JP5302384B2 - 容器内で検査、補修及び／又は他の作業を実行するための装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、高純度（ＨＰ）及び超高純度（ＵＨＰ）流体のような特殊な及び他の物質を入れて輸送するのに使用されるコンテナ又は容器に関する。より詳しくは、本発明は、容器に人が入る必要なしにこのような容器の内部領域を検査及び／又は補修するのに使用することができる装置及び方法に関する。

エレクトロニクス産業で利用される新規技術展開及び拡張は製造工程において使用されるＨＰ及びＵＨＰ流体のような特殊物質の増量要求につながる。特殊物質は、電子部品製造のような製造工程において使用され、高純度又は超高純度のようなある性質を示す化学物質である。特殊物質は、例えば、粉、エマルション、懸濁液、及び、蒸気でありうる。用語「流体」はここで使用されるように、ガス、液体、昇華固体、及びそれらの組合せを包含するものと解釈される。

関連生産装置異作業及び処理用に使用される特殊物質はｐｐｂ水準において測定される不純物で製品配送を必要とするものとする。特殊ガス及び化学物質は生産費のおよそ０．０１パーセント〜およそ０．１パーセントだけを説明できるが、これらの物質欠乏は、例えば、電子装置製造設備において、所望又は必要生産量を維持する能力を危うくするかもしれない。ある事情において製造プロセスで汚染製品を使用することは、製造工程の非常に最後の段階、例えばウェーハー生産の場合に製品品質保証において決定されるだろう最終製品仕様を危うくするかもしれない。生産されたウェーハーは「規格外」とみなされることがあり、処分されることがあり、何百万ドルの損失を説明する。それゆえに特殊物質純度を配送中に保つことは実質的に意義がある。

ＨＰ若しくはＵＨＰ流体又は他の特殊物質を保管するのに使用される容器の汚染は、特殊物質の容器への導入時に特殊物質の所定の純度レベルを危うくすることがある物質の存在、あるいは容器での高純度製品の運搬及び／又は貯蔵中に容器への不純物の進入として特徴付けることができる。

汚染物は固体、液体、及びガスの形をとることができる。汚染物は、例えば、以前に容器に貯蔵された別種類の物質からの残留物により形成されうる。汚染物は、例えば、容器の漏れによる周囲空気の容器内容積への進入によっても導入されうる。より詳しくは周囲空気の進入により導入された酸素は、電子装置製造において使用されるＨＰ及びＵＨＰ流体に関して汚染物と通常みなされる。酸素は容器の内面で汚酸化物を形成することができる。さらに酸素分子は、容器の内面で捕捉されることができ、ＨＰ若しくはＵＨＰ流体、又はその後容器に配置される他の特殊物質へ拡散することができる。ＨＰ又はＵＨＰ流体が容器内に存するので、酸素分子はＨＰ又はＵＨＰ流体の濃度勾配により容器内面から抜き出されることができ、生産設備に運搬され、逆に最終製品仕様に影響することができる。

特殊物質の汚染物として識別される物質は、用途に依存し、特殊物質の特定種類、特殊物質の製品仕様、及び、特殊物質の予定された使用のような要因で変化することができる。したがって、一つの用途において汚染物とみなされる物質は、他の用途において汚染物とみなされないことがある。例えば、酸素、炭化水素、金属粒子、水、及び窒素は、超臨界二酸化炭素の汚染物とみなされる。窒素は汚染物とみなされないが、ＮＨ₃，ＮＦ₃，及びＣｌ₂のような電子装置グレードガスの汚染物である。

ある事情において、少量のＨＰ及ＵＨＰ物質を配送するより以前の配送方法は、もはや適用できないことがある。例えば、円筒ボトル又は他の小形パッケージを用いる配送は、比較的多量のそのような物質の必要性により、ある製造工程においてはもはや許容されないことがある。例えば、超高純度「白アンモニア」（ＮＨ₃）と三弗化窒素（ＮＦ₃）の需要は、近年はかなり生長し、大量のこれらの物質は、今では多数の異なる製造工程において必要とされる。

ＨＰ及びＵＨＰ物質を送出す大量送出し容器及びシステムは、近い過去において知られていないか又は使用されていない。新規技術、例えば、種々の電子装置の生産に使用される最近の技術展開だけがＮＦ₃，ＮＨ₃，ＣＬ₂，ＨＣｌ，及び、他の特殊物質並びに化学物質のような多量のＨＰ及びＵＨＰ製品の要求量をもたらした。ボトルボンベのような小形容器は従来比較的少量のＨＰ及びＵＨＰ製品の送出しに使用された。小形容器の作製についての要求条件は、厳密である一方で比較的容易に満たされることができる。それどころかＨＰ及びＵＨＰ製品を運搬するのに使用される比較的小形容器及び器についての容器調製手順はよく知られている。例えば、「ベーク」として知られるオーブンでの単純容器加熱法は容器内面要求純度を達成することを助長する。調製されるか又は「清浄処理された」といわれる容器は、ＵＨＰ製品を汚染するおそれなくＵＨＰ製品を受けることが可能である。容器加熱のために使用される「ベーク」オーブンは、大きさと形状について変更することが可能であり、しかし、一般的にはボンベのような比較的小形容器の調製に限定される。

大量に工業用ガスの送出しに必要なもののような大きなサイズのコンテナ又は容器は比較的小さなコンテナの作製方法を利用することができない。大量ＨＰ及びＵＨＰ製品用新規容器調製方法は開発され、容器工業に導入された。例えば、およそ６，０００−ポンドＩＳＯ容器の調製は、「超高純度大量容器を状態調節する設備及び方法」という題の特許文献１及び特許文献２に記載される。これらの容器の調製は、より大容器は大きくて現存する「ベーク」オーブンには収まらないために、並びに、容器最高表面温度が、例えば、米国運輸省（ＤＯＴ）、国際連合（ＵＮ）、国際海事危険物資（ＩＭＤＧ）、道路による危険物資の国際運賃に関するヨーロッパ協定（ＡＤＲ）、安全コンテナ協約（ＣＳＣ）等のような国運搬団体により規制されるために、より小形容器の作製よりもずっと複雑である。換言すれば、運搬容器として使用される大容器は、世界の運搬組織により規制される。例えば、ＤＯＴ勧告によれば、ポータブルＩＳＯタンクＴ５０型の最高外部温度は、タンクの熱応力及び疲れを導入することを防止するために、１２５°Ｆを越えるべきではない。明らかに、「ベーク」プロセスは、ベークが妥当な容器表面調製を達成するためには有意により高温を必要とするので、行われることができない。

ＨＰ及びＵＨＰ製品の送出し用大寸法容器を清浄し、調製する方法は知られ、産業において実施中である。これらの方法は、かなり処理が難しく、相当の力と費用を必要とする。それゆえに容器純度の保存は、必須であり、送出ＨＰ又はＵＨＰ製品収入と送出ＨＰ又はＵＨＰ物質を用いて生産される装置品質に有効に影響を及ぼすことが可能である。例えば、半導体ウェーハーの製造プロセスの種々の段階は、ＮＦ₃，ＮＨ₃，ＣＯ₂等のような送出ＨＰ及びＵＨＰ物質の使用に依存することが可能である。

有効な努力は正味量のＨＰ及びＵＨＰ物質についての送出し設備と手段を開発し、実行することを約束した。これらの送出しに関連する重要な挑戦の一つは、これらの容器がこれらの容器を危険にさらすことなく要求製品純度を運搬し、送出すために使用されることが可能である方法においてのバルクコンテナの設計及び調製であった。いくらかの特有の容器設計と調製手順は現在では知られている。高純度物質の取扱を満たす容器設計及び調製作業は、固定容器の場合は多少複雑ではない。しかし、ポータブルコンテナについては、製品純度達成及び保存作業はさらに難しい。ポータブルコンテナは、容器物質、設計、及び機械的性質を規制する標準によるばかりでなく、例えば、ＤＯＴ、ＵＮ、ＩＭＤＧ、ＡＤＲ、ＣＳＣ、等を含む世界ここかしこの異なる国運搬団体によっても課される種々の規制に従うことを必要とする。これらの団体とその規制の役目は、大量の異なる物質を運送するポータブルコンテナが輸送工程中に周囲世界に対する危険を負わせない手段を講じるためである。容器設計、検査、運搬、及び、他の取扱手順は厳しく規制され、現存規制に従わない容器はどれも危険物資を運搬することに使用されることを許可されない。けれどもやはり若干数の容器設計、調製、及び検査手順は高純度製品要求条件に矛盾する。

だれでも輸送適性容器に課される要求条件をわかり、標準容器設計、規制容器調製工程、検査手順、等になされるか又はなされないかもしれないところをわからなければならないであろう。新規又は改良容器設計及び新規又は改良調製並びに検査手順は国運搬団体により使用について承認されなければならないことがある。容器に課されるいくらかの検査関連要求条件例はＩＴＣＯ ＡＣＣ ＭＡＮＵＡＬ第３号：２００３年１月の節「ＩＳＯ検査要求品質（“ＩＳＯ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ”）」において示され、「人の立入りについてタンクが立入りに安全であることを確保するのが貯蔵所管理者の責務である、これは低酸素のガス汚れについて検査を必要とすることがある。」と述べる。容器検査マニュアルから抜粋されるこの陳述は、タンク（容器）への人の立入りの場合は適正条件は危険ガス残留物が容器内に取り残されず、酸素欠乏雰囲気が除去されるということである。後のものは容器が主容器汚染形成、例えば、金属酸化物及び他の望ましくない残留物源であるとすればエアパージを必要とする可能性がある。さらに、完全容器調製（汚染除去）手順は、容器が不活性ガスでパージされた後でも残留酸素を除去することを必要になる。容器面はその後に容器に導入されるＵＨＰ製品を汚すに十分であろう酸素有効量を捕捉することが可能である。全く必要とされる容器調製方法例は、例えば、特許文献１において記載される。相当量の時間、エネルギー、及び、金銭は、いつでもできるときに容器調製についての必要性を避けることにより省かれることができる。

規制容器検査要求品質別例は、ＩＴＣＯ ＡＣＣ ＭＡＮＵＡＬ 第３号：２００３年１月の章「圧力容器の受入れられない条件（“Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｖｅｓｓｅｌ Ｎｏｔ Ａｃｃｅｐｔａｂｌｅ Ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ”）」において見られることが可能である。例えば、以下の検査中にわかる容器条件は継続使用には不合格として検査容器を限定する可能性がある：
・溶接又は母材についての欠点
・０．１ｍｍ（０．００４インチ）よりも深く研削を果たされる本体
・外殻厚を最小値未満に減少する過剰研削又は他の金属減耗
・必要な最小値未満の外殻厚を結果として生ずるか又は汚れトラップをもたらす腐食又は点蝕
・応力腐食
・鋭角押込、しわ、又は圧痕など
・タンク外殻の上部３分の１についてそこで６ｍｍ（０．２５インチ）大の圧痕
・タンク外殻の底３分の２についてそこで１０ｍｍ（０．４インチ）大の圧痕

上に列挙された条件に従うために、厳密な内容器検査が必要とされる。検査は容器内面の目視定性分析ばかりでなく内部構造についてできるかぎりの表面不連続、粒度、形状実測も含むことが可能である。現在の実施基準の下では検査容器の人的立入りは必要検査品質を達するためには事実上避けられない。それで工業受入確立基準は内容器検査に関する人通路を通じて検査官による容器立入りを必要とするのである。したがって、人通路の大きさ、並びに大抵その位置も検査官による限界空間の安全立入り及び退去を保証することを規制される。

世界周り輸送容器必要条件を制定する別文献はＵＮにより展開された。例えば、ＵＮ型式Ｔ５０ポータブルＩＳＯタンクは無水アンモニアＵＮ１００５の運送と使用のための国際運搬において使用した。これらは修正安全コンテナ国際協約（ＣＳＣ）、１９７２のコンテナ規定を満たすポータブルタンクであり、ＵＮ型規則６．７．３．１５その他及びＣＳＣに従って検査試験を受けなければならない。文献は、容器検査を実施すること及びこれらの検査を実施する厳密期間必要条件を規定することにも厳しい要求を課する。例えば、文献は、「・・・ポータブルタンクは最後の２．５又は５年試験期日の満了後に充填されないものとする。試験期日内に充填されたタンクは最終定期試験期日の有効期限を越えて３月まで運搬されることが可能である・・・」と述べる。明らかに、遅れずに検査を完了されていなかったか又は検査に合格しなかった容器は国際的物資送出しに使用されないことになっている。米国では、同種規則はＤＯＴにより展開した。容器検査及び保守についてのＣＳＣ規則はＣＳＣ規則＃２において扱われている。例えば：「・・・初検査は５年までに発生しなければならず、そしてその後少なくとも２．５年ごとに・・・」。ＣＳＣ同様検査規則は検査を行なうことが可能である人を規定する。認定及び認可代理人の存在は本質的であり、これらの代理人だけが検査を行ない、継続使用について結局は容器を合格するか又は合格しないことが可能である。下記のものはＣＳＣ文献別節においても述べられている：「・・・ここに記載された検査試験は有資格権者又はその授権法人により認定及び承認された検査官／代理権者により実行されるか又は立会われなければならない。ＣＳＣ及びＵＮタンク試験及び検査はそうすることを適性に認定されれば同じ検査官により実施されることが可能である。この仕事を実施することを認定された代表的代理権者は、米国船級協会（ＡＢＳ）、フランス船級協会（Ｂｕｒｅａｕ Ｖｅｒｉｔａｓ）、ロイズ船級協会（Ｌｌｏｙｄｓ Ｒｅｇｉｓｔｅｒ）等・・・・である。」。実際には、最後の例においての要求条件は認定検査官が容器に立入り、検査を行なうべきと要求する。容器が使用されて用いられることを続けることが可能であるかどうかについての最終意見は検査の完了でのみ発行されることが可能である。認定検査代理権者はＨＰ及びＵＨＰ製品を運搬、供給する容器及びシステムについての必要条件を詳細には熟知していない。それゆえに検査官は容器検査を実施することを認定されることが可能であるがＨＰ又はＵＨＰ商品を運搬する容器に立入ることを認定されることは可能でない。

それゆえ、容器に人が立入ることなしにＨＰ及びＵＨＰ流体並びに他の特殊な製品を保管するのに用いられる容器の内部検査及び補修を実行するための装置及び方法について継続したニーズがある。

米国特許第６，６１６，７６９号明細書 米国特許第６，８１４，０９２号明細書

これらの装置及び方法により、容器に人が立入ることなしに及び容器に保管される物質の純度を所定の最小レベル未満に低下させうる汚染物を導入することなしに容器内での検査、補修及び他の作業が容易になる。

所定の最小純度を有する第一物質を保管するために使用される容器内で作業を実行するための装置の実施形態が提供される。この装置は、本体と、前記本体に対して可動に連結され、前記装置が前記容器内で作業を実行している間、前記容器の表面上において前記装置を支持する車輪及び／又は軌道と、前記本体に取付けられ、前記装置が前記容器内で作業を実行している間、前記本体と前記容器の表面との間に少なくとも部分的に配置された外殻とを含む。前記外殻と前記車輪及び／又は軌道は、一以上の物質から形成され、前記一以上の物質は、前記第一物質が前記一以上の物質にさらされた場合に、前記第一物質の純度を所定の最小値未満に低下させない。

容器の内部に関する情報を得るためのシステムの実施形態が提供される。このシステムは、容器の内部に入ることができる装置を含む。この装置は、本体と、前記本体に取り付けられたセンサーと、前記装置から情報を伝達するための送信器と前記情報を格納するための記憶保持装置の少なくとも一方と、前記本体を少なくとも部分的に囲み、前記装置の他の部分から破片及び粒状物質を受けることができる外殻とを含む。

方法は、所定の最小純度を有する第一物質の存在下において前記第一物質の純度を所定の最小値未満に低下させることなく作業するように構成された装置を用意する工程、前記第一物質を保管するように構成された容器の内容積に前記装置を挿入する挿入工程、並びに前記装置を用いて前記容器を検査及び／又は補修する工程を含む。

内容積を有する容器を検査するための方法は、センサーを含む装置を用意する工程、前記容器の外殻に形成された開口部から弁を取り外す工程、前記開口部を通って前記装置を前記内容積に導入する工程、及び前記センサーから前記容器に関する情報を得る工程を含む。

前述の概要並びに好ましい実施形態の以下の詳細な説明は添付図面と共に読んだ場合によく理解される。図面は例示を目的としてのみ示され、特許請求の範囲は図面に示される特定の実施形態には限定されない。

容器内で検査、補修及び／又は他の作業を実行するための装置の実施形態の側面図である。 図１で示される装置の正面図である。 図１の線“Ａ−Ａ”によりとられる図１及び２で示される装置の上部横断面図である。 容器の内容積中の装置を描き、縦断面の容器を描く図１〜４で示される装置の側面図である。 図４の視点から約９０度回転された視点からの図４の表示“Ｂ”区域の拡大図である。 図１〜４で示される装置の代替の実施形態の側面図である。 図１〜４で示される装置に関連して使用することができるオペレータコンソールの斜視図である。 図４で示される容器内での補修作業を実行するように構成された図１〜４で示される装置の側面図である。 図１〜４及び図８で示される装置を図４で示される容器から回収するのに使用できるつなぎ鎖と、当該つなぎ鎖を格納するのに使用できるスプール及びハウジングの、当該ハウジングの半分が取り外された側面図である。 救助装置と結合した図１〜４及び図８で示される装置であって、図４で示される容器から救助装置により回収される装置の側面図である。 その端部にカメラを取り付けたケーブルであって、図４で描かれた容器内での検査及び他の作業を実行するためのケーブルの側面図である。 図１〜４及び図８で示される装置が内容積に挿入されそしてそこから回収されるときに、容器の内容積を周囲環境から分離する弁システムを有する図４で描かれる容器の代替の実施形態の側面図である。 横断面における弁システムの導管を描き、導管内に図１〜４及び図８で示される装置を現す図１２の表示“Ｃ”区域の拡大図である。

図１〜図４、図８、及び図１０は装置１０実施形態を示す。装置１０はコンテナ又は容器２００内部を検査及び／又は補修するのに使用されることができる。容器２００は、９９．９９９パーセント以上の純度でアンモニア（ＮＨ₃）のようなＵＨＰ流体を入れるために使用されることができる内容積２０２を規定する。装置１０は以下に論じられるように容器２００をＵＨＰアンモニア貯蔵に不適当にする汚染物を導入することなく作動するように構成される。

ＵＨＰアンモニアを収容するために使用される容器２００に関する装置１０の使用は例示目的だけのために記載される。装置１０はまた、超高純度ガス以外の物質を収容するのに使用される容器の内部を検査するために使用することができる。

装置１０は内側及び容器２００内機動に収まる大きさに作られる。例えば、容器２００はその外殻２０８に開口部２０６を有する。各開口部２０６は圧力解放弁２０９（図４において擬似模型に示される）に適応する。容器２００はまた内容積２０２を区画に分ける内じゃま板２１０を含む。じゃま板２１０はそれぞれ、例えば、図５において示されるＶ形開口部２１２を含む。装置１０は、装置１０が内容積２０２内の全区画にアクセスできるようにアクセス開口部２０６の少なくとも一つ（関連する圧力逃し弁２０９が取り外された場合）及びＶ形の開口部２１２に収まるほど十分に小さいことが必要である。

装置１０は図３に示される本体２０とそれぞれ本体２０に装備される二つのモーター２４を含む。装置１０はまた二つの駆動車軸と、それぞれ駆動車軸２８各自一つに取り付けられる二つの車輪３０ａを含む。本明細書及び特許請求の範囲を通じて使用される術語「車輪」はローラー、円板、ドラム、円形フレーム等を包含することを意味する。

各駆動車軸２８は各モーター２４が一つの車輪３０ａを駆動又は回転するようにモーター２４各自一つに接続される。代替の実施形態は両方の車輪３０ａを駆動する一モーターを備え付け可能である。他の代替の実施形態は二以上の駆動車軸２８、二モーター２４、二車輪３０ａを含むことが可能である。さらに代替の実施形態は車輪３０ａの代わりに又はそれに加えて軌道を備え付け可能である。装置１０代替の実施形態において使用可能である軌道は図１において擬似模型に描かれ、参照符号３１で示される。

モーター２４は、炭化水素、水蒸気、粒状物質等のような排気関係汚染物を容積２０２に導入することを避けるために電動機であることができる。装置１０はモーター２４及び装置１０の他の電気部品に動力を供給する電池を含むことができる。

装置１０ａ形態について代替の実施形態は図６において描かれる。装置１０ａは以下の例外及び以後言及される他の例外をもって装置１０と実質的に同一である。装置１０ａは容器２００外側に配置される電源から電力を装置１０ａに送るために使用されることができるケーブル２９を含み、それによって電池必要性を排除する。

車輪３０ａは容器２００に貯蔵されるべきＵＨＰアンモニア（又は他の特殊物質）を汚染しないであろう物質から形成されることができる、すなわち、車輪３０ａが形成される物質は、ＵＨＰアンモニアが物質に接触するとすればＵＨＰアンモニアの純度を所定の最小値未満に低下しないものである。この特徴は装置が内容積２０２にあって内容積２０２にその後に残存する間に物質粒子が車輪３０ａから遊離されるとすれば容器２００においてのガス汚染を防止することを助長することができる。さらに車輪３０ａがそれで形成される物質の硬度は容器２００がそれで形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は車輪３０ａと容器２００の接触により遊離される任意物質が容器２００よりも車輪３０ａからの物質からなることを確保助長することができる。

例えば、車輪３０ａは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）又は白シリカ物質から形成することができる。というのも、ＰＴＦＥ及び白シリカ物質はこのＵＨＰアンモニアを汚染しないからである。さらに、ＰＴＦＥ及び白シリカ物質はそれぞれ容器２００のような容器を形成するために一般に使用される金属材料よりも低い硬度を有する。

駆動車軸２８のそれぞれは図３において示されるように駆動車軸２８と結合車輪３０ａを胴体２０に関して回転することを許す各ブッシュ３８によって胴体２０に連結されることができる。軸受はブッシュ３８の代わりに代替の実施形態において使用可能である。

装置１０はまた車軸４０、及びそれぞれ車軸４０の各端部に取り付けられる二つの車輪３０ｂを含むこともできる。車輪３０ｂは実質的に駆動車輪３０ａと同一であることができる。二つの追加ブッシュ３８は車軸４０が胴体２０に関して回転できるように車軸４０を胴体２０に連結するために使用されることができる。

装置１０はまた図３において示されるように処理装置４８を含むことができる。処理装置４８は、例えば、マイクロプロセッサーであることができ；他の型式の処理装置は代替において使用可能である。

装置１０はまた装置１０と容器１４外側に配置される作業者モジュール５４で情報を伝送する遠隔測定システム５０を含むことができる。作業者モジュールは図７において描かれる。遠隔測定システム５０は図３において示されるように胴体に装備され、処理装置４８に通信で連結される第一送受信機を含むことができる。遠隔測定システム５０はまた作業者モジュール５４の一部を構成する第二送受信機を含むことができる。第一及び第二送受信機は、例えば、無線周波数（ＲＦ）伝達により通信することができ；他の種類の通信プロトコルは代替において使用可能である。

情報は装置１０とオペレータコンソール５４で代替装置１０ａにおいてケーブル２９を通って伝送することができ、それによって遠隔測定システムの必要性を排除する。

処理装置４８はモーター２４の動作を制御して所望方向についての装置１０の運動を実現する。より詳細にはモーター２４のそれぞれは処理装置４８を通って蓄電池３４に電気的に接続されることができ、結果的に処理装置４８が遠隔測定システム５２によって作業者から受信される入力に応じて選択的に各モーター２４を作動し、作動を止め、及び逆転することができる。作業者入力は手動式操作装置制御器又は作業者モジュール５４の一部を構成する他の適当装置を用いて発生されることができる。

モーター２４は作業者からの入力に応じて同時に同方向に作動されて前進方向及び後部方向について装置１０の直線動作を促進することができる。

装置１０は車輪３０ａの差異運動を用いて操縦されることができる。より詳細には、装置はモーター２４の一方を作動する一方で他方のモーター２４が作動を止められることにより；モーター２４を反対方向に作動することにより；又はモーター２４を同方向に異速度で動作することにより操縦されることができる。

代替の実施形態は車輪３０ｂを変向する操舵機構を備え付けることができる。代替の実施形態はまた車輪３０ｂを駆動する追加の二つのモーター２４を備え付けることができる。

装置１０は胴体２０に装備され、マイクロプロセッサー４８に通信で連結される一以上のセンサーを含むことができる。センサーは特別用途において必要とされる特殊検査作業を実行することに適当な任意装置であることができる。例えば、装置１０は図１及び２において示されるようにビデオカメラ７０を備え付けることができる。ビデオカメラ７０は適性表示装置と共に使用されるときに三次元像を発生しうる。装置１０はしたがって配管及び他の部品の破片、割れ、穴、不適当組立、及び、他の潜在的問題について容器２００内部を目視検査するために使用されることができる。カメラ７０は図１及び図２において示される粒子２１４のような容器２００内有機堆積物の存在を確認するためにも使用されることができる。

装置１０は欠点又は他の問題が確認される容器２００内の特定位置を地図作成するように構成されることができる。例えば、装置は赤外線距離測定計測器（示されない）を備え付けられ、処理装置４８は装置が容器２００内前定義表面又は他の特徴に関して欠点又は他の問題座標を描くことを許す地図作成ソフトウェアでプログラムされることができる。

他の型式のセンサーは特別用途においての必要情報を得るためにカメラ７０に加えて又はその代わりに使用されることができる。例えば、代替の実施形態の装置１０は音響、赤外線、Ｘ線、紫外線、又は他の型式のセンサーを備付け可能である。

ビデオカメラ７０は図１及び図２において示されるように電動取り付け台７２と入れ子式アーム７３を用いて胴体２０に装備されることができる。取り付け台７２はカメラ７０がオペレータコンソール５４から遠隔測定システム５０によって中継される作業者入力に応じて回しながら撮影され、胴体２０に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム７３は遠隔測定システム５０による追加の中継作業者入力に応じてカメラ７０が取り付け台７２に近くに又はそれから遠くに動かされることを許す。代替の実施形態はカメラ７０について固定取り付け台及び／又は入れ子式でないアームで構成可能である。

ビデオカメラ７０は第一送受信機５０ａに通信を連結可能であり、結果的にカメラ７０出力は作業者モジュール５４に送信され、映像監視器７４又は他の好適な装置を用いて同時基準で表示されることができる。作業者モジュール５４はまたビデオカメラ７０及び装置１０上の他の任意のセンサーの出力を記録する記憶保持装置７５を含むこともできる。

装置１０の代替の実施形態はカメラ７０と装置１０上の他のセンサーに通信を連結される回路基板上記憶保持装置を含むことができ、装置が容器２００から回収された後にカメラ７０又は他のセンサーの出力が蓄積され、続いてダウンロードされることを許す。

装置１０は容器２００内部から物質を集める手段を装備されることができる。この特徴は検査作業中に容器２００内で発見される粒状物質のあるもの又はすべてを除去することが所望される用途において使用されることができる。物質試料は物質が容器２００において貯蔵されるべきＵＨＰアンモニア又は他の特殊物質に関しては汚染物であるかどうかを測定するために続いて分析されることができる。

採集手段は、図１において示されるように、例えば、真空源７６、真空源７６に流体連通する集合室７８、及び、真空ライン７９を通して集合室７８と流体連通する真空ピックアップ８０を含むことができる。

真空ピックアップ８０は電動取り付け台８１と入れ子式アーム８２を用いて胴体２０に装備されることができる。取り付け台８２はオペレータコンソール５４から遠隔測定システム５０によって中継される作業者入力に応じて真空ピックアップ８０が掃引され、胴体２０に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム８２は遠隔測定システム５０による追加の中継作業者入力に応じて真空ピックアップ８０を取り付け台８１に向けて又はそれから離れて動かされることを許す。代替の実施形態は真空ピックアップ８０について固定取り付け台及び／又は入れ子式でないアームで構成されることができる。

容器２００内に位置し、カメラ７０又は他の検出装置を用いて確認される粒子２１４は装置１０をピックアップ８０の端部が図１において示されるように粒子２１４最近に配置されるように位置決定することにより採集されることができる。真空源７６は次に作動されることができ結果的に、生ずる真空は粒子２１４をピックアップ８０に吸込み、集合室７８に沈積させる。粒子２１４は装置が容器２００から回収された後に検査及び分析のために集合室から検索されることができる。

真空源７６及び真空ピックアップ８０はカメラ７０又は他のセンサーにより識別される擬似粒状物質が全く粒状物質であり、容器２００の割れ、穴、又は他の欠陥ではないことを検証するためにも使用されることができる。より詳細には装置１０は真空ピックアップ８０が擬似粒状物質近傍に配置されるように機動されることができる。真空源７６は作動され、作業者はカメラ７０を介して擬似粒状物質が真空に応じて動くかどうかを監視することができる。真空に応じて動きの欠如は擬似粒状物質が実際には粒状物質よりむしろ容器２００欠陥であるという指示である。

装置１０は固定又は可動アーム（示されない）又は擬似粒状物質を動かす他の好適な装置を備え付けることができる。この技術は真空源７６及び真空ピックアップ８０を用いて擬似粒状物質を動かすことを試みる代わりに使用されることができる。

代替装置１０ａのケーブル２９は装置１０ａ上で容器２００外側に配置される真空源と流体連通する真空ピックアップ８０に置かれる真空ラインを含むことができる。この特徴は装置１０ａに配置される真空源及び集合室の必要性を排除する。

装置１０はまた容器２００内補修を実行するように構成されることができる。例えば、一定用途において容器２００はその内面に容器２００に収容される物質によりもたらされる腐蝕又は他の損傷効果から表面を保護する塗膜を有することができる。装置１０は、例えば、塗膜が引掻かれ、欠けており、さもなければ傷つけられているとわかった面を塗り重ねるために使用されることができる。特に、装置１０は塗料加圧貯蔵器９０を備え付けることができる。貯蔵器９０は図８において示されるように真空源７６及び集合室７８の変わりに胴体２０に装備されることができる。噴霧ノズル９４は真空ピックアップ８０の代わりに入れ子式アーム８２に取り付けることができる。

アーム８２と取り付け台８１は噴霧ノズル９４が塗膜が傷つけられた面近傍に配置されるように操作されることができる。塗料は貯蔵器９０から管路７９とアーム８２を通って噴霧ノズル９４に供給され、傷つけ面の上に噴霧されて面を塗り重ねる。

上述塗り重ね作業は例示目的だけのために開示され；装置１０は他の種類の補修作業を実行するように構成されることができる。

装置１０はまた外殻９８を含むことができる。外殻９８は外殻９８が図１〜図３において示されるように胴体２０と容器２００下面の間で位置決定されるように胴体２０に装備される。外殻９８は油、潤滑油、及び作業中に装置１０により放出される可能性がある他の潜在汚染物を受けることができる。外殻９８により捕捉される潜在汚染物は図２において擬似模型に描かれ、参照符号９９により示される。汚染物９９は、例えば、多様な装置１０可動及び非可動部の摩擦、装置１０が経験することが可能である振動又は機械衝撃、装置１０内で使用される潤滑剤等に由来することができる。外殻９８により捕捉された汚染物は装置１０が回収されるにつれて容器２００の内容積２０２から除去される。

外殻９８は容器２００内に貯蔵されることになるＵＨＰアンモニア（又は他の特殊物質）に適合した物質から造ることができる、すなわち、外殻９８はＵＨＰアンモニアが物質に接触するとすればＵＨＰアンモニアの純度を所定の最小値未満に低下しないものである物質から形成されることができる。この特徴は、外殻９８部分は装置１０が内容積２０２内で運転されながら遊離されるとすればＵＨＰアンモニアについて汚染可能性を減少することができる。

さらにそれで外殻９８が形成される物質の硬度はそれで容器２００が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻９８と容器２００の偶然接触により遊離される任意物質は実質的に容器２００よりも外殻９８からの物質からなることを確保助長することができる。

また、それで外殻９８が形成される物質の硬度はそれで装置１０の車軸２８、４０が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻９８と車軸２８、４０のこすれ又は他の接触により遊離される任意物質が実質的に車軸２８、４０よりも外殻９８からの物質からなることを確保助長することができる。

代替の実施形態は完全に胴体２０を囲む外殻９８を備え付けることができる。外殻９８は部分的に図２において描かれる。さらに外殻９８、９８ａは例示目的だけのために実質的に曲線形状で描かれ；代替の実施形態は他の形状の外殻を有することができる。

装置１０は装置１０が故障するか又はさもなければその正常駆動及び操縦能力を使用して内容積２０２から出ることができなければ装置１０を容器２００の内容積２０２から回収する設備を備え付けられる。例えば、装置１０はつなぎ鎖６０を備え付けることができる。つなぎ鎖６０は装置１０が容器２００に入る前に胴体２０又は装置１０の他の部品に結合されることができる。つなぎ鎖６０はハウジング６２内に保管されることができ、ハウジング６２内に取り付けられた巻枠又はスプール６４に巻かれることができる。ハウジング６２半分は図９において除去され、スプール６４を現わす。

ハウジング６２と巻心６４は容器２００外側にある。つなぎ鎖６０は装置１０が容器２００内及びそれを通って移動するにつれて巻心６４から巻出される。ハウジング６２及び巻心６４から離れる装置１０移動はつなぎ鎖を巻心６４から巻出す。

スプール６４はつなぎ鎖６０を巻心６４に巻き返す設備を備え付けることができる。この特徴は装置１０が容器２００内で実行できなくなれば装置１０を検索するか又は装置が容器２００から通常に出るときにつなぎ鎖６０を蓄積するために使用されることができる。例えば、ハンドル６５は巻心６４に装着されることができ、巻心６４を回転する。巻心６４はまたハウジング６２に取り付けられたモーター（示されない）により回転されることができる。モーターはハンドル６５の代わりに又はそれに加えて使用されることができる。さらに、ばね（示されない）はハウジング６２と巻心６４に接続され、装置１０が容器２００から通常にすなわちそれ自体動力及び操舵の下に出るにつれてつなぎ鎖６０は自動的に巻き返されるように巻心６４を巻方向に偏らせることができる。

ハウジング６２内部はつなぎ鎖が汚染物を容器２００に導入する可能性を減少するためにヘリウム又は窒素のような適切な不活性ガスでパージすることができる。パージガス源はハウジング６２内側又は外側に配置されることができる。必要であればつなぎ鎖６０表面は油残留物及び表面からの他の潜在汚染物を除去するために、つなぎ鎖６０が初期に巻心６４に巻かれる前に溶媒又は他の好適な手段により洗浄されることができる。さらに、つなぎ鎖６０は容器２００内に貯蔵されるべきＵＨＰアンモニア（又は他の特殊物質）に適合した物質に包まれるかさもなければ外装されることができる。

代替装置１０ａのケーブル２９は装置１０が容器２００内で実行できなくなれば装置１０ａを検索するつなぎ鎖として使用されることができる。ケーブル２９はハウジング６２、巻心６４、ハンドル６５、及び選択によるモーター及びばねに実質的に同じである集成装置を用いて収納又は格納されることができる。

無力装置１０はまた図１０において描かれる救助装置１００を用いて容器２００内容積２０２から回収されることができる。救助装置１００は別装置１０又は別種類の容器内使用に適当装置であることができる、すなわち、救助装置１００は貯蔵されるべきＵＨＰアンモニア又は他の特殊物質を汚染することなく容器２００内で運転することができるであろう。

装置１０と救助装置１００は装置１０と救助装置１００がかけ合わされることを許す特徴を含むことができる。救助装置１００は、無力装置１０とかけ合わされると図１０において示されるように容器２００外に装置１０をけん引又は押すことができる。

例えば、装置１０は図１〜図３及び図１０において示されるように一以上の磁石１０２を含むことができる。磁石１０２は外殻９８に又は装置１０についての他の適切な位置において取り付けることができる。救助装置１００はまた磁石１０２の一以上を含むことができる。救助装置１００は一のその磁石１０２を装置１０一の磁石１０２最近に据えるように機動されることができ、結果的に磁石１０２の相互引力は磁石０１２を互いに固定し、救助装置１００が図１０において示されるように無力装置１０を容器２００内容積２０２外にけん引するか又は押すときに装置１０を救助装置１００に結合維持する。

装置１０は図１〜図３及び図１０において示されるようにフック又はラッチのような一以上の機械結合具を含むことができる。結合具１０６は磁石１０２の代わりに使用されることができる。装置１０は図解目的のために結合具１０６と磁石１０２の両方について描かれる。

結合具１０６は外殻９８に又は装置１０についての他の適切な位置において取り付けることができる。救助装置１００はまた装置１０においての結合具１０６とかけ合う一以上の結合具１０６を含むことができる。救助装置１００はその一の結合具１０６が装置１０においての一の結合具１０６にかけ合うように機動されることができる。かけ合わされた結合具１０６は救助装置１０６が図１０において示されるように容器２００内容積外に無力装置１０をけん引するか又は押すときに装置１０を救助装置１００に結合維持する。

無力装置１０は救助装置１００の代わりに、誘導能力ケーブルを用いて容器２００の内容積２０２から取り出されることができる。操縦ケーブルはケーブルの端部近傍に取り付けられる磁石の一つ１０２又は結合具１０６の一つを備え付けることができる。ケーブルの端部は内容積２０２に挿入され、ケーブルの磁石１０２が無力装置１０一の磁石１０２に関係するか又はケーブルの結合具が装置１０一の結合具１０６に関係するように操縦されることができる。ケーブルは次に容器２００から取り出されて無力装置１０を容器２００から引くことができる。

代替装置１０ａのケーブル２９は装置１０が容器２００内で無力になれば容器２００の内容積２０２から装置１０ａを引くのに使用されることができ、そのために救助装置１００又は操作ケーブル必要性を排除する。

装置１０の代替の実施形態は非自走式、すなわち非電動であることができる。非電動装置は前論された操作綱のようなケーブルを用いて容器２００の内容積２０２を通して引かれることができる。より詳細にはケーブルの第一端部はアクセス開口部２０６によって容器２００の中に経路設定されることができる。第一端部は上記の磁石１０２又は結合具１０６、又は他の好適な手段を用いて装置に固定することができる。末端部ケーブルは、すなわち、第一端部から容器２００の反対側に配置されるケーブル１１２部分は引き寄せられて装置を容器２００を通って引出すことができる。

他の代替の実施形態において、カメラ７０のような適切なセンサーは図１１において示される操作ケーブル１１２のようなケーブルの端部に取り付けることができる。容器２００の内部の検査は、ケーブル１１２の端部及び取り付けられたカメラ７０をアクセス開口部２０６の一つを通して容器２００の内容積２０２に挿入し、次いでケーブル１１２を用いてカメラ７０の位置を調整することにより行うことができる。

被覆又は包装１１３は必要であればケーブル１１２により発生される破片及び他の潜在汚染物が容器２００の内容積２０２に残されることを妨げるためにケーブル１１２の上に配置されることができる。被覆又は包装は容器２００に貯蔵されるべきＵＨＰアンモニア又は他の特殊製品を汚染しないものである物質のために形成されることができる。

装置１０と作業者モジュール５４の比較的小型寸法は装置１０と作業者モジュール５４の比較的容易輸送を促進する。装置１０はしたがって容器２００のような容器を現場で、すなわち容器が充填され、保守され、解体修理等される集積所又は他の施設から離れた使用又は他の場所の容器点において検査及び補修するために使用することができる。装置１０は非汚染ガスのガスシールを装置１０周囲に保持する箱又はコンテナで輸送されることができる。

装置１０は前に言及されるように容器２００の圧力逃し弁２０９に適合する開口部２０６内に収まる大きさに作ることができる。したがって容器２００は追加のアクセス開口部を提供され、装置１０を収める必要がある。アクセス開口部は容器２００の漏れ可能源を示すので、装置１０の使用は容器２００への追加漏れ可能源導入を必要としない。

装置１０はその機動能力のために容器２００全内容積２０２に実質的に達することができるので、装置１０は開口部２０６のような単一のアクセス開口部により収められることができる。

しかし二つの開口部２０６は作業者により所望されれば装置１０を収めるのに使用されることができる。例えば、装置１０は容器２００の第一端部の近くに配置される第一の開口部２０６を通って内容積２０２に投入され、容器２００の第二端部の近くに配置される第二の開口部２０６を通って内容積２０２から除去される。

代替的に、二つの開口部２０６は装置１０についての入口及び出口点の両方としてそれぞれ使用されることができる、すなわち、容器２００内容積２０２の一部は第一の開口部２０６を通って装置１０により出入りされることができ、内容積２０２残部は他の開口部２０６を通って出入りされることができる。手順は、例えば、障害物が二つの開口部２０６間のいくらかの点において内容積２０２内に存在するとすれば使用されることができる。

内容積２００は、内容積２０２への周囲空気の進入を防ぐために、安全逃し弁２０９が容器２００から装置１０を収めるために取り外される間、非汚染性のガス又は混合ガスでパージすることができる。例えば、容器２００がＵＨＰアンモニアを収容するのに使用される用途では、窒素パージを内容積２００において保持することができる。なぜなら窒素は一般的にＵＨＰアンモニアに関して非汚染性であると考えられるからである。

窒素パージ又は他の任意のタイプの酸素不足雰囲気の使用は、パージ容積への人の立入りが必要とされるときには窒息危険を与える。さらに酸素不足環境においての使用に必要とされる呼吸装備は一般にＨＰ又はＵＨＰ物質を入れる容積においての使用に不適当である。装置１０の使用は内容積２０２への人の立入りの必要性を排除することができ、したがってそのような立入りに関連する安全及び汚染問題を排除することができる。

さらに、危険物を収容するために使用される容器は通常は人が検査又は他の目的のために容器に立入る前に汚染除去工程にさらされなければならない。装置１０は、そのような容器への人の立入りに対する必要を排除することによりそのような汚染除去の必要を排除することができる。

人を容器２００へ送る必要を排除することは容器２００において人進路の必要を排除することができる。（容器２００は図解の明瞭のために人進路なく描かれる。）典型人進路はそれを通した人通過を助けるために比較的大きく、例えば、直径について２．５−フィートであり、該当人進路覆いは同様に大きい。比較的大型人進路覆いは従って容器２００の重量について有効減少になることができる。例えば、人案内カバーはおよそ２．０インチ厚さ“Ｓ１”と概略２．５フィート直径“Ｄ１”を有することができる；容器２００外殻はおよそ０．５インチの厚さを有することができる。それで人進路覆いが形成される材料密度はおよそ５００ポンド／立方フィートの密度を有することができる。人進路カバーの重量は、π×（（Ｄ１²）／４）×Ｓ１×密度＝約４０９ポンドと計算される。

人進路覆いを削除することは結果において２．０−インチ厚さ人進路覆いを０．５−インチ厚さ外殻区分で置換する。外殻区分重量は上式を用いて、２．０−インチ厚さ人進路に０．５−インチ厚さ外殻を代入して計算されることができる。外殻区分結果重量は人進路よりもおよそ３０７ポンド、又はおよそ１０２ポンド軽い。追加軽量化は締結具、フランジ、及び、人通路カバーを締結、封止するために使用される硬質製品の削除により達成されることが可能である。さらに、容器２００の内容積２０２は潜在的には人進路及び関連する硬質製品を排除することにより増加されることができる。

容器２００の重量を減少し、その内容積２０２を増加することは容器２００において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質提供者の増加収入をもたらすことができる。組立費はまた潜在的には人進路を削除することにより減少されることができる。

なお、一般に容器２００のような容器において小口より比較的大口を封止することはより難しい。さらに密封困難は運送工程に関連する振動、衝撃、及び温度振れのために可搬容器について悪化されうる。したがって、比較的大の人進路及びその結合蓋を削除することは実質的に容器２００について漏れ可能性を減少することができる。

内容積２０２への人接近の必要を排除することは容器２００の他の特徴の削除又は改良につながることができる。例えば、容器２００の弁箱（必要されるところで）上救急応答蓋の寸法と厚さは縮小されることが可能であり、弁箱構造保全性は内容積２０２への人接近が必要とされなければ緩和されることが可能であり、容器２００についてさらなる全重量軽減をもたらす。

重量を減少し、容器内容積２０２を増加することは容器２００において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質売り主及び／又は荷送人の増加収入をもたらすことができる。

装置１０は容器２００の内容積２０２内に導入され、作動される一方で内容積２００は容器２００に入れられたＵＨＰアンモニア及び他の物質についての静蒸気圧に維持される。この作業方法は内容積２０２を窒素及び他の非汚染物質でパージすることに関連する費用と整備時間を削減することができる。

例えば、図１２は装置１０が容器２００ａの内容積に導入され、それから除去されることを許しながらＨＰ、ＵＨＰ又は他の物質をよどみ蒸気圧に容器内で維持する弁システム１８０を描く。容器２００ａはシステム１８０を除いて実質的に容器２００と同じであることができる。

システム１８０は第一弁１８２と第二弁１８４を含む。システム１８０はまた第一弁及び第二弁１８２、１８４を連結する第一導管１８６；及び、第一弁１８２と容器２００ａを接続する第二導管１８８を含む。システム１８０はまた第二弁１８４に連結される第三導管１９０を含む。システム１８０はさらに第一導管１８６に連結するパージ装置１９２を含む。

装置１０は、図１３で示されるように、第二弁１８４を開ける一方で第一弁１８２がその閉鎖位置にあることにより、そして装置１０を第三導管１９０と第二弁１８４を通して第一導管１８６に挿入することにより、弁システム１８０を通して容器２００ａの内容積に導入することができる。

次いで、第二弁１８４は閉じることができ、パージ装置１９２を作動して、装置１０が第一導管１８６に導入されたときに第一導管１８６に進入することがある周囲空気を第一導管１８６内の容積からパージすることができる。パージ装置１９０は、例えば、真空を用いて第二導管１８６内の容積を排気し、次いでその容積を容器２００ａの内容積中のＵＨＰアンモニア又は他の特殊物質を汚染しないガスで充填することによりパージを達成することができる。

第一弁１８２はパージが完了すると開けることができ、装置１０はそれ自体動力下に第一弁１８２と第二導管１８８によって容器２００ａ内容積内に機動することができる。第一弁１８２は続いて閉鎖され、内容積内への又はそれからの漏れ可能性を減少することができる。

装置１０は第一弁１８２を開け、第二導管１８８と第一弁１８２によって装置１０を第一導管１８６へ機動することで容器２００ａ内容積から除去されることができる。第一弁１８２は次に閉じることができる。所望されれば第一導管１８６内の容積はパージ装置１９２を用いて容器２００ａ内部からの物質を取り除かれ、周囲空気で充填されることができる。この段階は容器２００ａ内物質が危険物であるとすれば必要とされる可能性がある。

第二弁１８４は続いて開けることができ、装置１０は第二弁１８４と第三導管１９０を通して弁システム１８０の外に誘導することができる。

前述の記載は説明目的のために提供され、発明を限定すると解釈されないものである。本発明は望ましい実施形態又は望ましい方法に関して記載されるけれども、ここで使用された言語は限定言語よりも記述及び例証言語であることがわかる。さらに、本発明は特定構造、方法、及び実施形態に関してここに記載されたけれども、この発明は添付特許請求の範囲内であるすべての構造、方法及び使用に展開するようにここで開示される特定のものに限定されることを意味しない。関連分野の熟達者はこの明細書の教授利益を有しここに記載されたようにこの発明に多数の改良をすることができ、変更は添付の請求項により定義されるこの発明範囲及び真意から逸れることなくなされることが可能である。

Claims (10)

1. 内容積を有し、超高純度流体を保管するように構成された容器を検査及び／又は補修するための方法であって、
   周囲空気の進入なしで前記容器の内容積に装置を挿入する挿入工程であって、前記装置が前記内容積に汚染物を導入しない挿入工程、並びに
   前記装置を用いて前記容器を検査及び／又は補修する工程
   を含み、前記検査及び／又は補修する工程が超高純度流体の保管前に実施され、前記容器が、第一導管によって連結された第一弁及び第二弁と、前記第一弁と前記容器を連結する第二導管と、前記第二弁に連結された第三導管と、前記第一導管に連結されたパージ装置とを含む弁システムをさらに含む、方法。
2. 前記装置を用いて前記容器を検査及び／又は補修する工程が、前記装置のセンサーを用いて前記容器に関する情報を得ることを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記装置のセンサーを用いて前記容器に関する情報を得ることが、タンクにおける割れ、圧痕、溶接欠陥、母材欠陥、腐蝕、くぼみ、及び／又はしわを検出及び／又は測定することを含む、請求項２に記載の方法。
4. 前記装置が、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）及び白シリカ物質からなる群より選択される物質から形成された車輪及び／又はローラーを有する、請求項１に記載の方法。
5. 前記挿入工程の前にパージ工程が実施される、請求項１に記載の方法。
6. 前記容器の内容積が前記挿入工程の際に前記流体の静蒸気圧に維持される、請求項１に記載の方法。
7. 前記流体が超高純度アンモニアである、請求項１に記載の方法。
8. 前記挿入工程が、前記第二弁を開ける一方で前記第一弁がその閉鎖位置にあることにより、そして前記装置を前記第三導管と前記第二弁を通して前記第一導管に挿入することにより、前記装置を前記弁システムを通して前記内容積に挿入することを含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記パージ装置を作動して、前記装置が前記第一導管に導入されたときに前記第一導管に進入することがある周囲空気を前記第一導管からパージするパージ装置の作動工程をさらに含む、請求項８に記載の方法。
10. 前記パージ装置の作動工程が、真空を用いて前記第二導管を排気し、次いでその容積を前記容器の内容積中の超高純度流体を汚染しないガスで充填することを含む、請求項９に記載の方法。

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