JP5327423B2 - 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、放電ランプ、放電ランプと電源とを接続する際に使用される接続用ケーブル、放電ランプを備えた光源装置、及びこの光源装置を備えた露光装置に関する。

各種デバイス（マイクロデバイス、電子デバイス等）を製造するためのリソグラフィ工程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されたパターンをレジストが塗布されたウエハ（又はガラスプレート等）上に転写するために、ステッパー等の一括露光型（静止露光型）の投影露光装置、及びスキャニング・ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置では、水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせてなる露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。

従来の放電ランプを有する光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプがある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である（例えば、特許文献１参照）。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開平９−２１３１２９号公報 特開平１１−２８３８９８号公報

従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けていたため、口金に対する冷却作用が小さいという問題があった。
また、放電ランプには、固定側の口金と自由端側の口金とがあり、従来の冷却機構を用いて自由端側の口金を冷却する場合には、口金の周囲にも送風用の配管等を設置する必要があり、放電ランプからの光が多く遮光されるという問題があった。

本発明はこのような事情に鑑み、放電ランプの口金に対する冷却作用が大きいと共に、自由端側の口金を冷却する際に放電ランプから発生する光に対する遮光量が少ない光源装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ及び接続用ケーブル、並びにそのような光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。

本発明による放電ランプは、ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、そのガラス部材に連結された口金部材と、その口金部材に固定され、かつその口金部材を覆うカバー部材を有し、導電性材料で形成される中継部材と、その中継部材と電気的に接続される導電性部材を有し、電源からの電力が供給される連結部材と、その口金部材とそのカバー部材との間に形成され、その口金部材を冷却するための冷却用媒体を流す流路とを備え、その冷却用媒体は、その連結部材を介してその流路に供給されるものである。

また、本発明による接続用ケーブルは、ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプと冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、可撓性材料より形成されて、その冷却用媒体の流路を有する管状部材と、導電性を持つ可撓性材料より形成されて、かつその管状部材を覆うように設けられ、その電源からその放電ランプに電力を供給するための被覆部材と、その管状部材の一端に連結されるとともに、その被覆部材の一端に連結され、その放電ランプの口金部材を覆うカバー部材を有する中継部材に設けられた連結部材に接続可能な第１の端子部材とを備えたものである。

また、本発明による光源装置は、電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、本発明の放電ランプと、その電源及びその供給源と、その放電ランプとを接続するための本発明の接続用ケーブルとを有するものである。
また、本発明による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置を用いるものである。

本発明の放電ランプによれば、放電用の電力は、連結部材の導電性部材、中継部材、及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、冷却用媒体は、連結部材を介して口金部材に供給される。
本発明の接続用ケーブルによれば、電源からの電力は、可撓性を持つ被覆部材を介して放電ランプ側に供給され、供給源からの冷却用媒体は、その被覆部材で覆うように設けられた可撓性を持つ管状部材の内部を通して放電ランプ側に供給される。

従って、本発明の光源装置及び露光装置によれば、放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい。また、放電ランプの口金部材が自由端側にある場合に、接続用ケーブルによる放電ランプから発生する光の遮光量が少なく、光の利用効率が高いと共に、光源装置の温度上昇も少ない。

以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図１〜図５を参照して説明する。
図１は、本例の露光光源３０を備えた投影露光装置（露光装置）を示し、この図１において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ１が、取り付け部材３１を介して絶縁物よりなる固定板２９に固定されている。また、放電ランプ１内の陽極側及び陰極側の電極には、それぞれ電源３２から可撓性を持つ電力ケーブル３３Ａ及び３３Ｂを介して電力が供給されている。また、放電ランプ１の２つの口金には可撓性を持つ送風用配管３５Ａ及び３５Ｂを介して送風装置３４から、防塵フィルタを通して冷却された空気（以下、冷風と言う。）が供給されている。送風装置３４としては、外気を取り込んで除塵及び冷却を行って得られた空気（又は窒素ボンベから取り込んだ窒素ガス等でもよい）を所定の風量で供給する機構が使用できる。送風装置３４としては、それ以外に、工場内でエアーシリンダ等のために圧縮空気を供給する圧縮空気供給部を使用してもよい。その冷風は、室温程度でもよく、必ずしも室温以下にまで冷却されていなくともよい。

また、放電ランプ１のバルブ部を囲むように楕円鏡２（集光ミラー）が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ１のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡２の第１焦点Ｐ１の近傍に配置されている。放電ランプ１、楕円鏡２、取り付け部材３１、電力ケーブル３３Ａ，３３Ｂ、送風用配管３５Ａ，３５Ｂ、電源３２、及び送風装置３４を含んで露光光源３０が構成されている（詳細後述）。

放電ランプ１から射出された光束は、楕円鏡２によって第２焦点Ｐ２付近に収束された後、開状態のシャッタ３の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー４に入射する。シャッタ３の開閉はシャッタ駆動装置３ａによって行われ、一例として後述のステージ制御系１５が、装置全体の動作を統括制御する主制御系１４の指令のもとでシャッタ駆動装置３ａを制御する。

ミラー４で反射された光束は干渉フィルタ５に入射し、干渉フィルタ５により所定の輝線（例えば波長３６５ｎｍのｉ線）の露光光ＩＬのみが選択される。なお、露光光ＩＬとしては、ｉ線の他に、ｇ線、ｈ線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光ＩＬは、フライアイレンズ６（オプティカル・インテグレータ）に入射し、フライアイレンズ６の射出面に配置された可変開口絞り７上に多数の２次光源が形成される。可変開口絞り７を通過した露光光ＩＬは、第１リレーレンズ８を経てレチクルブラインド（可変視野絞り）９に入射する。レチクルブラインド９の配置面はレチクルＲのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９の開口形状を設定することで、レチクルＲ上での照明領域が規定される。また、ウエハＷのステッピング時等に不要な露光光がウエハＷ上に照射されないように、ステージ制御系１５が駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９を開閉できるようにも構成されている。

レチクルブラインド９を通過した露光光ＩＬは、第２リレーレンズ１０、露光光ＩＬを反射するダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を介してレチクルＲのパターン面のパターン領域を落射照明する。シャッタ３、ミラー４、干渉フィルタ５、フライアイレンズ６、可変開口絞り７、リレーレンズ８，１０、レチクルブラインド９、ダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を含んで照明光学系１３が構成されている。露光光源３０からの光束は、照明光学系１３を経て露光光ＩＬとしてレチクルＲ（マスク）を照明し、レチクルＲのパターン領域内のパターンが投影光学系ＰＬを介して、フォトレジストが塗布されたウエハＷ（感光基板）の一つのショット領域上に投影倍率β（βは例えば１／４，１／５等）で露光される。以下、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内で図１の紙面に平行にＸ軸を、図１の紙面に垂直にＹ軸を取って説明する。

このとき、レチクルＲは、レチクルベース（不図示）上でＸ方向、Ｙ方向、及びＺ軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージＲＳＴ上に保持されている。レチクルステージＲＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｒに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｒによって高精度に計測され、この計測値がステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５がリニアモータ等を含む駆動系１９Ｒを介してレチクルステージＲＳＴの位置を制御する。

一方、ウエハＷは不図示のウエハホルダを介してウエハステージＷＳＴ上に保持され、ウエハステージＷＳＴはウエハベース（不図示）上にＸ方向及びＹ方向に移動自在に載置されている。ウエハステージＷＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｗに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｗにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５はリニアモータ等を含む駆動系１９Ｗを介してウエハステージＷＳＴ（ウエハＷ）の位置を制御する。

ウエハＷの露光時には、ウエハステージＷＳＴによりウエハＷの各ショット領域を投影光学系ＰＬの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源３０からの光束を照明光学系１３を介してレチクルＲに照射して、レチクルＲのパターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルＲのパターンの像がウエハＷ上の各ショット領域に転写される。

なお、この露光に際して予めアライメントを行うために、レチクルＲの上方には、レチクルＲに形成されたアライメントマークの位置を検出するためのレチクルアライメント顕微鏡２０が設置され、投影光学系ＰＬの側面には、ウエハＷ上の各ショット領域に付設されたアライメントマークの位置を検出するためのアライメントセンサ２１が設置されている。また、ウエハステージＷＳＴ上のウエハＷの近傍にはアライメントセンサ２１等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材２２が設けられている。レチクルアライメント顕微鏡２０及びアライメントセンサ２１の検出信号はアライメント信号処理系１６に供給され、アライメント信号処理系１６は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系１４に供給する。主制御系１４は、その配列座標の情報に基づいてレチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行う。

次に、本例の投影露光装置の放電ランプ１を含む露光光源３０の基本的な構成につき説明する。
図２（Ａ）は、図１の露光光源３０中の放電ランプ１及びその取り付け機構を示す一部を切り欠いた図であり、この図２（Ａ）において、放電ランプ１は、バルブ部２５ａ及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の２つの棒状部２５ｂ，２５ｃからなるガラス管２５と、一方の固定側の棒状部２５ｂの端部に連結された陰極側の口金部２６と、他方の外側に向けて階段状に直径が小さくなる自由端側の棒状部２５ｃの端部に連結された陽極側の口金部２８とを備えている。そのバルブ部２５ａ内に発光部を形成するための陽極ＥＬ１及び陰極ＥＬ２が対向して固定され、陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１はそれぞれ口金部２６及び２８に接続され、口金部２６及び２８は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部２６、ガラス管２５、及び口金部２８は、ガラス管２５の棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ１の長手方向Ｌである。

口金部２６及び２８は、基本的に陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１に電源３２から電力ケーブル３３Ｂ及び３３Ａ（図１参照）を介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部２６は、ガラス管２５（放電ランプ１）を保持するための被保持部としても使用され、口金部２６及び２８はともにガラス管２５から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す機構を備えている。

即ち、陰極ＥＬ２に接続された口金部２６には、棒状部２５ｂから外側に順に、フランジ部２６ａと、円柱状の軸部２６ｂと、円柱状の凹部２６ｆと、軸部２６ｂより僅かに小さい外径の円柱状の固定部２６ｈとが形成され、凹部２６ｆと固定部２６ｈとの境界部に長手方向Ｌにほぼ垂直な面よりなる被押圧面２６ｇが形成されている。
放電ランプ１を固定する際には、放電ランプ１の軸部２６ｂを２点鎖線で示す取り付け部材３１の開口部３１ｂに嵌合させて、フランジ部２６ａを取り付け部材３１の上面３１ａに載置する。図２（Ｂ）に示すように、フランジ部２６ａには円形の開口２７Ａ，２７Ｂが形成されており、これらの開口２７Ａ，２７Ｂに図２（Ａ）の上面３１ａに固定されている円柱状の突部（不図示）を挿通することで、放電ランプ１の回転方向の位置決めが行われる。

また、軸部２６ｂの外面に、長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２６ｄが形成されている。溝部２６ｄには、送風装置３４から可撓性を持つ送風用配管３５Ｂ、及び取り付け部材３１に形成された送風路３１ｃを介して冷風が供給されている。また、導電性の良好な金属製の取り付け部材３１に端子３８がボルト３９によって固定され、端子３８が電力ケーブル３３Ｂによって電源３２に接続されている。この構成により、電源３２から、電力ケーブル３３Ｂ、端子３８、取り付け部材３１、及び口金部２６のフランジ部２６ａを介して放電ランプ１の陰極ＥＬ２に電力が供給される。

また、取り付け部材３１の下方の３箇所に回転自在に、かつ引っ張りコイルばね３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃによって下方に付勢されるように付勢部材３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃが固定されている。付勢部材３６Ａ〜３６Ｃの先端部で口金部２６の被押圧面２６ｇを下方に付勢することによって、口金部２６（ひいては放電ランプ１）が取り付け部材３１に安定に保持される。さらに、不図示のレバー機構によって付勢部材３６Ａ〜３６Ｃを上方に引き上げることによって、放電ランプ１を容易に取り付け部材３１から取り外すことができる。

次に、図２（Ａ）において、放電ランプ１の陽極側（本例では自由端側でもある）の口金部２８の概略構造は、ほぼ円柱状の軸部２８ａの表面に長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２８ｂを形成したものである。さらに、口金部２８を外側から覆うように導電性の良好な金属（例えば銅、しんちゅう、アルミニウム等。以下同様）製のほぼ円筒状のカバー部材５０が固定されている。カバー部材５０上に導電性の良好な金属製のほぼ円板状の流路折り曲げ部材５１が固定され、流路折り曲げ部材５１の長手方向Ｌに直交する方向を向いて平面に加工された側面５１ａ（図３（Ｂ）参照）に、口金側コネクタ５２が固定されている。口金側コネクタ５２の長手方向Ｌに直交する方向を向いた連結部に図１の電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａを連結可能である（詳細後述）。

このように放電ランプ１の長手方向Ｌに直交する方向に向けて、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａを連結するための口金側コネクタ５２を設けた場合には、図１に示すように、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａを、楕円鏡２によって放電ランプ１からの光束が集光される第２焦点Ｐ２から離すことができる。従って、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａによる放電ランプ１からの光束の遮光量が少ないとともに、その光束によって加熱される部材が少なくなるため、放電ランプ１の温度上昇が抑制される。

図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の放電ランプ１の陽極側の口金部２８付近の構成を示す拡大断面図であり、図３（Ａ）は図３（Ｂ）の平面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。図３（Ｂ）において、口金部２８の溝部２８ｂが形成された軸部２８ａの上端には、リング状の切り欠き部２８ｄを隔てて円板状のマウント部２８ｃが形成され、マウント部２８ｃの中心部から外側に向けて通気用の溝部２８ｅが形成されている。

また、カバー部材５０は、マウント部２８ｃの上面に載置される輪帯状の平板部５０ａと、口金部２８の側面を覆う円筒部５０ｃとを有し、円筒部５０ｃの先端部５０ｃａは、口金部２８からさらにガラス管２５の棒状部２５ｃ側に伸びている。なお、図３（Ｂ）では、軸部２８ａと円筒部５０ｃとの間には隙間があるように描かれているが、その隙間は実際には極めて小さくしてもよい。

カバー部材５０上に固定された流路折り曲げ部材５１の底面には、カバー部材５０の平板部５０ａの中央の開口５０ｂに突き出るように円筒状の突部５１ｄが形成され、この突部５１ｄの中央部から流路折り曲げ部材５１の中央部に向かい、そこで平坦な側面５１ａに向かって折れ曲がるように冷風を供給するための送風路５１ｃが形成され、送風路５１ｃの先端部は側面５１ａに設けられた凹部５１ｂに連通している。また、図３（Ａ）に示すように、流路折り曲げ部材５１の上面の４箇所に座ぐり部５１ｅが形成され、座ぐり部５１ｅ内のボルト５３によって、図３（Ｂ）に示すように、流路折り曲げ部材５１及びカバー部材５０（ボルト５３用の開口が設けられている）が口金部２８に一体的に固定されている。

また、口金側コネクタ５２は、流路折り曲げ部材５１の側面５１ａに固定された固定部５４と、固定部５４の中央の開口部にねじ部５５ａによって螺合するように固定された円筒部５５とを有し、固定部５４及び円筒部５５はともに導電性の良好な金属製である。固定部５４は側面５１ａに固定された平板部５４ａと外側に突き出た円筒部５４ｂとを有し、円筒部５４ｂ内の３箇所に凹部５４ｃが形成されている。また、平板部５４ａの４箇所に図３（Ｃ）に示すように座ぐり部５４ｄが形成され、座ぐり部５４ｄ内のボルト５６によって、固定部５４（ひいては口金側コネクタ５２）が流路折り曲げ部材５１の側面５１ａに固定されている。

図３（Ｂ）において、図１の電力ケーブル３３Ａを介して口金側コネクタ５２の固定部５４に供給される電力は、流路折り曲げ部材５１、カバー部材５０、及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。また、図１の送風用配管３５Ａを介して口金側コネクタ５２の円筒部５５に供給される冷風は、流路折り曲げ部材５１の凹部５１ｂ、送風路５１ｃ、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、及び切り欠き部２８ｄを通して口金部２８の溝部２８ｂに供給され、溝部２８ｂを流れた空気は、棒状部２５ｃとカバー部材５０の先端部５０ｃａとの間から図２（Ａ）のガラス管２５のバルブ部２５ａ側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。

次に、図４は、図１の電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａを含む本例の連結ケーブル５７を示し、この図４において、連結ケーブル５７は、ケーブル側第１コネクタ５８Ａと、ケーブル側第１連結部材６２Ａと、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａと、ケーブル側第２連結部材６２Ｂと、ケーブル側第２コネクタ５８Ｂとを連結して構成されている。ケーブル側第１コネクタ５８Ａは、円筒状の先端部５９Ａａを持つ本体部材５９Ａと、本体部材５９Ａ内に止めねじ６１Ａによって固定された細長い円筒部材６０Ａとを有している。先端部５９Ａａの外面の３箇所に突部５９Ａｂが設けられ、先端部５９Ａａの突部５９Ａｂを円周方向に挟む位置に可撓性を持たせるためのすり割り部（不図示）が形成されている。円筒部材６０Ａは、図３（Ａ）の口金側コネクタ５２の円筒部５５内に差し込める大きさであり、本体部材５９Ａの先端部５９Ａａは、図３（Ａ）の口金側コネクタ５２の固定部５４の円筒部５４ｂの内面に嵌合する大きさである。先端部５９Ａａを円筒部５４ｂ内に差し込んだ状態で、先端部５９Ａの突部５９Ａｂが、図３（Ｂ）の円筒部５４ｂ内の凹部５４ｃに収納されて、先端部５９Ａａが円筒部５４ｂに安定に保持される。なお、円筒部材６０Ａの先端部には円筒部５５に容易に連結できるようにテーパ部が形成されているが、例えば加工精度が高い場合にはそのテーパ部は省略してもよい。

図４において、ケーブル側第１連結部材６２Ａは、ケーブル側第１コネクタ５８Ａの本体部材５９Ａのねじ部５９Ａｃに螺合されて固定された先端部６３Ａａを持つ本体部材６３Ａと、本体部材６３Ａ内に止めねじ６５Ａによって固定された細長い円筒部材６４Ａとを有し、本体部材６３Ａの他端側には円筒部６３Ａｂが形成され、円筒部６３Ａｂからさらに外側に円筒部材６４Ａが突き出ている。ケーブル側第１コネクタ５８Ａの本体部材５９Ａ及び円筒部材６０Ａと、ケーブル側第１連結部材６２Ａの本体部材６３Ａ及び円筒部材６４Ａとは、いずれも導電性の良好な金属製である。

また、本例では、電力ケーブル３３Ａは、矢印Ｂの外観で示すように、細長い多数の導線を円筒の網目状に編んだ可撓性を持つ部材であり、この電力ケーブル３３Ａ内に、軟性の合成樹脂（例えば軟質ポリ塩化ビニル、低密度ポリエチレン等。以下同様）又は合成ゴム等よりなり、可撓性を持つ細長い円筒状の送風用配管３５Ａが収納されている。電力ケーブル３３Ａの両端部は送風用配管３５Ａよりも長く伸びており、送風用配管３５Ａは、ケーブル側第１連結部材６２Ａの円筒部材６４Ａが収納できる大きさである。そして、円筒部材６４Ａの先端部が送風用配管３５Ａ内に差し込まれ、かつ電力ケーブル３３Ａの先端部がケーブル側第１連結部材６２Ａの円筒部６３Ａｂを覆っている状態で、送風用配管３５Ａの先端部及び円筒部６３Ａｂを電力ケーブル３３Ａで締め付けるように、金属製のベルト部６６Ａが固定されている。

また、ケーブル側第２連結部材６２Ｂは、ケーブル側第１連結部材６２Ａと対称的に、本体部材６３Ｂに止めねじ６５Ｂによって円筒部材６４Ｂを固定して構成され、ケーブル側第２コネクタ５８Ｂは、ケーブル側第１コネクタ５８Ａと対称的に、本体部材５９Ｂに止めねじ６１Ｂによって円筒部材６０Ｂを固定して構成されている。本体部材５９Ｂ，６３Ｂ及び円筒部材６０Ｂ，６４Ｂはいずれも導電性の良好な金属製であり、円筒部材６４Ｂの先端部が差し込まれた送風用配管３５Ａの先端部及び本体部材６３Ｂの円筒部６３Ｂｂを電力ケーブル３３Ａで締め付けるように金属製のベルト部６６Ｂが固定されている。これによって、送風用配管３５Ａと円筒部材６４Ａ，６４Ｂとが連通するように、かつ電力ケーブル３３Ａと本体部材６３Ａ，６３Ｂとが電気的に導通するように、ケーブル側連結部材６２Ａ及び６２Ｂと電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａとが連結されている。

また、ケーブル側第２連結部材６２Ｂの本体部材６３Ｂの先端部６３Ｂａがケーブル側第２コネクタ５８Ｂの本体部材５９Ｂのねじ部５９Ｂｃに螺合されて固定されている。ケーブル側第２コネクタ５８Ｂの本体部材５９Ｂの円筒状の先端部５９Ｂａの外面の３箇所に突部５９Ｂｂが形成されている。
図４の連結ケーブル５７において、図１の電源３２からケーブル側第２コネクタ５８Ｂの本体部材５９Ｂに供給された電力は、ケーブル側第２連結部材６２Ｂの本体部材６３Ｂ、電力ケーブル３３Ａ、ケーブル側第１連結部材６２Ａの本体部材６３Ａ、及びケーブル側第１コネクタ５８Ａの本体部材５９Ａを介して図３（Ｂ）の口金側コネクタ５２に供給される。また、図１の送風装置３４から図４のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの円筒部材６０Ｂ内に供給された冷風は、ケーブル側第２連結部材６２Ｂの円筒部材６４Ｂ、送風用配管３５Ａ、ケーブル側第１連結部材６２Ａの円筒部材６４Ａ、及びケーブル側第１コネクタ５８Ａの円筒部材６０Ａを介して図３（Ｂ）の口金側コネクタ５２の円筒部５５内に送風される。

なお、連結ケーブル５７において、円筒部部材６０Ａ，６４Ａ，６４Ｂ，６０Ｂは省略することが可能である。さらに、ケーブル側連結部材６２Ａ及び６２Ｂを省略して、ケーブル側コネクタ５８Ａ及び５８Ｂに電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａを連結する構成を採用することも可能である。
次に、図５は、図３（Ｂ）の放電ランプ１の口金側コネクタ５２と図１の電源３２及び送風装置３４とを図４の連結ケーブル５７で連結（接続）した状態を示し、この図５において、導電性の良好な金属製の取り付け部材４０に、図３（Ｂ）の口金側コネクタ５２と同じ構造の、導電性の良好な金属製の固定部４２と円筒部４３とからなる電源側コネクタ４１の平板部４２ａがボルト（不図示）によって固定されている。固定部４２の円筒部４２ｂは、その内面に図４の連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの先端部５９Ｂａが嵌合できる大きさであり、円筒部４３は、その内側にそのケーブル側第２コネクタ５８Ｂの円筒部材６０Ｂが差し込める大きさである。また、図４のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの先端部５８Ｂａの突部５９Ｂｂに対応するように、図５の円筒部４２ｃの内面に凹部４２ｃが形成されている。なお、円筒部材６０Ｂの先端部には円筒部４３に容易に連結できるようにテーパ部が形成されているが、例えば加工精度が高い場合にはそのテーパ部は省略してもよい。

また、取り付け部材４０にボルト４４で固定された端子が電力ケーブル４６で電源３２に連結されており、電力ケーブル４６と電源側コネクタ４１の固定部４２とは電気的に導通している。さらに、電源側コネクタ４１の円筒部４３は、取り付け部材４０に設けられた凹部４０ａ及び配管路に沿って配置された配管４５を介して送風装置３４に連結され、送風装置３４から電源側コネクタ４１の円筒部４３に冷風を供給できるように構成されている。

図５において、放電ランプ１の口金側コネクタ５２に連結ケーブル５７を接続するためには、口金側コネクタ５２の円筒部５４ｂ内に連結ケーブル５７のケーブル側第１コネクタ５８Ａの先端部５９Ａａを差し込み、先端部５９Ａａの突部５９Ａｂを円筒部５４ｂ内の凹部５４ｃに嵌合させればよい。なお、先端部５９Ａａと円筒部５４ｂとの連結方法は、突部５９Ａｂと凹部５４ｃとを合わせる方法以外の、通常のコネクタ同士の連結で使用されている任意の方法を使用可能である。これは連結ケーブル５７と電源側コネクタ４１との連結についても同様である。すなわち、電源側コネクタ４１に連結ケーブル５７を接続するためには、電源側コネクタ４１の円筒部４２ｂ内に連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの先端部を差し込み、円筒部４２ｂ内の凹部４２ｃにその先端部の突部５９Ｂｂを嵌合させればよい。このように連結ケーブル５７を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを接続できる。

この場合、放電ランプ１の口金側コネクタ５２の円筒部５４ｂと連結ケーブル５７のケーブル側第１コネクタ５８Ａの先端部５９Ａａとが連結される。このため、口金側コネクタ５２の円筒部５５にケーブル側第１コネクタ５８Ａの円筒部材６０Ａが差し込まれて、両者は連通する。さらに、電源側コネクタ４１の円筒部４２ｂと連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの先端部とが連結される。このため、電源側コネクタ４１の円筒部４３にケーブル側第２コネクタ５８Ｂの円筒部材６０Ｂが差し込まれて、両者は連通する。

図５において、電源３２から電力ケーブル４６を介して電源側コネクタ４１の固定部４２に供給される電力は、連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂ（本体部材５９Ｂ）、ケーブル側第２連結部材６２Ｂ（本体部材６３Ｂ）、電力ケーブル３３Ａ、ケーブル側第１連結部材６２Ａ（本体部材６３Ａ）、及びケーブル側第１コネクタ５８Ａ（本体部材５９Ａ）を介して口金側コネクタ５２の固定部５４及び円筒部５５に供給される。そして、口金側コネクタ５２の固定部５４に供給された電力は、流路折り曲げ部材５１、カバー部材５０、及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。

一方、図５の送風装置３４から配管４５を介して電源側コネクタ４１の円筒部４３に供給された冷風は、矢印Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４で示すように連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの円筒部材６０Ｂ、ケーブル側第２連結部材６２Ｂの円筒部材６４Ｂ、送風用配管３５Ａ、ケーブル側第１連結部材６２Ａの円筒部材６４Ａ、及びケーブル側第１コネクタ５８Ａの円筒部材６０Ａを介して口金側コネクタ５２の円筒部５５内に送風される。そして、円筒部５５に供給された冷風は、矢印Ａ５，Ａ６，Ａ７で示すように、流路折り曲げ部材５１の送風路５１ｃ、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、切り欠き部２８ｄ、口金部２８の溝部２８ｂ、及び棒状部２５ｃとカバー部材５０の先端部５０ｃａとの間の空間を通ってガラス管２５のバルブ部２５ａ（図２（Ａ）参照）側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。

また、図５において、例えば放電ランプ１のメンテナンスを行うために、放電ランプ１から連結ケーブル５７を分離する場合には、口金側コネクタ５２の円筒部５４ｂから連結ケーブル５７のケーブル側第１コネクタ５８Ａの先端部５９Ａａを引く抜けばよい。また、電源３２及び送風装置３４から連結ケーブル５７を分離するためには、電源側コネクタ４１の円筒部４２ｂから連結ケーブル５７のケーブル側第２コネクタ５８Ｂの先端部を引く抜けばよい。このように連結ケーブル５７を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを分離できる。

本実施形態の露光光源３０及び露光装置の作用効果は以下の通りである。
（１）図３（Ｂ）の放電ランプ１は、ガラス管２５に連結された口金部２８と、この口金部２８上に設けられ、導電性材料で形成される流路折り曲げ部材５１と、この流路折り曲げ部材５１と導通する固定部５４を有する口金側コネクタ５２と、流路折り曲げ部材５１内の送風路５１ｃと口金側コネクタ５２の円筒部５５内の送風路とを含み、口金部２８に冷風を流すための送風路とを備えている。

従って、放電用の電力は、口金側コネクタ５２の固定部５４、流路折り曲げ部材５１、及び口金部２８を介して放電用の電極に供給され、冷風は、流路折り曲げ部材５１及び口金側コネクタ５２内の送風路を介して口金部２８に供給される。これによって、口金部２８が効率的に冷却される。
（２）また、口金側コネクタ５２の固定部５４の先端部は円筒状であり、その内部に送風路を形成する円筒部５５が設置されている。従って、その固定部５４の先端部に図４の連結ケーブル５７のケーブル側第１コネクタ５８Ａを容易に連結できるとともに、この連結とともにケーブル側第１コネクタ５８Ａ内の円筒部材６０Ａ内の送風路を円筒部５５内の送風路に連通できる。

（３）また、口金部２８はガラス管２５に対して長手方向Ｌ（図２（Ａ）参照）に連結され、口金側コネクタ５２は、流路折り曲げ部材５１に対して固定部５４の先端部がその長手方向Ｌと直交する方向（交差する方向でもよい）を向くように取り付けられる。従って、その口金側コネクタ５２に対してその長手方向Ｌと直交する方向に図４の連結ケーブル５７を連結できるため、連結ケーブル５７を図１の楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から離して配置できる。従って、連結ケーブル５７による放電ランプ１からの光の遮光量を少なくできる。

（４）また、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材５１は、長手方向Ｌと直交する方向（交差する方向でよい）から長手方向Ｌに向かう送風路５１ｃを有している。従って、長手方向Ｌと直交する方向から供給された冷風を折り曲げて口金部２８の方向に供給できる。
（５）また、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材５１の底面に、口金部２８の側面を覆う円筒部５０ｃを持つカバー部材５０が固定されており、流路折り曲げ部材５１内の送風路５１ｃは、カバー部材５０と口金部２８との間の送風路に連通している。従って、口金部２８を効率的に冷却できる。

（６）また、本実施形態では、カバー部材５０と口金部２８との間を介してガラス管２５側に冷風を供給している。このように口金部２８を冷却した空気をガラス管２５側に供給することによって、ガラス管２５をも冷却できる。これに関して、カバー部材５０の円筒部５０ｃの先端部５０ｃａを口金部２８よりも延ばすことによって、ガラス管２５側に対する冷却効果を高めることが可能である。ただし、例えば送風量が多いような場合には、先端部５０ｃａを必ずしも口金部２８よりも延ばす必要はない。

なお、冷風（又は他の気体）の代わりに、冷却された液体（純水、フッ素系不活性液体等）を使用してもよい。この場合には、口金部２８の表面を流れた液体を回収して再び冷却して口金側コネクタ５２側に供給するための回収路を設けてもよい。
（７）また、カバー部材５０と口金部２８との間の、口金部２８の軸部２８ａの表面には送風路としての溝部２８ｂが螺旋状に形成されている。このように口金部２８の表面に螺旋状に送風することによって、口金部２８の冷却効率を向上できる。

なお、このように口金部２８の軸部２８ａ側に溝部２８ｂを設ける代わりに、カバー部材５０の円筒部５０ｃの軸部２８ａに対向する領域に、螺旋状の溝部を形成してもよい。この構成によっても、口金部２８を冷却効率を向上できる。
（８）また、図３（Ｂ）の口金部２８の上端にマウント部２８ｃが設けられ、螺旋状の溝部２８ｂは、マウント部２８ｃの側面に設けられた溝部２８ｅに連通している。従って、そのマウント部２８ｃ上にカバー部材５０及び流路折り曲げ部材５１等を設置できるとともに、流路折り曲げ部材５１の送風路５１ｃからの冷風をカバー部材５０の開口５０ｂ及びその溝部２８ｅを介して口金部２８の側面の溝部２８ｂに導くことができる。

（９）また、図４の連結ケーブル５７は、冷風及び電力を用いる放電ランプ１と図５の電源３２及び送風装置３４とを連結するためのケーブルであって、可撓性材料より形成されて、冷風の送風路を有する送風用配管３５Ａと、導電性を持つ可撓性材料より形成されて、送風用配管３５Ａを覆うように設けられた電力ケーブル３３Ａとを備えている。この場合、電源３２からの電力は、電力ケーブル３３Ａを介して放電ランプ１側に供給され、送風装置３４からの冷風は、送風用配管３５Ａを介して放電ランプ１側に供給される。従って、実質的に一つのケーブルを用いて電力と冷風とを容易に放電ランプ１に供給できる。

（１０）また、電力ケーブル３３Ａは、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。
（１１）また、連結ケーブル５７は、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａの一端に連結されるケーブル側第１コネクタ５８Ａを備え、このケーブル側第１コネクタ５８Ａを介して放電ランプ１の口金側コネクタ５２と接続されるため、放電ランプ１との連結及び分離を容易に、かつ迅速に行うことができる。

（１２）また、連結ケーブル５７は、電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａの他端に連結されるケーブル側第２コネクタ５８Ｂを備え、このケーブル側第２コネクタ５８Ｂを介して電源３２及び送風装置３４側の電源側コネクタ４１と接続される。従って、電源３２及び送風装置３４との連結及び分離を容易に、かつ迅速に行うことができる。
（１３）また、本実施形態の露光光源３０は、図５の電源３２と送風装置３４とに接続される装置であって、図５の放電ランプ１と、連結ケーブル５７とを備え、電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを連結ケーブル５７によって接続している。従って、電源３２からの電力は、連結ケーブル５７の電力ケーブル３３Ａ、放電ランプ１の口金側コネクタ５２の固定部５４、流路折り曲げ部材５１、及び口金部２８を介して放電用の電極に供給される。さらに、送風装置３４からの冷風は、連結ケーブル５７の電力ケーブル３３Ａ内の送風用配管３５Ａを通過した後、放電ランプ１の口金側コネクタ５２及び流路折り曲げ部材５１内の送風路を通して口金部２８に供給される。従って、口金部２８に対する冷却作用が大きい。また、本例の口金部２８は、放電ランプ１の自由端側にあるが、連結ケーブル５７による放電ランプ１から発生する光の遮光量が少ないため、光の利用効率が高いと共に、放電ランプ１の温度上昇も少ない。

（１４）また、本例の露光装置は、放電ランプ１から発生した露光光によってウエハＷ（感光基板）にレチクルＲのパターンを露光する露光装置であって、露光光源として本例の露光光源３０を用いている。従って、放電ランプ１からの光の遮光量が少なくなり、露光光の照度を高めて露光工程のスループットを高めることができる。さらに、放電ランプ１を効率的に冷却でき、熱変形が低減するため、結像特性等を向上できる。

なお、上記の実施形態では、図３（Ｂ）に示すように、放電ランプ１の流路折り曲げ部材５１の側面５１ａに直接、口金側コネクタ５２を固定している。しかしながら、この代わりに、図６に示すように、流路折り曲げ部材５１の側面５１ａに、延長ケーブル５７Ａを介して口金側コネクタ５２Ａを連結してもよい。
図６は、この変形例の放電ランプ１の陽極側の口金部２８を含む部分の構成を示し、この図６において、流路折り曲げ部材５１の側面５１ａに、中央に送風用の開口が形成された連結部材７０がボルト７１によって固定されている。また、延長ケーブル５７Ａは、図４の連結ケーブル５７内の電力ケーブル３３Ａ及び送風用配管３５Ａとそれぞれ同じ構成（ただし、この変形例では長さが短い点が異なっている）の電力ケーブル３３Ａ１及び送風用配管３５Ａ１から構成され、網目状に編み込まれた電力ケーブル３３Ａ１内に送風用配管３５Ａ１が収納されている。

また、固定部５４Ａ及び円筒部５５Ａを備える口金側コネクタ５２Ａが、図３（Ｂ）の口金側コネクタ５２と異なる点は、口金側コネクタ５２Ａでは、固定部５４Ａの底面に円筒状の連結部５４Ａｄが形成され、かつ円筒部５５Ａは、固定部５４Ａの平板部に螺合等で固定されて、突き出ていない点である。これ以外の構成は口金側コネクタ５２と同様であり、固定部５４Ａの円筒部５４Ａｂ内には、図４の連結ケーブル５７の突部５９Ａｂに対応する凹部５４Ａｃが形成されている。

また、電力ケーブル３３Ａ１が連結部材７０の円筒部７０ａを覆った状態で、円筒部７０ａの先端部を覆うように送風用配管３５Ａの一端が配置され、先端部７０ａを電力ケーブル３３Ａ１で締め付けるように、金属製のベルト部６６Ｃが固定されている。同様に、電力ケーブル３３Ａ１が口金側コネクタ５２Ａの固定部５４Ａの連結部５４Ａｄを覆った状態で、連結部５４Ａｄの先端部を覆うように送風用配管３５Ａ１の他端が配置され、連結部５４Ａａを電力ケーブル３３Ａ１で締め付けるように、金属製のベルト部６６Ｄが固定されている。

この結果、口金側コネクタ５２Ａの固定部５４Ａは、延長ケーブル５７Ａの電力ケーブル３３Ａ１及び連結部材７０を介して流路折り曲げ部材５１に電気的に導通し、口金側コネクタ５２Ａの円筒部５５Ａは、延長ケーブル５７Ａの送風用配管３５Ａ１及び連結部材７０を介して流路折り曲げ部材５１の送風路５１ｃに連通している。従って、図６の口金側コネクタ５２Ａに、図４の連結ケーブル５７のケーブル側第１コネクタ５８Ａを連結し、ケーブル側第２コネクタ５８Ｂを図５の電源側コネクタ４１に連結することによって、図６の放電ランプ１に電力及び冷風を供給できる。

この変形例の作用効果は以下の通りである。
（１）口金側コネクタ５２Ａと流路折り曲げ部材５１との間に配置され、放電ランプ１の電極に対する電力及び冷風を供給可能な延長ケーブル５７Ａを備えているため、口金側コネクタ５２Ａに図５の連結ケーブル５７を着脱する際に、放電ランプ１に応力等が作用しない。従って、連結ケーブル５７の着脱時に放電ランプ１に損傷を与える恐れがない利点がある。

（２）また、延長ケーブル５７Ａは、可撓性材料で形成され、かつ内部が送風路とされた送風用配管３５Ａ１と、導電性を持つ可撓性材料で形成され、かつ送風用配管３５Ａ１を覆う電力ケーブル３３Ａ１とを有する。従って、実質的に一つのケーブルで電力と冷風とを供給できるため、配管等が複雑化することがない。
（３）また、電力ケーブル３３Ａ１は、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。

（４）また、電力ケーブル３３Ａ１は、一端が連結部材７０を介して流路折り曲げ部材５１に固定され、他端が口金側コネクタ５２Ａの固定部５４Ａに固定されているため、簡単な構成で口金側コネクタ５２Ａと流路折り曲げ部材５１とを導通できる。
また、上記の実施形態では、図３（Ｂ）に示すように、口金部２８とカバー部材５０との間に螺旋状の溝部２８ｂが形成されている。しかしながら、図７に示すように、円筒状の軸部２８ａに溝部等が形成されていない口金部２８Ａを用いることも可能である。図７の構成では、流路折り曲げ部材５１の送風路５１ｃ内の空気は、口金部２８Ａのマウント部２８ｃの一部に設けられた溝部２８ｅを介して軸部２８ａとカバー部材５０の円筒部５０ｃとの間に空間に供給されて、そのまま軸部２８ａの表面を棒状部２５ｃ側に流れる。

また、上記の実施の形態の投影露光装置（露光装置）は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより製造することができる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。

また、半導体デバイス等のマイクロデバイスは、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ、デバイスの基材である基板を製造するステップ、前述した実施形態の投影露光装置によりレチクルのパターンを基板（ウエハ等）に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）、並びに検査ステップ等を経て製造される。

なお、本発明の光源装置は、上述のステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパー等）の他に、ステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の投影露光装置（スキャニング・ステッパー等）の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第９９／４９５０４号パンフレット、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。

なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル（マスク）を用いたが、このレチクルに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子（ＣＣＤなど）、有機ＥＬ、マイクロマシーン、ＭＥＭＳ(Microelectromechanical Systems)、及びＤＮＡチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びＥＵＶ露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。

また、上記の実施形態の図４の連結ケーブル５７は、露光装置以外の電力及び冷風を使用する機器と、図５の電力３２及び送風装置３４とを連結する場合にも使用できる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、請求の範囲、図面、及び要約を含む２００７年４月１２日付け提出の米国仮出願第６０／９０７，６５６号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。

実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。 図２（Ａ）は図１中の放電ランプ１を示す一部を切り欠いた図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢＢ線に沿う断面図である。 図３（Ａ）は図２（Ａ）の口金部２８側の流路折り曲げ部材５１及び口金側コネクタ５２を示す平面図、図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の口金部２８近傍の構成を示す断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。 実施形態の一例の連結ケーブル５７を示す一部を切り欠いた図である。 図３（Ｂ）の放電ランプ１の口金側コネクタ５２に図４の連結ケーブル５７を介して電源３２及び送風装置３４を連結した状態を示す一部を切り欠いた図である。 実施形態の変形例であって、放電ランプ１の流路折り曲げ部材５１と口金側コネクタとの間に延長ケーブル５７Ａを接続した例の要部を示す一部を切り欠いた図である。 実施形態の変形例の口金部近傍の構成を示す一部を切り欠いた図である。

符号の説明

１…放電ランプ、２…楕円鏡、２５…ガラス管、２５ａ…バルブ部、２５ｃ…棒状部、２６，２８…口金部、２８ｂ…溝部、３０…露光光源、３１…取り付け部材、３２…電源、３３Ａ，３３Ｂ…電力ケーブル、３４…送風装置、３５Ａ…送風用配管、４１…電源側コネクタ、５０…カバー部材、５１…流路折り曲げ部材、５１ｃ…送風路、５２…口金側コネクタ、５５…固定部、５７…連結ケーブル、５７Ａ…延長ケーブル、５８Ａ，５８Ｂ…ケーブル側コネクタ、６２Ａ，６２Ｂ…ケーブル側連結部材

Claims (17)

1. ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、
   前記ガラス部材に連結された口金部材と、
   前記口金部材に固定され、かつ前記口金部材を覆うカバー部材を有し、導電性材料で形成される中継部材と、
   前記中継部材と電気的に接続される導電性部材を有し、電源からの電力が供給される連結部材と、
   前記口金部材と前記カバー部材との間に形成され、前記口金部材を冷却するための冷却用媒体を流す流路とを備え、
   前記冷却用媒体は、前記連結部材を介して前記流路に供給されることを特徴とする放電ランプ。
2. 前記中継部材は、前記カバー部材に固定され、かつ前記連結部材を介して供給される前記冷却用媒体の流れる方向を変更する流路折り曲げ部材を有することを特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。
3. 前記口金部材は、前記ガラス部材の第１方向側に連結され、
   前記連結部材は、前記流路折り曲げ部材に、前記第１方向と交差する方向から前記冷却用媒体を供給する供給路を備えることを特徴とする請求項２に記載の放電ランプ。
4. 前記流路折り曲げ部材は、前記第１方向と交差する方向から前記第１方向に向かう前記冷却用媒体の流路を有することを特徴とする請求項３に記載の放電ランプ。
5. 前記連結部材と前記中継部材との間に配置され、前記電極に対する電力の供給及び前記冷却用媒体を供給可能なケーブルを備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の放電ランプ。
6. 前記ケーブルは、可撓性材料で形成され、かつ前記流路の一部を有する管状部材と、導電性を持つ可撓性材料で形成され、かつ前記管状部材を覆う被覆部材とを有することを特徴とする請求項５に記載の放電ランプ。
7. 前記被覆部材は、多数の導線を網目状に編んだ部材であることを特徴とする請求項６に記載の放電ランプ。
8. 前記被覆部材は、一端が前記中継部材に固定されるとともに、他端が前記連結部材に固定されることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の放電ランプ。
9. 前記冷却用媒体は冷却された気体であり、
   前記カバー部材と前記口金部材との間に形成された前記流路を介して前記ガラス部材側に前記冷却された気体を供給することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の放電ランプ。
10. 前記流路の少なくとも一部は、螺旋状に形成されることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の放電ランプ。
11. 前記口金部材の表面には、前記螺旋状の溝部が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の放電ランプ。
12. 前記口金部材の先端部に突部が設けられ、
    前記螺旋状の溝部は、前記突部の側面に設けられた切り欠き部に連通していることを特徴とする請求項１１に記載の放電ランプ。
13. ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプと冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、
    可撓性材料より形成されて、前記冷却用媒体の流路を有する管状部材と、
    導電性を持つ可撓性材料より形成されて、かつ前記管状部材を覆うように設けられ、前記電源から前記放電ランプに電力を供給するための被覆部材と、
    前記管状部材の一端に連結されるとともに、前記被覆部材の一端に連結され、前記放電ランプの口金部材を覆うカバー部材を有する中継部材に設けられた連結部材に接続可能な第１の端子部材とを備えたことを特徴とする接続用ケーブル。
14. 前記被覆部材は、多数の導線を網目状に編んだ部材であることを特徴とする請求項１３に記載の接続用ケーブル。
15. 前記管状部材の他端に連結されるとともに、前記被覆部材の他端に連結される第２の端子部材をさらに備え、
    前記第２の端子部材を介して前記冷却用媒体の供給源及び前記電源と接続されることを特徴とする請求項１４に記載の接続用ケーブル。
16. 電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、
    請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の放電ランプと、
    前記電源及び前記供給源と、前記放電ランプとを接続する請求項１３から請求項１５のいずれか一項に記載の接続用ケーブルとを有することを特徴とする光源装置。
17. 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、
    前記光源装置として請求項１６に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。

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