JP5306723B2 - 酸化物薄膜の形成方法 - Google Patents
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Description
前記蒸着を、雰囲気中の水蒸気分圧を1×10−4Pa以下とし、かつ雰囲気中の酸素分圧を1×10 −6 Pa〜3×10 −3 Paに制御し、及び成膜温度を700℃以上850℃以下に制御して行うことを特徴とする酸化物薄膜の形成方法を提供する。
厚さ100μmのNi合金(Ni−5at%W)からなる金属基板を還元雰囲気で配向熱処理し、表面酸化膜を除去すると同時に2軸配向を行った。配向熱処理の条件は、下記の通りである。
熱処理温度: 1100℃
熱処理時間: 60分
この金属基板をEB(電子ビーム)蒸着器チャンバー内に導入し、5×10−5Paまで真空引きを行った。次いで、基板温度が700℃以上になるまで昇温した。
成膜速度:0.9nm/秒
酸素分圧:3×10−4Pa
水蒸気分圧:2×10−5Pa
基板温度:750℃。
第1の中間層を成膜するためのEB(電子ビーム)蒸着の原料として、Ce(セリウム)金属を用いたことを除いて、実施例1と同様にして、配向金属基板上に第1〜第3の中間層を成膜し、更に超電導層を成膜して、超電導薄膜線材を得た。
第1の中間層を成膜するためのEB(電子ビーム)蒸着の原料として、Y(イットリウム)の酸化物であるY2O3(イットリア)を用いたことを除いて、実施例1と同様にして、配向金属基板上に第1〜第3の中間層を成膜し、更に超電導層を成膜して、超電導薄膜線材を得た。
第1の中間層を成膜するためのEB(電子ビーム)蒸着の原料として、Y(イットリウム)金属を用いたことを除いて、実施例1と同様にして、配向金属基板上に第1〜第3の中間層を成膜し、更に超電導層を成膜して、超電導薄膜線材を得た。
Claims (1)
- 加熱された配向金属基板上に、酸素を含む雰囲気中でCe金属、Y金属、CeO 2 又はY 2 O 3 からなる原料をエレクトロンビーム蒸着法により蒸着する工程を具備し、
前記蒸着を、雰囲気中の水蒸気分圧を1×10−4Pa以下とし、かつ雰囲気中の酸素分圧を1×10 −6 Pa〜3×10 −3 Paに制御し、及び成膜温度を700℃以上850℃以下に制御して行うことを特徴とする酸化物薄膜の形成方法。
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