JP5303941B2 - AlxGa1−xN単結晶の成長方法 - Google Patents
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Description
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
図3を参照して、WC製の坩堝本体12qの下部に、原料としてAlN粉末(AlsGa1-sN原料2)およびSi粉末(IVB族元素)を配置した。ここで、原料中におけるSi粉末(IVB族元素)の含有率は、300ppmとした。次いで、WC製の坩堝蓋板12pの内面上に、結晶径が40mmの下地結晶1としてのSiC下地結晶をその主表面1mである(0001)Si表面が原料に対向するように配置した。
図1を参照して、WC製の坩堝本体12qの下部に、原料としてAlN粉末(AltGa1-tN原料3)を配置した。次いで、WC製の坩堝蓋板12pの内面上に、結晶径Dが40mmで厚さTが0.21mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶4)をその主表面4mである(0001)Al表面がAlN粉末(AltGa1-tN原料3)に対向するように配置した。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
参考例1と同様にして、結晶径Dが40mmで厚さT0が1mmのAlN種結晶を成長させた。このAlN種結晶をその主表面と平行な面でスライスして、そのスライス面を研磨して結晶径Dが40mmで厚さTが0.24mmのAlN種結晶を得た。このAlN種結晶におけるSi(IVB族元素)の含有率は80ppmであった。また、このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は180arcsecであった。
次に、上記結晶径Dが40mmで厚さTが0.24mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が40mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は230arcsecと小さかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、6×106cm-2と低かった。すなわち、参考例2のAlN単結晶は高品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
結晶径が20mmのSiC下地結晶を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、結晶径Dが20mmで厚さT0が1mmのAlN種結晶を成長させた。このAlN種結晶をその主表面と平行な面でスライスして、そのスライス面を研磨して結晶径Dが20mmで厚さTが0.25mmのAlN種結晶を得た。このAlN種結晶におけるSi(IVB族元素)の含有率は80ppmであった。また、このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は160arcsecであった。
次に、上記の結晶径Dが20mmで厚さTが0.25mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が20mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は350arcsecと大きかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、5×107cm-2と高かった。すなわち、比較例1のAlN単結晶は低品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
原料としてAlN粉末(AlsGa1-sN原料2)のみを用いたこと以外は、参考例1と同様にして、結晶径Dが40mmで厚さT0が1mmのAlN種結晶を成長させた。このAlN種結晶をその主表面と平行な面でスライスして、そのスライス面を研磨して結晶径Dが40mmで厚さTが0.32mmのAlN種結晶を得た。また、このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は280arcsecと大きかった。
次に、上記の結晶径Dが40mmで厚さTが0.32mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が40mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は460arcsecと大きかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、1×108cm-2と高かった。すなわち、比較例2のAlN単結晶は低品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
図2を参照して、WC製の坩堝本体12qの下部に、原料としてAlN粉末(AlsGa1-sN原料2)およびSi粉末(IVB族元素)を配置した。ここで、原料中におけるSi粉末(IVB族元素)の含有率は、500ppmとした。次いで、原料に対向するようにWC製の坩堝蓋板12pを配置した。
次に、上記の結晶径Dが25mmで厚さTが0.16mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が25mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は70arcsecとたいへん小さかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、6×105cm-2とたいへん低かった。すなわち、実施例3のAlN単結晶はたいへん高品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長時間を10時間としたこと以外は、実施例3と同様にして、複数のAlN種結晶を成長させた。これらのAlN種結晶のうちの1個のAlN種結晶の大きさは、結晶径Dが14mm、厚さTが0.18mmであった。このAlN種結晶におけるSi(IVB族元素)の含有率は、120ppmであった。このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は80arcsecとたいへん小さかった。すなわち、実施例4のAlN種結晶はたいへん高品質であった。
次に、上記の結晶径Dが14mmで厚さTが0.18mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が14mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は80arcsecとたいへん小さかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、8×105cm-2とたいへん低かった。すなわち、実施例4のAlN単結晶はたいへん高品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
原料中のIVB族元素として含有率400ppmのC(炭素)粉末を用いて、AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長時間を20時間としたこと以外は、実施例3と同様にして、複数のAlN種結晶を成長させた。これらのAlN種結晶のうちの1個のAlN種結晶の大きさは、結晶径Dが22mm、厚さTが0.14mmであった。このAlN種結晶におけるC(IVB族元素)の含有率は、SIMS(2次イオン質量分析)により測定したところ、120ppmであった。このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は25arcsecと極めて小さかった。すなわち、実施例5のAlN種結晶は極めて高品質であった。
次に、上記の結晶径Dが22mmで厚さTが0.14mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶5)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が22mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は20arcsecと極めて小さかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、5×104cm-2と極めて低かった。すなわち、実施例5のAlN単結晶は極めて高品質であった。結果を表1にまとめた。
1.AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長
原料中のIVB族元素として含有率600ppmのC粉末を用いて、AlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)の成長時間を40時間としたこと以外は、実施例3と同様にして、複数のAlN種結晶を成長させた。これらのAlN種結晶のうちの1個のAlN種結晶の大きさは、結晶径Dが40mm、厚さTが0.17mmであった。このAlN種結晶におけるC(IVB族元素)の含有率は、140ppmであった。このAlN種結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は20arcsecと極めて小さかった。すなわち、実施例5のAlN種結晶は極めて高品質であった。
次に、上記の結晶径Dが40mmで厚さTが0.17mmのAlN種結晶(AlyGa1-yN種結晶)を用いたこと以外は、参考例1と同様にして、AlN単結晶(AlxGa1-xN単結晶)を成長させた。得られたAlN単結晶の大きさは、結晶径が40mmで厚さが4mmであった。このAlN単結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における回折ピークの半値幅は15arcsecと極めて小さかった。また、このAlN単結晶の転位密度は、9×103cm-2と極めて低かった。すなわち、実施例6のAlN単結晶は極めて高品質であった。結果を表1にまとめた。
Claims (3)
- 結晶径Dmmと厚さTmmとがT<0.003D+0.15の関係を満たすAlyGa1-yN(0<y≦1)種結晶を準備する工程と、
昇華法により、前記AlyGa1-yN種結晶の主表面上にAlxGa1-xN(0<x≦1)単結晶を成長させる工程と、を備え、
前記Al y Ga 1-y N種結晶は、IVB族元素のうちの少なくとも1種類の元素を質量比で100ppm以上500ppm以下含有するAlxGa1-xN単結晶の成長方法。 - 前記AlyGa1-yN種結晶は、昇華法により前記AlyGa1-yN種結晶の結晶核を生成させて前記結晶核を成長させたものである請求項1に記載のAlxGa1-xN単結晶の成長方法。
- 前記AlyGa1-yN種結晶は、主表面として(0001)表面を有する請求項1または請求項2に記載のAlxGa1-xN単結晶の成長方法。
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