JP5331341B2 - 熱インプリント用樹脂 - Google Patents
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Description
(化1、化2中のR1からR29は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。)
(化3、化4中のR1からR29は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。)
(化7、化8中のR1からR29は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。)
(化9、化10中のR1からR29は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。)
ここで、化11もしくは化12で示される環状オレフィン系熱可塑性樹脂の重量平均分子量Mwは10,000〜1,000,000、好ましくは20,000〜500,000、更に好ましくは50,000〜300,000の範囲にあり、260℃におけるMFRの値[M]としては30以下、好ましくは20以下、更に好ましくは10以下の樹脂である。これにより樹脂の強度が高くなり、離型時に充填された樹脂が剥離、破損することを抑制でき、樹脂の流動性を損なわない範囲でインプリント性(転写性、離型性等)を向上することができる。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=134℃、MFR=11@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ100μmの透明な成形体(供試材1)を製造した。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=135℃、MFR=10@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ90μmの透明な成形体(供試材2)を製造した。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=109℃、MFR=16@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ100μmの透明な成形体(供試材3)を製造した。
環状オレフィン系開環重合体の水添体(Tg=138℃、MFR=8@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ110μmの透明な成形体(供試材4)を製造した。
環状オレフィン系開環重合体の水添体(Tg=136℃、MFR=7@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ110μmの透明な成形体(供試材5)を製造した。
環状オレフィン系開環重合体の水添体(Tg=105℃、MFR=9@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ100μmの透明な成形体(供試材6)を製造した。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=135℃、MFR=10@260℃)の15wt%ジエチルベンゼン溶液を調製し(添加剤無添加)、スピンコーターを用いてシリコンウェハー上でスピンコート(400rpm×5s、2000rpm×20s)した後、焼成(100℃×15min、150℃×30min)、アニール処理(110℃×30min)し、厚さ1.3μmの成形体(供試材7)を製造した。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=135℃、MFR=59@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ100μmの透明な成形体(供試材8)を製造した。
エチレン/ノルボルネン共重合体(Tg=132℃、MFR=51@260℃)をフィルム成形機で成形し、厚さ90μmの透明な成形体(供試材9)を製造した。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(164℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μmm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(164℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(164℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(164℃)に加熱した金型(パターン:ライン/スペース(L/S)=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(169℃)に加熱した金型(パターン: L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(169℃)に加熱した金型(パターン: L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(164℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材1をガラス転移温度Tg−23℃(111℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(169℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(111℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材2をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材3をガラス転移温度Tg−23℃(86℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(144℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(86℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材3をガラス転移温度Tg−23℃(86℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(144℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(86℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材3をガラス転移温度Tg−5℃(104℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(174℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(104℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材3をガラス転移温度Tg−5℃(104℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(174℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(104℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材3をガラス転移温度Tg−5℃(104℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(174℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(104℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(168℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(168℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(168℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+15℃(153℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で600秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+15℃(153℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で600秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(193℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(168℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(193℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(168℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−23℃(115℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(173℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが750Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(115℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(203℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材4をガラス転移温度Tg−5℃(133℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(193℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(133℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材5をガラス転移温度Tg−5℃(131℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(201℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(131℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた
供試材6をガラス転移温度Tg−23℃(82℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(140℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(82℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−23℃(82℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(140℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(82℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−23℃(82℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+15℃(120℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で600秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(82℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−5℃(100℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(160℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(100℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−23℃(82℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(140℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(82℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−5℃(100℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(160℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(100℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−23℃(82℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(140℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(82℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材6をガラス転移温度Tg−5℃(100℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(160℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(100℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材7をガラス転移温度Tg−15℃(120℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−15℃(120℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びや剥離の無い良好なパターンが転写されていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(165℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(165℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(165℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+35℃(170℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが500Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+15℃(150℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で600秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+15℃(150℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.75μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で600秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(165℃)に加熱した金型(パターン:L/S=1μm/1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材8をガラス転移温度Tg−23℃(112℃)に加熱した基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+30℃(165℃)に加熱した金型(パターン:ホール直径1μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で10秒間保持した。その後、金型の変位を保持しながら、Tg−23℃(112℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びが認められ、不良パターンとなっていた。
供試材9をガラス転移温度Tg−5℃(127℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(197℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが2000Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(127℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
供試材9をガラス転移温度Tg−5℃(127℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(197℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(127℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
供試材9をガラス転移温度Tg−5℃(127℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+65℃(197℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1500Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(127℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
供試材9をガラス転移温度Tg−5℃(127℃)に加熱したステンレス基板上に固定し、予め成型設定温度Tg+55℃(187℃)に加熱した金型(パターン:ピラー直径0.5μm/深さ1μm)を100μm/秒の速度で該フィルム表面に押し付け、金型上部に取り付けた荷重センサーが1750Nに達したところで、その荷重で300秒間保持した。その後、荷重を保持しながら、Tg−5℃(127℃)まで冷却し、冷却完了後、金型を10μm/秒の速度でフィルムから離型した。電子顕微鏡で観察したところ伸びおよび剥離が認められ、不良パターンとなっていた。
Claims (10)
- 下記化1で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<30である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、当該熱インプリント用樹脂のガラス転移温度(Tg)+65℃以下に加熱された型を押圧して、前記型のパターンを転写することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化1中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 下記化2で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<30である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、型を押圧した後、当該熱インプリント用樹脂のガラス転移温度(Tg)−25℃以上の温度で前記型と前記熱インプリント用樹脂とを離型することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化2中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 下記化3で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<30である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、型を2.5MPa以下で押圧して、前記型のパターンを転写することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化3中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 下記化4で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<20およびTg>90℃である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、当該熱インプリント用樹脂のガラス転移温度(Tg)+65℃以下に加熱された型を押圧して、前記型のパターンを転写することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化4中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 下記化5で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<20およびTg>90℃である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、型を押圧した後、当該熱インプリント用樹脂のガラス転移温度(Tg)−25℃以上の温度で前記型と前記熱インプリント用樹脂とを離型することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化5中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 下記化6で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<20およびTg>90℃である熱インプリント用樹脂からなるシート(射出成型体を除く)もしくはフィルム成型体(射出成型体を除く)に、型を2.5MPa以下で押圧して、前記型のパターンを転写することを特徴とする熱インプリント方法。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化6中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - 1以上の添加物を含有することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の熱インプリント方法。
- 前記添加物は、酸化防止剤および滑剤の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の熱インプリント方法。
- シート(射出成型体を除く)もしくはフィルム(射出成型体を除く)製造に供される、下記化7で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される環状オレフィン系熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<30である環状オレフィン系熱可塑性樹脂のインプリントプロセスへの使用。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化7中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。) - シート(射出成型体を除く)もしくはフィルム(射出成型体を除く)製造に供される、下記化8で表される環状オレフィンとα-オレフィンとの共重合体、または前記環状オレフィンの開環重合の後に水素化することで製造される環状オレフィン系熱可塑性樹脂であって、樹脂のガラス転移温度Tg(℃)と260℃におけるMFRの値([M])とが下記式(1)を満たすと共に、[M]<20およびTg>90℃である環状オレフィン系熱可塑性樹脂のインプリントプロセスへの使用。
Tg(℃)>219×log[M]−160 ・・・ 式(1)
(化8中のR 30 からR 48 は異なっていても同一でもよく、それぞれ水素原子、重水素原子、炭素数1〜15の炭化水素基、ハロゲン原子、または酸素、硫黄等のヘテロ原子を含有する置換基であり、互いに単環、多環構造を形成していてもよい。mおよびnは0以上の整数である。式(1)中の[M]は260℃におけるMFRの値を示す。)
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