JP6332438B2 - 放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6332438B2 JP6332438B2 JP2016510584A JP2016510584A JP6332438B2 JP 6332438 B2 JP6332438 B2 JP 6332438B2 JP 2016510584 A JP2016510584 A JP 2016510584A JP 2016510584 A JP2016510584 A JP 2016510584A JP 6332438 B2 JP6332438 B2 JP 6332438B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge lamp
- base member
- base
- light source
- source device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 60
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 44
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 26
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 193
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 82
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 56
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 8
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 8
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2004—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by the use of a particular light source, e.g. fluorescent lamps or deep UV light
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70975—Assembly, maintenance, transport or storage of apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Public Health (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
第6の態様によれば、本発明の態様の放電ランプの製造方法であって、その第1電極又は前記第2電極と電気的に接続された第1の導電性部材が一端に設けられたそのガラス部材を準備することと、その被連結部及びその被保持部が形成された第2の導電性部材を準備することと、そのガラス部材の一端側のその第1の導電性部材にその第2の導電性部材を連結することと、を含む製造方法が提供される。
以下、本発明の第1の実施形態につき図1〜図12を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る光源装置30を備えた露光装置EXの概略構成を示す。露光装置EXは、一例として走査露光型の投影露光装置である。図1において、光源装置30は、アーク放電型の超高圧水銀ランプよりなる放電ランプ1と、放電ランプ1の陰極側の口金部26を保持する支持部材33と、支持部材33を移動可能な引き出し部36(図4(B)参照)と、支持部材33に対する口金部26の固定及び解除を行う駆動ユニット34と、放電ランプ1のガラス管25(バルブ)を囲むように配置された楕円鏡2(集光ミラー)と、露光時(放電ランプ1の使用時)に、放電ランプ1及び楕円鏡2等を収容する箱状のランプハウス31とを有する。露光時に、放電ランプ1のガラス管25内の発光部は、一例として楕円鏡2の第1焦点付近に配置されている。
図2(A)は、図1中の光源装置30の放電ランプ1を示す。図2(A)において、放電ランプ1は、バルブ部25a及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の2つの棒状部25b,25cからなるガラス管25と、一方の棒状部25bの端部に連結された陰極側の口金部26と、他方の外側に向けて一例として段階的に直径が小さくなる棒状部25cの端部に連結された陽極側の口金部28とを備えている。そのバルブ部25a内に発光部を形成するための陽極EL1及び陰極EL2が対向して固定され、陰極EL2及び陽極EL1はそれぞれ口金部26及び28に電気的に接続されている。口金部26及び28は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属(例えば真鍮等)から形成されている。口金部26、ガラス管25、及び口金部28は、ガラス管25の棒状部25b,25cの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線に沿って配置されている。その棒状部25b,25cの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ1の長手方向Lである。
次に、図4(A)は図1の光源装置30のランプハウス31及びケーシング51の内部を示す平面図、図4(B)は図4(A)の光源装置30を示す側面図である。なお、図4(A)、(B)、及び以下で参照する図6(A)、(B)等では、ランプハウス31、ケーシング51、放電ランプ1等を支持する支持部材33、及び引き出し部36等を断面で表している。
まず、図32(B)のステップ220において、図12に示すように、内部に陽極EL1及び陰極EL2(図2(A)参照)が設置されたガラス管25の棒状部25b側に金属製の棒状の口金管226(小型口金部材)が設けられ、棒状部25c側に金属製の棒状の口金管228(小型口金部材)が設けられたガラス部材(ランプ本体)を製造(準備)する。口金管228及び226はそれぞれ陽極EL1及び陰極EL2に電気的に接続されている。口金管228及び226はそれぞれガラス管25の封止部に溶着等により一体的に固定されている。
なお、口金部26,28を再利用する(換言すると、使用済みの放電ランプ1から口金部26,28を取り外す)代わりに、例えば別途製造された口金部26,28の少なくとも一方を準備し、それをランプ本体(口金管226,228)に取り付けて放電ランプ1を構成してもよい。また、口金部26,28の少なくとも一方を再利用する場合に、口金部26,28の全体を再利用する代わりに、口金部26,28の少なくとも一部(例えば、端子部28a、被把持部28eおよび放熱部28iの少なくとも一つのパーツ)のみ再利用するようにしてもよい。
また、図12の例では、口金管228の側面と口金部28の内面との間には空間が設けられており、例えば電力ケーブル24と平行に配置された可撓性を持つチューブ(不図示)を介してその空間に例えば高圧エアを通すことにより、点灯中の放電ランプ1の放熱(ランプ冷却)を効率的に行えるようになっている。なお、口金管228,226と口金部28,26との結合に際して、ボルトの緩みを防止するため、ボルト締結と耐熱接着剤の注入とを併用しても良い。
なお、図12の例では、口金部26及び28の両方を取り外しできるようにしているが、例えば陰極側の口金部26は、口金管226と一体的に形成しておいてもよい。
また、使用済みの放電ランプ1の口金部26,28を再利用しない場合には、陰極側の口金部26及び陽極側の口金部28をそれぞれ口金管226及び228と一体的に形成しておいてもよい。
また、光源装置30のクランプ機構52及びランプ搬送系56(交換装置50)は、従来の光源装置(放電ランプの陰極側の口金部を所定の支持部材で支持している装置)に、少ない改造で後付けすることが可能である。この改造された光源装置で本実施形態の放電ランプ1を使用することによって、放電ランプの交換を効率的に自動的に行うことができる。
また、被把持部28eには、例えば爪部86のピン86aが差し込める穴部h1,h2,h3を含む非平面部が設けられているため、放電ランプ1を安全に搬送できる。なお、被把持部28eには、非平面部を設ける代わりに、例えば下方ほど断面積が小さい傾斜部を設けておいてもよい。この傾斜部を爪部86で把持することによっても、放電ランプ1を安全に搬送できる。
また、その交換方法は、ランプ搬送系56によって、保管部54にある未使用の放電ランプ1Nの口金部28の被把持部28eを保持し、放電ランプ1Nの口金部26が支持部材33によって支持可能な位置まで、放電ランプ1Nを搬送するステップ208と、駆動ユニット34によって放電ランプ210の口金部26を支持部材33にクランプするステップ210と、クランプ機構52によって、放電ランプ1Nの口金部28の端子部28aに、電力ケーブル24が連結された給電ブロック66を面接触させる(給電ブロック66を用いて口金部28をクランプする)ステップ212と、を含んでいる。これによって、未使用の放電ランプ1Nの支持部材33への設置を効率的に行うことができる。
まず、上述の実施形態では、給電ブロック66に電力ケーブル24を用いて電力を供給しているが、給電ブロック66(放電ランプ1)に電力を供給する方法としては、電力ケーブル24を用いることなく、基準レバー67及び給電ブロック66を使って(導通して)行なっても良い。また、給電ブロック66には、電力だけでなく、口金部28の冷却用の圧縮空気も放電ランプ1に供給できるようにしても良い。
図14(A)において、クランプ機構52Aの駆動レバー69の+X方向の先端部には駆動部76の代わりにワイヤーロープ89Dの一端部が固定されており、ワイヤーロープ89Dの他端部は、支持部材65の下方にY軸に平行な軸の回りに回転可能に支持されたプーリ89Cを介して+X方向に延びている。ワイヤーロープ89Dの他端部はリニアアクチュエータ76の可動ロッド89Aの先端に円柱状の取付部材89Bを介して固定されている。リニアアクチュエータ76は、ベーステーブル62の上面に固定されており、可動ロッド89Aをベーステーブル62のガイド部材61(図4(B)参照)に沿ったX方向に駆動させることができる。
[第2の実施形態]
第2の実施形態につき図16〜図18を参照して説明する。本実施形態の光源装置も図1の露光装置EXの照明光学系13に露光用の照明光を供給するために使用される。上述の第1の実施形態では、放電ランプ1の陽極側の口金部28用のクランプ機構を駆動する駆動ユニット72は、引き出し駆動ユニット60の可動テーブル75で支持しているが、本実施形態ではその駆動ユニットをランプハウス内に設ける。なお、図16〜図18において図4(A)、(B)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施形態では、以下のような変形が可能である。
また、ランプ搬送系56Aの代わりに、図18の変形例の光源装置30Bで示すように、旋回型のランプ搬送系56Bを備えてもよい。
図18において、ランプ搬送系56Bは、ケーシング51内の底面に設置された細長い支持部材90Cと、支持部材90Cの上端に固定された旋回駆動部90Dと、旋回駆動部90DによってZ軸に平行な軸の回りに旋回される旋回部90Eと、旋回部90Eの両端に固定されてそれぞれZ方向に移動可能なZ軸駆動機構84A,84Bと、Z軸駆動機構84A,84Bの下端部に設けられた把持爪開閉機構85A,85Bと、把持爪開閉機構85A,85Bによって開閉されるそれぞれ複数の爪部86A,86Bとを備えている。ランプ搬送系56Bで放電ランプ1の搬送を行う場合、一例として、一方の把持爪開閉機構85Aで爪部86Aを介して使用済みの放電ランプ1の口金部28を掴み、他方の把持爪開閉機構85Bで爪部86Bを介してターンテーブル79の未使用の放電ランプ1Nの口金部28を掴む。
第3の実施形態につき図19(A)〜図25(B)を参照して説明する。本実施形態の光源装置も図1の露光装置EXの照明光学系13に露光用の照明光を供給するために使用される。本実施形態の放電ランプは、陽極側の口金部の形状及びこの口金部のクランプ機構の構成が上述の実施形態と異なっている。なお、図19(A)〜図25(B)において図2(A)、及び図4(A)、(B)、及び図16に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
図22(A)に示すように、駆動ユニット72CのZ軸駆動機構84Aの下端に固定された把持部160は、Z軸駆動機構84Aに固定されて、Z軸に平行な軸の回りにほぼ等角度間隔で配置された3つの腕部164a,164b,164c(164cは不図示)を有する第1リンク部164と、第1リンク部164の中央の底面に固定されて中央に等角度間隔で3箇所の開口166aが形成されて、Z方向に駆動可能なピストン部165と、開口166aにそれぞれ一端部が設置されたほぼT字型の3つの第2リンク部167A,167B,167C(167Cは不図示)と、を有する。さらに、把持部160は、3つの腕部164a,164b,164cに回転可能な支点E1等を介して連結されるとともに、3つの第2リンク部167A,167B,167Cに回転可能な支点E4等を介して連結された3つのアーム部169A,169B,169C(169Cは不図示)と、3つの腕部164a,164b,164cに回転可能な支点E2等を介して連結されるとともに、3つの第2リンク部167A,167B,167Cに回転可能な支点E3等を介して連結された3つの第3リンク部168A,168B,168C(168Cは不図示)とを有する。なお、以下では、Z軸に平行な軸の回りにほぼ等角度間隔で配置された3つのアーム部169A,169B,169C等を単にアーム部169A,169B等という。
まず、本実施形態の給電ソケット付け替え用の駆動ユニット72Cには、図20(B)に示すように旋回部90Gが設けられているが、旋回部90Gを設けることなく、Z軸駆動機構84A及び把持部160をX軸に沿って移動させてもよい。この場合には、引き出し部36(放電ランプ1A)を下部ハウジング31A外に引き出したところで一旦、引き出し部36を停止させ、Z軸駆動機構84Aによって把持部160を降下させ、把持部160で放電ランプ1Aから給電ソケット152を取り外し、給電ソケット152を保持した把持部160を上昇させる。その後、再び引き出し駆動ユニット60Aによって、引き出し部36を+X方向に引き出した後、ランプ搬送系56Cによって放電ランプ1Aを交換することになる。この場合には、駆動ユニット72Cに旋回部90Gを設ける必要がないため、駆動ユニット72Cの製造コストを低減できる。
なお、放電ランプ1Aの製造方法として、上述した放電ランプ1と同様の製造方法を用いることができる。すなわち、ランプ本体(ガラス部材)と口金部126,128とをそれぞれ準備し、それらを互いに連結することで放電ランプ1Aを構成することができる。このとき口金部126,128は、例えば使用済みの放電ランプ1Aから取り外したものを再利用するように準備してもよい。また、口金部126,128の少なくとも一方を再利用する場合に、口金部126,128の全体を再利用する代わりに、口金部126,128の少なくとも一部(例えば、端子部128aおよび放熱部128iの少なくとも一つのパーツ)のみ再利用するようにしてもよい。
第4の実施形態につき図26(A)〜図27を参照して説明する。本実施形態の光源装置も露光装置の照明光学系に露光用の照明光を供給するために使用される。本実施形態の光源装置は複数(一例として3個)のランプハウスを備え、複数のランプハウス内の放電ランプから射出される光を合成して露光装置の照明光学系に供給するものである。なお、図26(A)〜図30において図1、及び図4(A)、(B)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施形態において、例えばランプハウス29B,29C内の放電ランプ1を交換する場合には、図26(A)に示すように、ケーシング51B,51C内に放電ランプ1を支持する引き出し部36を引き出す。そして、一例として、ランプ搬送系56Dの一方の把持爪開閉機構85A及び爪部86Aにより保管部54にある未使用の放電ランプ1Nを把持して、把持爪開閉機構85Aを上昇させる。その後、図26(B)に点線で示すように、ランプ搬送系56Dの旋回部90Eをケーシング51Bの上方に移動し、他方の把持爪開閉機構85B及び爪部86Bによりケーシング51B内の放電ランプ1Nを把持し、一方の把持爪開閉機構85A及び爪部86Aによって保持されている放電ランプ1Nをケーシング51Bの引き出し部36(支持部材33)に設置する。この際の放電ランプ1の口金部28に対するクランプ機構52の解除等の動作は第1の実施形態と同様である。
また、各ランプハウス29A〜29Cに対応して配置されるケーシング51A〜51C内には引き出し駆動ユニット60及びクランプ機構52用の駆動ユニット72Cのみを取り付ければよいため、チャンバ92の屋上RTの設置面積を少なくすることができ、狭い屋上RTにも光源装置30Dを容易に設置できる。
また、放電ランプ補充用のターンテーブルと回収用のターンテーブルとを分けて配置しても良い。
第5の実施形態につき図28〜図31(B)を参照して説明する。上述の実施形態では、放電ランプ1,1Aの陰極側の口金部26,126を支持部材33に位置決めして固定した状態で、陽極側の口金部28,128をランプ搬送系56,56C等の爪部86又は把持部160等で把持しているが、放電ランプ1,1Aの形状精度が低い場合には、爪部86又は把持部160等で口金部28,128を把持できない恐れがある。放電ランプ1,1Aの形状精度が低い場合に、爪部86又は把持部160等のロボットハンドで口金部28,128を把持できるためには、ロボットハンドには、コンプライアンス機能(柔軟性)が必要である。そこで、本実施形態では、放電ランプとの位置関係に対して柔軟性を持つ放電ランプの把持機構、及びこのような把持機構で把持するのに適した形状の口金を有する放電ランプを提供する。この放電ランプ及び把持機構は、それぞれ例えば図4(B)の光源装置30中の放電ランプ1及びランプ搬送系56に使用できるものである。なお、図28〜図31(B)において図19(A)及び(B)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
ハンド部85Dは、Z軸駆動機構84の底面に固定された、直方体で下方に開いた箱形状の筐体172と、筐体172の下端に固定されて、外形が筐体172と同じで高さの低い、矩形の枠状の枠部材173aとを有する。枠部材173aの肉厚(XY面内の幅)は全周にわたって(角部を除く)同じであり、その肉厚は、筐体172の側面部の肉厚よりも広い。
ハンド部85Dは、下端部に円板状の取付部材175を介して複数(例えば3本)のZ方向に延びた指部86Dを有しており、取付部材175内の開閉装置(不図示)により、平面視、放射状に同期して(同じ速度で同じ距離だけ)複数の指部86Dを開閉することができるようになっている。
指部86Dの内側は、図28の放電ランプ1Bの口金部128の球帯部128Aeの表面に沿う(嵌合可能な)曲率で凹状に形成されている。取付部材175の底面の複数の指部86Dの付け根の部分の中央には、円柱状の案内ブロック176が固定されており、案内ブロック176の先端から指部86Dに設けた凹部の曲率中心までのZ方向の距離が、放電ランプ1Bの口金部128の先端から球帯部128Aeの中心までのZ方向(放電ランプ1Bの長手方向)の距離とほぼ同じになるように、案内ブロック176のZ方向の高さが調整されている。そのため、案内ブロック176が放電ランプ1Bの口金部128Aの先端に接触した状態で、指部86Dを閉じれば、放電ランプ1Bの球帯部128Aeに指部86Dの凹部が嵌合し、確実に放電ランプ1Bを把持できるようになっている。なお、案内ブロック176は省略することもできる。
図30(A)に示すように、放電ランプ1Bの陽極側の口金部128Aは、例えば、設計上の受け渡し位置からθy方向に傾き、+X方向にずれているものとする。ハンド部85Dは、不図示のX方向及びY方向への駆動機構(例えば図4(B)の旋回軸83)によって、放電ランプ1Bの上方のX方向及びY方向の目標位置へ移動する。次に、取付部材175が複数の指部86Dを開き(開状態として)、Z軸駆動機構84によって指部86Dは放電ランプ1Bの把持位置まで降下してくる。そして、取付部材175の中央部に設けられた案内ブロック176に放電ランプ1Bの口金部128Aの先端部が接触する高さでハンド部85Dは降下を停止し、指部86Dは閉動作を開始する。
なお、放電ランプ1Bの製造方法として、上述した放電ランプ1,1Aと同様の製造方法を用いることができる。すなわち、ランプ本体(ガラス部材)と口金部126,128Aとをそれぞれ準備し、それらを互いに連結することで放電ランプ1Bを構成することができる。このとき口金部126,128Aは、例えば使用済みの放電ランプ1Bから取り外したものを再利用するように準備してもよい。また、口金部126,128Aの少なくとも一方を再利用する場合に、口金部126,128Aの全体を再利用する代わりに、口金部126,128Aの少なくとも一部(例えば、端子部128Aa、放球帯部128Aeおよび熱部128Aiの少なくとも一つのパーツ)のみ再利用するようにしてもよい。
また、上記の各実施形態の交換装置では、ターンテーブル79の各開口79a毎にランプを交換する(すなわち、未使用ランプをセット(補充)し、使用済みランプを回収する)こととしたが、例えば、駆動部80に対してターンテーブル79を着脱可能にして、ターンテーブル79の開口79aにランプをセットした(差し込んだ)状態でターンテーブル79と共にランプを交換するようにしてもよい。その場合、ターンテーブル79をランプの搬送用キャリアとして使用してもよい。
上述の各実施形態の露光装置又はこれらの露光装置を用いる露光方法を使用して、基板(プレートP)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、液晶表示素子等の液晶デバイスを製造することができる。以下、図33のステップS401〜S404を参照して、この製造方法の一例につき説明する。
また、本願に記載した上記公報、各国際公開パンフレット、米国特許、又は米国特許出願公開明細書における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む2014年3月28日付け提出の日本国特許出願第2014−070609号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
Claims (36)
- 発光部を形成するための第1電極及び第2電極が内部に設けられたガラス部材と、前記発光部に対して前記ガラス部材の前記第1電極側及び前記第2電極側にそれぞれ設けられた第1口金部材及び第2口金部材と、を有する放電ランプを発光させるための光源装置であって、
前記放電ランプを保管する保管部と、
前記放電ランプの前記第2口金部材を着脱可能に支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記放電ランプの前記第1口金部材に電力を伝える部材を着脱可能に連結する連結部と、
前記支持部による前記第2口金部材の支持及び前記連結部による前記第1口金部材に対する前記電力を伝える部材の連結が解除されている状態で、前記第1口金部材を保持して前記放電ランプを前記保管部と前記支持部との間で搬送する搬送部と、
を備えることを特徴とする光源装置。 - 前記保管部には、未使用の放電ランプが保管されており、
前記搬送部は、前記未使用の放電ランプの前記第1口金部材を保持し、該未使用の放電ランプの前記第2口金部材が前記支持部によって支持可能な位置まで、該未使用の放電ランプを搬送することを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - 前記放電ランプの前記第1口金部材は、
前記電力を伝える部材が接触可能であり、かつ前記電力を伝える部材との電気的な接触抵抗を小さくするために、前記電力を伝える部材と面接触可能な被連結部と、
前記搬送部によって保持可能な非平面部又は傾斜部を含む被保持部と、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光源装置。 - 前記第1口金部材の前記被連結部は、交差するように配置された2つの平面部を含み、
前記連結部は、前記電力を伝える部材に接続されるとともに、前記第1口金部材の前記被連結部に接触可能なV字型の溝が設けられた導電性の第1部材と、前記第1口金部材を前記第1部材側に付勢可能な第2部材と、を有することを特徴とする請求項3に記載の光源装置。 - 前記連結部は、前記第1部材を、前記第1口金部材の前記被連結部の2つの平面部に垂直な平面に沿った方向に変位可能に支持する第1ガイド部材を有することを特徴とする請求項4に記載の光源装置。
- 前記連結部は、前記第1部材を、前記第1口金部材の前記被連結部の2つの平面部に沿った方向に変位可能に支持する第2ガイド部材を有することを特徴とする請求項4又は5に記載の光源装置。
- 前記第1口金部材の前記被連結部は、ほぼ軸対称な面を含み、
前記連結部は、前記電力を伝える部材に接続されるとともに、前記第1口金部材の前記被連結部に接触可能な環状の導電性の第1部材と、前記第1口金部材を前記第1部材側に付勢可能な第2部材とを有することを特徴とする請求項3に記載の光源装置。 - 前記第1口金部材の前記被連結部は、ほぼ軸対称な凹部を有し、
前記第2部材は、円筒状の先端部と、前記先端部より次第に内径が大きくなる軸対称のテーパ部とを有し、
前記連結部は、前記第2部材の前記先端部又は前記テーパ部と前記第1口金部材の前記凹部との間に介装可能な複数の球体を有し、
前記複数の球体が前記第2部材の前記テーパ部内にあるときに、前記連結部は前記第1口金部材から離脱可能であることを特徴とする請求項7に記載の光源装置。 - 前記第1口金部材の前記被保持部には穴部が形成され、
前記搬送部は、前記第1口金部材の前記被保持部の穴部に係合可能な突部を有し、前記第1口金部材を挟んで保持するハンド部と、前記ハンド部が前記第1口金部材の前記被保持部を保持している状態で、前記ハンド部を移動させる移動部と、を有することを特徴とする請求項3〜8のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記第1口金部材の前記被保持部は、表面が球面状の軸対称部を有し、
前記搬送部は、前記第1口金部材の前記被保持部を挟むように保持可能なハンド部と、
前記ハンド部と前記第1口金部材との間の角度のずれに応じて変位する緩衝部と、
前記ハンド部が前記第1口金部材の前記被保持部を保持している状態で、前記ハンド部及び前記緩衝部を移動させる移動部と、を有することを特徴とする請求項3〜8のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記放電ランプ及び前記支持部を一体的に、前記搬送部が前記放電ランプの前記第1口金部材を保持可能な位置まで移動するスライド部を備えることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記第2口金部材は、フランジ部及び段差部を有し、
前記支持部は、前記第2口金部材の前記フランジ部を介して前記第2口金部材を支持する支持部材と、前記支持部材に対して前記第2口金部材の前記段差部を介して前記第2口金部材を着脱可能に固定する第1レバー部材とを有し、
前記連結部は、前記電力を伝える部材に接続されるとともに、前記第1口金部材に接触可能な導電性部材と、前記第1口金部材を前記導電性部材側に付勢可能な第2レバー部材とを有し、
前記第1及び第2レバー部材を駆動する共通の駆動部を備えることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記保管部は、前記連結部、前記支持部、及び前記搬送部が配置される第1の階より下の第2の階に配置され、
前記放電ランプの交換時に、前記保管部を前記第2の階に移動する昇降部を備えることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記放電ランプ、前記連結部、及び前記支持部を含む光源部は複数設けられ、
前記複数の光源部に対して前記搬送部及び前記保管部が共通に使用されることを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記放電ランプの前記第2口金部材が着脱可能に載置される支持部材と、
前記支持部材に設けられて、前記放電ランプから発生する光を集光する集光鏡と、を備えることを特徴とする請求項1〜14のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記集光鏡は、前記放電ランプから発生する前記光を反射する反射面と、該反射面に囲まれた開口とを含み、
前記支持部は、前記ガラス部材の一部が前記開口に挿通された状態で前記第2口金部材を支持することを特徴とする請求項15に記載の光源装置。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置の前記放電ランプから発生する光でマスクを照明する照明系と、
前記マスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、
を含むデバイス製造方法。 - 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材を挟むように設けられた第1口金部材及び第2口金部材と、を有する放電ランプを交換する交換方法であって、
前記放電ランプの前記第1口金部材の被連結部に面接触しているとともに電力を伝える部材を、前記被連結部から離脱させることと、
前記放電ランプの前記第2口金部材を支持部材から離脱可能にすることと、
前記放電ランプの前記第1口金部材の非平面部又は傾斜部を含む被保持部を保持して前記放電ランプを保管部に搬送することと、
を含むことを特徴とする交換方法。 - 前記保管部にある未使用の放電ランプの前記第1口金部材の前記被保持部を保持し、該未使用の放電ランプの前記第2口金部材が前記支持部材によって支持可能な位置まで、該未使用の放電ランプを搬送することと、
前記未使用の放電ランプの前記第2口金部材を前記支持部材で支持することと、
前記未使用の放電ランプの前記第1口金部材の被連結部に、前記電力を伝える部材が連結された部材を面接触させることと、
を含むことを特徴とする請求項19に記載の交換方法。 - 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材を挟むように設けられた第1口金部材及び第2口金部材と、を有する放電ランプを点灯する点灯方法であって、
前記放電ランプの前記第1口金部材の被連結部に電力を伝える部材を面接触させることと、
前記放電ランプの前記第2口金部材を電力が供給可能な支持部材で支持することと、
前記電力を伝える部材及び前記支持部材を介して前記放電ランプに電力を供給して前記放電ランプを点灯することと、
を含むことを特徴とする放電ランプの点灯方法。 - 前記放電ランプの前記第1口金部材の非平面部又は傾斜部を含む被保持部を保持して、
前記放電ランプを保管部から前記支持部材まで搬送することを含むことを特徴とする請求項21に記載の放電ランプの点灯方法。 - 発光部を形成するための第1電極及び第2電極が内部に設けられたガラス部材と、前記発光部に対して前記ガラス部材の前記第1電極側及び前記第2電極側にそれぞれ設けられた第1口金部材及び第2口金部材と、を有する放電ランプであって、
前記第1口金部材は、
電力を伝える部材が接触可能であり、かつ前記電力を伝える部材との電気的な接触抵抗を小さくするために、前記電力を伝える部材と面接触可能な被連結部と、
搬送部によって保持可能な非平面部又は傾斜部を含む被保持部と、を有することを特徴とする放電ランプ。 - 前記第1口金部材の前記被連結部は、交差するように配置された2つの平面部を含むことを特徴とする請求項23に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材の前記被連結部は、ほぼ軸対称な面を含むことを特徴とする請求項23に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材の前記被保持部には、搬送部の突部が係合可能な穴部が形成されたことを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材の前記被保持部は、搬送部が保持可能な、表面が球面状の軸対称部を有することを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材のうち、前記ガラス部材と前記被連結部及び前記被保持部との間に、放熱フィンが設けられたことを特徴とする請求項23〜27のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第2口金部材は、支持部材に載置可能なフランジ部と、該フランジ部より断面積が小さい小径部と、該小径部より断面積が大きい段差部と、を有することを特徴とする請求項23〜28のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 請求項23〜29のいずれか一項に記載の放電ランプの製造方法であって、
一端に導電性部材が連結された前記ガラス部材を製造することと、
前記被連結部及び前記被保持部が形成された被覆部材を製造することと、
前記ガラス部材の一端側の前記導電性部材を覆うように前記被覆部材を固定することと、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 請求項23〜29のいずれか一項に記載の放電ランプの製造方法であって、
前記第1電極又は前記第2電極と電気的に接続された第1の導電性部材が一端に設けられた前記ガラス部材を準備することと、
前記被連結部及び前記被保持部が形成された第2の導電性部材を準備することと、
前記ガラス部材の一端側の前記第1の導電性部材に前記第2の導電性部材を連結することと、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 発光部を形成するための第1電極及び第2電極が内部に設けられたガラス部材と、前記発光部に対して前記ガラス部材の前記第1電極側及び前記第2電極側にそれぞれ設けられた導電性を有する第1部材及び第2部材と、を有する放電ランプであって、
前記第1部材は、
電力を伝える部材が連結される被連結部と、
前記被連結部とは異なる位置に設けられ、前記放電ランプの搬送を行う搬送部に保持される被保持部と、
を有することを特徴とする放電ランプ。 - 前記被保持部は前記被連結部よりも前記ガラス部材側に配置されている請求項32に記載の放電ランプ。
- 前記被連結部は前記電力を伝える部材と面接触する接触面を備える請求項32または33に記載の放電ランプ。
- 前記被保持部は、平坦部と非平坦部とを備える請求項32〜34の何れか一項記載の放電ランプ。
- 前記非平坦部は、傾斜部又は孔部を含む請求項35に記載の放電ランプ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014070609 | 2014-03-28 | ||
JP2014070609 | 2014-03-28 | ||
PCT/JP2015/060026 WO2015147327A1 (ja) | 2014-03-28 | 2015-03-30 | 光源装置、放電ランプ及びその製造方法、並びに露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015147327A1 JPWO2015147327A1 (ja) | 2017-04-13 |
JP6332438B2 true JP6332438B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=54195829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016510584A Active JP6332438B2 (ja) | 2014-03-28 | 2015-03-30 | 放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6332438B2 (ja) |
KR (1) | KR102447925B1 (ja) |
CN (2) | CN110058493B (ja) |
TW (3) | TWI661274B (ja) |
WO (1) | WO2015147327A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI723099B (zh) * | 2015-12-09 | 2021-04-01 | 日商尼康股份有限公司 | 放電燈及其交換方法、以及曝光方法及裝置 |
CN110554536A (zh) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光配向设备以及光配向设备中灯管的更换方法 |
CN108897198A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光机的光源更换系统以及曝光机 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0729081B2 (ja) * | 1987-09-14 | 1995-04-05 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
JP4136126B2 (ja) * | 1998-10-29 | 2008-08-20 | 株式会社ワコム電創 | 擬似太陽光照射ランプ自動交換装置 |
JP2004079254A (ja) * | 2002-08-13 | 2004-03-11 | Canon Inc | 光源装置及び露光装置 |
WO2007066947A2 (en) | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Mobile wireless access router for separately controlling traffic signal and control signal |
CN2903695Y (zh) * | 2006-04-29 | 2007-05-23 | 杨刚 | 一种装卸灯器 |
KR102025418B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2019-09-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 광원장치, 노광장치 및 노광장치의 제조방법 |
KR101549670B1 (ko) * | 2007-04-12 | 2015-09-03 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 |
CN102446669B (zh) * | 2007-04-12 | 2015-06-24 | 株式会社尼康 | 放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置 |
JP4913001B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2012-04-11 | 株式会社オーク製作所 | 光源装置 |
JP2011177625A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
JP2011206731A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
CN202067759U (zh) * | 2011-05-20 | 2011-12-07 | 浙江创源照明科技有限公司 | 无极灯老化输送线 |
CN102842482A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-12-26 | 株式会社杰士汤浅国际 | 对放电灯的供电构造、放电灯单元以及紫外线照射装置 |
JP2014038766A (ja) | 2012-08-16 | 2014-02-27 | Ushio Inc | 放電ランプ |
JP2013219045A (ja) * | 2013-06-06 | 2013-10-24 | Nikon Corp | 光源装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
-
2015
- 2015-03-30 CN CN201910052762.9A patent/CN110058493B/zh active Active
- 2015-03-30 JP JP2016510584A patent/JP6332438B2/ja active Active
- 2015-03-30 WO PCT/JP2015/060026 patent/WO2015147327A1/ja active Application Filing
- 2015-03-30 KR KR1020167029369A patent/KR102447925B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-30 CN CN201580027187.7A patent/CN106415396B/zh active Active
- 2015-03-30 TW TW104110220A patent/TWI661274B/zh active
- 2015-03-30 TW TW109138107A patent/TWI771788B/zh active
- 2015-03-30 TW TW108114340A patent/TWI711892B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2015147327A1 (ja) | 2017-04-13 |
TWI771788B (zh) | 2022-07-21 |
TW202109211A (zh) | 2021-03-01 |
WO2015147327A1 (ja) | 2015-10-01 |
CN106415396A (zh) | 2017-02-15 |
CN110058493B (zh) | 2021-09-14 |
TW201537310A (zh) | 2015-10-01 |
KR102447925B1 (ko) | 2022-09-27 |
KR20160140760A (ko) | 2016-12-07 |
TWI661274B (zh) | 2019-06-01 |
TWI711892B (zh) | 2020-12-01 |
TW201928532A (zh) | 2019-07-16 |
CN106415396B (zh) | 2019-02-22 |
CN110058493A (zh) | 2019-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6687143B2 (ja) | 放電ランプ | |
JP6332438B2 (ja) | 放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
KR20100014216A (ko) | 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치 | |
JP2021107931A (ja) | 放電ランプ、光源装置、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP4784860B2 (ja) | 処理装置及び処理方法、並びに露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161031 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161031 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20161205 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20161215 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20170807 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6332438 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |