DE8711827U1

DE8711827U1 - Vorrichtung zur Positionskorrektur von Industrieroboterarmen

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Publication number: DE8711827U1
Application number: DE8711827U
Authority: DE
Original assignee: FORSCHUNGSINSTITUT fur STEUERUNGSTECHNIK DER WERKZEUGMASCHINEN und FERTIGUNGSEINRICHTUNGEN IN DER INSTITUTSGEMEINSCHAFT STUTTGART EV 7000 STUTTGART DE
Current assignee: FORSCHUNGSINSTITUT fur STEUERUNGSTECHNIK DER WERKZEUGMASCHINEN und FERTIGUNGSEINRICHTUNGEN IN DER INSTITUTSGEMEINSCHAFT STUTTGART EV 7000 STUTTGART DE
Priority date: 1987-09-01
Filing date: 1987-09-01
Publication date: 1988-12-29

Description

Forschungsinstitut für Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Fertigungseinrichtungen in der Institutsgsmeinschaft Stuttgart e.V., Seidenstraße 36, 7000 Stuttgart 1

Vorrichtung zur Positionskorrektur von Industrieroboterarmen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Korrigieren der Position eines freien Endes eines insbesondere durch Verbiegungen und/oder Torsionen aus seiner Sollposition ausgelenkten Roboterarmes mittels eines Wegmeßsystems, wobei der Roboterarm als Fortsetzung mindestens eines Gelenkes oder einer entsprechenden Basis mindestens ein Verbindungselement aufweist, und wobei die Auslenkung aus der Sollposition am Ende des Verbindungselementes mit Hilfe eines von einem am anderen Ende des Verbindungselementes des Roboterarmes angeordneten Energiestrahler ausgehenden Energiestrahl gemessen und in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung der Roboterarm in die Sollposition

Zeppeünstr. 53, D-8C00 München 80 '.." .· ■; ·; ·..· ·

Telefon(089)484095-96,Telefax(089]:48^0Ö7 : : : : .Ui

Telex 5214168 sozad Postairoamt München (BLZ 70010080) 74620-809

automatisch nachgeregelt wird*

Weiterhin betrifft die Erfindung auch einen Roboterarm, bestehend aus mindestens einem Gelenk oder einer entsprechenden Basis, mindestens einem Verbindungselement, das dem >._^_ö_i. \3~~_&Lgr; 5_sr sssis nashgeQ^-dnet ist* sowie mindestens kinem Wegmeßsystem zum Messen von Ausienkungen des Verbindungselementes, wobei das Wegmeßsystem mindestens einen am oder im vorgeordneten Gelenk angeordneten Energiesträhler <§m Anfang des Verbindungselementes sowie mindestens ein Meßfeld am anderen Ende des Verbindungselementes, vorzugsweise in oder an eimern nachgeordneten Gelenk, aufweist.

Ein von der Anmelderin vorgeschlagenes, in den Roboterarm integriertes Wegmeßsystem hat sich ausgezeichnet bewährt, da Auslenkungen des Roboterarmes, die z.B. durch Torsionen des Getriebes und/oder Biegeverformungen der Verbindungselemente verursacht sein können, ausgeregelt werden können, und das Ende des Armes exakt in die Sollposition geführt werden

kann.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorgeschlagene Vorrichtung sowie den vorgeschlagenen Roboterarm hinsichtlich der Nachführgena? xgkeit weiter zu verbessern, wobei der Roboterarm aber nach wie vor konstruktiv einfach aufgebaut und damit preisgünstig sein soll.

t Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß der S

&iacgr; strahl mittels eines inv wesentlichen unbelastetsr. Me(^ntrie-

bes anhand des vorgegebenen Sollwertes geführt wird. Hier-

durch werden vorteilhafterweise bei der Nachführung bzw.

jj_; Positionskorrektur des Roboterarmes in seine Sollposit^on

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auch alle belastungsbedingten Verformungen des eigentlichen, belasteten Armantriebes mit berücksichtigt.

Der erfindungsgemäße Roboterarm zeichnet sich dadurch aus, daß der Energiestrahler an einem Ausgang eines im wesentlichen unbelasteten Meßantriebes angeordnet und gegenüber dem Gelenk bzw. dem Verbindungselement beweglich ist. Der Meßantrieb kann erfindungsgemäß von einem unbelasteten Modellgetriebe gebildet sein, das parallel zu einem Hauptgetriebe eines gemeinsamen Antriebes angeordnet ist. Alternativ hierzu kann der Meßantrieb aber auch durch ein unbelastetes Meßantriebssystem eines separaten Lage-Regelkreises gebildet sein. Dadurch, daß der Meßantrieb praktisch unbelastet ist, kann er von mechanisch sehr einfachen aber dennoch sehr genauen, kleinbauenden Komponenten gebildet sein. Dies trägt zu der angestrebten, einfachen Ausbildung des Roboterarmes bei.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungsmerkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.

Anhand der Zeichnung soll im folgenden die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines Teils eines Roboterarmes,

Fig. 2 ein schematisches Blockdiagramm einer ersten Ausführungsform einer Nachführ-Steuerung gemäjj, der Erfindung,

Fig. 3 öiü seheniätisches Blöckdiagfämm eitler aweiten Ausführutigsferm einet Nachfuhr-steuerung gemäß der Erfindung,

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Fig. 4 eine schematische Seitenansicht eines Teils eines Roboterannes mit einer Einrichtung zum Nachführen eines Leistungslaserstrahles und

Fig. 5 ein schematisches Blockschaltbild einer Steuerung der Nachführeinrichtung gemäß Fig. 4.

Fig. 1 zeigt einen Teil eines Roboterarmes mit einem Gelenk 1 und einem Verbindungselement 2, wobei ein Roboterarm in der Praxis mehrere Gelenke 1 sowie jeweils zwischen zwei Gelenken 1 ein Verbindungselement 2 aufweisen kann. Am Ende des letzten Gelenkes 1 ist üblicherweise eine Roboterhand (nicht dargestellt) angeordnet. Das Gelenk 1 ist eine autarke Einheit aus zwei Antriebssystemen, wobei eines der Antriebssysteme Drehungen um eine Achse 3 in Doppelpfeilrichtung 4 und das andere Antriebssystem Schwenkbewegungen um eine senkrecht zur Zeichenebene liegende Schwenkachse in Doppelpfeilrichtung 5 gestattet. Der genaue Aufbau des Gelenkes 1 ist z.B. in der EP-OS 85 11 40 49.1 beschrieben und braucht daher im Rahmen der vorliegenden Anmeldung nicht näher erläutert zu werden.

Der Roboterarm ist mit einem integrierten Meßsystem ausgestattet, welches durch belastungsbedingte Verbiegunqen und/oder Torsionen verursachte Auslenkungen am Ende des Roboterarmes bzw. des Verbindungselementes 2 mißt. In Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung wirri der Roboterarm bzw. das Verbindungselement 2 automatisch in seine Soll-Position nachgeregelt. Ein diesbezügliches Verfahren sowie ein Roboterarm zur Durchführung des Verfahrens sind in der

Patentanmeldung P 36 14 122*4-32

vor-geschlagen, und eö wiifd an dieser¹ Steile auf dessen Inhalt voll Bezug genommen.

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Das Meßsystem weist im vorgeordneten Gelenk 1 einen Energiestrahler, insbesondere einen Laserstrahler 6 auf, der einen Energie- bzw. Laserstrahl 7 in Richtung des entfernt liegenden Endes des Verbindungselementes 2 sendet, wo ein Meßfeld 8 angeordnet ist. Im unbelasteten, d.h. unausgelenkten Zustand des Verbxndungselementes 2 trifft dex- Laserstrahl 7 in ein definiertes Zentrum des Meßfeldes 8. Treten nun belastungsbedingte Verbiegungen und/oder Torsionen des Roboterarmes, d.h. des Gelenkes 1 und/oder des Verbxndungselementes 2 auf, so bewegt sich das Meßfeld 8 gegenüber dem Laserstrahl 7, so daß letzterer aus dem Zentrum abweicht. Das Meßfeld 8 ist in der Lage, anhand der Abweichungen Ausgangssignale &&agr; und/oder <i f zu erzeugen, die Schwenkabweichungen und/oder Torsionsabweichungen des Armes entsprechen. Anhand dieser Ausgangssignala wird gemäß dem Verfahren der Patentanmeldung der Roboterarm automatisch in die Soll-Position nachgeregelt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun der Laserstrahler 6 über einen unbelasteten fußantrieb geführt, so daß auch alle belastungsbedingten Verformungen des eigentlichen, belasteten Arm-Antriebes bei der Nachregelung des Roboterarmes in die Sollposition mit berücksichtigt werden.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 wird der Meßantrieb erfindungsgemäß durch ein unbelastetes, hochgenaues Modellgetriebe 11 gebildet, an dessen Ausgang der Laserstrahler 6 angeordnet ist. Diese Ausführungsform eignet sich insbesondere für solche Roboterarme, die überwiegend statisch arbeiten. Das Modellgetriebe 11 ist mechanisch parallel zu einem Hauptgetriebe 12 geschaltet, wobei beide Getriebe Il Und 12 von einem gemeinsamen Antrieb 13 angetrieben werden. Das Hauptgetriebe 12 ist im Gegensatz zu dem Modellgetriebe

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11 durch den anzutreibenden Schwenkarm bzw. das Verbindungselement 2 belastet. Beide Getriebe 11 und 12 weisen erfindungsgemäß die gleiche Übersetzung auf. Das Modellgetriebe kann sowohl ein rein mechanisches Getriebe, als auch das Getriebe eines Winkelmeßsystems, z.B. das Getriebe eines Absolutwertgebers, sein. Der gemeinsame Antrieb 13 von Modell- und Hauptgetriebe 11, 12 weist in an sich bekannter Weise eine Antriebsregelung 14 (Drehzahlregelung) auf. Treten nun Verformungen in dem belasteten Teil, d.h. in dem Hauptgetriebe 12 und/oder dem Verbindungselement 2, auf, so ermittelt das am Ende des Verbindungselementes 2 fest angeordnete Meßfeld 8 eine Differenz £. &psgr;, die zu dem Sollwert 5⁰SoIi addiert wird. Diese Summe Y_Ban ⁺ &Dgr; &PSgr; wird dem Antrieb 13 als korrigierter Sollwert zugeführt, der somit über das Hauptgetriebe 12 den Roboterarm bzw. das jeweilige Verbindungselement 2 in die korrigierte Sollposition X_soll +&Dgr;&KHgr; nachregelt. Die Differenz &Dgr; &psgr; bleibt dabei solange bestehen, wie Verformungen bzw. Abweichungen auftreten, da ja der Antrieb 13 zusammen mit dem Hauptgetriebe 12 auch das Modellgetriebe 11 und damit auch den Laserstrahler 6 vsrfährt.

In oiner vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist am Ausgang des Modellgetriebes 11 zusätzlich zu dem Laserstrahler 6 ein Spiegelsystem 15 - hier z.B. ein Prisma angeordnet, das zum Mitführen eines Leistungslaserstrahles 16 durch das Gelenk 1 dient. Dor Leistungslaserstrahl 16 wird erfindungsgemäß durch das, Über das Modellgetriebe 11 zusammen mit dem Laserstrahler 6 bewegte Spiegelsystem 15 für Laserstrahlbearbeitungsverfahren (z.B. Schweißen, Schneiden usw.) äußerst exakt sowie vorteilhafterweise unt&r Kompensierung von belastungsbedingten Abweichungen des Röböteraiimes bzw. des Verbindungöelementeä 2 positAcmieirt, und fcwar anhand der ermittelten Abweichung

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Es ist erfindungsgemäß weiterhin möglich/ über das Spiegelsystem 15 einen Teil des Leistungsläserstrahles 16 auszukoppeln und als Meß-Laserstrahl 7 zu verwenden. Hierzu wird das Spiegelsystem 15 z.B. als teildurchlässiges Prisma ausgebildet und anstelle des Lagerstrahlers 6 ein Umlenkspiegel verwendet, der den ausgekoppelten Teilstrahl des Leistungsläserstrahles 16 als Meßstrahl 7 in Richtung des Meßfeldes umlenkt. Hierdurch erübrigt sich vöE"teilhaftsrT»s±ss der Laserstrahler 6, bzw. wird dieser von einem einfachen Umlenkspiegel gebildet.

Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3, das sich insbesondere für dynamische Vorgänge eignet, wirr* eier Meßantrieb erfindungsgemäß durch ein unbelastetes Meßantriebssystem 21 eines separaten Lage-Regelkreises 22 gebildet. Dem Meßsntriebssystem 21 ist vorzugsweise ein eigenes, hochauflösendes Winkelmeßsystem 23 nachgeordnet, an dessen Ausgang der Läserstrahler 6 angeordnet ist. Der Laserstrahler 6 kann auch in vorteilhafter Weise an der Abtriebsseite des Motors 21 angeordnet sein. Zum Mitführen des Leistungslaserstrahles 16 kann - analog zu der oben beschriebenen Ausführung gemäß Fig. 2 - am Ausgang des Winkelmeßsystems 23 ebenfalls das Spiegelsystem 15 angeordnet sein. Vorteilhaft ist aber auch, das Spiegelsystem 15 an der Abtriebsseite des Motors 21 anzuordnen. Auch hier kann ein Teil des Leistungslaserstrahles 16 ausgekoppelt und als Meßstrahl 7 verwendet werden. Bei dieser Ausführung ist der separate, im wesentlichen unbela^ stete LageHüegelkreis 22 getrennt von dem belasteten, aus dem Antrieb 13 und dem Hauptgetriebe 12 bestehenden Antriebssystem des Roboterarms bzw. des Verbindungselementes 2, aber auf der gleichen "Basis" bzw. dem gleichen "Bezugspunkt" des Gelenkes 1 angeordnet, wobei der Antrieb auch hier - wie bekannt - die Antriebsregelung 14 besitzt.

Der erfindungsgemäße Folgeregelkreis gemäß Fig. 3 arbeitet nun wie folgt. Ein Sollwert f_soll wird dem Meßantriebs-

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system 21 vorgegeben, das hierdurch "anläuft" Und über den Lage-Regelkreis 22 den Heß-Laserstrahl 7 und §§■£, auch den Leistungslaserstrahl 16 in die gewünschte Sollposition ausrichtet. Hierdurch bewegt sich der Meß-Läserstrahl 7 aus dem Zentrum des Meßfeldes 8 hinaus, so daß letzteres ein der Abweichung entsprechendes Differenzsignal A^erzeugt/ wslchss dsn*. Antrieb 13 zugeführt wird, und welches bewirkt> daß der Roboterarm bzw. das Verbindungselement 2 mit dem Meßfeld 8 über das Hauptgetriebe 12 solange "nachgeführt" wird, bis der Meß-Laserstrahl 7 wieder in das definierte Zentrum des Meßfeldes 8 trifft und somit die Differenz Af zu "Null" wird. Hierdurch wird stets exakt die Sollposition des Endes des Roboterarmes bzw. des Verbindungseiementes 2 erreicht, auch wenn innerhalb des Hauptgetriebes 12 und/oder des Roboterarmes bzw. Verbindungselementes 2 Verformungen (Verdrehungen, Verbiegungen) auftreten.

In den Fig. 4 und 5 wird eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung veranschaulicht. Der Roboterarm bzw. dessen belasteter Antrieb ist im Vergleich zu dem unbelasteten Meßantrieb relativ träge, d.h. Lageabweichungen des Arms werden während einer bestimmten Übergangszeit, die etwa im Bereich von 20 bis 30 ms liegen kann, ausgeglichen, indem der Arm "nachgeführt" wird. Um nun während diesem "Übergangsvorgang" den über das Spiegelsystem 15 durch das vorgeordnete Gelenk 1 mitgeführten Leistungslaserstrahl 16 durch ein nachgeordnetes Gelenk la in Richtung eines riaöhgeordneten Verbindungselementes 2a verzerrungsfrei, d.h. exakt in seine Sollposition bzw. Sollausrichtung weiterzuführen, ist in dem nachfolgenden Gelenk la ein weiteres Spiegelsystem 15a angeordnet, das erfindungsgemäß derart beweglich geführt wird, daß entsprechend der jeweils gemessenen Korrekturgröße Af bei Abweichungen des Gelenkes la aus seiner Sollposition (z.B. durch Ver-

biegungen des Verbindungselementes 2) der Leistungslaserstrahl 16 dennoeh exakt in äeine Sollausirichtüng umgelenkt
wird. Auch für diese Steuerung (s. Fig. 5) wird erfindungs^ gemäß der Meßlaserstrahl 7 verwendet. In oder an dem nachgeordneten Gelenk la ist ein beweglicher Schlitten 25 angeordnet, der von einem schnellen Antrieb 26 vorzugsweise auf siner Kreisbahn 27 mit einem dem Abstand der Gelenke 1, la
entsprechenden Radius (Fig. 4) bewegbar ist. Der Schlitten 25 weist ein weiteres Meßfeld 8a auf, das mit dem Meßlaserstrahl 7 in der oben bereits in bezug auf das Meßfeld 0
beschriebenen Weise zusammenwirkt. Das Meßfeld 8a liegt in Richtung des Laserstrahles 7 gesehen hinter dem ersten Meßfeld 8, wobei letzteres teildurchlässig ausgebildet ist, so daß der Meßlaserstrahl 7 zum Nachführen des Armes bzw. des
Verbindungselementes 2 einerseits und zum Führen des
Schlittens 25 andererseits "aufgeteilt" wird.

Die Funktion dieser erfindungsgemäßen Nachführeinrichtung
für den Leistungslaserstrahl 16 ist nun wie folgt. Im
unbelasteten, unausgelenkten Zustand des Verbindungselementes 2 sind die erfaßten Differenzen A.j° sowohl des Meßfeldes 8 als auch des zweiten Meßfeldes 8a gleich "Null". Der
Leistungslaserstrahl 16 zeigt auf einen definierten Punkt
des Spiegelsystems 15a. Bei Sollwertänderungen und/oder bei auftretenden, belastungsbedingten Abweichungen des Armendes aus der Sollposition läuft der langsamere Hauptantrieb 13
dem Meßantrieb 11/23 hinterher; damit aber der Leistungslaserstrahl 16 dennoch in den gleichen definierten Punkt des Spiegelsystems 15a zeigt und somit nach wie vor exakt in die Sollrichtung umgelenkt wird, wird anhand der von dem zweiten Meßfeld 8a ermittelten Differenz &&psgr; über den schnellen
Antrieb 26 das Spiegelsystem 15a nachgeführt, bis das
Meßfeld 8a wieder eine Differenz "Null" erfaßt. Der Arm
bzw. das Verbindungselement 2 wird nun "nachkommen", so daß

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der Schlitten 25 in der Geschwindigkeit des Airmes wieder in seine ursprüngliche Position zurückbewegt wird, d*h. äer Schlitten 25 weicht nur während Übergangsvorgängeri aus seiher Ausgangsstellung ab und bewegt sich nach Aüsregelung der Armabweicihung wieder in die Ausgangsstellung zurück*

Eweckmäßigerweise kann das unbelastete Getriebe neben dem Laserstrahlen 6 auch einen unbelasteten Arm führen, dessen finde das Spiegelsystem für den Leistungslaser trägt.

>; Auch bei dieser Weiterbildung der Erfindung kann natürlich

als Meßlaserstrahl 7 ein Teil des Leistungslaserstrahles verwendet, d.h. über das Spiegelsystem 15 ausgekoppelt werden.

Die beschriebene Nachführsteuerung für den Leistungslaserstrahl 16 sowie auch die Nachführung des Armes bzw. des Verbindungselementes 2 lassen sich für Schwenkbewegungen verwenden, sind jedoch erfindungsgemäß auch auf Doppelspiegelanordnungen für Dreh- und Schwenkbewegungen übertragbar.

Claims

(Neue) Ansprüche

Roboterarm zum Korrigieren der Position eines freien Endes eines insbesondere durch Verbiegungen und/oder Torsionen aus seiner Sollposition ausgelenkten Roboterarmes mittels eines Wegmeßsystems, wobei der Roboterarm tls Fortsetzung mindestens eines Gelenks oder einer entsprechenden Basis mindestens ein Verbindungselement aufweist, und wobei die Auslenkung aus der Sollposition am Ende des VerbindungselementeB mit Hilfe eines von einem am anderen Ende des Verbindungselementes des Rob^terarmes angeordneten Energiestrahler ausgehenden Energiestrahls gemessen und in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung der Roboterarm in die Sollposition automatisch nachgeregelt wird, bestehend aus mindestens einem Gelenk oder einer entsprechenden Basis, mindestens einem Verbindungselement, das dem Gelenk bzw. der Basis nachgeordnet ist, sowie mindestens einem Wegmeßsystem zum Messen von Auslenkungen des Verbindungselements, wobei das Wegmeßsystem mindestens einen am oder im vorgeordneten Gelenk angeordneten Energiestrahler sowie mihdöätens ein MeBfeld vorzugsweise in oder an dem nächgeordneten Gelenk aufweist, dadurdh gekennzeichnet , daß der Ehergiestrahier (6) an einem Ausgang eines im wes&ntlichen unbelasteten

Zerjpelinstf.53, D-8000München GO ,"."", Telefon (009) 48 40 95-96, Telefax (089)'4"040^r Telex 5214168 söiäd ··' '

. Deutsche Bank AG München (BLZ7Ö07Ö01Ö) 709002Ö • :*Pofetgiroamt München (BLZ 70Ö1ÖÖ8Ö) 74620-809

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Meßantriebes angeordnet und gegenüber dem Gelenk (1) bzw. dem Verbindungselement (2) beweglich ist.
2. Roboterarm nach Anspruch 1, dadurch g e k e &eegr; &eegr; zeichnet, daß der Meßantrieb von einem unbelasteten Modellgetriebe (11) gebildet ist, das parallel zu einem Hauptgetriebe (12) eines gemeinsamen Antriebes (13) angeordnet ist.
3. Roboterarm nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Mociellgetriebe (11) und das Hauptgetriebe (12) die gleiche Übersetzung aufweisen .
4. Roboterarm nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß das Modellgetriebe (11) ein mechanisches Getriebe oder ein Getriebe eines Winkelmeßsystems, z.B. eines Absolutwertgebers, ist.
5. Roboterarm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßantrieb von einem unbelasteten Meßantriebs.system (21) eines separaten Lage-Regelkreises (22) gebildet ist, wobei dem Meßantriebssystem (21) vorzugsweise ein eigenes, hochauflösendes Wink«3lmeßsystem (23) nachgeordnet ist, an dessen Ausgang der Energiestrahler (6) angeordnet ist.
6. Roboterarm nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß am Ausgang des Modellgetriebes (11) bzw. des Winkelmeßsystems (23) zusätzlich zu dem Energiestrahier (6) ein Spiegelsystem (15) zum Mitführen eines Leistungisläsef Strahles (16) angeordnet ist.

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7. Roboterarm nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Spiegelsystem (15) teildurchläs9ig ausgebildet ist, wobei in Richtung des einfallenden LeistungsiaSDrstrahles (16) gesehen hinter dem Spiegelsystem (15) ein den Laserstrahler (6) bildender Umlenkspiegel für einen den Meß-Enefgiestfähi (7) bildenden, ausgekoppelten Tsilstr-üMl des Leistungslasefstfähls (16) angeordnet ist.
8« Roboterarm nach Anspruch 6 oder 7, dadurch ge- &igr;

kennzeichnet, daß an oder in dem häch·^ geordneten Gelenk (la) ein weiteres Spiegelsystem (15a) für den Leistungslaäerstrahl (16) angeordnet ist, wobei das weitere Spiegelsystem (15a) vorzugsweise auf einer Kreisbahn (27) mit einem dem Abstand zwischen den Gelenken (1, la) entsprechenden Radius beweglich geführt ist.
9. Roboterarm nach Anspruch 8, dadurch g e k e &pgr; &eegr; zeichnet, daß das weitere Spiegelsystem (15a) mittels eines Antriebes (26) in Abhängigkeit von der gemessenen Auslenkung des Armes bewegbar ist.
10. Roboterarm nach Anspruch 8 oder 9, dadurch g e kennzeichnet, daß das weitere Spiegelsystem (15a) auf einem beweglichen Schlitten (25) angeordnet ist, der vorzugsweise ein weiteres, in Richtung des Meß-Energiestrahls (7) gesehen hinter dem ersten Meßfeld (8) angeordnetes Meßfeld (8a) trägt, wobei das erste Meßfeld (8) teildurchlässig ausgebildet ist.

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Roboterarm nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadItY-ch gekennzeichnet , daß der Laserstrahler (6) an der Abtriebsseite des Motors (21) angeordnet ist*

Roböterärrn nach einem oder mehreren der Ansprüche i bis II, dadurch gekennzeichnet , daß das Spiegelsystem (15) an der Abtriäbsseite des Motors (21) angeordnet ist.