JP5308679B2 - シール機構、シール溝、シール部材及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
11 チャンバ
11a 側壁
11b 上蓋
12,84 シール機構
39,43,62,63,66,67,73 アルマイト皮膜
40,44,74 シール溝
41,45,75 シール部材
48,56,76 収容溝
51,59,78 保持溝
52,60,80 被覆部
53,61,81 突出部
70,71 構造部材
Claims (14)
- 互いに対向する面を有する第1及び第2の構造部材の間に配されるシール機構であって、
前記第1の構造部材における第1の対向面に形成された第1のシール溝と、
該第1のシール溝に収容されて一部が前記第1の対向面から突出する第1のシール部材と、
前記第2の構造部材における第2の対向面に形成された第2のシール溝と、
該第2のシール溝に収容されて一部が前記第2の対向面から突出する第2のシール部材とを備え、
前記第1のシール部材と前記第2のシール部材とは互いに圧接し、
前記第1のシール溝は、アルミニウムが露出し且つ前記第1のシール部材が圧接する第1のシール面と、前記第1の対向面及び前記第1のシール面の間に配される第1の遮断面とを有し、
前記第1のシール部材は、該第1のシール部材が前記第1のシール溝に収容されるときに、前記第1の遮断面を覆う第1の被覆部を有し、
前記第2のシール溝は、アルミニウムが露出し且つ前記第2のシール部材が圧接する第2のシール面と、前記第2の対向面及び前記第2のシール面の間に配される第2の遮断面とを有し、
前記第2のシール部材は、該第2のシール部材が前記第2のシール溝に収容されるときに、前記第2の遮断面を覆う第2の被覆部を有することを特徴とするシール機構。 - 前記第1のシール部材及び前記第2のシール部材は、フッ素系ゴムからなることを特徴とする請求項1記載のシール機構。
- 前記フッ素系ゴムは、FKM若しくはFFKMであることを特徴とする請求項2記載のシール機構。
- 前記第1の遮断面及び前記第2の遮断面は、テーパ面からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシール機構。
- 前記第1のシール溝は前記収容された第1のシール部材を保持する第1の保持部を有し、
前記第2のシール溝は前記収容された第2のシール部材を保持する第2の保持部を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のシール機構。 - 前記第2のシール部材における前記第1のシール部材との圧接面は、曲面形状を呈することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のシール機構。
- 互いに対向する面を有する第1及び第2の構造部材の間に配されるシール機構であって、
前記第1の構造部材における第1の対向面に形成されたシール溝と、
該シール溝に収容されて一部が前記第1の対向面から突出するシール部材とを備え、
前記シール部材と前記第2の構造部材の第2の対向面とは互いに圧接し、
前記シール溝は、アルミニウムが露出し且つ前記シール部材が圧接するシール面と、前記第1の対向面及び前記シール面の間に配される遮断面とを有し、
前記シール部材は、該シール部材が前記シール溝に収容されるときに、前記遮断面を覆う被覆部を有することを特徴とするシール機構。 - 前記第2の対向面はセラミックからなることを特徴とする請求項7記載のシール機構。
- 構造部材の所定面に形成され、シール部材を収容するシール溝であって、
アルミニウムが露出し且つ前記シール部材が圧接するシール面と、
前記所定面及び前記シール面の間に配される遮断面とを有し、
該遮断面は、前記シール部材が前記シール溝に収容されるときに、前記シール部材の被覆部によって覆われることを特徴とするシール溝。 - 前記収容されたシール部材を保持する保持部を有することを特徴とする請求項9記載のシール溝。
- 構造部材の所定面に形成されたシール溝に収容されるシール部材であって、
該シール部材は被覆部を有し、
前記シール部材が前記シール溝に収容されるときに、前記シール部材は前記シール溝が有するアルミニウムが露出するシール面に圧接するとともに、前記被覆部は前記シール溝が有する前記所定面及び前記シール面の間に配される遮断面を覆うことを特徴とするシール部材。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のシール機構を有することを特徴とする基板処理装置。
- 請求項9又は10記載のシール溝を有することを特徴とする基板処理装置。
- 請求項11記載のシール部材を有することを特徴とする基板処理装置。
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