DE3729161A1 - Verfahren und vorrichtung zur positionskorrektur von industrieroboterarmen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur positionskorrektur von industrieroboterarmen

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Korrigieren der Position eines freien Endes eines insbeson­ dere durch Verbiegungen und/oder Torsionen aus seiner Soll­ position ausgelenkten Roboterarmes mittels eines Wegmeß­ systems, wobei der Roboterarm als Fortsetzung mindestens eines Gelenkes oder einer entsprechenden Basis mindestens ein Verbindungselement aufweist, und wobei die Auslenkung aus der Sollposition am Ende des Verbindungselementes mit Hilfe eines von einem am anderen Ende des Verbindungselemen­ tes des Roboterarmes angeordneten Energiestrahler ausgehen­ den Energiestrahl gemessen und in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung der Roboterarm in die Sollposition automatisch nachgeregelt wird, nach Patent .... (Patent­ anmeldung P 36 14 122.4-32).
Weiterhin betrifft die Erfindung auch einen Roboterarm, bestehend aus mindestens einem Gelenk oder einer entspre­ chenden Basis, mindestens einem Verbindungselement, das dem Gelenk bzw. der Basis nachgeordnet ist, sowie mindestens einem Wegmeßsystem zum Messen von Auslenkungen des Verbin­ dungselementes, wobei das Wegmeßsystem mindestens einen am oder im vorgeordneten Gelenk angeordneten Energiestrahler am Anfang des Verbindungselementes sowie mindestens ein Meßfeld am anderen Ende des Verbindungselementes, vorzugsweise in oder an einem nachgeordneten Gelenk, aufweist, nach Patent ..... (Patentanmeldung P 36 14 122.4-32).
Das in dem Hauptpatent vorgeschlagene, in den Roboterarm integrierte Wegmeßsystem hat sich ausgezeichnet bewährt, da Auslenkungen des Roboterarmes, die z.B. durch Torsionen des Getriebes und/oder Biegeverformungen der Verbindungselemente verursacht sein können, ausgeregelt werden können, und das Ende des Armes exakt in die Sollposition geführt werden kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das vorgeschlagene Verfahren sowie den vorgeschlagenen Roboter­ arm hinsichtlich der Nachführgenauigkeit weiter zu verbes­ sern, wobei der Roboterarm aber nach wie vor konstruktiv einfach aufgebaut und damit preisgünstig sein soll.
Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß der Energie­ strahl mittels eines im wesentlichen unbelasteten Meßantrie­ bes anhand des vorgegebenen Sollwertes geführt wird. Hier­ durch werden vorteilhafterweise bei der Nachführung bzw. Positionskorrektur des Roboterarmes in seine Sollposition auch alle belastungsbedingten Verformungen des eigentlichen, belasteten Armantriebes mit berücksichtigt.
Der erfindungsgemäße Roboterarm zeichnet sich dadurch aus, daß der Energiestrahler an einem Ausgang eines im wesentli­ chen unbelasteten Meßantriebes angeordnet und gegenüber dem Gelenk bzw. dem Verbindungselement beweglich ist. Der Meß­ antrieb kann erfindungsgemäß von einem unbelasteten Modell­ getriebe gebildet sein, das parallel zu einem Hauptgetriebe eines gemeinsamen Antriebes angeordnet ist. Alternativ hierzu kann der Meßantrieb aber auch durch ein unbelastetes Meßantriebssystem eines separaten Lage-Regelkreises gebildet sein. Dadurch, daß der Meßantrieb praktisch unbelastet ist, kann er von mechanisch sehr einfachen aber dennoch sehr genauen, kleinbauenden Komponenten gebildet sein. Dies trägt zu der angestrebten, einfachen Ausbildung des Roboter­ armes bei.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungsmerkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.
Anhand der Zeichnung soll im folgenden die Erfindung bei­ spielhaft näher erläutert werden. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines Teils eines Roboterarmes,
Fig. 2 ein schematisches Blockdiagramm einer ersten Aus­ führungsform einer Nachführ-Steuerung gemäß der Erfindung,
Fig. 3 ein schematisches Blockdiagramm einer zweiten Ausführungsform einer Nachführ-Steuerung gemäß der Erfindung,
Fig. 4 eine schematische Seitenansicht eines Teils eines Roboterarmes mit einer Einrichtung zum Nachführen eines Leistungslaserstrahles und
Fig. 5 ein schematisches Blockschaltbild einer Steuerung der Nachführeinrichtung gemäß Fig. 4.
Fig. 1 zeigt einen Teil eines Roboterarmes mit einem Gelenk 1 und einem Verbindungselement 2, wobei ein Roboterarm in der Praxis mehrere Gelenke 1 sowie jeweils zwischen zwei Gelenken 1 ein Verbindungselement 2 aufweisen kann. Am Ende des letzten Gelenkes 1 ist üblicherweise eine Roboterhand (nicht dargestellt) angeordnet. Das Gelenk 1 ist eine autarke Einheit aus zwei Antriebssystemen, wobei eines der Antriebssysteme Drehungen um eine Achse 3 in Doppelpfeil­ richtung 4 und das andere Antriebssystem Schwenkbewegungen um eine senkrecht zur Zeichenebene liegende Schwenkachse in Doppelpfeilrichtung 5 gestattet. Der genaue Aufbau des Gelenkes 1 ist z.B. in der EP-OS 8 51 14 049.1 beschrieben und braucht daher im Rahmen der vorliegenden Anmeldung nicht näher erläutert zu werden.
Der Roboterarm ist mit einem integrierten Meßsystem ausge­ stattet, welches durch belastungsbedingte Verbiegungen und/oder Torsionen verursachte Auslenkungen am Ende des Roboterarmes bzw. des Verbindungselementes 2 mißt. In Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung wird der Roboter­ arm bzw. das Verbindungselement 2 automatisch in seine Soll- Position nachgeregelt. Ein diesbezügliches Verfahren sowie ein Roboterarm zur Durchführung des Verfahrens sind in dem Hauptpatent ....... (Patentanmeldung P 36 14 122.4-32) vorgeschlagen, und es wird an dieser Stelle auf dessen Inhalt voll Bezug genommen.
Das Meßsystem weist im vorgeordneten Gelenk 1 einen Energie­ strahler, insbesondere einen Laserstrahler 6 auf, der einen Energie- bzw. Laserstrahl 7 in Richtung des entfernt liegenden Endes des Verbindungselementes 2 sendet, wo ein Meßfeld 8 angeordnet ist. Im unbelasteten, d.h. unausge­ lenkten Zustand des Verbindungselementes 2 trifft der Laser­ strahl 7 in ein definiertes Zentrum des Meßfeldes 8. Treten nun belastungsbedingte Verbiegungen und/oder Torsionen des Roboterarmes, d.h. des Gelenkes 1 und/oder des Verbindungs­ elementes 2 auf, so bewegt sich das Meßfeld 8 gegenüber dem Laserstrahl 7, so daß letzterer aus dem zentrum abweicht. Das Meßfeld 8 ist in der Lage, anhand der Abweichungen Ausgangssignale Δ α und/oder Δ ϕ zu erzeugen, die Schwenkab­ weichungen und/oder Torsionsabweichungen des Armes entspre­ chen. Anhand dieser Ausgangssignale wird gemäß dem Verfah­ ren des Hauptpatentes der Roboterarm automatisch in die Soll-Position nachgeregelt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun der Laserstrahler 6 über einen unbelasteten Meßantrieb geführt, so daß auch alle belastungsbedingten Verformungen des eigentlichen, belasteten Arm-Antriebes bei der Nachregelung des Roboter­ armes in die Sollposition mit berücksichtigt werden.
Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 wird der Meßantrieb erfindungsgemäß durch ein unbelastetes, hochgenaues Modell­ getriebe 11 gebildet, an dessen Ausgang der Laserstrahler 6 angeordnet ist. Diese Ausführungsform eignet sich insbeson­ dere für solche Roboterarme, die überwiegend statisch arbeiten. Das Modellgetriebe 11 ist mechanisch parallel zu einem Hauptgetriebe 12 geschaltet, wobei beide Getriebe 11 und 12 von einem gemeinsamen Antrieb 13 angetrieben werden. Das Hauptgetriebe 12 ist im Gegensatz zu dem Modellgetriebe 11 durch den anzutreibenden Schwenkarm bzw. das Verbindungs­ element 2 belastet. Beide Getriebe 11 und 12 weisen erfindungsgemäß die gleiche Übersetzung auf. Das Modell­ getriebe kann sowohl ein rein mechanisches Getriebe, als auch das Getriebe eines Winkelmeßsystems, z.B. das Getriebe eines Absolutwertgebers, sein. Der gemeinsame Antrieb 13 von Modell- und Hauptgetriebe 11, 12 weist in an sich bekannter Weise eine Antriebsregelung 14 (Drehzahlregelung) auf. Treten nun Verformungen in dem belasteten Teil, d.h. in dem Hauptgetriebe 12 und/oder dem Verbindungselement 2, auf, so ermittelt das am Ende des Verbindungselementes 2 fest angeordnete Meßfeld 8 eine Differenz Δ ϕ, die zu dem Sollwert ϕ soll addiert wird. Diese Summe ϕ soll +Δ ϕ wird dem Antrieb 13 als korrigierter Sollwert zugeführt, der somit über das Hauptgetriebe 12 den Roboterarm bzw. das jeweilige Verbindungselement 2 in die korrigierte Soll­ position X soll +Δ X nachregelt. Die Differenz Δ ϕ bleibt dabei solange bestehen, wie Verformungen bzw. Abweichungen auftreten, da ja der Antrieb 13 zusammen mit dem Haupt­ getriebe 12 auch das Modellgetriebe 11 und damit auch den Laserstrahler 6 verfährt.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist am Ausgang des Modellgetriebes 11 zusätzlich zu dem Laser­ strahler 6 ein Spiegelsystem 15 - hier z.B. ein Prisma - angeordnet, das zum Mitführen eines Leistungslaserstrahles 16 durch das Gelenk 1 dient. Der Leistungslaserstrahl 16 wird erfindungsgemäß durch das über das Modellgetriebe 11 zusammen mit dem Laserstrahler 6 bewegte Spiegelsystem 15 für Laserstrahlbearbeitungsverfahren (z.B. Schweißen, Schneiden usw.) äußerst exakt sowie vorteilhafterweise unter Kompensierung von belastungsbedingten Abweichungen des Roboterarmes bzw. des Verbindungselementes 2 positioniert, und zwar anhand der ermittelten Abweichung Δ ϕ.
Es ist erfindungsgemäß weiterhin möglich, über das Spiegel­ system 15 einen Teil des Leistungslaserstrahles 16 auszu­ koppeln und als Meß-Laserstrahl 7 zu verwenden. Hierzu wird das Spiegelsystem 15 z.B. als teildurchlässiges Prisma aus­ gebildet und anstelle des Laserstrahlers 6 ein Umlenkspiegel verwendet, der den ausgekoppelten Teilstrahl des Leistungs­ laserstrahles 16 als Meßstrahl 7 in Richtung des Meßfeldes 8 umlenkt. Hierdurch erübrigt sich vorteilhafterweise der Laserstrahler 6, bzw. wird dieser von einem einfachen Umlenkspiegel gebildet.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3, das sich insbesondere für dynamische Vorgänge eignet, wird der Meßantrieb erfin­ dungsgemäß durch ein unbelastetes Meßantriebssystem 21 eines separaten Lage-Regelkreises 22 gebildet. Dem Meßantriebs­ system 21 ist vorzugsweise ein eigenes, hochauflösendes Win­ kelmeßsystem 23 nachgeordnet, an dessen Ausgang der Laser­ strahler 6 angeordnet ist. Der Laserstrahler 6 kann auch in vorteilhafter Weise an der Abtriebsseite des Motors 21 an­ geordnet sein. Zum Mitführen des Leistungslaserstrahles 16 kann - analog zu der oben beschriebenen Ausführung gemäß Fig. 2 - am Ausgang des Winkelmeßsystems 23 ebenfalls das Spiegelsystem 15 angeordnet sein. Vorteilhaft ist aber auch, das Spiegelsystem 15 an der Abtriebsseite des Motors 21 anzu­ ordnen. Auch hier kann ein Teil des Leistungslaserstrahles 16 ausgekoppelt und als Meßstrahl 7 verwendet werden. Bei dieser Ausführung ist der separate, im wesentlichen unbela­ stete Lage-Regelkreis 22 getrennt von dem belasteten, aus dem Antrieb 13 und dem Hauptgetriebe 12 bestehenden Antriebs­ system des Roboterarms bzw. des Verbindungselementes 2, aber auf der gleichen "Basis" bzw. dem gleichen "Bezugspunkt" des Gelenkes 1 angeordnet, wobei der Antrieb auch hier - wie be­ kannt - die Antriebsregelung 14 besitzt.
Der erfindungsgemäße Folgeregelkreis gemäß Fig. 3 arbeitet nun wie folgt. Ein Sollwert ϕ soll wird dem Meßantriebs­ system 21 vorgegeben, das hierdurch "anläuft" und über den Lage-Regelkreis 22 den Meß-Laserstrahl 7 und ggf. auch den Leistungslaserstrahl 16 in die gewünschte Sollposition ausrichtet. Hierdurch bewegt sich der Meß-Laserstrahl 7 aus dem Zentrum des Meßfeldes 8 hinaus, so daß letzteres ein der Abweichung entsprechendes Differenzsignal Δ ϕ erzeugt, welches dem Antrieb 13 zugeführt wird, und welches bewirkt, daß der Roboterarm bzw. das Verbindungselement 2 mit dem Meßfeld 8 über das Hauptgetriebe 12 solange "nachgeführt" wird, bis der Meß-Laserstrahl 7 wieder in das definierte Zentrum des Meßfeldes 8 trifft und somit die Differenz Δ ϕ zu "Null" wird. Hierdurch wird stets exakt die Sollposition des Endes des Roboterarmes bzw. des Verbindungselementes 2 erreicht, auch wenn innerhalb des Hauptgetriebes 12 und/oder des Roboterarmes bzw. Verbindungselementes 2 Verformungen (Verdrehungen, Verbiegungen) auftreten.
In den Fig. 4 und 5 wird eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung veranschaulicht. Der Roboterarm bzw. dessen belasteter Antrieb ist im Vergleich zu dem unbelasteten Meßantrieb relativ träge, d.h. Lageabweichungen des Arms werden während einer bestimmten Übergangszeit, die etwa im Bereich von 20 bis 30 ms liegen kann, ausgeglichen, indem der Arm "nachgeführt" wird. Um nun während diesem "Über­ gangsvorgang" den über das Spiegelsystem 15 durch das vorgeordnete Gelenk 1 mitgeführten Leistungslaserstrahl 16 durch ein nachgeordnetes Gelenk 1 a in Richtung eines nachgeordneten Verbindungselementes 2 a verzerrungsfrei, d.h. exakt in seine Sollposition bzw. Sollausrichtung weiterzuführen, ist in dem nachfolgenden Gelenk 1 a ein weiteres Spiegelsystem 15 a angeordnet, das erfindungs­ gemäß derart beweglich geführt wird, daß entsprechend der jeweils gemessenen Korrekturgröße Δ ϕ bei Abweichungen des Gelenkes 1 a aus seiner Sollposition (z.B. durch Ver­ biegungen des Verbindungselementes 2) der Leistungslaser­ strahl 16 dennoch exakt in seine Sollausrichtung umgelenkt wird. Auch für diese Steuerung (s. Fig. 5) wird erfindungs­ gemäß der Meßlaserstrahl 7 verwendet. In oder an dem nach­ geordneten Gelenk 1 a ist ein beweglicher Schlitten 25 ange­ ordnet, der von einem schnellen Antrieb 26 vorzugsweise auf einer Kreisbahn 27 mit einem dem Abstand der Gelenke 1, 1 a entsprechenden Radius (Fig. 4) bewegbar ist. Der Schlitten 25 weist ein weiteres Meßfeld 8 a auf, das mit dem Meßlaser­ strahl 7 in der oben bereits in bezug auf das Meßfeld 8 beschriebenen Weise zusammenwirkt. Das Meßfeld 8 a liegt in Richtung des Laserstrahles 7 gesehen hinter dem ersten Meß­ feld 8, wobei letzteres teildurchlässig ausgebildet ist, so daß der Meßlaserstrahl 7 zum Nachführen des Armes bzw. des Verbindungselementes 2 einerseits und zum Führen des Schlittens 25 andererseits "aufgeteilt" wird.
Die Funktion dieser erfindungsgemäßen Nachführeinrichtung für den Leistungslaserstrahl 16 ist nun wie folgt. Im unbelasteten, unausgelenkten Zustand des Verbindungselemen­ tes 2 sind die erfaßten Differenzen Δ d sowohl des Meßfeldes 8 als auch des zweiten Meßfeldes 8 a gleich "Null". Der Leistungslaserstrahl 16 zeigt auf einen definierten Punkt des Spiegelsystems 15 a. Bei Sollwertänderungen und/oder bei auftretenden, belastungsbedingten Abweichungen des Armendes aus der Sollposition läuft der langsamere Hauptantrieb 13 dem Meßantrieb 11/23 hinterher; damit aber der Leistungs­ laserstrahl 16 dennoch in den gleichen definierten Punkt des Spiegelsystems 15 a zeigt und somit nach wie vor exakt in die Sollrichtung umgelenkt wird, wird anhand der von dem zweiten Meßfeld 8 a ermittelten Differenz Δ ϕ über den schnellen Antrieb 26 das Spiegelsystem 15 a nachgeführt, bis das Meßfeld 8 a wieder eine Differenz "Null" erfaßt. Der Arm bzw. das Verbindungselement 2 wird nun "nachkommen", so daß der Schlitten 25 in der Geschwindigkeit des Armes wieder in seine ursprüngliche Position zurückbewegt wird, d.h. der Schlitten 25 weicht nur während Übergangsvorgängen aus seiner Ausgangsstellung ab und bewegt sich nach Ausregelung der Armabweichung wieder in die Ausgangsstellung zurück.
Zweckmäßigerweise kann das unbelastete Getriebe neben dem Laserstrahler 6 auch einen unbelasteten Arm führen, dessen Ende das Spiegelsystem für den Leistungslaser trägt.
Auch bei dieser Weiterbildung der Erfindung kann natürlich als Meßlaserstrahl 7 ein Teil des Leistungslaserstrahles 16 verwendet, d.h. über das Spiegelsystem 15 ausgekoppelt werden.
Die beschriebene Nachführsteuerung für den Leistungslaser­ strahl 16 sowie auch die Nachführung des Armes bzw. des Verbindungselementes 2 lassen sich für Schwenkbewegungen verwenden, sind jedoch erfindungsgemäß auch auf Doppel­ spiegelanordnungen für Dreh- und Schwenkbewegungen übertrag­ bar.

Claims (19)

1. Verfahren zum Korrigieren der Position eines freien Endes eines insbesondere durch Verbiegungen und/oder Torsionen aus seiner Sollposition ausgelenkten Roboterarmes mittels eines Wegmeßsystems, wobei der Roboterarm als Fortsetzung mindestens eines Gelenks oder einer entsprechenden Basis mindestens ein Verbindungselement aufweist, und wobei die Auslenkung aus der Sollposition am Ende des Verbindungselementes mit Hilfe eines von einem am anderen Ende des Verbindungselementes des Roboterarmes angeordneten Energiestrahler ausgehenden Energiestrahls gemessen und in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung der Roboterarm in die Sollposition automatisch nachgere­ gelt wird, nach Patent .... (Patentanmeldung P 36 14 122.4-32), dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl mittels eines im wesentlichen unbe­ lasteten Meßantriebes anhand eines vorgegebenen Sollwertes geführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl durch ein im wesentlichen unbelastetes, parallel zu einem belasteten Hauptgetriebe geschal­ tetes Modellgetriebe geführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl durch ein im wesentlichen unbelastetes, von dem eigentlichen, belasteten Hauptantrieb getrenntes Meßantriebssystem geführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßantriebssystem den Energiestrahl anhand des Soll­ wertes in die Sollposition vorführt und das Verbin­ dungselement durch den Hauptantrieb automatisch nach­ geführt wird.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zusammen mit dem Meß-Energiestrahl ein Leistungs­ laserstrahl mitgeführt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des Leistungslaserstrahles ausgekoppelt und als Meß-Energiestrahl verwendet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß während eines Übergangsvorganges, während dem der Hauptantrieb dem Meßantrieb nachläuft, der Leistungs­ laserstrahl in einem nachgeordneten Gelenk anhand der gemessenen Auslenkung des Roboterarmes automatisch in seine Sollrichtung geführt wird.
8. Roboterarm insbesondere zur Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bestehend aus mindestens einem Gelenk oder einer entsprechenden Basis, mindestens einem Verbindungselement, das dem Gelenk bzw. der Basis nachgeordnet ist, sowie mindestens einem Wegmeßsystem zum Messen von Auslen­ kungen des Verbindungselementes, wobei das Wegmeß­ system mindestens einen am oder im vorgeordneten Gelenk angeordneten Energiestrahler sowie mindestens ein Meßfeld vorzugsweise in oder an dem nachgeordne­ ten Gelenk aufweist, nach Patent .... (Patentanmel­ dung P 36 14 122.4-32), dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahler (6) an einem Ausgang eines im wesent­ lichen unbelasteten Meßantriebes angeordnet und gegenüber dem Gelenk (1) bzw. dem Verbindungselement (2) beweglich ist.
9. Roboterarm nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßantrieb von einem unbelasteten Modellgetriebe (11) gebildet ist, das parallel zu einem Hauptgetriebe (12) eines gemeinsamen Antriebes (13) angeordnet ist.
10. Roboterarm nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Modellgetriebe (11) und das Hauptgetriebe (12) die gleiche Übersetzung aufweisen.
11. Roboterarm nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Modellgetriebe (11) ein mechanisches Getriebe oder ein Getriebe eines Winkelmeßsystems, z.B. eines Absolutwertgebers, ist.
12. Roboterarm nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßantrieb von einem unbelasteten Meßantriebssystem (21) eines separaten Lage-Regelkreises (22) gebildet ist, wobei dem Meßantriebssystem (21) vorzugsweise ein eigenes, hochauflösendes Winkelmeßsystem (23) nachgeordnet ist, an dessen Ausgang der Energie­ strahler (6) angeordnet ist.
13. Roboterarm nach einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß am Ausgang des Modellgetriebes (11) bzw. des Winkelmeßsystems (23) zusätzlich zu dem Energie­ strahler (6) ein Spiegelsystem (15) zum Mitführen eines Leistungslaserstrahles (16) angeordnet ist.
14. Roboterarm nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Spiegelsystem (15) teildurchlässig ausgebildet ist, wobei in Richtung des einfallenden Leistungslaser­ strahles (16) gesehen hinter dem Spiegelsystem (15) ein den Laserstrahler (6) bildender Umlenkspiegel für einen den Meß-Energiestrahl (7) bildenden, ausgekop­ pelten Teilstrahl des Leistungslaserstrahls (16) angeordnet ist.
15. Roboterarm nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß an oder in dem nachgeordneten Gelenk (1 a) ein weiteres Spiegelsystem (15 a) für den Leistungslaserstrahl (16) angeordnet ist, wobei das weitere Spiegelsystem (15 a) vorzugsweise auf einer Kreisbahn (27) mit einem dem Abstand zwischen den Gelenken (1, 1 a) entsprechenden Radius beweglich geführt ist.
16. Roboterarm nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Spiegelsystem (15 a) mittels eines Antriebes (26) in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung des Armes bewegbar ist.
17. Roboterarm nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Spiegelsystem (15 a) auf einem beweglichen Schlitten (25) angeordnet ist, der vorzugsweise ein weiteres, in Richtung des Meß-Energiestrahls (7) gesehen hinter dem ersten Meßfeld (8) angeordnetes Meßfeld (8 a) trägt, wobei das erste Meßfeld (8) teildurchlässig ausgebildet ist.
18. Roboterarm nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahler (6) an der Abtriebsseite des Motors (21) angeordnet ist.
19. Roboterarm nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Spiegelsystem (15) an der Abtriebsseite des Motors (21) angeordnet ist.
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