は搬送室もしくは仕込・取出口Ｖから真空処理室
Ｃへと、例えば薄膜を形成すべきウエハが出し入れされ
る。
開口３ａを閉じている。すなわち、弁閉状態を示してい
るが、これから弁開状態にする作用について説明する。
一対の駆動部１０を駆動すると、その駆動軸１０ａ、１
０ａが紙面の表側から裏側に向って駆動されることによ
り、図７に示すような弁閉状態を与えていたのである
が、シャフト４が直立位置に戻るべく、軸受１１Ａ、１
１Ｂを支点として図７において反時計方向に回動する。
これにより弁体１は弁座形成部材３から離座する。すな
わち、開口３ａを解放する。次いで、上下駆動部９によ
りシャフト４を下方へと移動させて、シャフト４の下端
部４ｂは二点鎖線で示す位置をとる。これにより弁体１
は開口３ａから充分に離れた位置におかれ、開口３ａを
介して真空処理室Ｃから搬送室もしくは仕込・取出室Ｖ
へ、又は搬送室もしくは仕込・取出口Ｖから真空処理室
Ｃへと、例えば薄膜を形成すべきウエハが出し入れされ
る。
【０００８】次いで、弁閉状態にする場合には上下駆動
部９の上昇駆動により、シャフト４は図示する上昇位置
へと移動し、弁体１は弁座形成部材３の開口３ａと対向
する位置へもたらされる。この後、駆動部１０の駆動に
より、駆動軸１０ａ、１０ａが紙面の裏側から表側に向
って移動する。これにより、シャフト４は軸受１１Ａ、
１１Ｂを支点として図７において時計方向に回動し、こ
れにより弁体１をシールリング２を介して弁座形成部材
３に押圧させ、よって弁閉状態となる。
部９の上昇駆動により、シャフト４は図示する上昇位置
へと移動し、弁体１は弁座形成部材３の開口３ａと対向
する位置へもたらされる。この後、駆動部１０の駆動に
より、駆動軸１０ａ、１０ａが紙面の裏側から表側に向
って移動する。これにより、シャフト４は軸受１１Ａ、
１１Ｂを支点として図７において時計方向に回動し、こ
れにより弁体１をシールリング２を介して弁座形成部材
３に押圧させ、よって弁閉状態となる。
【０００９】従来例の無摺動ゲートバルブは以上のよう
な作用を行なうのであるが、以下のような欠点を有する
ものである。
な作用を行なうのであるが、以下のような欠点を有する
ものである。
【００１０】すなわち、ベローズ８の伸縮及び捻り運動
が多数回に及ぶと、金属疲労によりベローズ８からリー
クを起こし、寿命を短くしている。特に、熔接ベローズ
の場合には、伸縮、ひねりに対し金属部材同士が接触
し、これにより金属ダストの発生がある。又、このダス
トの発生は弁座形成部材３の開口３ａを通過し、搬送さ
れるワークに対し悪影響を与えることはこれまで半導体
ウエハ等で数多く観察されるところである。
が多数回に及ぶと、金属疲労によりベローズ８からリー
クを起こし、寿命を短くしている。特に、熔接ベローズ
の場合には、伸縮、ひねりに対し金属部材同士が接触
し、これにより金属ダストの発生がある。又、このダス
トの発生は弁座形成部材３の開口３ａを通過し、搬送さ
れるワークに対し悪影響を与えることはこれまで半導体
ウエハ等で数多く観察されるところである。
【００１１】又、ベローズ８はその形状が複雑であり、
ダスト付着等があった時には、勿論充分なクリーニング
が必要であるが、これを行なうことが難しく、又半導体
ウエハの搬送ミス等により、ウエハを破損した時にも細
かいウエハの破片やダストが生じ、これらの充分なクリ
ーニングは不可能に近い。
ダスト付着等があった時には、勿論充分なクリーニング
が必要であるが、これを行なうことが難しく、又半導体
ウエハの搬送ミス等により、ウエハを破損した時にも細
かいウエハの破片やダストが生じ、これらの充分なクリ
ーニングは不可能に近い。
【００１２】一般にベローズの形状の複雑さは、金属表
面積の増大等、装置を超高真空、更に極高真空等で動作
を行なわせようとする時にも、種々の支障がでてくる。
面積の増大等、装置を超高真空、更に極高真空等で動作
を行なわせようとする時にも、種々の支障がでてくる。
【００１３】このゲートバルブを使用した装置の生産性
を上げるために、バルブ開閉速度を早くすると、当然の
ことながらベローズの寿命は極端に短くなる。
を上げるために、バルブ開閉速度を早くすると、当然の
ことながらベローズの寿命は極端に短くなる。
【００１４】以上、ベローズ８から生ずる欠点について
述べたが、更に以下のような欠点もある。すなわち、弁
体１を押し付ける力の検出手段がないために、時に弁体
１を弁座に必要以上の力で押圧することにより、弁体１
の溝に嵌着されたエラストマーで成るシールリング２の
寿命を短くする。又、弁体１を押圧する時の速度や、あ
るいは弁開にするために弁座形成部材３から離す速度が
検出できないため、ダスト発生を防止するために弁体１
のこの速度を小さくすれば、スループットは更に小さく
なり、逆に早く動作させればダストの発生を多くして上
述の問題を更に惹起するものである。
述べたが、更に以下のような欠点もある。すなわち、弁
体１を押し付ける力の検出手段がないために、時に弁体
１を弁座に必要以上の力で押圧することにより、弁体１
の溝に嵌着されたエラストマーで成るシールリング２の
寿命を短くする。又、弁体１を押圧する時の速度や、あ
るいは弁開にするために弁座形成部材３から離す速度が
検出できないため、ダスト発生を防止するために弁体１
のこの速度を小さくすれば、スループットは更に小さく
なり、逆に早く動作させればダストの発生を多くして上
述の問題を更に惹起するものである。
【００１５】なお、以上の従来例では弁体１をシャフト
４の上下動、時計方向及び反時計方向の回動により弁開
閉を行なった。すなわち、デュアルアクションであった
が、弁体の動く方向を、例えば垂直よりある角度傾ける
だけでバルブの開閉を行なうものもある。これは所謂、
ワンアクション型と言われるが、更に弁体１、シールリ
ング２及び弁座形成部材３の形状を変更して、シャフト
４を単に上下動させるだけで開閉動作できるタイプもあ
るが、何れにしてもベローズを用いており、上述の欠点
を有するものである。
４の上下動、時計方向及び反時計方向の回動により弁開
閉を行なった。すなわち、デュアルアクションであった
が、弁体の動く方向を、例えば垂直よりある角度傾ける
だけでバルブの開閉を行なうものもある。これは所謂、
ワンアクション型と言われるが、更に弁体１、シールリ
ング２及び弁座形成部材３の形状を変更して、シャフト
４を単に上下動させるだけで開閉動作できるタイプもあ
るが、何れにしてもベローズを用いており、上述の欠点
を有するものである。
【００１６】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、ベローズを用いることなく弁の開閉を
行なうことのでき、従ってベローズが原因となっていた
上記欠点を除去することのできる無摺動ゲートバルブを
目的とする。
に鑑みてなされ、ベローズを用いることなく弁の開閉を
行なうことのでき、従ってベローズが原因となっていた
上記欠点を除去することのできる無摺動ゲートバルブを
目的とする。
【００１７】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、側壁に
第１開口、他側壁に第２開口を有する弁本体と、該弁本
体の内側にあって前記第１開口を閉じるための弁体と、
前記第２開口の縁部に気密に開口端部が固定され、前記
弁本体の外側に延び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁
体に一端が固定され、前記有底筒体内に挿入される軸部
材と、該軸部材に固定される永久磁石と、前記有底筒体
の外側に該有底筒体を挟んで相対向する一対の電磁石
と、該電磁石を取り付ける搬送体と、該搬送体に前記各
電磁石にそれぞれ対応して取り付けられた磁気センサ
と、前記搬送体を前記有底筒体の延在方向に沿って往復
動させる駆動部とを具備し、前記磁気センサの検出出力
により制御される前記各電磁石のコイルに流す電流の調
節により前記軸部材を静止浮遊状態とし、前記駆動部に
より前記搬送体を往動させて前記永久磁石の作る前記電
磁石との間の磁場を前記電磁石のコイルに流す電流を変
化させることにより変調させ、その結果生じた磁気吸引
力により前記軸部材を往動位置へと移動させて前記第１
開口と前記弁体を対向させ、次いで前記磁気センサの検
出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流の調節によ
って前記弁体を前記第１開口側に移動させて押圧させて
該第１開口を閉じ、該第１開口を開く時は前記磁気セン
サの検出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流の調
節によって、前記弁体を前記第１開口から遠去かる方向
に移動させ、次いで前記駆動部により前記搬送体を復動
させて、前記軸部材を復動位置へと移動させて、弁解放
を終了させるようにしたことを特徴とする無摺動ゲート
バルブ、によって達成される。
第１開口、他側壁に第２開口を有する弁本体と、該弁本
体の内側にあって前記第１開口を閉じるための弁体と、
前記第２開口の縁部に気密に開口端部が固定され、前記
弁本体の外側に延び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁
体に一端が固定され、前記有底筒体内に挿入される軸部
材と、該軸部材に固定される永久磁石と、前記有底筒体
の外側に該有底筒体を挟んで相対向する一対の電磁石
と、該電磁石を取り付ける搬送体と、該搬送体に前記各
電磁石にそれぞれ対応して取り付けられた磁気センサ
と、前記搬送体を前記有底筒体の延在方向に沿って往復
動させる駆動部とを具備し、前記磁気センサの検出出力
により制御される前記各電磁石のコイルに流す電流の調
節により前記軸部材を静止浮遊状態とし、前記駆動部に
より前記搬送体を往動させて前記永久磁石の作る前記電
磁石との間の磁場を前記電磁石のコイルに流す電流を変
化させることにより変調させ、その結果生じた磁気吸引
力により前記軸部材を往動位置へと移動させて前記第１
開口と前記弁体を対向させ、次いで前記磁気センサの検
出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流の調節によ
って前記弁体を前記第１開口側に移動させて押圧させて
該第１開口を閉じ、該第１開口を開く時は前記磁気セン
サの検出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流の調
節によって、前記弁体を前記第１開口から遠去かる方向
に移動させ、次いで前記駆動部により前記搬送体を復動
させて、前記軸部材を復動位置へと移動させて、弁解放
を終了させるようにしたことを特徴とする無摺動ゲート
バルブ、によって達成される。
【００１８】又以上の目的は、側壁に第１開口、他側壁
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の内側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体に同心的にこの外方に配設される磁気
浮上部材と、該磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体
を挟んで相対向する一対の永久磁石と、前記有底筒体の
内側に配設される電磁石と、該電磁石を取り付ける搬送
体と、該搬送体に前記電磁石の近傍に取り付けられた磁
気センサと、前記搬送体を前記有底筒体の延在方向に沿
って往復動させる駆動部とを具備し、前記磁気センサの
検出出力により制御される前記電磁石のコイルに流す電
流の調節により前記磁気浮上部材を静止浮遊状態とし、
前記駆動部により前記搬送体を往動させて前記永久磁石
の作る前記電磁石との間の磁場を前記電磁石のコイルに
流す電流を変化させることにより変調させ、その結果生
じた磁気吸引力により前記磁気浮上部材を往動位置へと
移動させて前記弁体を前記第１開口と対向させ、次いで
前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコイルに
流す電流の調節によって前記弁体を前記第１開口側に移
動させて押圧させて該第１開口を閉じ、該第１開口を開
く時は前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコ
イルに流す電流の調節によって、前記弁体を前記第１開
口から遠去かる方向に移動させ、次いで前記駆動部によ
り前記搬送体を復動させて、前記磁気浮上部材を復動位
置へと移動させて、弁解放を終了させるようにしたこと
を特徴とする無摺動ゲートバルブ、によって達成され
る。
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の内側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体に同心的にこの外方に配設される磁気
浮上部材と、該磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体
を挟んで相対向する一対の永久磁石と、前記有底筒体の
内側に配設される電磁石と、該電磁石を取り付ける搬送
体と、該搬送体に前記電磁石の近傍に取り付けられた磁
気センサと、前記搬送体を前記有底筒体の延在方向に沿
って往復動させる駆動部とを具備し、前記磁気センサの
検出出力により制御される前記電磁石のコイルに流す電
流の調節により前記磁気浮上部材を静止浮遊状態とし、
前記駆動部により前記搬送体を往動させて前記永久磁石
の作る前記電磁石との間の磁場を前記電磁石のコイルに
流す電流を変化させることにより変調させ、その結果生
じた磁気吸引力により前記磁気浮上部材を往動位置へと
移動させて前記弁体を前記第１開口と対向させ、次いで
前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコイルに
流す電流の調節によって前記弁体を前記第１開口側に移
動させて押圧させて該第１開口を閉じ、該第１開口を開
く時は前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコ
イルに流す電流の調節によって、前記弁体を前記第１開
口から遠去かる方向に移動させ、次いで前記駆動部によ
り前記搬送体を復動させて、前記磁気浮上部材を復動位
置へと移動させて、弁解放を終了させるようにしたこと
を特徴とする無摺動ゲートバルブ、によって達成され
る。
【００１９】又以上の目的は、側壁に第１開口、他側壁
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の外側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体内に挿入される軸部材と、該軸部材に
固定される一対の永久磁石と、前記有底筒体の外側に該
有底筒体を挟んで相対向する一対の電磁石と、該電磁石
を取り付ける支持体と、該支持体に前記各電磁石にそれ
ぞれ対応して取り付けられた磁気センサと、前記支持体
を前記有底筒体の軸心のまわりに回動させる駆動部とを
具備し、前記磁気センサの検出出力により制御される前
記各電磁石のコイルに流す電流の調節により前記軸部材
を静止浮遊状態とし、前記駆動部により前記支持体を回
動させて前記永久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を
前記電磁石のコイルに流す電流を変化させることにより
変調させ、その結果生じた磁気吸引力により前記軸部材
を第１回転位置へと回動させて前記第１開口を前記弁体
により遮蔽させて弁閉状態とし、該第１開口を開く時は
前記駆動部により前記支持体を回動させて前記軸部材を
前記弁体が前記第１開口から遠去かる方向の第２回転位
置へと回動させて弁解放状態としたことを特徴とする無
摺動ゲートバルブ、によって達成される。
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の外側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体内に挿入される軸部材と、該軸部材に
固定される一対の永久磁石と、前記有底筒体の外側に該
有底筒体を挟んで相対向する一対の電磁石と、該電磁石
を取り付ける支持体と、該支持体に前記各電磁石にそれ
ぞれ対応して取り付けられた磁気センサと、前記支持体
を前記有底筒体の軸心のまわりに回動させる駆動部とを
具備し、前記磁気センサの検出出力により制御される前
記各電磁石のコイルに流す電流の調節により前記軸部材
を静止浮遊状態とし、前記駆動部により前記支持体を回
動させて前記永久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を
前記電磁石のコイルに流す電流を変化させることにより
変調させ、その結果生じた磁気吸引力により前記軸部材
を第１回転位置へと回動させて前記第１開口を前記弁体
により遮蔽させて弁閉状態とし、該第１開口を開く時は
前記駆動部により前記支持体を回動させて前記軸部材を
前記弁体が前記第１開口から遠去かる方向の第２回転位
置へと回動させて弁解放状態としたことを特徴とする無
摺動ゲートバルブ、によって達成される。
【００２０】又以上の目的は、側壁に第１開口、他側壁
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の内側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体に同心的にこの外方に配設される磁気
浮上部材と、該磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体
を挟んで相対向する一対の永久磁石と、前記有底筒体の
内側に配設される一対の電磁石と、該電磁石を取り付け
る支持体と、該支持体に前記各電磁石にそれぞれ対応し
て取り付けられた磁気センサと、前記支持体を前記有底
筒体の軸心のまわりに回動させる駆動部とを具備し、前
記磁気センサの検出出力により制御される前記電磁石の
コイルに流す電流の調節により前記磁気浮上部材を静止
浮遊状態とし、前記駆動部により前記支持体を回動させ
て前記永久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を前記電
磁石のコイルに流す電流を変化させることにより変調さ
せ、その結果生じた磁気吸引力により前記磁気浮上部材
を第回転位置へと回動させて前記電磁石の磁気と前記永
久磁石の磁気との間の磁気吸引力により前記磁気浮上部
材を第１回転位置へと回動させて前記第１開口を前記弁
体により遮蔽させて弁閉状態とし、該第１開口を開く時
は前記駆動部により前記支持体を回動させて前記磁気浮
上部材を前記弁体が前記第１開口から遠去かる方向の第
２回転位置へと回動させて弁解放状態としたことを特徴
とする無摺動ゲートバルブ、によって達成される。
に第２開口を有する弁本体と、該弁本体の内側にあって
前記第１開口を閉じるための弁体と、前記第２開口の縁
部に気密に開口端部が固定され、前記弁本体の内側に延
び非磁性材で成る有底筒体と、前記弁体に一端が固定さ
れ、前記有底筒体に同心的にこの外方に配設される磁気
浮上部材と、該磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体
を挟んで相対向する一対の永久磁石と、前記有底筒体の
内側に配設される一対の電磁石と、該電磁石を取り付け
る支持体と、該支持体に前記各電磁石にそれぞれ対応し
て取り付けられた磁気センサと、前記支持体を前記有底
筒体の軸心のまわりに回動させる駆動部とを具備し、前
記磁気センサの検出出力により制御される前記電磁石の
コイルに流す電流の調節により前記磁気浮上部材を静止
浮遊状態とし、前記駆動部により前記支持体を回動させ
て前記永久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を前記電
磁石のコイルに流す電流を変化させることにより変調さ
せ、その結果生じた磁気吸引力により前記磁気浮上部材
を第回転位置へと回動させて前記電磁石の磁気と前記永
久磁石の磁気との間の磁気吸引力により前記磁気浮上部
材を第１回転位置へと回動させて前記第１開口を前記弁
体により遮蔽させて弁閉状態とし、該第１開口を開く時
は前記駆動部により前記支持体を回動させて前記磁気浮
上部材を前記弁体が前記第１開口から遠去かる方向の第
２回転位置へと回動させて弁解放状態としたことを特徴
とする無摺動ゲートバルブ、によって達成される。
【００２１】
【作用】有底筒体の開口端部は弁本体の第２の開口に気
密に固定されているので、この内側と外側は真空及び大
気、又は大気及び真空として、これらを気密に画成する
ことができる。この有底筒体の内側又は外側で永久磁石
を取り付けた軸部材又は磁気浮上部材が有底筒体の外方
又は内方に配設された電磁石を支持させた搬送体又は支
持体の上下動又は回動によりこれに応じて磁気浮上して
いた軸部材又は磁気浮上部材が上下動し又は回動し、従
ってこの一端部に固定された弁体は、真空室内で上下動
し又は回動し、電磁石に流す電流を調節することによ
り、かつまたこれらに対応して設けられた磁気センサの
有底筒体内又は有底筒体外の永久磁石との距離を磁束密
度の変化により検出し、これにより電磁石に流す電流を
調節して弁体を第１開口に向って移動させ、又はこの開
口の周縁部にシールリングを介して押圧される。この押
圧力は電磁石のコイルに流す電流を調節することにより
容易に調節することができる。ベローズを用いていない
ので、弁の開閉毎にこのように伸縮する金属部材がなく
金属疲労で破損して金属粉が生ずるということがなく、
又弁体の第１開口に押圧する力を適度なものとすること
ができるので、装置寿命を大巾に向上させることができ
る。又、真空処理製品の品質を向上させることができ
る。
密に固定されているので、この内側と外側は真空及び大
気、又は大気及び真空として、これらを気密に画成する
ことができる。この有底筒体の内側又は外側で永久磁石
を取り付けた軸部材又は磁気浮上部材が有底筒体の外方
又は内方に配設された電磁石を支持させた搬送体又は支
持体の上下動又は回動によりこれに応じて磁気浮上して
いた軸部材又は磁気浮上部材が上下動し又は回動し、従
ってこの一端部に固定された弁体は、真空室内で上下動
し又は回動し、電磁石に流す電流を調節することによ
り、かつまたこれらに対応して設けられた磁気センサの
有底筒体内又は有底筒体外の永久磁石との距離を磁束密
度の変化により検出し、これにより電磁石に流す電流を
調節して弁体を第１開口に向って移動させ、又はこの開
口の周縁部にシールリングを介して押圧される。この押
圧力は電磁石のコイルに流す電流を調節することにより
容易に調節することができる。ベローズを用いていない
ので、弁の開閉毎にこのように伸縮する金属部材がなく
金属疲労で破損して金属粉が生ずるということがなく、
又弁体の第１開口に押圧する力を適度なものとすること
ができるので、装置寿命を大巾に向上させることができ
る。又、真空処理製品の品質を向上させることができ
る。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例による無摺動ゲートバ
ルブに関し、図面を参照して説明する。
ルブに関し、図面を参照して説明する。
【００２３】図１は本発明の第１実施例による無摺動ゲ
ートバルブを示すものであるが、図において、真空槽３
０の側壁部３０Ａ、３０Ｂには第１開口３０ａ及び第２
開口３０ｂが形成されており、第１開口３０ａには弁座
形成部材３１がシールリングＳを介在して図示するよう
に取り付けられている。これに対向して従来例と同様
に、長方形状の弁体３３がその外周縁部に形成した溝に
エラストマー等で成るシールリング３４を嵌着してい
て、弁座形成部材３１と当接して図示するような弁閉状
態をとることができる。
ートバルブを示すものであるが、図において、真空槽３
０の側壁部３０Ａ、３０Ｂには第１開口３０ａ及び第２
開口３０ｂが形成されており、第１開口３０ａには弁座
形成部材３１がシールリングＳを介在して図示するよう
に取り付けられている。これに対向して従来例と同様
に、長方形状の弁体３３がその外周縁部に形成した溝に
エラストマー等で成るシールリング３４を嵌着してい
て、弁座形成部材３１と当接して図示するような弁閉状
態をとることができる。
【００２４】真空槽３０の側壁部３０Ｂには第２の開口
３０ｂが形成されているのであるが、これに気密に非磁
性材で成る有底筒体３５の開口端部に形成されるフラン
ジ部が気密に固定されている。この軸心に沿って平板状
のシャフト４４が挿通されており、この上端部に上述の
弁体３３が固定されている。又、シャフト４４の両側に
は相対向して一対の永久磁石３６ａ、３６ｂ及びこれの
下方側にも所定の距離をおいて一対の永久磁石３７ａ、
３７ｂを固定させている。
３０ｂが形成されているのであるが、これに気密に非磁
性材で成る有底筒体３５の開口端部に形成されるフラン
ジ部が気密に固定されている。この軸心に沿って平板状
のシャフト４４が挿通されており、この上端部に上述の
弁体３３が固定されている。又、シャフト４４の両側に
は相対向して一対の永久磁石３６ａ、３６ｂ及びこれの
下方側にも所定の距離をおいて一対の永久磁石３７ａ、
３７ｂを固定させている。
【００２５】有底筒体３５と同心的にこの外方に電磁石
取付部材３９が配設されており、これは駆動部３８によ
り図において上下方向に駆動させられる。電磁石取付板
３９には、上述の永久磁石３６ａ、３６ｂに有底筒体３
５を挟んで対向するように、一対の電磁石４０ａ、４０
ｂが固定されており、又、下方の永久磁石３７ａ、３７
ｂに対向するように電磁石４１ａ、４１ｂが固定されて
いる。
取付部材３９が配設されており、これは駆動部３８によ
り図において上下方向に駆動させられる。電磁石取付板
３９には、上述の永久磁石３６ａ、３６ｂに有底筒体３
５を挟んで対向するように、一対の電磁石４０ａ、４０
ｂが固定されており、又、下方の永久磁石３７ａ、３７
ｂに対向するように電磁石４１ａ、４１ｂが固定されて
いる。
【００２６】上述の駆動部３８は電磁石取付板３９を上
下動させれば、如何なる駆動手段であってもよいが、例
えばエアシリンダにより上下動させてもよい。図２に
は、この更に具体的な駆動部と共に上述の電磁石４０
ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂの制御回路を示すが、次に
この具体的な駆動部及び制御回路について説明する。
下動させれば、如何なる駆動手段であってもよいが、例
えばエアシリンダにより上下動させてもよい。図２に
は、この更に具体的な駆動部と共に上述の電磁石４０
ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂの制御回路を示すが、次に
この具体的な駆動部及び制御回路について説明する。
【００２７】先ず、図１においては抽象的に示した駆動
部３８について詳細を述べる。これは主としてモータ５
０を含み、この駆動軸５０ａの上端部は有底筒体３５の
底壁部に固定された軸受部材５５、例えばベアリングに
軸受されている。このアウターレースが有底筒体３５、
インナーレースが駆動軸５０ａに固定されている。従っ
て、駆動軸５０ａの回転により有底筒体３５は回転しな
い。又、この中間部においてその貫通孔の内壁のねじを
に駆動軸５０ａのねじに噛合させた駆動ブロック５３が
係合しており、これは両端部において連結アーム５４を
介して取付フレームＦに固定されている。静止側のフレ
ームＧはモータ取付板５１、支持柱５２などにより形成
されるが、この取付板５１にリニアガイド５６が設けら
れ、これにより取付フレームＦは上下方向に正確に移動
するように構成されている。
部３８について詳細を述べる。これは主としてモータ５
０を含み、この駆動軸５０ａの上端部は有底筒体３５の
底壁部に固定された軸受部材５５、例えばベアリングに
軸受されている。このアウターレースが有底筒体３５、
インナーレースが駆動軸５０ａに固定されている。従っ
て、駆動軸５０ａの回転により有底筒体３５は回転しな
い。又、この中間部においてその貫通孔の内壁のねじを
に駆動軸５０ａのねじに噛合させた駆動ブロック５３が
係合しており、これは両端部において連結アーム５４を
介して取付フレームＦに固定されている。静止側のフレ
ームＧはモータ取付板５１、支持柱５２などにより形成
されるが、この取付板５１にリニアガイド５６が設けら
れ、これにより取付フレームＦは上下方向に正確に移動
するように構成されている。
【００２８】磁気センサｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ4 はそれ
ぞれ電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂに対応して
取付フレームＦに取り付けられているが、これらの検出
出力端子は比較器もしくは加算器６１、６２、６３、６
４のマイナス入力端子に接続されており、又第１入力設
定用のプラス端子には、ギャップ設定器７７の出力端子
がそれぞれ接続され、又ギャップ可変器７８の出力端子
がスイッチＳ1 を介して加算器６２の第２のプラス入力
端子か加算器６１の第２のプラス入力端子かに供給さ
れ、加算器６３には直接接続されている。ギャップ可変
器７８の出力は反転器７９により反転され、その出力
は、加算器６４の第２のプラス入力端子に供給されると
共にスイッチＳ2 を介して加算器６１か６２の第２のプ
ラス入力端子に供給される。スイッチＳ1 、Ｓ2 の可動
接点は、弁開閉操作に応じて固定接点ａ又はｂに切り換
えられる（ａ側が並進運動、ｂ側が傾動）。加算器６
１、６２には、ギャップ可変器７８の出力がそのまま供
給されるか、あるいは反転されて供給されるように構成
されている。加算器６１、６２、６３及び６４の出力は
ＰＩＤ制御器（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ Ｉｎｔｅｇ
ｒａｌ ａｎｄ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｃｏｎｔ
ｒｏｌ回路）６５、６６、６７及び６８に供給され、こ
の出力は増巾器６９、７０、７１及び７２に供給され、
この増巾出力が電流制限器７３、７４、７５及び７６に
供給され、この出力はそれぞれ電磁石４０ｂ、４０ａ、
４１ａ、４１ｂに供給される。すなわち、センサー加算
器−ＰＩＤ制御器−電流制限器付電流増巾器−電磁石か
らなるフィードバック制御系が構成されており、ギャッ
プ設定器７７とギャップ可変器７８で定まるギャップ指
令値で弁体３３が静止浮上するようになっている。
ぞれ電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂに対応して
取付フレームＦに取り付けられているが、これらの検出
出力端子は比較器もしくは加算器６１、６２、６３、６
４のマイナス入力端子に接続されており、又第１入力設
定用のプラス端子には、ギャップ設定器７７の出力端子
がそれぞれ接続され、又ギャップ可変器７８の出力端子
がスイッチＳ1 を介して加算器６２の第２のプラス入力
端子か加算器６１の第２のプラス入力端子かに供給さ
れ、加算器６３には直接接続されている。ギャップ可変
器７８の出力は反転器７９により反転され、その出力
は、加算器６４の第２のプラス入力端子に供給されると
共にスイッチＳ2 を介して加算器６１か６２の第２のプ
ラス入力端子に供給される。スイッチＳ1 、Ｓ2 の可動
接点は、弁開閉操作に応じて固定接点ａ又はｂに切り換
えられる（ａ側が並進運動、ｂ側が傾動）。加算器６
１、６２には、ギャップ可変器７８の出力がそのまま供
給されるか、あるいは反転されて供給されるように構成
されている。加算器６１、６２、６３及び６４の出力は
ＰＩＤ制御器（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ Ｉｎｔｅｇ
ｒａｌ ａｎｄ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｃｏｎｔ
ｒｏｌ回路）６５、６６、６７及び６８に供給され、こ
の出力は増巾器６９、７０、７１及び７２に供給され、
この増巾出力が電流制限器７３、７４、７５及び７６に
供給され、この出力はそれぞれ電磁石４０ｂ、４０ａ、
４１ａ、４１ｂに供給される。すなわち、センサー加算
器−ＰＩＤ制御器−電流制限器付電流増巾器−電磁石か
らなるフィードバック制御系が構成されており、ギャッ
プ設定器７７とギャップ可変器７８で定まるギャップ指
令値で弁体３３が静止浮上するようになっている。
【００２９】本発明の第１実施例は以上のように構成さ
れるが、次にこの作用について説明する。
れるが、次にこの作用について説明する。
【００３０】図１は弁体３３が開口３０ａを閉塞状態、
すなわち弁閉状態を示しているが、通常は弁が開口して
いる、すなわち弁体３３は図において所定距離左方に移
動した後、下方に所定距離移動した位置にある。すなわ
ち、弁体３３は開口３０ａから下方へと充分に離れてい
ることにより、真空処理室Ｃと搬送室もしくは仕込・取
出室Ｖとの間で真空処理すべき種々のワーク、例えばデ
ィスクが出し入れされるのであるが、この後、弁閉状態
にする動作について説明する。弁開状態においてはシャ
フト４４が図１の状態より下方にあり、又、取付部材３
９に取り付けられた電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４
１ｂもこれと共に下方にあり、永久磁石３６ａ、３６
ｂ、３７ａ、３７ｂと相対向している。
すなわち弁閉状態を示しているが、通常は弁が開口して
いる、すなわち弁体３３は図において所定距離左方に移
動した後、下方に所定距離移動した位置にある。すなわ
ち、弁体３３は開口３０ａから下方へと充分に離れてい
ることにより、真空処理室Ｃと搬送室もしくは仕込・取
出室Ｖとの間で真空処理すべき種々のワーク、例えばデ
ィスクが出し入れされるのであるが、この後、弁閉状態
にする動作について説明する。弁開状態においてはシャ
フト４４が図１の状態より下方にあり、又、取付部材３
９に取り付けられた電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４
１ｂもこれと共に下方にあり、永久磁石３６ａ、３６
ｂ、３７ａ、３７ｂと相対向している。
【００３１】すなわち、図２において通常ギャップ可変
器７８の出力は０Ｖとしてギャップ設定器７７からはシ
ャフト４４が有底筒体３５の中心軸上にあるように、永
久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂによる磁束密度
と電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂの電流によっ
て制御された空間磁束密度により空中に静止した浮遊状
態をとらせる設定値が加算器６１、６２、６３、６４に
供給され、磁気センサｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ4 により監
視制御されている。すなわち、磁気センサｈ1、ｈ2 、
ｈ3 、ｈ4 により有底筒体３５内の永久磁石３６ａ、３
６ｂ、３７ａ、３７ｂからの磁束（又は永久磁石３６
ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂとは別に設けた磁気センサ
ｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ4 用の永久磁石からの磁束でもよ
い）を検出し、これがギャップ設定器７７により設定さ
れた値と比較して、所定の位置にない時には、電磁石４
０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂのコイルに流す電流を、
加算器６１、６２、６３、６４の出力をＰＩＤ制御回路
６５、６６、６７、６８に供給し、これを増巾器６９、
７０、７１、７２により増巾して、電流制限器７３、７
４、７５、７６を介して調節し、安定な浮遊状態をとら
せることができる。弁開閉にあたっては、モータ５０が
駆動され、駆動軸５０ａが回転するとこれに係合する駆
動ブロック５３が駆動軸５０ａの回転方向に応じて上下
動するのであるが、今、上昇し、これにより取付フレー
ムＦ（図１の部材３９に対応する）も上昇する。従っ
て、これに取り付けられた電磁石４０ａ、４０ｂ、４１
ａ、４１ｂも上昇する。これにより、有底筒体３５内の
永久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂとの間の磁気
吸引力により、シャフト４４も上昇し、弁体３３が図１
において第１開口３０ａに対向する位置になると、モー
タ５０を停止する。次いで、ギャップ可変器７８の電圧
を徐々に０Ｖより増加させると、ギャップ指令値は、一
方は増加、他方は減少となり、その指令値と、それぞれ
の磁気センサｈ1 、ｈ 2 、ｈ3 、ｈ4 の出力との差によ
り永久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂと電磁石４
０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂとの距離が所定値になる
ように、例えばスイッチＳ1 、Ｓ2 がａ側にあれば、す
なわちシャフト４４は磁気吸引力の大きい方の電磁石４
０ａ、４１ａ側へと並進運動し、よって弁体３３が図１
に示すように、弁座形成部材３１に圧接する。なお、こ
の圧接力は電流制御器７４、７５の制限値によって定ま
り、理想的な押圧力で弁閉となる。弁体３３を開口３０
ａから離座する、すなわち、弁開作用について次に説明
する。
器７８の出力は０Ｖとしてギャップ設定器７７からはシ
ャフト４４が有底筒体３５の中心軸上にあるように、永
久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂによる磁束密度
と電磁石４０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂの電流によっ
て制御された空間磁束密度により空中に静止した浮遊状
態をとらせる設定値が加算器６１、６２、６３、６４に
供給され、磁気センサｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ4 により監
視制御されている。すなわち、磁気センサｈ1、ｈ2 、
ｈ3 、ｈ4 により有底筒体３５内の永久磁石３６ａ、３
６ｂ、３７ａ、３７ｂからの磁束（又は永久磁石３６
ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂとは別に設けた磁気センサ
ｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ4 用の永久磁石からの磁束でもよ
い）を検出し、これがギャップ設定器７７により設定さ
れた値と比較して、所定の位置にない時には、電磁石４
０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂのコイルに流す電流を、
加算器６１、６２、６３、６４の出力をＰＩＤ制御回路
６５、６６、６７、６８に供給し、これを増巾器６９、
７０、７１、７２により増巾して、電流制限器７３、７
４、７５、７６を介して調節し、安定な浮遊状態をとら
せることができる。弁開閉にあたっては、モータ５０が
駆動され、駆動軸５０ａが回転するとこれに係合する駆
動ブロック５３が駆動軸５０ａの回転方向に応じて上下
動するのであるが、今、上昇し、これにより取付フレー
ムＦ（図１の部材３９に対応する）も上昇する。従っ
て、これに取り付けられた電磁石４０ａ、４０ｂ、４１
ａ、４１ｂも上昇する。これにより、有底筒体３５内の
永久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂとの間の磁気
吸引力により、シャフト４４も上昇し、弁体３３が図１
において第１開口３０ａに対向する位置になると、モー
タ５０を停止する。次いで、ギャップ可変器７８の電圧
を徐々に０Ｖより増加させると、ギャップ指令値は、一
方は増加、他方は減少となり、その指令値と、それぞれ
の磁気センサｈ1 、ｈ 2 、ｈ3 、ｈ4 の出力との差によ
り永久磁石３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂと電磁石４
０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂとの距離が所定値になる
ように、例えばスイッチＳ1 、Ｓ2 がａ側にあれば、す
なわちシャフト４４は磁気吸引力の大きい方の電磁石４
０ａ、４１ａ側へと並進運動し、よって弁体３３が図１
に示すように、弁座形成部材３１に圧接する。なお、こ
の圧接力は電流制御器７４、７５の制限値によって定ま
り、理想的な押圧力で弁閉となる。弁体３３を開口３０
ａから離座する、すなわち、弁開作用について次に説明
する。
【００３２】先ず、切換スイッチＳ1 、Ｓ2 がその可動
接点を固定接点ｂ側に切り換える。ギャップ可変器７８
の出力電圧を０Ｖより徐々に減少させると各指令値が変
化する。この指令値と磁気センサｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ
4 の検出値の差により、電磁石４０ａ４１ｂの電磁コイ
ルに流す電流は電磁石４０ｂ、４１ａの電磁コイルに流
す電流より小とされ、従ってシャフト４４は図２におい
て、その上方側が左方へと、又下方側が右方へと傾動
し、よって弁体３３は弁座形成部材３１から離座する。
この後、モータ５０を駆動させると、駆動軸５０ａは上
昇時とは逆方向に回転することにより取付フレームＦは
下方へと移動する。これにより、シャフト４４は下方へ
と移動するのであるが、この移動開始前にギャップ可変
器７８からの出力は０Ｖに戻しており、従って直立した
状態を保ちながら下方へと移動し、所定の位置で停止す
る。
接点を固定接点ｂ側に切り換える。ギャップ可変器７８
の出力電圧を０Ｖより徐々に減少させると各指令値が変
化する。この指令値と磁気センサｈ1 、ｈ2 、ｈ3 、ｈ
4 の検出値の差により、電磁石４０ａ４１ｂの電磁コイ
ルに流す電流は電磁石４０ｂ、４１ａの電磁コイルに流
す電流より小とされ、従ってシャフト４４は図２におい
て、その上方側が左方へと、又下方側が右方へと傾動
し、よって弁体３３は弁座形成部材３１から離座する。
この後、モータ５０を駆動させると、駆動軸５０ａは上
昇時とは逆方向に回転することにより取付フレームＦは
下方へと移動する。これにより、シャフト４４は下方へ
と移動するのであるが、この移動開始前にギャップ可変
器７８からの出力は０Ｖに戻しており、従って直立した
状態を保ちながら下方へと移動し、所定の位置で停止す
る。
【００３３】図３は本発明の第２実施例による無摺動ゲ
ートバルブを示すものであるが、図において弁体８０は
第１実施例と同様な形状を有するが、本実施例ではシャ
フト８１の軸心のまわりに矢印で示すように回動する。
図においては開放位置をとっているが、弁閉状態にする
時には図において時計方向に回動し、第１開口を遮蔽す
るように構成されている。本実施例のシャフト８１は断
面が正方形であり、この各側面に永久磁石８３ａ、８３
ｂ、８３ｃ、８３ｄが取り付けられており、この下方に
同様に永久磁石８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄが固定
されている。有底筒体８２の外方にはこれと同心的に電
磁石８４ａ、８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ及び８６ａ、８６
ｂ、８６ｃ、８６ｄが回動可能なフレームＦに取り付け
られており、これはモータ８９によりシャフト８１の軸
心のまわりに回動させる。よって第１開口３０ａが閉じ
られる。逆回転すれば弁開となる。本実施例においても
第１実施例と同様な効果を奏することは明らかである。
ートバルブを示すものであるが、図において弁体８０は
第１実施例と同様な形状を有するが、本実施例ではシャ
フト８１の軸心のまわりに矢印で示すように回動する。
図においては開放位置をとっているが、弁閉状態にする
時には図において時計方向に回動し、第１開口を遮蔽す
るように構成されている。本実施例のシャフト８１は断
面が正方形であり、この各側面に永久磁石８３ａ、８３
ｂ、８３ｃ、８３ｄが取り付けられており、この下方に
同様に永久磁石８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄが固定
されている。有底筒体８２の外方にはこれと同心的に電
磁石８４ａ、８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ及び８６ａ、８６
ｂ、８６ｃ、８６ｄが回動可能なフレームＦに取り付け
られており、これはモータ８９によりシャフト８１の軸
心のまわりに回動させる。よって第１開口３０ａが閉じ
られる。逆回転すれば弁開となる。本実施例においても
第１実施例と同様な効果を奏することは明らかである。
【００３４】図４は本発明の第３実施例による無摺動ゲ
ートバルブを示すが、弁体８０’と第１開口３０ａとの
関係及びシャフト８１や有底筒体８２が横向きであるこ
とを除いては第２実施例と同様であるので、第２実施例
と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細
な説明は省略する。すなわち、本実施例においてもシャ
フト８１の軸心のまわりに弁体８０’が回動するのであ
るが、第１実施例とは異なり、その長手方向がシャフト
の軸心と平行であり、この軸心のまわりに回動する。従
って、弁体８０’は今、閉じた状態を示しているのであ
るが、この弁体８０’が開口３０ａの高さより充分、大
きな巾をもっておれば、図示した状態から９０度以上回
動させることにより、開口３０ａを充分に解放させ得る
ことは明らかである。
ートバルブを示すが、弁体８０’と第１開口３０ａとの
関係及びシャフト８１や有底筒体８２が横向きであるこ
とを除いては第２実施例と同様であるので、第２実施例
と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細
な説明は省略する。すなわち、本実施例においてもシャ
フト８１の軸心のまわりに弁体８０’が回動するのであ
るが、第１実施例とは異なり、その長手方向がシャフト
の軸心と平行であり、この軸心のまわりに回動する。従
って、弁体８０’は今、閉じた状態を示しているのであ
るが、この弁体８０’が開口３０ａの高さより充分、大
きな巾をもっておれば、図示した状態から９０度以上回
動させることにより、開口３０ａを充分に解放させ得る
ことは明らかである。
【００３５】図５は本発明の第４実施例による無摺動ゲ
ートバルブを示すものであるが、図において、弁体９０
は上記実施例と同様な形状を呈するが、これにシャフト
９１が固定されており、これにリング状の永久磁石取付
板９３、９４が固定されており、これらリング状の取付
板９３、９４の内側に９０度間隔で永久磁石９５ａ、９
５ｂ、９５ｃ、９５ｄ及び９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９
６ｄが固定されている。そしてこれらに同心的に内側に
有底筒体９７が上記実施例とは逆さまにした状態で挿通
して真空槽の側壁部９８に固定されている。すなわち、
これには開口９８ａが形成されているが、これを介して
大気側と連通しており、搬送室もしくは仕込・取出室Ｖ
内に有底筒体９７が突出してこの内側の大気と搬送室も
しくは仕込・取出室Ｖの真空とを画成している。有底筒
体９７内には、永久磁石９５ａ、９５ｂ、９５ｃ、９５
ｄ及び９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９６ｄと対向して断面
が正方形状のシャフトの各側面に電磁石が固定されてい
る。本実施例においても、上記実施例と同様な効果を奏
することは明らかである。
ートバルブを示すものであるが、図において、弁体９０
は上記実施例と同様な形状を呈するが、これにシャフト
９１が固定されており、これにリング状の永久磁石取付
板９３、９４が固定されており、これらリング状の取付
板９３、９４の内側に９０度間隔で永久磁石９５ａ、９
５ｂ、９５ｃ、９５ｄ及び９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９
６ｄが固定されている。そしてこれらに同心的に内側に
有底筒体９７が上記実施例とは逆さまにした状態で挿通
して真空槽の側壁部９８に固定されている。すなわち、
これには開口９８ａが形成されているが、これを介して
大気側と連通しており、搬送室もしくは仕込・取出室Ｖ
内に有底筒体９７が突出してこの内側の大気と搬送室も
しくは仕込・取出室Ｖの真空とを画成している。有底筒
体９７内には、永久磁石９５ａ、９５ｂ、９５ｃ、９５
ｄ及び９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９６ｄと対向して断面
が正方形状のシャフトの各側面に電磁石が固定されてい
る。本実施例においても、上記実施例と同様な効果を奏
することは明らかである。
【００３６】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００３７】例えば、以上の実施例では、永久磁石は対
にして複数個用いたが、リング状の永久磁石を有底筒体
の内部に配設した場合には、これと同心的に外側に配設
される電磁石のみをこれに対向して一対設けるようにし
てもよい。
にして複数個用いたが、リング状の永久磁石を有底筒体
の内部に配設した場合には、これと同心的に外側に配設
される電磁石のみをこれに対向して一対設けるようにし
てもよい。
【００３８】又、以上の実施例では、電磁石を取り付け
る取付部材を上下動させるのに、エアシリンダ又はモー
タのねじを切った駆動軸を用いたが、これらに代えてリ
ニアモータを用いてもよい。この場合には、電磁石取付
板に所定のピッチで歯を形成し、これに空隙をおいて複
数の電磁コイル及び永久磁石で成る駆動側（ステータ）
を配設し、これのコイルに流す電流を切り換えてこの電
磁石取付部材を上下動させるようにしてもよい。
る取付部材を上下動させるのに、エアシリンダ又はモー
タのねじを切った駆動軸を用いたが、これらに代えてリ
ニアモータを用いてもよい。この場合には、電磁石取付
板に所定のピッチで歯を形成し、これに空隙をおいて複
数の電磁コイル及び永久磁石で成る駆動側（ステータ）
を配設し、これのコイルに流す電流を切り換えてこの電
磁石取付部材を上下動させるようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の無摺動ゲー
トバルブによれば、ベローズを用いていないので、頻繁
に弁の開閉を繰り返したとしても、金属疲労により金属
ダストが生ずることなく、装置の寿命を向上させるのみ
ならず、弁体の弁座への押圧力を電気的に調節すること
ができるので、理想的な押圧とさせてこれに関連する部
品、例えばシールリングや弁体や弁座形成部材の寿命を
大巾に向上させることができる。よって、装置寿命は従
来と比べて大巾に向上させることができる。
トバルブによれば、ベローズを用いていないので、頻繁
に弁の開閉を繰り返したとしても、金属疲労により金属
ダストが生ずることなく、装置の寿命を向上させるのみ
ならず、弁体の弁座への押圧力を電気的に調節すること
ができるので、理想的な押圧とさせてこれに関連する部
品、例えばシールリングや弁体や弁座形成部材の寿命を
大巾に向上させることができる。よって、装置寿命は従
来と比べて大巾に向上させることができる。
【図１】本発明の第１実施例による無摺動ゲートバルブ
の要部の断面図である。
の要部の断面図である。
【図２】上記ゲートバルブの具体的構成と共にこれを駆
動するための回路を示す図である。
動するための回路を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例による無摺動ゲートバルブ
の部分破断斜視図である。
の部分破断斜視図である。
【図４】本発明の第３実施例による無摺動ゲートバルブ
の要部の部分斜視図である。
の要部の部分斜視図である。
【図５】本発明の第３実施例による無摺動ゲートバルブ
の要部の斜視図である。
の要部の斜視図である。
【図６】従来例の無摺動ゲートバルブの部分破断正面図
である。
である。
【図７】図６における［７］−［７］線方向の断面図で
ある。
ある。
３０ａ 第１開口 ３０ｂ 第２開口 ３１ 弁座形成部材 ３３ 弁体 ３４ シールリング ３５ 有底筒体 ３６ａ 永久磁石 ３６ｂ 永久磁石 ３７ａ 永久磁石 ３７ｄ 永久磁石 ４０ａ 電磁石 ４０ｂ 電磁石 ４１ａ 電磁石 ４１ｂ 電磁石 ４４ シャフト ８０ 弁体 ８１ シャフト ８１’ 弁体 ８３ａ 永久磁石 ８３ｂ 永久磁石 ８３ｃ 永久磁石 ８３ｄ 永久磁石 ８４ａ 電磁石 ８４ｂ 電磁石 ８４ｃ 電磁石 ８４ｄ 電磁石 ８５ａ 永久磁石 ８５ｂ 永久磁石 ８５ｃ 永久磁石 ８５ｄ 永久磁石 ８６ａ 電磁石 ８６ｂ 電磁石 ８６ｃ 電磁石 ８６ｄ 電磁石 ９１ シャフト ｈ1 磁気センサ ｈ2 磁気センサ ｈ3 磁気センサ ｈ4 磁気センサ
Claims (4)
- 【請求項１】 側壁に第１開口、他側壁に第２開口を有
する弁本体と、該弁本体の内側にあって前記第１開口を
閉じるための弁体と、前記第２開口の縁部に気密に開口
端部が固定され、前記弁本体の外側に延び非磁性材で成
る有底筒体と、前記弁体に一端が固定され、前記有底筒
体内に挿入される軸部材と、該軸部材に固定される永久
磁石と、前記有底筒体の外側に該有底筒体を挟んで相対
向する一対の電磁石と、該電磁石を取り付ける搬送体
と、該搬送体に前記各電磁石にそれぞれ対応して取り付
けられた磁気センサと、前記搬送体を前記有底筒体の延
在方向に沿って往復動させる駆動部とを具備し、前記磁
気センサの検出出力により制御される前記各電磁石のコ
イルに流す電流の調節により前記軸部材を静止浮遊状態
とし、前記駆動部により前記搬送体を往動させて前記永
久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を前記電磁石のコ
イルに流す電流を変化させることにより変調させ、その
結果生じた磁気吸引力により前記軸部材を往動位置へと
移動させて前記第１開口と前記弁体を対向させ、次いで
前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコイルに
流す電流の調節によって前記弁体を前記第１開口側に移
動させて押圧させて該第１開口を閉じ、該第１開口を開
く時は前記磁気センサの検出出力と、前記各電磁石のコ
イルに流す電流の調節によって、前記弁体を前記第１開
口から遠去かる方向に移動させ、次いで前記駆動部によ
り前記搬送体を復動させて、前記軸部材を復動位置へと
移動させて、弁解放を終了させるようにしたことを特徴
とする無摺動ゲートバルブ。 - 【請求項２】 側壁に第１開口、他側壁に第２開口を有
する弁本体と、該弁本体の内側にあって前記第１開口を
閉じるための弁体と、前記第２開口の縁部に気密に開口
端部が固定され、前記弁本体の内側に延び非磁性材で成
る有底筒体と、前記弁体に一端が固定され、前記有底筒
体に同心的にこの外方に配設される磁気浮上部材と、該
磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体を挟んで相対向
する一対の永久磁石と、前記有底筒体の内側に配設され
る電磁石と、該電磁石を取り付ける搬送体と、該搬送体
に前記電磁石の近傍に取り付けられた磁気センサと、前
記搬送体を前記有底筒体の延在方向に沿って往復動させ
る駆動部とを具備し、前記磁気センサの検出出力により
制御される前記電磁石のコイルに流す電流の調節により
前記磁気浮上部材を静止浮遊状態とし、前記駆動部によ
り前記搬送体を往動させて前記永久磁石の作る前記電磁
石との間の磁場を前記電磁石のコイルに流す電流を変化
させることにより変調させ、その結果生じた磁気吸引力
により前記磁気浮上部材を往動位置へと移動させて前記
弁体を前記第１開口と対向させ、次いで前記磁気センサ
の検出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流の調節
によって前記弁体を前記第１開口側に移動させて押圧さ
せて該第１開口を閉じ、該第１開口を開く時は前記磁気
センサの検出出力と、前記各電磁石のコイルに流す電流
の調節によって、前記弁体を前記第１開口から遠去かる
方向に移動させ、次いで前記駆動部により前記搬送体を
復動させて、前記磁気浮上部材を復動位置へと移動させ
て、弁解放を終了させるようにしたことを特徴とする無
摺動ゲートバルブ。 - 【請求項３】 側壁に第１開口、他側壁に第２開口を有
する弁本体と、該弁本体の内側にあって前記第１開口を
閉じるための弁体と、前記第２開口の縁部に気密に開口
端部が固定され、前記弁本体の外側に延び非磁性材で成
る有底筒体と、前記弁体に一端が固定され、前記有底筒
体内に挿入される軸部材と、該軸部材に固定される一対
の永久磁石と、前記有底筒体の外側に該有底筒体を挟ん
で相対向する一対の電磁石と、該電磁石を取り付ける支
持体と、該支持体に前記各電磁石にそれぞれ対応して取
り付けられた磁気センサと、前記支持体を前記有底筒体
の軸心のまわりに回動させる駆動部とを具備し、前記磁
気センサの検出出力により制御される前記各電磁石のコ
イルに流す電流の調節により前記軸部材を静止浮遊状態
とし、前記駆動部により前記支持体を回動させて前記永
久磁石の作る前記電磁石との間の磁場を前記電磁石のコ
イルに流す電流を変化させることにより変調させ、その
結果生じた磁気吸引力により前記軸部材を第１回転位置
へと回動させて前記第１開口を前記弁体により遮蔽させ
て弁閉状態とし、該第１開口を開く時は前記駆動部によ
り前記支持体を回動させて前記軸部材を前記弁体が前記
第１開口から遠去かる方向の第２回転位置へと回動させ
て弁解放状態としたことを特徴とする無摺動ゲートバル
ブ。 - 【請求項４】 側壁に第１開口、他側壁に第２開口を有
する弁本体と、該弁本体の内側にあって前記第１開口を
閉じるための弁体と、前記第２開口の縁部に気密に開口
端部が固定され、前記弁本体の内側に延び非磁性材で成
る有底筒体と、前記弁体に一端が固定され、前記有底筒
体に同心的にこの外方に配設される磁気浮上部材と、該
磁気浮上部材に固定され、前記有底筒体を挟んで相対向
する一対の永久磁石と、前記有底筒体の内側に配設され
る一対の電磁石と、該電磁石を取り付ける支持体と、該
支持体に前記各電磁石にそれぞれ対応して取り付けられ
た磁気センサと、前記支持体を前記有底筒体の軸心のま
わりに回動させる駆動部とを具備し、前記磁気センサの
検出出力により制御される前記電磁石のコイルに流す電
流の調節により前記磁気浮上部材を静止浮遊状態とし、
前記駆動部により前記支持体を回動させて前記永久磁石
の作る前記電磁石との間の磁場を前記電磁石のコイルに
流す電流を変化させることにより変調させ、その結果生
じた磁気吸引力により前記磁気浮上部材を第回転位置へ
と回動させて前記電磁石の磁気と前記永久磁石の磁気と
の間の磁気吸引力により前記磁気浮上部材を第１回転位
置へと回動させて前記第１開口を前記弁体により遮蔽さ
せて弁閉状態とし、該第１開口を開く時は前記駆動部に
より前記支持体を回動させて前記磁気浮上部材を前記弁
体が前記第１開口から遠去かる方向の第２回転位置へと
回動させて弁解放状態としたことを特徴とする無摺動ゲ
ートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5350099A JPH07190228A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 無摺動ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5350099A JPH07190228A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 無摺動ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190228A true JPH07190228A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18408232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5350099A Pending JPH07190228A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 無摺動ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190228A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010534302A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブの制御方法 |
| KR101286824B1 (ko) * | 2012-06-26 | 2013-07-17 | 이천용 | 반도체 및 엘시디 제조설비의 게이트 밸브 |
| KR20170002462A (ko) * | 2014-06-10 | 2017-01-06 | 메카트로닉스 아게 | 진공 챔버용 폐쇄 또는 에어록 장치 |
| CN111140562A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-05-12 | 浙江工业大学 | 带静压支撑的插装式二维磁悬浮伺服比例阀 |
| JP2020101213A (ja) * | 2018-12-20 | 2020-07-02 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブおよびバルブ制御装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5350099A patent/JPH07190228A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010534302A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブの制御方法 |
| KR101286824B1 (ko) * | 2012-06-26 | 2013-07-17 | 이천용 | 반도체 및 엘시디 제조설비의 게이트 밸브 |
| KR20170002462A (ko) * | 2014-06-10 | 2017-01-06 | 메카트로닉스 아게 | 진공 챔버용 폐쇄 또는 에어록 장치 |
| CN106461120A (zh) * | 2014-06-10 | 2017-02-22 | 麦卡特罗尼克斯股份公司 | 用于真空腔的封闭装置或闸门装置 |
| JP2017523354A (ja) * | 2014-06-10 | 2017-08-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空室用の閉鎖またはエアロック装置 |
| CN106461120B (zh) * | 2014-06-10 | 2019-05-07 | 应用材料公司 | 用于真空腔的封闭装置 |
| JP2020101213A (ja) * | 2018-12-20 | 2020-07-02 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブおよびバルブ制御装置 |
| CN111140562A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-05-12 | 浙江工业大学 | 带静压支撑的插装式二维磁悬浮伺服比例阀 |
| CN111140562B (zh) * | 2019-12-25 | 2024-06-11 | 浙江工业大学 | 带静压支撑的插装式二维磁悬浮伺服比例阀 |
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