JP5332710B2

JP5332710B2 - 平面研削盤の反転テーブル装置

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Publication number: JP5332710B2
Application number: JP2009039352A
Authority: JP
Inventors: 道子馬場
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-02-23
Filing date: 2009-02-23
Publication date: 2013-11-06
Anticipated expiration: 2029-02-23
Also published as: JP2010194626A

Description

本発明は、平面研削盤の反転テーブル装置に関するものである。

平面研削盤とは、研削すべきワークを搭載した反転テーブルを水平な一方向へ往復移動させるようにした反転テーブル装置を有しており、回転している砥石が下降することによって往復移動している反転テーブル上のワークを研削するようにしたものである。

従来の平面研削盤の反転テーブル装置としては、前記反転テーブルを直動型の油圧シリンダの伸縮によって往復移動させるようにしたものがある（特許文献１参照）。

又、前記したような反転テーブル装置としては、モータによりベルトを介して回転されるようにした回転体に偏心ピンを設け、該偏心ピンに長孔を介して嵌合させた反転テーブルを設け、前記回転体の回転により偏心ピン及び長孔を介して反転テーブルを一方向に往復移動させるようにしたものもある。

特開２００２−３６１５５２号公報

従来から実施されている通常の平面研削盤では反転テーブルの反復数は１５〜２０ｃｐm（約０．３Ｈｚ）程度と低いものとなっており、一方、前記したように駆動機構にベルトを介在して反転テーブルを往復移動させるようにした平面研削盤においては、高速化を図ろうとしてもベルトによる動力の伝達性能に限界があるために、反転テーブルの反復数は２００ｃｐm（約４Ｈｚ）程度、移動ストローク長は５０ｍｍ程度が限度であった。

更に、前記したようにベルトを介在させた平面研削盤では、反転テーブルの往復移動を高速化した場合に前記ベルトが耐久性の面で問題を生じる虞があり、更に、反転テーブルの往復移動を高速化しようとした場合には反転テーブルが振動を生じる問題があり、反転テーブルが振動するとワークの加工精度に悪影響を与えたり、更には、動力を伝達するための回動部或いは摺動部等の構成部分が振動によって損耗し装置の寿命が著しく短縮するといった問題を有していた。

近年、平面研削盤によるワーク研削の生産性を高めるために、反転テーブルの往復移動速度を大幅に増大させることが望まれているが、従来、このような要望に応えられるものは存在しなかった。

本発明は、斯かる実情に鑑み、反転テーブルの往復移動速度を大幅に高めることができ、且つ反転テーブルに起因する振動を抑制し得る平面研削盤の反転テーブル装置を提供しようとするものである。

本発明は、駆動モータと、該駆動モータの駆動軸に歯車伝達機構を介して接続される回転軸と、該回転軸の端部に備えた偏心ピンと、該偏心ピンに長孔を介して嵌合し前記回転軸の回転により偏心ピン及び長孔を介して固定架台上の一方向に往復移動する反転テーブルと、該反転テーブルの移動を案内する直動案内部と、前記反転テーブルの往復移動に伴う前記固定架台の振動を抑制する方向へ移動自在に配設されるカウンタウェイトとを有し、
前記カウンタウェイトを反転テーブルの移動方向と平行な方向へ駆動するウェイト用駆動モータと、前記固定架台の振動加速度を検出する第一加速度計と、前記固定架台が設置される平面研削盤のフレーム部の振動加速度を検出する第二加速度計と、該第二加速度計で検出される平面研削盤のフレーム部の振動加速度と前記第一加速度計で検出される固定架台の振動加速度との差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータに速度制御信号を出力する制御器とを備えたことを特徴とする平面研削盤の反転テーブル装置にかかるものである。

上記手段によれば、以下のような作用が得られる。

駆動モータにより駆動軸を回転すると、歯車伝達機構を介して回転軸が回転され、該回転軸が回転すると、回転軸の端部に備えた偏心ピンに長孔が嵌合している反転テーブルは直動案内部に沿って偏心ピンの偏心長さの２倍のストロークで往復移動し、前記反転テーブルに固定されたワークは、砥石によって高速で往復移動しながら切削される。

ここで、この装置の構造上、加工点が高い位置にあり、大きな研削反力が前記固定架台に掛かることに加え、高速化により、移動体としての反転テーブルの加減速に伴う反力が非常に大きくなり、振動が発生し、前記反転テーブル動作時に、ワークの研削加工抵抗や移動部自身の反力が装置に過負荷としてかかる可能性があるが、本発明においては、カウンタウェイトは、前記反転テーブルの往復移動に伴う前記固定架台の振動を抑制する方向へ移動するため、確実に振動を抑制することが可能となる。

又、前記平面研削盤の反転テーブル装置においては、前記カウンタウェイトを反転テーブルの移動方向と平行な方向へ駆動するウェイト用駆動モータと、前記固定架台の振動加速度を検出する第一加速度計と、前記固定架台が設置される平面研削盤のフレーム部の振動加速度を検出する第二加速度計と、該第二加速度計で検出される平面研削盤のフレーム部の振動加速度と前記第一加速度計で検出される固定架台の振動加速度との差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータに速度制御信号を出力する制御器とを備えているため、ワークの研削時、第一加速度計で検出される固定架台の振動加速度と、第二加速度計で検出される平面研削盤のフレーム部の振動加速度とが制御器へ入力され、該制御器から、前記第二加速度計で検出される平面研削盤のフレーム部の振動加速度と前記第一加速度計で検出される固定架台の振動加速度との差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータに速度制御信号が出力され、該ウェイト用駆動モータにより前記カウンタウェイトが適切に駆動される。この結果、ワークの種類に応じてその研削加工抵抗や反転テーブルの反力がさまざまに変化したとしても、その変化に対し前記カウンタウェイトの駆動状態を適切に制御することにより、より確実に振動を抑制することが可能となり、前記固定架台と平面研削盤のフレーム部との結合部の劣化も更に防止することが可能となる。

本発明の平面研削盤の反転テーブル装置によれば、反転テーブルの往復移動速度を大幅に高めることができ、且つ反転テーブルに起因する振動を抑制し得るという優れた効果を奏し得る。

本発明の実施例１を示す切断正面図であって、反転テーブルが一方のストロークエンドに位置した状態を示す図である。本発明の実施例１を示す切断正面図であって、反転テーブルが他方のストロークエンドに位置した状態を示す図である。図１をＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た側面図である。図１をＩＶ−ＩＶ方向から見た平面図である。反転テーブル装置の斜視図である。図１をＶＩ−ＶＩ方向から見た直動案内部の平面図である。図４のカバーを取り外した状態の反転テーブルを示す平面図である。本発明の実施例２を示す概要構成図である。

以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。

図１〜図７は本発明の実施例１である。

図１に示すように、反転テーブル装置を構成する固定架台１の内底部には、駆動軸２が水平になるように横置きにしたサーボモータ３ａ或いは油圧モータ３ｂ等からなる駆動モータ３が設置されている。この駆動モータ３の駆動軸２には、該駆動軸２に対して鉛直な回転軸５が歯車伝達機構４を介して接続されており、該回転軸５の上端には偏心した偏心ピン６が一体に備えられており、該偏心ピン６にはカムフォロア６ａが回転自在に取り付けられている。図中、６ｂはカムフォロア６ａを支持する蓋部材である。前記回転軸５は、上下部に設けた軸受７，８により固定架台１に対して回転可能に支持されている。この時、例えば軸受７は円錐コロ、テーパローラ等によってスラスト荷重及びラジアル荷重を受けるようになっており、又、軸受８はコロ軸受、ローラベアリング等によってラジアル荷重を受けるようになっている。

更に、図１に示す前記歯車伝達機構４では鉛直な減速軸９を設けて減速を行うようにしている。減速軸９は上下部に設けた軸受１０，１１により固定架台１に対して回転可能に支持されている。この時、例えば軸受１０は玉軸受等によってラジアル荷重を受けるようになっており、又、軸受１１は円錐コロ、テーパローラ等によってスラスト荷重及びラジアル荷重を受けるようになっている。

前記減速軸９を備えた歯車伝達機構４を具体的に説明すると、前記駆動軸２はダブルアンギュラ等からなる軸受２ａによって固定架台１に回転可能に支持されており、前記駆動軸２には傘歯歯車１２が取り付けられており、前記減速軸９には前記傘歯歯車１２より大きい径を有して噛合する傘歯歯車１３が取り付けられて動力が９０゜向きを変えて伝達されるようになっており、更に、減速軸９に備えた小径の平歯車１４に前記回転軸５に設けた大径の平歯車１５が噛合して減速機構を構成している。

前記固定架台１の外周には、上端が前記偏心ピン６の上端近傍まで延びたシールプレート１６が設けてあり、該シールプレート１６の内側における前記固定架台１上には、図６に示すように固定架台１の長手方向（左右方向）へ延びる一組の直動案内部１７が平行に設けられている。図６の直動案内部１７はＬＭガイド１８によって構成した場合を示しており、該ＬＭガイド１８は固定架台１に固定したＬＭレール１９と該ＬＭレール１９上に沿って左右に移動可能なＬＭブロック２０とにより構成されている。

前記ＬＭブロック２０の上部には、図７に示す反転テーブル２１が固定されており、反転テーブル２１はＬＭブロック２０と一体に左右に往復移動するようになっている。この反転テーブル２１は、例えばセラミックスのような軽量で高い強度を有する材料によって形成されている。前記反転テーブル２１の中央部には、矩形形状を有して上方に突出したワーク設置部２３が形成してあり、このワーク設置部２３には図１に示すワークＷを固定具を介して固定するための固定具取付孔２２が規則的に複数個形成されている。

前記反転テーブル２１の底面には、前記偏心ピン６のカムフォロア６ａに嵌合しＬＭガイド１８の長手方向と直交する方向に延びた長孔２４が形成されており、従って、前記回転軸５の回転によって偏心ピン６のカムフォロア６ａが長孔２４に沿って移動することにより、反転テーブル２１は偏心ピン６の偏心長さＰの２倍のストロークでＬＭガイド１８に沿って往復移動するようになっている。この時、前記ＬＭガイド１８は反転テーブル２１の移動ストロークをカバーできる長さを有している。更に、前記長孔２４におけるカムフォロア６ａが転動する部分には、図１に示すように耐摩耗性を有する案内部材２５が交換可能に取り付けられている。

前記反転テーブル２１は、偏心ピン６が図７の状態からＡ方向に回転すると、偏心ピン６のカムフォロア６ａは長孔２４に沿って図７の下方に移動しながら反転テーブル２１を左側に引っ張って移動させるように作用し、偏心ピンが９０°回転した状態では偏心長さＰと同じ距離だけ反転テーブル２１を移動させる。更に、偏心ピンがＡ方向に９０°回転すると、反転テーブル２１は更に偏心長さＰと同じ距離だけ移動され、図７の状態から偏心ピン６の偏心長さの２倍（Ｐ＋Ｐ）のストロークだけ反転テーブル２１は移動される。

前記反転テーブル２１には、図１〜図５に示すように、前記ワーク設置部２３を除く反転テーブル２１の上面を覆うようにしたカバー２６が気密に一体に固定されており、カバー２６は反転テーブル２１と一緒に移動するようになっている。前記反転テーブル２１の上部には、図１に示すように回転しながら上下に移動してワークＷの研削を行う砥石Ｔが設けられており、該砥石Ｔには切削性を高めるための切削剤が吹き掛けられているため、この切削剤が反転テーブル装置内に侵入するのを防止するために前記カバー２６は設置される。従って、前記カバー２６は、反転テーブル２１と共に往復移動しても、前記固定架台１に備えられた前記シールプレート１６の上端部外周を常に包囲する大きさを有しており、更にカバー２６の外周部には下方に折り曲げた折曲部２７を形成して、切削材が反転テーブル装置内へ侵入するのを防止している。

図１に示すように、前記回転軸５の中心部には前記偏心ピン６の中心部を通って蓋部材６ｂの上面に開口２８´を備えた給油孔２８が形成してあり、更に、前記固定架台１の外部の給油管（図示せず）により供給される潤滑油を、図１に示す下部の給油ブロック３６に穿設された導孔２８ａを介して前記給油孔２８に供給するようにした潤滑装置３０を構成している。ここで、前記偏心ピン６の上端に対向する蓋部材６ｂの下面には径方向に延びる油溝６ｃが形成してあり、前記給油孔２８からの潤滑油は、前記油溝６ｃを介してカムフォロア６ａ内部に供給されると共に、開口２８´から吹き出した潤滑油は蓋部材６ｂの上面と前記ワーク設置部２３との間の隙間６ｄを通ってカムフォロア６ａと長孔２４との間に供給され、これにより各部の潤滑が行われるようになっている。

一方、前記固定架台１内の下部には、カウンタウェイト４０を前記反転テーブル２１の往復移動に伴う固定架台１の振動を抑制する方向へ移動自在に配設してある。

本実施例１の場合、前記固定架台１内の下部に、前記ＬＭガイド１８のＬＭレール１９と平行に延びるウェイト用ＬＭガイド４１のウェイト用ＬＭレール４２を固定し、該ウェイト用ＬＭガイド４１のウェイト用ＬＭレール４２上にウェイト用ＬＭブロック４３をスライド自在に嵌装すると共に、該ウェイト用ＬＭブロック４３の下面側に前記カウンタウェイト４０を取り付け、該カウンタウェイト４０の端部に、前記回転軸５の下端に嵌着したウェイト用偏心ピン４４のウェイト用カムフォロア４５に嵌合し且つウェイト用ＬＭガイド４１の長手方向と直交する方向（図１及び図２の紙面と直交する方向）へ延びるウェイト用長孔４６を形成し、これにより、前記カウンタウェイト４０は、基本的に前記反転テーブル２１の駆動機構と同様に、図１及び図２に示す如く、前記回転軸５の回転によりウェイト用偏心ピン４４及びウェイト用長孔４６を介して前記反転テーブル２１の移動方向と逆方向へ同期して移動するよう構成してある。

因みに、前記直動案内部１７であるＬＭガイド１８には、図３、図５に示す給油管３１を介して潤滑油を供給するようにした潤滑装置３２が設けられている。前記給油管３１から供給された潤滑油は、図６のＬＭガイド１８を構成するＬＭレール１９に設けた吹出口３３から吹き出されてＬＭガイド１８を潤滑するようになっている。この吹出口３３は、反転テーブル２１と一緒に移動するＬＭブロック２０が移動する移動範囲内の位置に設けられている。

又、図１に点を付して示すように、前記固定架台１内には、前記歯車伝達機構４が潤滑油に浸漬されるように潤滑油が充填されたオイルバス部３４と、前記カムフォロア６ａやＬＭガイド１８を潤滑した潤滑油が流入する上部オイルバス部３５とを形成している。前記オイルバス部３４には、固定架台１の外部の給油管３７（図３及び図５参照）から潤滑油を供給し、該オイルバス部３４内の潤滑油、並びに前記上部オイルバス部３５内の潤滑油はそれぞれ、図示していないドレン配管から回収できるようにしてある。

尚、前記固定架台１は、平面研削盤のフレーム部４７に対し、前記反転テーブル２１の移動方向と直交する水平方向へ位置調整可能となるよう設置されている。

次に、上記実施例１の作用を説明する。

図１の駆動モータ３により駆動軸２を回転すると、傘歯歯車１２，１３を介して減速軸９が回転し、減速軸９の回転に伴って小径の平歯車１４と大径の平歯車１５を介して回転軸５は減速回転される。

前記回転軸５が回転すると、回転軸５の上端に備えた偏心ピン６に長孔２４が嵌合している反転テーブル２１はＬＭガイド１８からなる直動案内部１７に沿って偏心ピン６の偏心長さＰの２倍のストロークで往復移動する。

従って、前記反転テーブル２１の固定具取付孔２２に固定した固定具により中央のワーク設置部２３に固定されたワークＷは、図１に示すように回転しながら下降し研削液が掛けられた砥石Ｔによって高速で往復移動しながら切削される。

前記ワークＷの切削時に砥石Ｔに掛けられる切削液は、反転テーブル２１に固定されたカバー２６によって前記固定架台１の内部に侵入することが防止され、カバー２６の上面及び折曲部２７に沿って下部に流下するようになる。

上記構成において、前記駆動モータ３をサーボモータ３ａとすると、研削作業条件に応じて反転テーブル２１の往復移動速度を任意に調節することができる。又、前記駆動モータ３を油圧モータ３ｂとすると、モータの発熱を抑制して周辺温度を低く抑えられるようになる。

又、駆動モータ３は駆動軸２が反転テーブル２１の移動方向と平行になるように横置きとしているので、反転テーブル装置の高さ寸法を小さく抑えることができる。

前記固定架台１の外部の給油管（図示せず）から供給される潤滑油を、下部の給油ブロック３６に穿設された導孔２８ａを介して、回転軸５の中心部を通る給油孔２８により蓋部材６ｂ下面の油溝６ｃに供給し、更に、蓋部材６ｂ上面の開口２８´から吹き出すようにした潤滑装置３０を設けているので、カムフォロア６ａ内部、及び、カムフォロア６ａと長孔２４との間は効果的に潤滑されるようになる。前記カムフォロア６ａ内部等を潤滑した潤滑油は上部オイルバス部３５に流入され、ドレン配管（図示せず）により回収される。

一方、図３、図５に示すように給油管３１から供給される潤滑油を、図６に示すように直動案内部１７であるＬＭガイド１８のＬＭレール１９に設けた吹出口３３から吹き出すようにした潤滑装置３２を設けているので、前記吹出口３３から吹き出される潤滑油によってＬＭガイド１８の摺動部は効果的に潤滑されるようになる。前記ＬＭガイド１８の摺動部を潤滑した潤滑油は上部オイルバス部３５に流入され、ドレン配管（図示せず）により回収される。

更に、図１に点を付して示すように、オイルバス部３４には、固定架台１の外部の給油管３７（図３及び図５参照）から潤滑油が供給されているため、この固定架台１内に形成したオイルバス部３４の潤滑油によって、前記歯車伝達機構４は効果的に潤滑されるようになる。尚、前記歯車伝達機構４を潤滑油したオイルバス部３４内の潤滑油は、図示していないドレン配管から回収される。

上記したように、回転軸５の給油孔２８を通してカムフォロア６ａ内部、及び、カムフォロア６ａと長孔２４との間に潤滑油を供給する潤滑装置３０と、吹出口３３により直動案内部１７の摺動面に潤滑油を供給する潤滑装置３２と、歯車伝達機構４を潤滑油に浸漬するようにしたオイルバス部３４とを備えているので、潤滑された動力伝達部によって駆動モータ３の動力は回転軸５及び反転テーブル２１に安定して確実に伝達されるようになり、更にこれらの動力伝達部の寿命を大幅に延長させることができる。

又、前記駆動モータ３の動力は歯車伝達機構４によって確実に回転軸５に伝達されるようになり、更に、回転軸５の動力は偏心ピン６と長孔２４によって確実に反転テーブル２１伝達されるようになるので、従来のベルトを介して動力を伝達する方式に比して、反転テーブル２１の往復移動の高速化に対して安定して対応できるようになる。

しかも、この装置の構造上、加工点が高い位置にあり、大きな研削反力が前記固定架台１に掛かることに加え、高速化により、移動体としての反転テーブル２１の加減速に伴う反力が非常に大きくなり、振動が発生し、前記反転テーブル２１動作時に、ワークＷの研削加工抵抗や移動部自身の反力が装置に過負荷としてかかる可能性があるが、本実施例１においては、前記カウンタウェイト４０は、図１及び図２に示す如く、前記回転軸５の回転によりウェイト用偏心ピン４４及びウェイト用長孔４６を介して前記反転テーブル２１の移動方向と逆方向へ同期して移動するため、確実に振動を抑制することが可能となり、前記固定架台１と平面研削盤のフレーム部４７との結合部の劣化も防止することが可能となる。又、前記反転テーブル２１とカウンタウェイト４０とを同一の駆動系にて動作させることができることから、装置全体の中で駆動系の占めるスペース並びに重量の削減においても有効となる。

更に、前記反転テーブル２１をセラミックスにより形成して軽量化しているので、往復移動の反転時におけるイナーシャを低減することができると共に、低トルクの駆動モータ３によっても駆動できるようになる。

本発明による反転テーブル装置においては、反転テーブル２１の反復数は５００ｃｐｍ（約８Ｈｚ）程度、移動ストローク長は１００ｍｍ程度まで高めることが可能になった。即ち、従来に比して約２倍の高速で反転テーブル２１を往復移動させることができるようになった。又、前記移動ストローク長を１００ｍｍより短くした場合には、前記反転テーブル２１の反復数は更に増加させることができる。

こうして、反転テーブル２１の往復移動速度を大幅に高めることができ、且つ反転テーブル２１に起因する振動を抑制し得る。

図８は本発明の実施例２であって、図中、図１〜図７と同一の符号を付した部分は同一物を表わしており、基本的な構成は図１〜図７に示す実施例１と同様であるが、本実施例２の特徴とするところは、図８に示す如く、前記カウンタウェイト４０を反転テーブル２１の移動方向と平行な方向へ駆動するウェイト用駆動モータ４８と、前記固定架台１の振動加速度４９ａを検出する第一加速度計４９と、前記固定架台１が設置される平面研削盤のフレーム部４７の振動加速度５０ａを検出する第二加速度計５０と、該第二加速度計５０で検出される平面研削盤のフレーム部４７の振動加速度５０ａと前記第一加速度計４９で検出される固定架台１の振動加速度４９ａとの差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータ４８に速度制御信号４８ａを出力する制御器５１とを備えた点にある。

本実施例２においては、ワークＷの研削時、第一加速度計４９で検出される固定架台１の振動加速度４９ａと、第二加速度計５０で検出される平面研削盤のフレーム部４７の振動加速度５０ａとが制御器５１へ入力され、該制御器５１から、前記第二加速度計５０で検出される平面研削盤のフレーム部４７の振動加速度５０ａと前記第一加速度計４９で検出される固定架台１の振動加速度４９ａとの差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータ４８に速度制御信号４８ａが出力され、該ウェイト用駆動モータ４８により前記カウンタウェイト４０が適切に駆動される。

この結果、ワークＷの種類に応じてその研削加工抵抗や反転テーブル２１の反力がさまざまに変化したとしても、その変化に対し前記カウンタウェイト４０の駆動状態を適切に制御することにより、より確実に振動を抑制することが可能となり、前記固定架台１と平面研削盤のフレーム部４７との結合部の劣化も更に防止することが可能となる。

こうして、実施例２においても、反転テーブル２１の往復移動速度を大幅に高めることができ、且つ反転テーブル２１に起因する振動を抑制し得る。

尚、本発明の平面研削盤の反転テーブル装置は、上述の実施例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

本発明の平面研削盤の反転テーブル装置は、各種ワークの研削に際し、反転テーブルの往復移動を高速化し、生産性を従来に比して飛躍的に向上させるのに有効である。

１固定架台
２駆動軸
３駆動モータ
４歯車伝達機構
５回転軸
６偏心ピン
９減速軸
１２傘歯歯車
１３傘歯歯車
１７直動案内部
１８ＬＭガイド
２１反転テーブル
２４長孔
４０カウンタウェイト
４１ウェイト用ＬＭガイド
４４ウェイト用偏心ピン
４６ウェイト用長孔
４７平面研削盤のフレーム部
４８ウェイト用駆動モータ
４８ａ速度制御信号
４９第一加速度計
４９ａ振動加速度
５０第二加速度計
５０ａ振動加速度
５１制御器

Claims

駆動モータと、該駆動モータの駆動軸に歯車伝達機構を介して接続される回転軸と、該回転軸の端部に備えた偏心ピンと、該偏心ピンに長孔を介して嵌合し前記回転軸の回転により偏心ピン及び長孔を介して固定架台上の一方向に往復移動する反転テーブルと、該反転テーブルの移動を案内する直動案内部と、前記反転テーブルの往復移動に伴う前記固定架台の振動を抑制する方向へ移動自在に配設されるカウンタウェイトとを有し、
前記カウンタウェイトを反転テーブルの移動方向と平行な方向へ駆動するウェイト用駆動モータと、前記固定架台の振動加速度を検出する第一加速度計と、前記固定架台が設置される平面研削盤のフレーム部の振動加速度を検出する第二加速度計と、該第二加速度計で検出される平面研削盤のフレーム部の振動加速度と前記第一加速度計で検出される固定架台の振動加速度との差をなくすよう前記ウェイト用駆動モータに速度制御信号を出力する制御器とを備えたことを特徴とする平面研削盤の反転テーブル装置。