JP5331802B2 - 測定機及びその動的変形による測定誤差の補正方法 - Google Patents
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Description
本発明による測定機は、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)を備える測定機であって、
前記可動ユニット(7)は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材(8、12、42、56)の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ(22)と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ(22)により生成されたレーザ光(26)を受領するように設計された標的(28)と、が設けられたレーザセンサ(16)と、
前記標的(28)上におけるレーザ光(26)の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット(7)の動的変形の結果として生じる前記測定機(1)の測定誤差を補正するための手段(14)と、
を備え、
前記可動部材(8)は、第一の端部及び第二の端部を有する第一の要素と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素とを含み、
前記第一及び第二の要素は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ(22)は、前記第二の要素の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素の第二の端部(9)に対して固定された剛体支持部(20)に固定され、
前記標的(28)は、前記第二の要素の前記第二の端部に固定されることを特徴とする測定機である。
本発明による測定方法は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)が設けられた測定機(1)における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット(7)の可動部材(8、12、42、56)の第一の部分に固定されたエミッタ(22)によってレーザ光(26)を生成するステップと、
前記可動部材(8、12、42、56)の第二の部分に固定された標的(28)上における前記レーザ光(26)の入射点の変位であって、前記可動ユニット(7)の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機(1)の測定誤差を補正するステップと、
を備え、
前記可動部材(8)は、第一の端部及び第二の端部を有する第一の要素と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素とを含み、
前記第一及び第二の要素は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ(22)は、前記第二の要素の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素の第二の端部(9)に対して固定された剛体支持部(20)に固定され、
前記標的(28)は、前記第二の要素の前記第二の端部に固定される、方法である。
本発明の一形態としての測定機は、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)を備える測定機であって、
前記可動ユニット(7)は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材(8、12、42、56)の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ(22)と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ(22)により生成されたレーザ光(26)を受領するように設計された標的(28)と、が設けられたレーザセンサ(16)と、
前記標的(28)上におけるレーザ光(26)の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット(7)の動的変形の結果として生じる前記測定機(1)の測定誤差を補正するための手段(14)と、
を備えることを特徴とする測定機である。
本発明の他の形態としての方法は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)が設けられた測定機(1)における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット(7)の可動部材(8、12、42、56)の第一の部分に固定されたエミッタ(22)によってレーザ光(26)を生成するステップと、
前記可動部材(8、12、42、56)の第二の部分に固定された標的(28)上における前記レーザ光(26)の入射点の変位であって、前記可動ユニット(7)の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機(1)の測定誤差を補正するステップと、
を備える方法である。
本発明は、また、以下の適用例としても実現可能である。
[適用例1]
測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)を備える測定機であって、
前記可動ユニット(7)は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの部材(8、12、42、56)を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材(8、12、42、56)の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ(22)と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ(22)により生成されたレーザ光(26)を受領するように設計された標的(28)と、が設けられたレーザセンサ(16)と、
前記標的(28)上におけるレーザ光(26)の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット(7)の動的変形の結果として生じる前記測定機(1)の測定誤差を補正するための手段(14)と、
を備えることを特徴とする測定機。
[適用例2]
適用例1記載の測定機であって、
前記標的(28)は、PSDであることを特徴とする測定機。
[適用例3]
適用例1又は2記載の測定機であって、
前記可動部材は、ビーム状要素(10、12、56)を含み、
前記エミッタ(22)及び前記標的(28)は、前記ビーム状要素(10)の両端に設置されることを特徴とする測定機。
[適用例4]
適用例1又は2記載の測定機であって、
前記可動部材(8)は、第一の端部及び第二の端部を有する少なくとも一つの要素(8a)と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素(8c)とを含み、
前記第一及び第二の要素(8a、8b)は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ(22)は、前記第二の要素(8c)の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素(8a)の第二の端部(9)に対して固定された剛体支持部(20)に固定され、
前記標的(28)は、前記第二の要素(8c)の前記第二の端部に固定されることを特徴とする測定機。
[適用例5]
適用例1〜4の何れか一項に記載の測定機であって、
前記レーザセンサ(16)は、前記可動部材(8c、56)の内部に収容され、前記レーザ光(26)は、前記可動部材の空洞(24)を通って延びることを特徴とする測定機。
[適用例6]
適用例1〜5の何れか一項に記載の測定機であって、
前記可動部材(8)は、ベッド(5)上を移動可能であると共に、二本の直立部(8a、8b)及びクロス部材(8c)が設けられたブリッジ構造を有するキャリッジであり、
前記キャリッジの第一の直立部(8a)は、前記ベッド(5)上で摺動可能なモータ駆動スライド(9)を含むことを特徴とする測定機。
[適用例7]
適用例4に従属する適用例6に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記第一の直立部(8a)により構成され、
前記第二の要素は、前記クロス部材(8c)により構成され、
前記剛体支持部は、前記第一の直立部(8a)内部に延びると共に、底端部(20a)が前記第一の直立部(8a)の前記スライド(9)に固定され、上端部が前記クロス部材(8c)の第一の端部においてその内部に延びるバー(20)により構成され、
前記エミッタ(22)は、前記バー(20)の前記上端部に固定され、前記レシーバは、前記クロス部材の内部(24)において、その反対の一端部に設置されることを特徴とする測定機。
[適用例8]
適用例4に従属する適用例6に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記クロス部材(8c)であり、
前記第二の要素は、前記第二の直立部(8b)であり、
前記剛体支持部は、クロス部材(8c)の長手方向の空洞(24)内部に延びると共に、一端部が前記第一の直立部(8a)に固定されたバー(31)により構成され、
前記エミッタ(22)は、前記バー(31)の反対端部に固定され、前記標的(28)は、前記第二の直立部(8b)の最下部に収容されることを特徴とする測定機。
[適用例9]
駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの部材(8、12、42、56)を含み、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)が設けられた測定機(1)における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット(7)の可動部材(8、12、42、56)の第一の部分に固定されたエミッタ(22)によってレーザ光(26)を生成するステップと、
前記可動部材(8、12、42、56)の第二の部分に固定された標的(28)上における前記レーザ光(26)の入射点の変位であって、前記可動ユニット(7)の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機(1)の測定誤差を補正するステップと、
を備える方法。
[適用例10]
適用例9記載の方法であって、
前記レーザ光の入射点の変位を検出するステップは、前記標的を形成するPSD(28)を介して実行されることを特徴とする方法。
[適用例11]
適用例9又は10記載の方法であって、
前記測定誤差を補正するステップは、入力量(u)の測定値と、前記レーザビームの入射点の変位を含む出力量(y)のサブセットの測定値とに応じて、前記測定誤差の推定量を提供する推定量フィルタ(M)を用いて得られることを特徴とする方法。
・直立部8aの曲げ
・クロス部材8cの曲げ
・軸線Zを中心とした直立部8aの捩れ
・軸線Xを中心としたクロス部材8cの捩れ
・直立部8aとクロス部材8cとの間の結合部の変形
・クロス部材8cの曲げ
・軸線Yを中心とした直立部8aの捩れ
・軸線Xに沿ったクロス部材8cの捩れ
−第一のモデルM1は、入力において、軸線Yのモータの電流Iyを受領し、軸線Yに沿った位置yaと共に、位置誤差ey、ex及び軸線y及びZに沿った変形my、mzの測定結果を出力し、
−第二のモデルM2は、モデルM1と全く同じであり、入力において、軸線Xのモータの電流Ixを受領し、軸線Xに沿った位置xaと共に、位置誤差ey、ex及び軸線y及びZに沿った変形my、mzの測定結果を出力する。
・測定機1が供給した軸線Yに沿った位置ya
・レーザセンサ16により測定された軸線Y及びZに沿った変形my、mz
・二次元位置変換器15により測定された軸線Y及びXに沿った位置誤差ey、ex
uは測定された入力(モータに対する電流Iy)、yは出力量、xはダイナミクスの状態変数、eは同定により生じた革新プロセスである。最後に、A、B、C、D、及びKは、モデルの行列である。
C=C(xa,za)
C2=C2(xa,za)
Claims (10)
- 測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)を備える測定機であって、
前記可動ユニット(7)は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材(8、12、42、56)の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ(22)と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ(22)により生成されたレーザ光(26)を受領するように設計された標的(28)と、が設けられたレーザセンサ(16)と、
前記標的(28)上におけるレーザ光(26)の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット(7)の動的変形の結果として生じる前記測定機(1)の測定誤差を補正するための手段(14)と、
を備え、
前記可動部材(8)は、第一の端部及び第二の端部を有する第一の要素と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素とを含み、
前記第一及び第二の要素は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ(22)は、前記第二の要素の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素の第二の端部(9)に対して固定された剛体支持部(20)に固定され、
前記標的(28)は、前記第二の要素の前記第二の端部に固定されることを特徴とする測定機。 - 請求項1記載の測定機であって、
前記標的(28)は、PSDであることを特徴とする測定機。 - 請求項1又は2記載の測定機であって、
前記可動部材は、ビーム状要素(8c、56)を含み、
前記エミッタ(22)及び前記標的(28)は、前記ビーム状要素(8c、56)の両端に設置されることを特徴とする測定機。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載の測定機であって、
前記レーザセンサ(16)は、前記可動部材(8c、56)の内部に収容され、前記レーザ光(26)は、前記可動部材の空洞(24)を通って延びることを特徴とする測定機。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の測定機であって、
前記可動部材(8)は、ベッド(5)上を移動可能であると共に、二本の直立部(8a、8b)及びクロス部材(8c)が設けられたブリッジ構造を有するキャリッジであり、
前記キャリッジの第一の直立部(8a)は、前記ベッド(5)上で摺動可能なモータ駆動スライド(9)を含むことを特徴とする測定機。 - 請求項5に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記第一の直立部(8a)により構成され、
前記第二の要素は、前記クロス部材(8c)により構成され、
前記剛体支持部は、前記第一の直立部(8a)内部に延びると共に、底端部(20a)が前記第一の直立部(8a)の前記スライド(9)に固定され、上端部が前記クロス部材(8c)の第一の端部においてその内部に延びるバー(20)により構成され、
前記エミッタ(22)は、前記バー(20)の前記上端部に固定され、前記標的(28)は、前記クロス部材の内部(24)において、その反対の一端部に設置されることを特徴とする測定機。 - 請求項5に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記クロス部材(8c)であり、
前記第二の要素は、前記第二の直立部(8b)であり、
前記剛体支持部は、クロス部材(8c)の長手方向の空洞(24)内部に延びると共に、一端部が前記第一の直立部(8a)に固定されたバー(31)により構成され、
前記エミッタ(22)は、前記バー(31)の反対端部に固定され、前記標的(28)は、前記第二の直立部(8b)の最下部に収容されることを特徴とする測定機。 - 駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材(8、12、42、56)を含み、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)が設けられた測定機(1)における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット(7)の可動部材(8、12、42、56)の第一の部分に固定されたエミッタ(22)によってレーザ光(26)を生成するステップと、
前記可動部材(8、12、42、56)の第二の部分に固定された標的(28)上における前記レーザ光(26)の入射点の変位であって、前記可動ユニット(7)の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機(1)の測定誤差を補正するステップと、
を備え、
前記可動部材(8)は、第一の端部及び第二の端部を有する第一の要素と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素とを含み、
前記第一及び第二の要素は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ(22)は、前記第二の要素の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素の第二の端部(9)に対して固定された剛体支持部(20)に固定され、
前記標的(28)は、前記第二の要素の前記第二の端部に固定される、方法。 - 請求項8記載の方法であって、
前記レーザ光の入射点の変位を検出するステップは、前記標的を形成するPSD(28)を介して実行されることを特徴とする方法。 - 請求項8又は9記載の方法であって、
前記測定誤差を補正するステップは、デカルト基準系X、Y,Zにおける軸線X又は軸線Yのモータの電流である入力量(u)の測定値と、前記レーザビームの入射点の変位を含む出力量(y)の測定値とに応じて、前記測定誤差の推定量を提供する推定量フィルタ(M)を用いて得られることを特徴とする方法。
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